JPH05299368A - Lateral type sic boat - Google Patents
Lateral type sic boatInfo
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- JPH05299368A JPH05299368A JP12663392A JP12663392A JPH05299368A JP H05299368 A JPH05299368 A JP H05299368A JP 12663392 A JP12663392 A JP 12663392A JP 12663392 A JP12663392 A JP 12663392A JP H05299368 A JPH05299368 A JP H05299368A
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- boat
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- type sic
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、フォークで支持して
熱処理装置に搬入及び搬出する構成の横型ＳｉＣボート
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a horizontal SiC boat which is supported by a fork and carried in and out of a heat treatment apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハの熱処理工程、例えばシリ
コンウエハの酸化・拡散処理工程では、ウエハ用ボート
に多数のウエハを積載して処理が行われる。ウエハ用ボ
ートは一般に、複数のウエハを水平方向に積載する縦型
ボートと、複数のウエハを鉛直方向に積載する横型Ｓｉ
Ｃボートに分類できる。横型ＳｉＣボートは多数のウエ
ハを積載できるので有利である。2. Description of the Related Art In a semiconductor wafer heat treatment process, for example, a silicon wafer oxidation / diffusion treatment process, a large number of wafers are loaded on a wafer boat for processing. The wafer boat is generally a vertical boat for loading a plurality of wafers in the horizontal direction and a horizontal Si boat for loading a plurality of wafers in the vertical direction.
It can be classified as a C boat. The lateral SiC boat is advantageous because it can load a large number of wafers.
【０００３】横型ＳｉＣボートはフォークを用いて拡散
炉に搬入される。そして、炉内で所定の熱処理を行った
後に、再びフォークを用いて炉から搬出される。A horizontal SiC boat is carried into a diffusion furnace by using a fork. Then, after performing a predetermined heat treatment in the furnace, it is carried out of the furnace again using the fork.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】拡散処理はかなり高温
で行われるが、その時に横型ＳｉＣボートも同様に加熱
される。そして、取出し時にもボートの温度は余り低下
せず高温のままである。一方、フォークは拡散処理のあ
いだ炉外におかれるため、室温と同程度の温度を有す
る。ボート搬出時には、高温のボートを低温（室温）の
フォークで支持して取出すことになるが、このとき特に
ボートとフォークの接触領域及びその周辺領域は多大な
熱衝撃を受けることになる。The diffusion process is carried out at a fairly high temperature, at which time the lateral SiC boat is likewise heated. The temperature of the boat does not drop so much even when it is taken out, and remains high. On the other hand, since the fork is placed outside the furnace during the diffusion process, it has a temperature similar to room temperature. At the time of carrying out the boat, the high temperature boat is taken out by being supported by the low temperature (room temperature) fork. At this time, especially the contact region between the boat and the fork and its peripheral region are subjected to a great thermal shock.
【０００５】従来の横型ＳｉＣボートにおいては、フォ
ークに支持される被支持部先端つまりフォークと接触す
る部分は一般に平面状に構成されている。従って、フォ
ークとボートの接触部分は、ボート本体の平面領域とな
る。このように接触面積が大きいとボートが受ける熱衝
撃も大きくなる。In the conventional lateral SiC boat, the tip of the supported portion supported by the fork, that is, the portion in contact with the fork, is generally formed in a planar shape. Therefore, the contact portion between the fork and the boat is a flat area of the boat body. When the contact area is large in this way, the thermal shock received by the boat also becomes large.
【０００６】さて、一般に横型ＳｉＣボートは耐熱材料
のＳｉＣ焼結体やＳｉ含浸ＳｉＣ材料で形成されてお
り、石英質に比べ熱膨張が大きい。従って、しかし、ボ
ートの使用回数が多くなり、前述の熱衝撃を何度も受け
ると、クラック等の破損が生じる可能性が大となる。小
さなクラックであっても継続使用によって大きな破損に
至ることがあり、極端な場合にはフォークによる支持が
不安定となって落下の危険も出てくる。従って、クラッ
クが発生したボートは事実上使用不可となる。また、目
視によってクラックを発見できない場合もあり、非常に
危険である。Generally, a horizontal SiC boat is made of a heat-resistant material such as a SiC sintered body or a Si-impregnated SiC material, and has a larger thermal expansion than silica. Therefore, however, if the boat is used many times and is repeatedly subjected to the above-mentioned thermal shock, there is a high possibility that damage such as cracks will occur. Even a small crack may be seriously damaged by continued use, and in extreme cases, the support by the fork becomes unstable and there is a risk of falling. Therefore, the cracked boat is virtually unusable. Further, there are cases where cracks cannot be visually detected, which is extremely dangerous.
【０００７】前述の従来技術の問題点に鑑み、本発明は
熱衝撃に強い形状を有し、温度差が大きいフォークで支
持してもクラックが発生しずらく、耐用寿命が長い横型
ＳｉＣボートを提供することを目的としている。In view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention provides a horizontal SiC boat having a shape resistant to thermal shock, which is less likely to crack even when supported by a fork having a large temperature difference and has a long service life. It is intended to be provided.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、フォークで
支持して熱処理装置に搬入及び搬出する構成の横型Ｓｉ
Ｃボートにおいて、フォークに支持される被支持部１６
を設け、被支持部１６がボートの底方向に向って突出し
ていることを特徴とする横型ＳｉＣボートを要旨として
いる。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a horizontal Si having a structure in which it is supported by a fork and carried in and out of a heat treatment apparatus.
In the C boat, the supported portion 16 supported by the fork
And the supported portion 16 projects toward the bottom of the boat.
【０００９】[0009]
【作用】被支持部１６の先端が実質的に線状１６ａにな
っているので、フォーク２と被支持部１６との接触部分
を最小にすることができる。従って接触部分を介しての
熱伝導を最小に抑えることができた。Since the tip of the supported portion 16 is substantially linear 16a, the contact portion between the fork 2 and the supported portion 16 can be minimized. Therefore, it was possible to minimize the heat conduction through the contact portion.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の横型ＳｉＣボート１０にウエハを
積載したところを示す斜視図である。図２は本発明の横
型ＳｉＣボート１０をＳｉＣフォークを用いて拡散炉の
炉芯管１内に配置したところを示す断面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a state where wafers are loaded on a horizontal SiC boat 10 of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a horizontal SiC boat 10 of the present invention arranged in a furnace core tube 1 of a diffusion furnace by using a SiC fork.
【００１１】横型ＳｉＣボート１０はＳｉ含浸ＳｉＣで
構成されている。横型ＳｉＣボート１０は多数の足１５
を有していて、全体的に細長い樋形状又は円弧板状に形
成されている。シリコンウエハ２０がそれぞれ鉛直向き
に挿入されていて、多数のウエハが水平方向に一列に積
載されている。この横型ＳｉＣボート１０には、例えば
６インチウエハを１２０枚程度積載することができる。The lateral SiC boat 10 is made of Si-impregnated SiC. The horizontal SiC boat 10 has a large number of feet 15
And has an elongated gutter shape or an arc plate shape as a whole. The silicon wafers 20 are vertically inserted, and a large number of wafers are stacked horizontally in a line. About 120 6-inch wafers can be loaded on the lateral SiC boat 10.
【００１２】横型ＳｉＣボート１０はボート本体１１と
多数の足１５から構成されている。ボート本体１１は多
数の切欠き部１４を有している。切欠き部１４は、強度
的に問題が生じない範囲でできるだけ多く設けてある。
このように、切欠部１４を設けてボートの質量をへらす
ことによって、ボート自体の熱容量を低減することがで
きる。The horizontal SiC boat 10 comprises a boat body 11 and a large number of legs 15. The boat body 11 has a large number of notches 14. The notch portion 14 is provided as much as possible within a range that does not cause a problem in strength.
In this way, by providing the notch 14 to reduce the mass of the boat, the heat capacity of the boat itself can be reduced.
【００１３】ボート本体１１の頂面（内周）側には、ウ
エハ支持部材１２がボートの長手方向に沿って設けられ
ている。ウエハ支持部材１２は全部で４本設けられてい
て、これらは互いに平行である。各ウエハ支持部材１２
には多数のスリット１３が等間隔で形成されている。ス
リット１３の幅はウエハ２０の肉厚よりわずかに大きく
設定されている。ウエハ２０は、図１に示すように、４
本のウエハ支持部材１２のスリット１３内に収容され、
ほぼ鉛直方向に支持されている。スリット１３の数だけ
ウエハを積載することができる。A wafer support member 12 is provided on the top surface (inner circumference) of the boat body 11 along the longitudinal direction of the boat. A total of four wafer support members 12 are provided, and these are parallel to each other. Each wafer support member 12
A large number of slits 13 are formed at equal intervals. The width of the slit 13 is set to be slightly larger than the thickness of the wafer 20. The wafer 20 has four layers as shown in FIG.
Accommodated in the slit 13 of the wafer support member 12 of the book,
It is supported almost vertically. Wafers can be loaded by the number of slits 13.
【００１４】ボート本体１１の底面（外周）側には多数
の足１５が設けられている。足１５はそれぞれボート本
体１１の両側部に配置され、そこから水平外側にわずか
に伸び、そこで直角に曲ってボートの底部方向に伸びて
いる。A large number of feet 15 are provided on the bottom surface (outer periphery) side of the boat body 11. The feet 15 are arranged on both sides of the boat body 11, respectively, and extend slightly outward in the horizontal direction, bend at a right angle there, and extend toward the bottom of the boat.
【００１５】足１５の水平部分の底部側には、底方向に
向かって凸状の被支持部１６が形成されている。被支持
部１６の先端つまり最も底に近い部分は、線状に形成さ
れている。図３に示した例では被指示部１６が断面三角
状であって、三角形の頂部が最も下に位置するようにな
っている。このように、被支持部１６の最下部は線分１
６ａによって画成され、線分１６ａの一部分がフォーク
２によって支持されることになる。A supported portion 16 having a convex shape toward the bottom is formed on the bottom side of the horizontal portion of the foot 15. The tip of the supported portion 16, that is, the portion closest to the bottom is formed in a linear shape. In the example shown in FIG. 3, the designated portion 16 has a triangular cross section, and the top of the triangle is located at the bottom. Thus, the lowermost portion of the supported portion 16 is the line segment 1
6a, a part of the line segment 16a is supported by the fork 2.
【００１６】一方、図２〜図４に示すように、フォーク
２の頂部も断面角状になっていて、その最上部は線分２
ａで画成される。従って、フォーク２でボート１０を支
持する場合には、理論的には線分１６ａと線分２ａの交
点における点接触によって支持が行われることになる。
しかし、実際は交点を中心にしたわずかな広がりをもつ
点状の領域で支持が行われる。On the other hand, as shown in FIGS. 2 to 4, the top portion of the fork 2 also has an angular cross section, and the uppermost portion thereof is a line segment 2
defined by a. Therefore, when the boat 10 is supported by the fork 2, theoretically, the boat 10 is supported by point contact at the intersection of the line segment 16a and the line segment 2a.
However, in reality, the support is performed in a point-like region having a slight spread centering on the intersection.
【００１７】図４は被支持部１６の別の例を示してい
る。図４の実施例でも被支持部１６がボートの底方向に
向って凸状に形成されている。この実施例では被支持部
１６の断面が半楕円状になっている。被支持部１６の最
先端つまり最下部は、やはり線分１６ａによって画成さ
れている。従って、ボート１０をフォーク２によって支
持すると、図３の例と同様に点接触に近い形で支持され
ることになる。このように、被指示部の形状は様々な形
状を採用できるが、フォークと接触する部分が線状に画
成されるので、接触領域を最小にすることができるので
ある。FIG. 4 shows another example of the supported portion 16. Also in the embodiment shown in FIG. 4, the supported portion 16 is formed in a convex shape toward the bottom of the boat. In this embodiment, the supported portion 16 has a semi-elliptical cross section. The tip of the supported portion 16, that is, the lowermost portion, is also defined by the line segment 16a. Therefore, when the boat 10 is supported by the fork 2, it is supported in a form close to point contact as in the example of FIG. As described above, various shapes can be adopted for the instructed portion, but the contact area can be minimized because the contact portion with the fork is linearly defined.
【００１８】[0018]
【発明の効果】本発明の横型ＳｉＣボートは、フォーク
に支持される被支持部１６を有し、被支持部１６がボー
トの底方向に向って突出していてしかもその先端が実質
的に線状１６ａになっているので、フォーク２で支持す
る場合に、フォーク２と被支持部１６との接触部分を最
小にすることができる。従って、熱衝撃を最小にするこ
とができる。The horizontal SiC boat of the present invention has the supported portion 16 supported by the fork, the supported portion 16 projects toward the bottom of the boat, and the tip thereof is substantially linear. Since it is 16a, the contact portion between the fork 2 and the supported portion 16 can be minimized when supporting the fork 2. Therefore, thermal shock can be minimized.
【００１９】特にフォーク２の支持部分の最頂部が線分
２ａで画成される場合には、被支持部１６の線状部分と
フォーク２の最頂部線分２ａとの間の点接触によって支
持が行われるので、熱衝撃を最小限に抑えることができ
る。Particularly when the top of the supporting portion of the fork 2 is defined by the line segment 2a, it is supported by the point contact between the linear portion of the supported portion 16 and the top portion 2a of the fork 2. Therefore, thermal shock can be minimized.
【００２０】なお、この発明は前述の実施例に限定され
ない。例えば、ボート本体の形状は様々に変形可能であ
り、棒状の材料を組合せて形成することもできる。ま
た、被支持部はボート本体の底部に設けることもでき
る。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the shape of the boat body can be variously modified, and the boat body can be formed by combining rod-shaped materials. Further, the supported portion may be provided on the bottom portion of the boat body.
【図１】本発明による横型ＳｉＣボートの実施例にシリ
コンウエハを積載した状態を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a state where silicon wafers are loaded on an embodiment of a lateral SiC boat according to the present invention.
【図２】本発明による横型ＳｉＣボートをフォークを用
いて拡散炉の炉芯管に設置した状態を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the horizontal SiC boat according to the present invention is installed in a furnace core tube of a diffusion furnace by using a fork.
【図３】本発明による横型ＳｉＣボートの被支持部とフ
ォークの一部を模式的に示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view schematically showing a supported portion and a part of a fork of a horizontal SiC boat according to the present invention.
【図４】本発明の他の実施例における被支持部とフォー
クの一部を模式的に示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view schematically showing a supported portion and a part of a fork according to another embodiment of the present invention.
１ 炉芯管 ２ フォーク １０ 横型ＳｉＣボート １１ ボート本体 １２ ウエハ支持部材 １３ スリット １４ 切欠部 １５ 足 １６ 被支持部 ２０ シリコンウエハ◆ 1 Furnace Core Tube 2 Fork 10 Horizontal SiC Boat 11 Boat Body 12 Wafer Supporting Member 13 Slit 14 Notch 15 Foot 16 Supported Part 20 Silicon Wafer ◆
Claims (1)
び搬出する構成の横型ＳｉＣボートにおいて、フォーク
に支持される被支持部（１６）を設け、被支持部（１
６）がボートの底方向に向って突出していることを特徴
とする横型ＳｉＣボート。1. A horizontal SiC boat configured to be supported by a fork and carried in and out of a heat treatment apparatus, wherein a supported part (16) supported by the fork is provided, and the supported part (1) is provided.
6) A lateral type SiC boat characterized in that 6) projects toward the bottom of the boat.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12663392A JPH05299368A (en) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | Lateral type sic boat |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12663392A JPH05299368A (en) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | Lateral type sic boat |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299368A true JPH05299368A (en) | 1993-11-12 |
Family
ID=14940028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12663392A Pending JPH05299368A (en) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | Lateral type sic boat |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299368A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009111064A (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Covalent Materials Corp | Boat for lateral wafer |
-
1992
- 1992-04-21 JP JP12663392A patent/JPH05299368A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009111064A (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Covalent Materials Corp | Boat for lateral wafer |
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