JPH0529442A - テ−ブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 空気ばねによって保持された定盤上に、略同
じ質量を有する主テ−ブル２２と第１のスライダ７（副
テ−ブル）を１方向にスライド自在に設け、この主テ−
ブル２２と第１のスライダ７を第１、第２の連結手段１
６、２０（ベルト１９）で連結し、連動して互いに反対
方向へ同量ずつ移動するように構成した。 【効果】 上記主テ−ブルおよび副テ−ブルを作動させ
てもテ−ブル装置の重心位置は変化せず、バランスを保
つことができるから、上記主テ−ブルおよび副テ−ブル
が傾くことが有効に防止され、より高精度な位置決めを
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体装置の
製造装置において、ウエハを保持するテ−ブル装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体露光装置は、反射光学系
を採用し、例えば超高圧Ｈｇランプから所定波長のスペ
クトルを取り出し、これをコンデンサレンズを通してマ
スクパタ−ンが形成されたレチクル（マスク）に照射す
る。そして、上記露光装置は、上記レチクルを通過した
マスクパタ−ンを、縮小投影レンズにより縮小し位置決
めテ−ブル上に載置されたウエハに投影する。このこと
で、上記ウエハには上記マスクパタ−ンの一部が露光さ
れる。

【０００３】さらに、上記露光装置は、上記ウエハに上
記マスクパタ−ン全体を露光するために、上記位置決め
テ−ブルを駆動し、上記ウエハを所定方向に逐次位置決
め駆動する。そして、上記露光装置は、ウエハを位置決
めするごとに上記反射光学系をＯＮ状態にすることで、
上記ウエハの略全面に亘って高精度に上記マスクパタ−
ンを露光する。また、上記露光装置は、重ね合わせ露光
を行う。すなわち、ウエハの同じ部位に何度も重ねて露
光を行うことによって回路パタ−ンを形成する。

【０００４】このため、上記ウエハとレチクル（マス
ク）が高精度に位置決めされることが要求されるので、
上記位置決めテ−ブルにはかなりの位置決め精度が要求
される。また、この位置決めテ−ブルは外乱により上記
レチクルと上記ウエハとに位置ずれが生じるのを防止す
るために、空気ばねなどから構成される防振台の上面に
載置されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な構成によれば、上記位置決めテ−ブルが駆動される
と、上記位置決めテ−ブルの重心が移動し、この位置決
めテ−ブルが上記防振台上で傾くことがある。このと
き、上記防振台はこれを修正するために、上記位置決め
テ−ブルを上方向に押し戻そうとする。このことで上記
防振台に振動が生じ、上記ウエハと上記レチクルに位置
ずれが生じ、正確な重ね合わせ露光ができないという不
都合が生じる。この発明は、このような事情に鑑みてな
されたもので、テ−ブルが移動しても重心が移動しない
テ−ブル装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、第１に、基
体と、この基体上に往復移動自在に設けられた主テ−ブ
ルと、上記基体上に往復移動自在に設けられ、上記主テ
−ブルと略同じ質量を有する副テ−ブルと、上記主テ−
ブルと副テ−ブルとを、連動して互いに反対方向に同量
ずつ移動するように連結した連結手段と、上記連結手段
を作動させ、主テ−ブルと副テ−ブルとを互いに反対方
向に駆動する駆動手段とを備えることを特徴とする。第
２に、上記第１の手段において、上記副テ−ブルは、主
テ−ブルの移動方向と平行にその両隣りに対称的に一つ
ずつ配置されていることを特徴とする。第３に、上記第
１の手段において、上記副テ−ブルは、主テ−ブルの下
部に配設されていることを特徴とする。第４に、上記第
１の手段において、上記連結手段は、主テ−ブルおよび
副テ−ブルを接続するベルトまたはワイヤを有すること
を特徴とする。第５に、上記第１の手段において、上記
駆動手段は、送りねじまたはリニアモ−タであることを
特徴とする。

【０００７】

【作用】このような構成によれば、上記主テ−ブルと上
記副テ−ブルは連動して反対方向に移動するので装置全
体の重心位置を略定位置に保つことができる。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１、図２を参
照して説明する。

【０００９】この発明のテ−ブル装置１は、上面２ａが
平坦に形成された基体としての矩形板状の定盤２を有す
る。この定盤２は空気ばね（防振台）３…によって保持
され、上面２ａは水平に保たれている。

【００１０】この定盤２の上面には、この定盤２の中心
線ｅに線対称に配置された一対の第１のガイドレ−ル
４、４が固定されている。また、上記定盤２の第１のガ
イドレ−ル４、４の外側の上面２ａには、上記中心線ｅ
に線対称に配置された一対の第２のガイドレ−ル５、５
が固定されている。

【００１１】上記一対の第１のガイドレ−ル４、４に
は、副テ−ブルとしての矩形板状の第１のスライダ７が
この第１のガイドレ−ル４、４に沿ってスライド自在に
取り付けられている。すなわち、この第１のスライダ７
は、下端面に上記一対の第１のガイドレ−ル４、４と係
合する一対の凹溝７ａ、７ａを有し、この凹溝７ａを上
記一対の第１のガイドレ−ル４にスライド自在に係合さ
せて取り付けられている。

【００１２】さらに、上記第１のスライダ７には軸線を
上記中心線ｅに一致させて設けられた駆動手段としての
ボ−ルねじ機構８が設けられている。上記第１のスライ
ダ７はこのボ−ルねじ機構８のナットを構成するめねじ
孔７ｂを有する。そして、このめねじ孔７ｂには上記ボ
−ルねじ機構８の上記中心線ｅに軸線を一致させたねじ
軸９が回転自在に螺挿されている。

【００１３】上記ねじ軸９の両端部は、一対の支持板１
０、１０によって回転自在に支持されている。また、上
記ねじ軸９の一端は、一方の支持板１０に上記ねじ軸９
と軸線を一致させて取り付けられ上記ボ−ルねじ機構８
の駆動源を構成するステッピングモ−タ１２の駆動軸に
連結されている。したがって、このステッピングモ−タ
１２を作動させることで、上記ねじ軸９は回転駆動さ
れ、上記第１のスライダ７は上記第１のガイドレ−ル
４、４に沿ってスライド移動する。

【００１４】また、上記一対の第２のガイドレ−ル５、
５には、同形状、同質量に形成された第２のスライダ１
３および第３のスライダ１４が、上記一対の第２のガイ
ドレ−ル５、５にそれぞれスライド自在に取り付けられ
ている。すなわち、上記第２、３のスライダ１３、１４
は、下端面に上記第２のガイドレ−ル５と係合する凹溝
１３ａ、１４ａを有する。そして、これら第２、第３の
スライダ１３、１４は、上記凹溝１３ａ、１４ａを上記
一対の第２のガイドレ−ル５、５にそれぞれスライド自
在に係合させて取り付けられている。

【００１５】さらに、上記第１のスライダ７と第２のス
ライダ１３の間には、この第１のスライダ７と第２のス
ライダ１３を連結する第１の連結手段１６が設けられて
いる。この第１の連結手段１６は、第１、第２のロ−ラ
１７、１８およびこの第１、第２のロ−ラ１７、１８に
張設されたベルト１９とからなる。

【００１６】上記第１、第２のロ−ラ１７、１８は、そ
れぞれ、上記定盤２の上面２ａの上記第１、第２のガイ
ドレ−ル４、５の一端および他端に対応する部位に軸線
を垂直にして回転自在に設けられている。

【００１７】そして、この第１、第２のロ−ラ１７、１
８に張設されたベルト１９の外面は、上記第１のスライ
ダ７および第２のスライダ１３が伴に上記定盤２の長手
方向中央部に位置している状態で、それぞれ上記第１の
スライダ７の一側面および第２のスライダ１３の一側面
に固着されている。すなわち、上記第１、第２のスライ
ダ７、１３は、上記ベルト１９によって、連動して互い
に反対方向に移動するように連結されている。

【００１８】また、上記第１のスライダ７と上記第３の
スライダ１４の間にも、上記第１の連結手段１６と同様
に、上記第１のスライダ７と第３のスライダ１４を連動
して互いに反対方向に移動するように連結する第２の連
結手段２０が設けられている。この第２の連結手段２０
は上記第１の連結手段１６と同じ構成を有するものであ
るので同一符号を付して説明を省略する。

【００１９】さらに、上記第２、第３のスライダ１３、
１４には上面を載置面２１ａとするテ−ブル本体２１が
取り付けられる。すなわち、図２に示すように、上記テ
−ブル本体２１は上記第２、第３のスライダ１３、１４
と伴に上記定盤２の長手方向に沿って往復移動し、かつ
上記第１のスライダ７とは非接触なように設けられてい
る。そして、上記第２、第３のスライダ１３、１４とこ
のテ−ブル本体２１とでこの発明の主テ−ブル２２を構
成している。また、この主テ−ブル２２全体の質量は上
記第２のスライダ７（副テ−ブル）の質量と略同じくな
るように調整されている。次に、このテ−ブル装置１の
動作を図２を参照して説明する。

【００２０】このテ−ブル装置１は、上記テ−ブル本体
２１の載置面２１ａに被処理物、被測定物等を保持す
る。そして、この被処理物、被測定物等を位置決め駆動
するときには、上記テ−ブル装置１は、上記ステッピン
グモ−タ１２を作動させる。このことで、ボ−ルねじ機
構８によって上記第１のスライダ７（副テ−ブル）が、
第１のガイドレ−ル４に沿って例えば図２に矢印イで示
す方向に移動する。上記第２、第３のスライダ１３、１
４は、上記第１、第２の連結手段１６、２０によって、
第１のスライダ７と反対の方向に駆動される。このこと
で上記主テ−ブル２２は矢印ロで示す方向に移動する。

【００２１】このとき、上記第１のスライダ７（副テ−
ブル）と主テ−ブル２２とは同じ量だけ反対方向に移動
することになるので、このテ−ブル装置１全体の重心位
置は変化せず、バランスを保つことができる。

【００２２】このような構成によれば、重心位置がずれ
ることによって定盤２が傾くということを有効に防止す
ることができる。したがって、上記主テ−ブル２２の上
面（テ−ブル本体２１の載置面２１ａ）を常に水平状態
に保つことが可能であり、例えば、上記半導体露光装置
の場合には、ウエハに重ね合わせ露光をする場合でも、
露光位置がずれることが少ないのでより正確な露光を行
うことが可能である。なお、この発明は上記一実施例に
限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲
で種々変形可能である。

【００２３】例えば、上記一実施例では、上記第２、第
３のスライダ１３、１４の上面に上記テ−ブル本体を載
せ、これを主テ−ブル２２としたが、他の実施例とし
て、図３に示すように、上記第１のスライダ７の上面に
テ−ブル本体２１´を載せ、このテ−ブル本体２１´と
上記第１のスライダ７を主テ−ブル２２´とし、上記第
２、第３のスライダ１３、１４を副テ−ブルとするよう
にしても良い。

【００２４】この場合にも、上記副テ−ブル（第２、第
３のスライダ１３、１４）および上記主テ−ブル２２´
の質量を調整して、これらの質量が略等しくなるように
する必要がある。さらに、他の実施例として図４に示す
ような構成にしても良い。この実施例のテ−ブル装置１
´においては、主テ−ブル２３の下側に副テ−ブル２４
が設けられている。

【００２５】すなわち、上記主テ−ブル２３と副テ−ブ
ル２４は上下方向に平行に配置され、それぞれ定盤に固
定された図示しないガイドレ−ルによって図に矢印で示
す方向に往復移動自在に保持されている。また、上記主
テ−ブル２３と副テ−ブル２４は略同じ質量に形成され
ている。

【００２６】上記主テ−ブル２３にはこの主テ−ブル２
３を矢印で示す方向に駆動するボ−ルねじ機構２５が設
けられている。さらに、上記主テ−ブル２３と副テ−ブ
ル２４とは上記一実施例と同じように上記ボ−ルねじ機
構２５の両端部付近に配置された一対のロ−ラ２６、２
６に張設されたベルト２７によって互いに反対方向に連
動するように連結されている。

【００２７】このような構成によれば、上記主テ−ブル
２３を移動させた場合でも、副テ−ブル２４が連動して
反対方向に移動することで、このテ−ブル装置１´は常
にバランスがとられ、重心を定位置に保つことができ
る。このことで、このテ−ブル装置１´が防振台等に支
えられている場合でも上記主テ−ブル２３および副テ−
ブル２４が傾くことが有効に防止される。

【００２８】また、上記一実施例および、他の実施例に
おいては、上記テ−ブル装置１は露光装置に用いられる
場合を示したがこれに限定されるものではなく、高精度
で位置決めが要求される被駆動部材（例えば測定物）を
保持するテ−ブル装置であればその用途は問うものでは
ない。

【００２９】さらに、上記一実施例および他の実施例で
は連結手段としてベルト１９（１７）を用いたがベルト
に限定されるものではなく、例えば上記第１、第２のロ
−ラ１７（２６）、１８（２６）をスプロケットにし
て、このスプロケット間にチェ−ンを張設し、このチェ
−ンによって上記主テ−ブルと副テ−ブルとを連結する
ようにしても良いし、上記第１、第２のロ−ラ１７（２
６）、１８（２６）をリ−ルにして、このリ−ル間にワ
イヤを張設し、このワイヤによって上記主テ−ブルと副
テ−ブルとを連結するようにしても良い。

【００３０】また、上記一実施例および他の実施例にお
いては、駆動手段としてボ−ルねじ機構８（２５）を用
いたが、これに限定されるものではなく例えば図５に示
すようにリニアモ−タ２８を用いるようにしても良い。

【００３１】

【効果】以上述べたように、この発明は、略同じ質量を
有する主テ−ブルおよび副テ−ブルを連結手段によって
連動して互いに反対方向に同量づつ移動するように連結
した

【００３２】このような構成によれば、テ−ブル装置の
重心位置は変化せず、バランスを保つことができるか
ら、上記主テ−ブルおよび副テ−ブルが傾くことが有効
に防止され、より高精度な位置決めを行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す、全体斜視図。

【図２】同じく、動作を説明する斜視図。

【図３】他の実施例を示す全体斜視図。

【図４】同じく他の実施例を示す全体斜視図。

【図５】同じく他の実施例を示す全体斜視図。

【符号の説明】

１…テ−ブル装置、２…定盤、７…第１のスライダ（副
テ−ブル）、８…ボ−ルねじ機構（駆動手段）、１６…
第１の連結手段、１８…第２のロ−ラ、１９…ベルト、
２０…第２の連結手段、２２…主テ−ブル、２８…リニ
アモ−タ。ｅ…中心線、イ、ロ、１…テ−ブル装置、２
…定盤、３…空気ばね、４…第１のガイドレ−ル、５…
第２のガイドレ−ル、７…第１のスライダ、７ａ…凹
溝、７ｂ…めねじ孔、８…ボ−ルねじ機構、９…ねじ
軸、１０…支持板、１２…ステッピングモ−タ、１３…
第２のスライダ、１３ａ…凹溝、１４…第３のスライ
ダ、１４ａ…凹溝、１６…第１の連結手段、１７…第１
のロ−ラ、１８…第２のロ−ラ、１９…ベルト、２０…
第２の連結手段、２１…テ−ブル本体、２２…主テ−ブ
ル

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基体と、この基体上に往復移動自在に設
   けられた主テ−ブルと、上記基体上に往復移動自在に設
   けられ、上記主テ−ブルと略同じ質量を有する副テ−ブ
   ルと、上記主テ−ブルと副テ−ブルとを、連動して互い
   に反対方向に同量ずつ移動するように連結した連結手段
   と、上記連結手段を作動させ、主テ−ブルと副テ−ブル
   とを互いに反対方向に駆動する駆動手段とを備えること
   を特徴とするテ−ブル装置。
2. 【請求項２】 上記副テ−ブルは、主テ−ブルの移動方
   向と平行にその両隣りに対称的に一つずつ配置されてい
   ることを特徴とする請求項１記載のテ−ブル装置。
3. 【請求項３】 上記副テ−ブルは、主テ−ブルの下部に
   配設されていることを特徴とする請求項１記載のテ−ブ
   ル装置。
4. 【請求項４】 上記連結手段は、主テ−ブルおよび副テ
   −ブルを接続するベルトまたはワイヤを有することを特
   徴とする請求項１記載のテ−ブル装置。
5. 【請求項５】 上記駆動手段は、送りねじまたはリニア
   モ−タであることを特徴とする請求項１記載のテ−ブル
   装置。