JPH05300432A - イメージセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 高感度、高Ｓ／Ｎに加えて広いダイナミック
レンジ、高速読み出し可能なイメージセンサを実現す
る。 【構成】 フォロワ段を流れる電流値を抑えると共に、
フォロワ段入力端がリセット電位にある場合に予想され
るフォロワ段出力の近似値を有する電圧源１１を設け、
前記フォロワ段出力端をリセットするためのフォロワリ
セットトランジスタ７をフォロワ段出力端と前記電圧源
との間に設けた画素構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は原稿情報を高感度、高Ｓ
／Ｎで、そして広ダイナミックレンジ、高速に読み取る
ことのできる増幅型ＭＯＳのイメージセンサに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】高速読み取りのできるイメージセンサと
してはＣＣＤ型とＭＯＳ型とがあるが、ＭＯＳ型はＣＣ
Ｄ型に比べてコスト的に有利である一方で感度及びＳ／
Ｎの点で不利であった。そこで近年、内部に増幅機能を
付加することで感度向上を図った増幅型ＭＯＳのイメー
ジセンサに関する報告がなされている（特開平３−１１
０９６２号公報）。上記従来例の構成について、その１
画素分の回路構成を図５（ａ）に示しながら説明する。
フォトダイオード１は第１増幅トランジスタ２のゲート
電極に接続されると共にフォトダイオードリセットトラ
ンジスタ６を介してリセット電源に接続されており、上
記第１増幅トランジスタ２のドレイン電極は電源に接続
されると共にソース電極は第２増幅トランジスタ４のゲ
ート電極及び負荷トランジスタ３のドレイン電極に接続
されている。容量２０はフォトダイオード１のカソード
端子に付随する容量であり、前記フォトダイオードのカ
ソード拡散接合容量や第１増幅トランジスタ２のゲート
酸化膜容量やフォトダイオードリセットトランジスタ６
のソースまたはドレイン拡散容量等を含む。第２増幅ト
ランジスタ４のドレイン電極は電源に、ソース電極は読
み出しスイッチトランジスタ５のドレイン電極に接続さ
れる。読み出しスイッチトランジスタ５のソース電極は
信号出力線１２に接続されている。負荷トランジスタ３
の電流値はトランジスタ２１とトランジスタ２２で決ま
る電流値のミラーになっている。

【０００３】次に図５（ａ）及びタイミング図である図
５（ｂ）を用いて上記従来例の動作説明をする。図５
（ｂ）において、ＣＫ１、ＣＫ２は各々図示しないシフ
トレジスタ駆動用クロックパルス対を、ＡＰは図５
（ａ）中の読み出しゲート端子２３に印加されるパルス
を、ＲＰは図５（ａ）中のリセットゲート端子２４に印
加されるパルスを、Ｖ（１２）は図５（ａ）の信号出力
線１２の出力電圧変動の様子を示す。フォトダイオード
リセットトランジスタ６がオンした直後から、入射光量
に応じてフォトダイオード１のカソード電位は低下して
いく。光情報蓄積期間経過後、図示しないシフトレジス
タによりゲート端子２３に読み出しパルスＡＰが印加さ
れて、読み出しスイッチトランジスタ５及びトランジス
タ２１の共通の読み出しゲート端子２４が”Ｈ”レベル
になり、光量に応じて電位低下したフォトダイオード１
のカソード電位即ち明時出力が第１増幅トランジスタ２
のソース電極にフォロワ出力され、更にこのフォロワ出
力電圧が第２増幅トランジスタ４及び読み出しスイッチ
トランジスタ５を介して信号出力線１２に増幅出力され
る。次に上記の明時出力の読み出しに関して必要とされ
る出力期間経過後、上記の読み出しスイッチトランジス
タ５がオンになったままの状態でリセットパルスＲＰが
リセットゲート端子２４に印加されることにより、フォ
トダイオードリセットトランジスタ６がオンしてフォト
ダイオード１のカソード電位は、電源電位にリセットさ
れる。続いて上記のフォトダイオードリセットトランジ
スタ６が開放状態になり、この瞬間から再び光情報蓄積
期間が開始されるのであるが、リセット直後では実質的
にフォトダイオードに光情報蓄積が殆どないことは自明
なので暗時状態と見なすことができる。従ってこのとき
フォトダイオード１のカソード電位が第１増幅トランジ
スタ２、第２増幅トランジスタ４及び読み出しスイッチ
トランジスタ５を介して、フォロワ増幅されて信号線１
２に現われる出力を暗時出力として取り扱うことができ
る。次に上記の暗時出力の読み出しに関して必要とされ
る出力期間経過後、上記選択画素の読み出しスイッチト
ランジスタ５はオフ状態に戻る。以下、引き続いて次段
の画素の明時出力の読み出し、リセット及び暗時出力の
読み出しが順次行われる。以上の如く１つの画素につい
ての暗時出力と明時出力とを時系列的に続けて読み出す
ことはＣＣＤ型センサを相関２重サンプリング法で読み
出す場合も同様であるといえ、図５（ｂ）中のＶ（１
２）におけるＶ（明）とＶ（暗）の電圧差を後段におい
て検出すれば、第１増幅トランジスタ２及び第２増幅ト
ランジスタ４の素子パラメータのばらつきに伴う固定パ
ターンノイズを除去して高Ｓ／Ｎの出力信号を得る。

【０００４】後の議論のために図５（ｂ）のタイミング
図を用いて出力信号の時間応答について説明する。タイ
ミング図から明かなように、明時出力読み出し期間と暗
時出力読み出し期間とで１クロック周期を１００％利用
できない。つまりクロックパルスＣＫ１及びＣＫ２の立
ち上がり及び立ち下がりに起因する出力信号へのノイズ
を避けるためにＣＫ２が”Ｈ”レベルに安定している期
間を選ばねばならない上に、リセットパルスＲＰの印加
期間を考慮している。出力信号値のサンプリングを精度
よく行う目的で明時出力読み出し期間と暗時出力読み出
し期間を十分確保するためにリセットパルスＲＰの”
Ｈ”レベル期間を極力短くしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では高速
な出力信号読み出しが、特に５Ｖ程度の低電圧電源駆動
の場合に、以下の理由により困難になってくる。出力信
号読み出しを高速に行う際、つまり１クロック期間が短
くなる程、明時出力及び暗時出力読み出し期間を確保す
るためにリセットパルス印加期間を短くしたい。図５に
おいてフォトダイオード１のリセットに対する応答出力
が第１増幅トランジスタ２のソース端子及び信号出力線
１２に迅速に現われるためにはフォロワ回路を流れる電
流値が大きくしなければならない。フォトダイオード１
のカソード端子に付随する容量値２０はその電圧応答感
度を向上するために極力小さい必要があるから第１の増
幅トランジスタ２の相互コンダクタンスは小さい。図６
に標準的なＭＯＳプロセスによる第１増幅トランジスタ
２（ゲート幅７μｍ、ゲート長３μｍ）及び負荷トラン
ジスタ３（ゲート幅７０μｍ、ゲート長３μｍ）の場合
における、負荷トランジスタ３を流れる電流値が０．１
μＡ、１μＡ、１０μＡ、１００μＡ及び１ｍＡになる
ようにトランジスタ２２とトランジスタ２１とを設定し
たときの第１増幅トランジスタ２のゲート端子電位（Ｖ
ｉｎ）とソース端子電位（Ｖｏ）との関係をそれぞれ、
図６中Ａ、Ｂ，Ｃ，Ｄ及びＥとして示す。電流値が１０
０μＡの場合にはＶｏはＶｉｎよりも２．４Ｖも電位降
下しており低電圧電源駆動になるほどダイナミックレン
ジが狭くなる。非線形応答領域も増大している。さらに
第２増幅トランジスタ４の出力を考えればダイナミック
レンジの更なる狭小化は言うまでもない。負荷トランジ
スタ３の電流値が１０μＡ程度ならばダイナミックレン
ジは比較的に確保できる。しかしフォトダイオード１の
カソード電位の光応答電圧振幅が２Ｖであれば、電流駆
動能力の大きい第２増幅トランジスタ４のゲート端子に
付随する容量値を２００ｆＦとすれば応答時間は４０ｎ
ｓｅｃとなり、５ＭＨｚ読み出し時で１クロック期間が
２００ｎｓｅｃの場合には明時出力及び暗時出力読み出
し期間を確保することが困難になる。

【０００６】以上説明したように上記従来例のイメージ
センサは高速駆動が困難であり、単純な高速化はダイナ
ミックレンジの極端な狭小化を招く。また上記従来例で
は負荷トランジスタ３に電流が流れるのは読み出しゲー
ト端子２３が”Ｈ”レベルのときだけなので明時出力読
み出しの応答も上記リセット時のフォロワ出力応答と同
様に遅れてしまう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するために、フォロワ段入力端がリセット電位にある
場合に予想されるフォロワ段出力の近似値を有する電圧
源を設けると共に、前記フォロワ段出力端をリセットす
るためのフォロワリセットトランジスタをフォロワ段出
力端と前記電圧源との間に設けるものである。またフォ
ロワ段の電流値を低く抑えることによって、５Ｖ程度の
低い駆動電圧源でも広いダイナミックレンジを確保する
ものである。

【０００８】

【作用】明時出力読み出し期間終了後、リセットパルス
が印加されるときに、フォトダイオードのリセットと同
時に、第１増幅トランジスタのソース端子の電圧値がフ
ォトダイオードのリセットできまる値に近い値に粗くリ
セットされる。この粗いリセットはフォロワ段を流れる
電流とは無関係に前記フォロワリセットトランジスタを
介してきわめて迅速に行われる。続いてリセットパルス
の印加が解かれた後、暗時出力読み出し期間中の極めて
短期間の内に前記フォロワ出力端をリセットされた前記
フォロワ入力端のフォロワ値に正確に至らしめ、より高
速読み出し可能なイメージセンサを実現するものであ
る。また前記フォロワ段を流れる電流値を小さく抑えた
ことにより前記フォロワ段の入出力特性におけるダイナ
ミックレンジを広くして低電圧源駆動が可能なイメージ
センサを実現するものである。

【０００９】

【実施例】以下図面を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明する。図１は本発明の実施例１として、１画素
分の回路構成図を示したものである。図１において１、
２、３、４、５、６、１２、２０、２１、２２、２３、
２４は図５中における同一番号のものに等しいので説明
を省略する。図１中の７はフォロワリセットトランジス
タであり、１１は第１増幅トランジスタ２のソース端電
位をフォロワリセットトランジスタ７を介してリセット
するためのフォロワリセット電位線である。フォロワリ
セット電位線１１の電位の値はフォトダイオード１のカ
ソード電位すなわち第１増幅トランジスタ２のゲート入
力端子電位がリセット電位即ち電源電位であるときの第
１増幅トランジスタ２のソース端子出力電圧に近い値に
設定してある。つまり現実の第１増幅トランジスタ２の
ゲート・ソース間電圧は素子毎に０．１Ｖ程度ばらつく
ものであるから第１増幅トランジスタ２のソース端子出
力電圧値も各画素毎に同様にばらつく。従ってフォロワ
リセット電位線１１の電位は、画素毎の第１増幅トラン
ジスタ２のゲート・ソース間電圧の平均的値を、第１増
幅トランジスタ２のゲート端子のリセット電位即ち電源
電位から減じた電圧値に設定すればよい。

【００１０】次に図１の実施例の動作について説明す
る。フォトダイオードリセットトランジスタ６がオンし
終わった直後から、入射光量に応じてフォトダイオード
１のカソード電位は低下していく。光情報蓄積期間経過
後、図示しないシフトレジスタによりゲート端子２３
が”Ｈ”レベルとなり、光量に応じて電位低下したフォ
トダイオード１のカソード電位即ち明時出力が第１増幅
トランジスタ２のソース電極にフォロワ出力され、更に
このフォロワ出力電圧が第２増幅トランジスタ４及び読
み出しスイッチトランジスタ５を介して信号出力線１２
に増幅出力される。次に上記の明時出力に関して必要と
される出力期間経過後、上記の読み出しスイッチトラン
ジスタ５がオンになったままの状態でリセットパルスが
リセットゲート端子２４に印加されることにより、フォ
トダイオードリセットトランジスタ６及びフォロワリセ
ットトランジスタ７がオンして、フォトダイオード１の
カソード電位は電源電位に、第１増幅トランジスタ２の
ソース端子出力はフォロワリセット電位にリセットされ
る。既に述べたように第１増幅トランジスタ２のソース
端子出力はほぼ第１増幅トランジスタ２のゲート端子入
力がリセット電位にある時のフォロワ出力値の近似値に
設定されたことになる。続いて上記のフォトダイオード
リセットトランジスタ６及びフォロワリセットトランジ
スタ７が開放状態になり、この瞬間から再び光情報蓄積
期間が開始されるのであるが、リセット直後では実質的
に光情報蓄積は殆どないことは自明なので上記のフォト
ダイオード１のカソード端子電位即ち第１増幅トランジ
スタ２のゲート端子電位には全く光情報が蓄積されなか
った状態即ち暗時状態と見なすことができる。一方前記
第１増幅トランジスタ２のソース端子出力電位は前記の
近似値から徐々にそのリセットされたゲート入力端子電
位のフォロワ電位値に落ちいていく。予めリセット電位
のフォロワ出力値の近似値（０．２Ｖ程度の精度に設定
することは容易である。）に設定するのでこの過程に要
する時間は、負荷トランジスタ３の電流値が１０μＡ程
度で且つ第１増幅トランジスタ２のソース端子に付随す
る容量値を２００ｆＦとすれば、４ｎｓｅｃとなり十分
速い応答時間であるので高速データ読みだしに有効であ
る。このときフォトダイオード１のカソード電位が第１
増幅トランジスタ２、第２増幅トランジスタ４及び読み
出しスイッチトランジスタ５を介して、フォロワ増幅さ
れて信号線１２に現われる出力を暗時出力として取り扱
う。次に上記の暗時出力に関して必要とされる出力期間
経過後、上記選択画素の読み出しスイッチトランジスタ
５はオフ状態に戻る。

【００１１】以上説明した出力信号応答の様子を図２に
示す。図２（ａ）は従来例においてダイナミックレンジ
を大きくとるために定常電流値を小さくした場合の、図
２（ｂ）は同様に定常電流値が小さく実施例１を使用し
た場合の、信号出力を示す。Ｆ，Ｇ，Ｈは各々明時出力
の出力期間、リセットパルス印加期間、暗時出力の読み
出し期間であり、リセットパルス印加期間を本来よりも
長めに他の出力読み出し期間と等しい期間で描いてあ
る。またＩ及びＫは共に明時出力レベルを、Ｊ及びＭは
共に暗時出力レベルを、Ｌは暗時出力近似レベルを示
す。図２（ａ）ではリセットパルス印加期間（Ｇ）にお
ける信号出力の明時出力レベル（Ｉ）から暗時出力レベ
ル（Ｊ）への遷移が遅いが、図２（ｂ）ではリセットパ
ルス印加期間（Ｇ）において信号出力が明時出力レベル
（Ｋ）から暗時出力近似レベル（Ｌ）まで一旦素早く遷
移した後で比較的短時間で暗時出力近似レベル（Ｌ）か
ら暗時出力レベル（Ｍ）に変化していることが分かる。
即ちリセットパルス印加期間（Ｇ）と暗時出力読み出し
期間（Ｈ）とを共に時間短縮することができ、高速なデ
ータ読み出しを可能にする。

【００１２】以下、引き続いて次段の画素の明時出力の
読み出し、リセット及び暗時出力の読み出しが順次行わ
れる。以上の如く１つの画素について時系列的に読みだ
した明時出力と暗時出力との電位差を後段において検出
すれば、第１増幅トランジスタ２及び第２増幅トランジ
スタ４の素子パラメータのばらつきに伴う固定パターン
ノイズを除去して高Ｓ／Ｎの出力信号を高速に得ること
が可能になる。

【００１３】図３に本発明の実施例２として１画素分の
回路構成図を示す。図３において、１、２、４、５、
６、７、１１、１２、２０、２３、２４は図１における
同一番号のものに等しいので説明を省略する。２５は定
電流源である。第１増幅トランジスタ２は、図１では読
みだしゲート端子２３が”Ｈ”レベルのときのみフォロ
ワ動作するのに対して、図３では定電流源２５により常
にフォロワ動作をする。基本的に図１における場合と同
様なので略記すれば、図３の動作は次のようになる。フ
ォトダイオードリセットトランジスタ６がオンし終わっ
た直後から、入射光量に応じてフォトダイオード１のカ
ソード電位は低下していき、これと共にそのフォロワ出
力が第１増幅トランジスタ２のソース端子に追随しなが
ら現われる。光情報蓄積期間経過後、ゲート端子２３
が”Ｈ”レベルとなると直ちに、光量に応じて電位低下
したフォトダイオード１のカソード電位即ち明時出力が
第１増幅トランジスタ２のソース電極にフォロワ出力さ
れていたフォロワ出力電圧が第２増幅トランジスタ４及
び読み出しスイッチトランジスタ５を介して信号出力線
１２に増幅出力される。以下の動作は実施例１における
動作と同様であり、明時出力に関する出力期間経過後、
リセットゲート端子２４が”Ｈ”レベルになり、フォト
ダイオード１のカソード電位は電源電位に、第１増幅ト
ランジスタ２のソース端子出力は近似的なフォロワリセ
ット電位に、リセットされる。リセットゲート端子２４
が”Ｌ”レベルに転じると、第１増幅トランジスタ２の
ソース端子出力電位は前記の近似値から徐々にそのリセ
ットされたゲート入力端子電位のフォロワ電位値に落ち
着いていく。このときフォトダイオード１のカソード電
位が第１増幅トランジスタ２、第２増幅トランジスタ４
及び読み出しスイッチトランジスタ５を介して、フォロ
ワ増幅されて信号線１２に現われる。この出力電圧を暗
時出力として取り扱う。次に上記の暗時出力に関する出
力期間経過後、上記選択画素の読み出しスイッチトラン
ジスタ５はオフ状態に戻る。以下、引き続いて次段の画
素の明時出力の読み出し、リセット及び暗時出力の読み
出しが順次行われる。各画素の時系列的に読みだされた
明時出力と暗時出力との電位差を後段において検出し
て、第１増幅トランジスタ２及び第２増幅トランジスタ
４の素子パラメータのばらつきに伴う固定パターンノイ
ズを除去して高Ｓ／Ｎ且つ高速のイメージセンサを実現
できる。

【００１４】なお図３において定電流源２５の電流値は
イメージセンサの全画素分を乗じても悪影響が無い程度
の小さい値が望ましいが、例えば前述の１０μＡ程度の
電流値であれば１７００画素分でも１７ｍＡとなり実用
可能な値である。またこの定電流値が小さいことは前述
のようにダイナミックレンジの点でも有利であるし、明
時出力読みだし時の応答に関しては積分時間の間に徐々
にフォロワ動作すればよいので、第１増幅トランジスタ
のソース端子がリセット近似値から真のリセット値に移
るのに要する時間が実用上問題無い程度に短ければ、そ
の低速性は問題にならない。つまり明時出力読み出し時
の応答は、読み出しパルス印加時にのみフォロワ段が動
作する従来例や実施例１よりも速くなる。また画素毎の
スイッチ付カレントミラーを形成していた素子が不要に
なるので集積性の点においても有利である。

【００１５】図４に、図３で示した実施例２の画素を用
いた具体的なイメージセンサの回路構成を示す。１、
２、３、４、５、６、７、１１、１２は図１及び図３に
おいて同一番号のものとその機能が等しいので説明を省
略する。但し図４ではフォトダイオード１の接続に関す
る極性やリセット時に設定される電源レベル等を変更し
て描いてある。前述の実施例１は光量の増大に伴い出力
が減少するネガ型のイメージセンサであったが、この実
施例２は光量の増大に伴い出力が増大するのでポジ型の
イメージセンサといえる。８は電源電位線、１０はフォ
トダイオードリセット電位線、１３は共通リセットパル
ス線、１６はシフトレジスタ、１４及び１５はシフトレ
ジスタ１６を駆動するのに必要なスタートパルス入力端
子及びクロックパルス入力端子、１７は読み出しパルス
線、１８は画素毎のリセットパルス線、１９は共通リセ
ットパルスと画素毎の読み出しパルスとの演算から画素
毎のリセットパルスをつくるものであり、フォトダイオ
ードリセットトランジスタ６としてＰチャネルＭＯＳを
使用しているために”Ｌ”アクティブのリセットパルス
が必要となるため、ここではＮＡＮＤゲートを用いてい
る。

【００１６】次に図４のイメージセンサの動作を略記す
る。フォトダイオード１のアノード電位はフォトダイオ
ードリセット電位線１０によって与えられる設定電位か
ら光情報に応じて電位上昇する。シフトレジスタ１６に
よって選択された画素の第１増幅トランジスタ２は定常
ドレイン電流を流す負荷トランジスタ３と共にフォロワ
回路を構成しており、光情報を蓄積する積分期間中に変
動するアノード電位に追随するものであり、明時出力読
み出し時には既に明時アノード電位のフォロワ出力値を
有している。読み出しスイッチトランジスタ５がオンす
ることで第２増幅トランジスタ４がそのゲート端子に受
けている前記フォロワ出力値に応じて信号出力線１２に
上記選択画素の明時出力を増幅出力する。ここで信号出
力線１２に出力される信号形態は電圧出力に限定される
ものではなく、電流出力も共に可能である。次に依然と
して上記画素が選択状態にある内に、共通リセットパル
ス線１３が”Ｈ”レベルになることにより上記選択画素
のリセットパルス線１８が”Ｌ”レベルになり、フォト
ダイオードリセットトランジスタ６及びフォロワリセッ
トトランジスタ７が共にオン状態になる。このとき速や
かに、フォトダイオード１のアノード電位はフォトダイ
オードリセット電位線１０の与える設定電位に、第１増
幅トランジスタ２のソース端子電位はフォロワリセット
電位線１１の与える設定電位に、リセットされる。依然
として上記画素が選択状態にあるまま上記リセットパル
ス印加期間は終了し、第１増幅トランジスタ２のソース
端子電位はフォロワリセット電位線１１の与える暗時出
力近似値から本来のリセットされたフォトダイオード１
のアノード電位に基づくフォロワ出力値に落ちついてい
く。このフォロワ出力値をゲート端子に受けている第２
増幅トランジスタの出力が読み出しスイッチトランジス
タ５を介して暗時出力として信号出力線１２に増幅出力
される。上記の暗時出力に関する出力期間経過後、上記
選択画素の読み出しスイッチトランジスタ５はオフ状態
に戻る。以下、引き続いて次段の画素の明時出力の読み
出し、リセット及び暗時出力の読み出しが順次行われ
る。各画素の時系列的に読みだされた明時出力と暗時出
力との電位差を後段において検出して、第１増幅トラン
ジスタ２及び第２増幅トランジスタ４の素子パラメータ
のばらつきに伴う固定パターンノイズを除去して高Ｓ／
Ｎ且つ高速のイメージセンサを実現できる。

【００１７】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、近似
的なフォロワ出力リセットを施すことによりフォロワ回
路を流れる電流を抑えてダイナミックレンジを広くする
と共に、高速読み出し可能な高感度、高Ｓ／Ｎのイメー
ジセンサを実現することができ、産業上の効果は極めて
大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の１画素分の回路構成図

【図２】出力信号の応答図

【図３】実施例２の１画素分の回路構成図

【図４】実施例２の１画素分の回路構成図を用いたイメ
ージセンサを示す図

【図５】従来例の１画素分の回路構成図

【図６】第１増幅トランジスタの入出力特性図

【符号の説明】

１ フォトダイオード ２ 第１増幅トランジスタ ３ 負荷トランジスタ ４ 第２増幅トランジスタ ５ 読み出しスイッチトランジスタ ６ フォトダイオードリセットトランジスタ ７ フォロワリセットトランジスタ １２ 信号出力線

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アレイ状に配列されて、入射光情報量に応
   じた信号電荷を蓄積する複数個のフォトダイオードと、
   上記の各々のフォトダイオードに蓄積された信号電荷を
   インピーダンス変換するためのフォトダイオード毎の第
   １増幅トランジスタ及びその負荷からなるフォロワ段
   と、上記のフォロワ段の出力を更に増幅するための大き
   い電流駆動能力を有する第２増幅トランジスタ及び読み
   出しスイッチトランジスタと、上記のフォトダイオード
   を露光前の状態にリセットするためのフォトダイオード
   毎のリセット手段とを具備するイメージセンサにおい
   て、 上記アレイ状のフォトダイオード毎のフォロワ段出力端
   の電位をフォロワ段入力端がリセット電位にある場合に
   期待される出力の近似値にリセットする手段を備えたこ
   とを特徴とするイメージセンサ。
2. 【請求項２】上記第１増幅トランジスタがそのゲート容
   量が最小になるように設計されていると共に、上記第１
   増幅トランジスタが負荷となる負荷トランジスタを通し
   て微小なる電流を流していることを特徴とする、請求項
   １のイメージセンサ。
3. 【請求項３】上記第１増幅トランジスタに定常的に微小
   電流値を流していることを特徴とする、請求項２のイメ
   ージセンサ。
4. 【請求項４】上記第１増幅トランジスタが定常的に流し
   ている微小電流値が１０μＡ以上であることを特徴とす
   る、請求項３のイメージセンサ。