JPH05307023A - Inspection device - Google Patents
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- JPH05307023A JPH05307023A JP4111263A JP11126392A JPH05307023A JP H05307023 A JPH05307023 A JP H05307023A JP 4111263 A JP4111263 A JP 4111263A JP 11126392 A JP11126392 A JP 11126392A JP H05307023 A JPH05307023 A JP H05307023A
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- inspection
- bottom plate
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超音波、磁気、光等を
用いることにより、特に平板状の検査対象物の表面及び
／又は内部の欠陥や腐食状況等の検査・測定を行なう検
査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device for inspecting and measuring defects such as surface and / or internal defects and corrosion conditions of a flat inspection object by using ultrasonic waves, magnetism, light and the like. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、貯槽の底板のような平板の内外
表面や内部欠陥等を検査する場合には、一般にセンサと
検査対象物である底板との間隔を一定に保って検査を行
なう必要がある。そこで、従来は所定高さのスペーサを
介してセンサを底板表面上に設置し、センサと底板との
間隔を一定に保ちながら走査して検査を行なっていた。
また特に、貯槽の底板を検査する場合には、まず貯槽内
の液体を払出し、底板上のスラッジやスケール等を除去
・清掃した後、所要の検査を行なっていた。2. Description of the Related Art For example, when inspecting the inner and outer surfaces of a flat plate such as the bottom plate of a storage tank, internal defects, etc., it is generally necessary to keep the distance between the sensor and the bottom plate as the inspection object constant. is there. Therefore, conventionally, the sensor is installed on the surface of the bottom plate via a spacer having a predetermined height, and the inspection is performed by scanning while keeping the distance between the sensor and the bottom plate constant.
In particular, when inspecting the bottom plate of the storage tank, the liquid in the storage tank is first discharged, and sludge and scale on the bottom plate are removed and cleaned, and then the required inspection is performed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】検査対象物との間にス
ペーサを介在させてセンサを走査する方法では、検査対
象物の表面、例えば底板の溶接線等にスペーサがひっか
かって円滑な走査が行なえないという問題があった。ま
た、貯槽の底板検査では、液体の払出しや底板の清掃に
相当の費用・時間が必要であるという問題があった。In the method of scanning the sensor with the spacer interposed between the spacer and the inspection object, the spacer is caught on the surface of the inspection object, for example, the welding line of the bottom plate, so that smooth scanning can be performed. There was a problem of not having. In addition, in the inspection of the bottom plate of the storage tank, there is a problem that a considerable amount of cost and time are required for discharging the liquid and cleaning the bottom plate.
【０００４】本発明は、検査対象物と非接触でありなが
ら検査対象物との間隔を一定に保つことができ、検査対
象物の表面にスラッジ等が堆積したままの状態であって
も、また流体中においても検査を行なうことのできる検
査装置を提供することを目的としている。According to the present invention, the distance between the inspection object and the inspection object can be kept constant while not in contact with the inspection object, and sludge or the like remains deposited on the surface of the inspection object. It is an object of the present invention to provide an inspection device capable of performing an inspection even in a fluid.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の検査装置は、検
査対象物とセンサを所定の間隔に保ちながら前記検査対
象物上を相対的に移動し、検査対象物の表面及び／又は
内部を検査する検査装置において、検査対象の上方を相
対的に移動するブラケットと、前記ブラケットに対して
移動自在に連結されたセンサホルダと、前記センサホル
ダに取り付けられたセンサと、前記センサホルダから前
記検査対象物に流体を噴射して前記センサと該検査対象
物との間隔を所定の間隔に保つ流体噴射手段とを具備し
ていることを特徴としている。An inspection apparatus according to the present invention relatively moves an object to be inspected and a sensor while keeping the object to be inspected and a sensor at a predetermined interval, so as to move the surface and / or the inside of the object to be inspected. In an inspection device for inspecting, a bracket that relatively moves above an object to be inspected, a sensor holder that is movably connected to the bracket, a sensor attached to the sensor holder, and the inspection from the sensor holder. It is characterized by comprising a fluid ejecting means for ejecting a fluid onto an object to maintain a distance between the sensor and the object to be inspected at a predetermined distance.
【０００６】[0006]
【作用】センサを保持しているセンサホルダは、検査対
象物の表面に流体を噴射し、その反力でブラケットに対
して浮上し、検査対象物との距離を一定に保つ。また、
噴射された流体は、検査対象物の表面にあるスラッジ等
の堆積物を外方に排除すると同時に内部への流入を防止
して内部の検査環境を整える。The sensor holder, which holds the sensor, jets a fluid onto the surface of the object to be inspected and floats on the bracket by the reaction force thereof to keep the distance from the object to be inspected constant. Also,
The injected fluid removes sludge and other deposits on the surface of the inspection object to the outside, and at the same time prevents the inflow to the inside to prepare an internal inspection environment.
【０００７】[0007]
【実施例】本実施例は、貯槽に貯えられた油のなかで検
査対象物としての底板２を検査する検査装置としての検
査ロボット１に関するものである。図１に示すように、
この検査ロボット１は、貯槽の底板２上を移動する移動
手段として台車３を有している。この台車３は、図４に
示すようにマイクロコンピュータ４の指令によって制御
される台車駆動制御装置５により、底板２上を任意のコ
ースに従って移動する。コースは底板２上の検査箇所の
配置等に応じて予め定めておいてもよいし、外部から遠
隔的に指示を与えて定めてもよい。EXAMPLE This example relates to an inspection robot 1 as an inspection device for inspecting a bottom plate 2 as an inspection object in oil stored in a storage tank. As shown in Figure 1,
The inspection robot 1 has a carriage 3 as a moving unit that moves on the bottom plate 2 of the storage tank. As shown in FIG. 4, the carriage 3 moves on the bottom plate 2 according to an arbitrary course by the carriage drive control device 5 controlled by a command from the microcomputer 4. The course may be set in advance according to the arrangement of inspection points on the bottom plate 2 or the like, or may be set by giving a remote instruction from the outside.
【０００８】図１に示すように、前記台車３には、支柱
６を介して検査装置７が取付けられている。図４に示す
ように、この検査装置７は、台車３に搭載されたＸ−Ｙ
位置決め装置８に連結されている。Ｘ−Ｙ位置決め装置
８は、前記マイクロコンピュータ４の指令によって制御
される制御装置９によって駆動され、前記検査装置７の
位置を任意に設定する。As shown in FIG. 1, an inspection device 7 is attached to the carriage 3 via a support 6. As shown in FIG. 4, the inspection device 7 is an XY mounted on the carriage 3.
It is connected to the positioning device 8. The XY positioning device 8 is driven by a control device 9 which is controlled by a command from the microcomputer 4 to arbitrarily set the position of the inspection device 7.
【０００９】図２に示すように、前記支柱６の下端に
は、検査装置７の基体となるブラケット１０が連結され
ている。このブラケット１０は下面が開放された略ドー
ム形の部材で、上端には孔１０ａが設けられている。As shown in FIG. 2, a bracket 10 which is a base of the inspection device 7 is connected to the lower end of the column 6. The bracket 10 is a substantially dome-shaped member whose lower surface is open, and has a hole 10a at its upper end.
【００１０】前記ブラケット１０の下方には、センサ１
１を保持するセンサホルダ１２が設けられている。セン
サホルダ１２は、センサランナ１３とセンサヘッド１４
から成る。センサランナ１３は、円筒形の本体１５と、
本体１５の周囲に突設された皿状のフランジ１６を有し
ている。本体１５は弾性部材としてのばね１７を介して
前記ブラケット１０の上面内面に複数箇所で連結されて
おり、所定範囲内でブラケット１０に対して移動でき
る。Below the bracket 10, the sensor 1 is provided.
A sensor holder 12 holding 1 is provided. The sensor holder 12 includes a sensor runner 13 and a sensor head 14.
Consists of. The sensor runner 13 includes a cylindrical main body 15 and
It has a dish-shaped flange 16 projecting around the main body 15. The main body 15 is connected to the inner surface of the upper surface of the bracket 10 at a plurality of points via springs 17 as elastic members, and can move with respect to the bracket 10 within a predetermined range.
【００１１】また、本体１５の中心にはセンサ１１が下
向きに取付けられており、止めねじ１８で本体１５に固
定されている。Further, the sensor 11 is attached downward at the center of the main body 15 and is fixed to the main body 15 with a set screw 18.
【００１２】また、センサランナ１３の本体１５の下面
には、断面略台形状の溝１９が円周状に形成されてい
る。そして、本体１５の内部には、前記溝１９と本体１
５の上端面とを連通させる孔２０が８本形成されてい
る。On the lower surface of the main body 15 of the sensor runner 13, a groove 19 having a substantially trapezoidal cross section is circumferentially formed. The groove 19 and the main body 1 are provided inside the main body 15.
Eight holes 20 that communicate with the upper end surface of the plate 5 are formed.
【００１３】前記センサランナ１３とともにセンサホル
ダ１２を構成するセンサヘッド１４は、図３に示すよう
なリング状の部材であり、センサランナ１３の下面の前
記溝１９に取付けられている。The sensor head 14 which constitutes the sensor holder 12 together with the sensor runner 13 is a ring-shaped member as shown in FIG. 3, and is attached to the groove 19 on the lower surface of the sensor runner 13.
【００１４】即ち、センサヘッド１４は、前記溝１９の
形状にほぼ合致した断面略台形状のリング部材である。
その上面には、内側の斜面２１ａと外側の斜面２１ｂに
それぞれ開口する２種類の案内溝２２ａ，２２ｂが、内
向きと外向きに互いちがいに４本づつ形成されている。
８本の案内溝２２ａ，２２ｂは、前記センサランナ１３
の８本の孔２０に対応しており、８個のボルト孔２３に
おいて図示しないボルトでセンサランナ１３とセンサヘ
ッド１４を固定すると、センサランナ１３の各孔２０は
センサヘッド１４の各案内溝２２ａ，２２ｂにそれぞれ
連通する。That is, the sensor head 14 is a ring member having a substantially trapezoidal cross section that substantially matches the shape of the groove 19.
Two kinds of guide grooves 22a and 22b, which respectively open to the inner sloped surface 21a and the outer sloped surface 21b, are formed on the upper surface thereof, four guide grooves 22a and 22b, which are different from each other inward and outward.
The eight guide grooves 22a and 22b are provided in the sensor runner 13
When the sensor runner 13 and the sensor head 14 are fixed with bolts (not shown) in the eight bolt holes 23, the holes 20 of the sensor runner 13 are inserted into the guide grooves 22a and 22b of the sensor head 14, respectively. To communicate with each.
【００１５】図２に示すように、センサホルダ１２を構
成するセンサランナ１３とセンサヘッド１４の間には隙
間がある。即ち、センサランナ１３の溝１９の内面と、
センサヘッド１４の内外の斜面２１ａ，２１ｂとの間に
はそれぞれ隙間があって前記各案内溝２２ａ，２２ｂに
連通している。As shown in FIG. 2, there is a gap between the sensor runner 13 and the sensor head 14 which constitute the sensor holder 12. That is, the inner surface of the groove 19 of the sensor runner 13,
There is a gap between the inner and outer slopes 21a and 21b of the sensor head 14 so as to communicate with the guide grooves 22a and 22b.
【００１６】図１に示すように、前記台車３には流体供
給手段としての油供給部３０が搭載されている。油供給
部３０のポンプ３１は貯槽内の油を吸込口３２から吸入
する。吸入された油はフィルター３３を経て該ポンプ３
１から配管３４に送り出される。この配管３４は、減圧
弁３５及びスルースバルブ３６をそれぞれ有する分岐し
た２系統の配管３４ａ，３４ｂに分岐している。図２に
示すように、前記センサホルダ１２の８個の孔２０には
８本のホース２４がそれぞれ接続されている。そして、
詳細は図示しないが、前記配管３４ａ，３４ｂはそれぞ
れ４本づつに分岐されて８本の前記ホース２４に接続さ
れており、２系統の配管３４ａ，３４ｂは内外２系統の
案内溝２２ａ，２２ｂにホース２４及び孔２０を介して
それぞれ対応している。As shown in FIG. 1, the carriage 3 is equipped with an oil supply unit 30 as a fluid supply means. The pump 31 of the oil supply unit 30 sucks the oil in the storage tank through the suction port 32. The inhaled oil passes through the filter 33 and the pump 3
1 is sent to the pipe 34. The pipe 34 is branched into two branched pipes 34 a and 34 b each having a pressure reducing valve 35 and a sluice valve 36. As shown in FIG. 2, eight hoses 24 are connected to the eight holes 20 of the sensor holder 12, respectively. And
Although not shown in detail, the pipes 34a and 34b are each branched into four pipes and connected to the eight hoses 24. They correspond to each other via the hose 24 and the hole 20.
【００１７】前記センサホルダ１２に取付けられるセン
サ１１は目的に応じて任意に選択できるが、例えば図４
に示すように、貯槽の底板２の検査のために渦流探傷セ
ンサ１１ａや超音波深触子１１ｂを取付けることができ
る。センサ１１として渦流探傷センサ１１ａを用いた場
合には、該センサからの信号を渦流探傷装置４０に入力
し、底板表面の探傷結果を記録計４１で記録するように
構成することができる。また、センサ１１として超音波
探触子１１ｂを用いた場合には、該センサからの信号を
超音波厚み計４２に入力して底板２の厚さ測定を行い、
その結果を記録計４３に記録することができる。The sensor 11 attached to the sensor holder 12 can be arbitrarily selected according to the purpose. For example, FIG.
As shown in, the eddy current flaw detection sensor 11a and the ultrasonic probe 11b can be attached for the inspection of the bottom plate 2 of the storage tank. When the eddy current flaw detection sensor 11a is used as the sensor 11, it is possible to input a signal from the sensor to the eddy current flaw detection device 40 and record the flaw detection result on the bottom plate surface by the recorder 41. When the ultrasonic probe 11b is used as the sensor 11, the signal from the sensor 11 is input to the ultrasonic thickness gauge 42 to measure the thickness of the bottom plate 2,
The result can be recorded in the recorder 43.
【００１８】以上の構成において、センサ１１からの信
号を処理する測定器本体や記録計は、台車３に搭載する
こともできるが、貯槽の外部に設置してセンサ１１から
の信号を遠隔的に受けるようにすることもできる。ま
た、台車３、油供給部３０、Ｘ−Ｙ位置決め装置８等
は、台車３に搭載したマイクロコンピュータ４によって
自律的に制御してもよいが、外部から遠隔的に指示を与
えて制御するようにしてもよい。In the above structure, the measuring device main body and the recorder for processing the signal from the sensor 11 can be mounted on the dolly 3, but are installed outside the storage tank to remotely receive the signal from the sensor 11. You can choose to receive it. The carriage 3, the oil supply unit 30, the XY positioning device 8 and the like may be autonomously controlled by the microcomputer 4 mounted on the carriage 3, but may be controlled by externally giving an instruction remotely. You can
【００１９】次に以上の構成における作用を説明する。
油が貯蔵されたままの貯槽の底板２上に本検査ロボット
１を設置する。前記検査装置７のセンサホルダ１２は、
底板２の表面に接地させるか、又は底板２の表面から一
定の距離をおいた位置に設定する。台車３が所定の検査
領域を走行しはじめると、油供給部３０が検査装置７に
油を供給し、検査装置７のセンサ１１が底板２の検査を
開始する。Next, the operation of the above configuration will be described.
The inspection robot 1 is installed on the bottom plate 2 of the storage tank in which the oil is stored. The sensor holder 12 of the inspection device 7 is
It is grounded on the surface of the bottom plate 2 or is set at a position spaced a certain distance from the surface of the bottom plate 2. When the carriage 3 starts traveling in a predetermined inspection area, the oil supply unit 30 supplies oil to the inspection device 7, and the sensor 11 of the inspection device 7 starts inspection of the bottom plate 2.
【００２０】図２に示すように、８本のホース２４から
供給された油はセンサランナ１３の８本の孔２０に入
り、センサヘッド１４の８個の案内溝２２ａ，２２ｂ内
にそれぞれ供給される。そして、センサヘッド１４の外
側の斜面２１ｂに開口している案内溝２２ｂに入った油
は、この外側の斜面２１ｂとセンサランナ１３との隙間
から斜め外側に向けて噴出される。また、センサヘッド
１４の内側の斜面２１ａに開口している案内溝２２ａに
入った油は、この内側の斜面２１ａとセンサランナ１３
との隙間から斜め内側に向けて噴出される。As shown in FIG. 2, the oil supplied from the eight hoses 24 enters the eight holes 20 of the sensor runner 13 and is supplied into the eight guide grooves 22a and 22b of the sensor head 14, respectively. .. The oil that has entered the guide groove 22b that is open to the outer slope 21b of the sensor head 14 is jetted obliquely outward from the gap between the outer slope 21b and the sensor runner 13. In addition, the oil that has entered the guide groove 22a that is open to the inner slope 21a of the sensor head 14 is not separated from the inner slope 21a and the sensor runner 13.
It is jetted diagonally from the gap between and.
【００２１】センサランナ１３とセンサヘッド１４の隙
間から噴射した油は、図２に示すように、センサ１１を
中心に斜め内側に向けて底板２に向う流れと、斜め外側
に向けて底板２に向う流れを構成する。また、センサホ
ルダ１２の外方へ向う油の流れは、センサランナ１３の
フランジ１６に案内されて斜め上方へ向う。底板２に向
うこのような斜め方向の流れは、いずれもセンサ１１の
位置を中心として周状に配置された複数の案内溝２２
ａ，２２ｂから出ている。従って、センサホルダ１２全
体は、噴射された油によって安定した反力を得、ばね１
７を縮めて上昇し、底板２から所定の高さに保持され
る。油を底板２に単に垂直に噴射するだけでは安定した
リフトは得られないが、本実施例のように、底板２に対
して斜め方向の噴流をセンサ１１を中心に内向きと外向
きの２方向について周状に発生させれば、センサホルダ
１２のリフトはきわめて安定する。As shown in FIG. 2, the oil sprayed from the gap between the sensor runner 13 and the sensor head 14 flows toward the bottom plate 2 with the sensor 11 as the center, and toward the bottom plate 2 with the sensor 11 as the center. Configure the flow. The flow of oil toward the outside of the sensor holder 12 is guided by the flange 16 of the sensor runner 13 and goes obliquely upward. Such an oblique flow toward the bottom plate 2 has a plurality of guide grooves 22 arranged circumferentially around the position of the sensor 11.
It comes out from a and 22b. Therefore, the sensor holder 12 as a whole obtains a stable reaction force by the injected oil, and the spring 1
7 is contracted and raised, and is held at a predetermined height from the bottom plate 2. A stable lift cannot be obtained by simply injecting the oil vertically to the bottom plate 2, but as in the present embodiment, a jet flow oblique to the bottom plate 2 is directed inward and outward with the sensor 11 as the center. The lift of the sensor holder 12 is extremely stable if it is generated circumferentially in the direction.
【００２２】さらに、外向きの噴流は、底板２上に堆積
しているスラッジやスケールを除去すると同時に、汚れ
た油が内部に侵入しないようにシールする。一方、内向
きの噴流は、清浄な油の供給によって内部を常に清浄に
保つので、検査は障害なく円滑に行なわれる。Further, the outward jet flow removes sludge and scale accumulated on the bottom plate 2 and at the same time seals the dirty oil from entering the inside. On the other hand, the inward jet stream always keeps the inside clean by supplying clean oil, so that the inspection can be performed smoothly without any obstacle.
【００２３】また、図１の配管３４ａ，３４ｂは、油を
内向きに噴射させる案内溝２２ａと、外向きに噴射させ
る案内溝２２ｂとにそれぞれ対応しているので、減圧弁
３５又はスルースバルブ３６を調節して、内向きと外向
きの噴流の強さを各系統ごとに制御し、スラッジ等を吹
き飛ばす強さやリフトの高さを調節することができる。Since the pipes 34a and 34b in FIG. 1 correspond to the guide groove 22a for injecting oil inward and the guide groove 22b for injecting oil respectively, the pressure reducing valve 35 or the sluice valve 36. Can be adjusted to control the inward and outward jet strength for each system, and the strength for blowing sludge and the like and the height of the lift can be adjusted.
【００２４】このように、油の噴射によって、底板２の
検査箇所が清掃されるとともに検査装置７は底板２から
所定の高さに安定的に保持される。このため、渦流探傷
法や超音波厚み測定における検出性能は大幅に向上し
た。As described above, the inspection portion of the bottom plate 2 is cleaned by the oil injection, and the inspection device 7 is stably held at a predetermined height from the bottom plate 2. For this reason, the detection performance in the eddy current flaw detection method and the ultrasonic thickness measurement is significantly improved.
【００２５】図５は他の実施例における検査装置７ａを
示している。ブラケット１０とセンサホルダ１２を連結
するばね１７ａがブラケット１０の周壁内面に連結され
ている点以外は第１実施例と同一の構成である。FIG. 5 shows an inspection apparatus 7a in another embodiment. The structure is the same as that of the first embodiment except that the spring 17a connecting the bracket 10 and the sensor holder 12 is connected to the inner surface of the peripheral wall of the bracket 10.
【００２６】以上説明した実施例では、渦流探傷法や超
音波厚み測定を例示したが、漏洩磁束法も利用できる。
また検査装置７のセンサホルダ１２が噴射する流体は、
水のほか原油類を含むあらゆる種類の油を用いることが
できる。また空気でもよい。空気を噴射する場合には光
センサ法やレーザ光線法による検査・測定も有効であ
る。In the embodiments described above, the eddy current flaw detection method and the ultrasonic thickness measurement are exemplified, but the leakage magnetic flux method can also be used.
The fluid ejected by the sensor holder 12 of the inspection device 7 is
In addition to water, all types of oils including crude oils can be used. It may be air. When injecting air, inspection / measurement by an optical sensor method or a laser beam method is also effective.
【００２７】以上説明した実施例では、固定された検査
対象物である底板に対してセンサが移動するように構成
されていた。しかし、検査対象物とセンサの移動は相対
的であればよく、例えばセンサ側を固定して検査対象物
をセンサに対して移動させてもよい。In the embodiment described above, the sensor is constructed so as to move with respect to the bottom plate which is a fixed inspection object. However, the inspection object and the sensor may be moved relative to each other. For example, the sensor side may be fixed and the inspection object may be moved with respect to the sensor.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明の検査装置は、本体に対して移動
自在に連結されたセンサホルダが検査対象物に流体を噴
射して検査対象物との間隔を一定に保つようになってい
る。このため、本発明によれば次のような効果が得られ
る。According to the inspection apparatus of the present invention, the sensor holder movably connected to the main body injects fluid onto the inspection object to keep the distance from the inspection object constant. Therefore, according to the present invention, the following effects can be obtained.
【００２９】（１）センサホルダが保持するセンサと検
査対象物との間隔を安定して一定の値に保つことができ
る。従ってセンサの出力性能が安定し、検査精度及び検
査能力が向上する。(1) The distance between the sensor held by the sensor holder and the inspection object can be stably maintained at a constant value. Therefore, the output performance of the sensor is stable, and the inspection accuracy and inspection ability are improved.
【００３０】（２）センサが検査対象物と接触しないた
め、摩擦によるスティックスリップがない。従って、凹
凸又は溶接線のある平板に特に有効である。(2) Since the sensor does not contact the inspection object, there is no stick-slip due to friction. Therefore, it is particularly effective for flat plates having irregularities or welding lines.
【００３１】（３）検査対象物に流体を噴射しながら検
査するため、検査対象物を流体内に保持したままで検査
ができるとともに、噴射される流体で検査対象物の表面
が常に清掃されるのでセンサによる検査の精度が向上す
る。(3) Since the inspection is performed while ejecting the fluid onto the inspection object, the inspection object can be inspected while being held in the fluid, and the surface of the inspection object is always cleaned by the ejected fluid. Therefore, the accuracy of the inspection by the sensor is improved.
【図１】一実施例の全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of an embodiment.
【図２】一実施例の検査装置の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of an inspection device according to an embodiment.
【図３】一実施例の検査装置を構成するセンサヘッドの
平面図、断面図及び底面図である。3A and 3B are a plan view, a cross-sectional view, and a bottom view of a sensor head that constitutes an inspection apparatus according to an embodiment.
【図４】一実施例の機能ブロック図である。FIG. 4 is a functional block diagram of an embodiment.
【図５】実施例における検査装置の他の構造例を示す断
面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another structural example of the inspection device in the example.
１ 検査装置としての検査ロボット ２ 検査対象物としての底板 ３ 移動手段としての台車 ７ 検査装置 １０ ブラケット １１ センサ １２ センサホルダ 1 Inspection Robot as Inspection Device 2 Bottom Plate as Inspection Object 3 Cart as Moving Means 7 Inspection Device 10 Bracket 11 Sensor 12 Sensor Holder
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 17/04 8506−2Ｊ 21/88 Ｃ 8304−2Ｊ 27/90 29/24 6928−2Ｊ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI Technical indication location G01N 17/04 8506-2J 21/88 C 8304-2J 27/90 29/24 6928-2J
Claims (1)
ながら前記検査対象物上を相対的に移動し、検査対象物
の表面及び／又は内部を検査する検査装置において、 検査対象の上方を相対的に移動するブラケットと、 前記ブラケットに対して移動自在に連結されたセンサホ
ルダと、 前記センサホルダに取り付けられたセンサと、 前記センサホルダから前記検査対象物に流体を噴射して
前記センサと該検査対象物との間隔を所定の間隔に保つ
流体噴射手段とを具備していることを特徴とする検査装
置。1. An inspection apparatus for inspecting the surface and / or the inside of an inspection object by relatively moving the inspection object and a sensor at a predetermined interval while inspecting the surface and / or the inside of the inspection object. A bracket that moves relatively, a sensor holder that is movably connected to the bracket, a sensor that is attached to the sensor holder, and a sensor that ejects a fluid from the sensor holder to the inspection target. An inspection apparatus comprising: a fluid ejecting unit that maintains a predetermined distance from the inspection object.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4111263A JPH05307023A (en) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4111263A JPH05307023A (en) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05307023A true JPH05307023A (en) | 1993-11-19 |
Family
ID=14556771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4111263A Pending JPH05307023A (en) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05307023A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294712A (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Non-Destructive Inspection Co Ltd | Inspection device and method for bridge expansion joint |
| JP2007132826A (en) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Marktec Corp | Eddy current flaw detection device |
| JP2008122406A (en) * | 2003-10-06 | 2008-05-29 | Qi:Kk | Thickness measurement instrument for lining layer of pipe or pipe inner face |
| JP2009510419A (en) * | 2005-09-27 | 2009-03-12 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Measuring apparatus and measuring system for inspecting the surface of a substrate |
-
1992
- 1992-04-30 JP JP4111263A patent/JPH05307023A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294712A (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Non-Destructive Inspection Co Ltd | Inspection device and method for bridge expansion joint |
| JP2008122406A (en) * | 2003-10-06 | 2008-05-29 | Qi:Kk | Thickness measurement instrument for lining layer of pipe or pipe inner face |
| JP2009510419A (en) * | 2005-09-27 | 2009-03-12 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Measuring apparatus and measuring system for inspecting the surface of a substrate |
| JP4940242B2 (en) * | 2005-09-27 | 2012-05-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Measuring system for inspecting the surface of a substrate |
| JP2007132826A (en) * | 2005-11-11 | 2007-05-31 | Marktec Corp | Eddy current flaw detection device |
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