JPH0528436A - 磁気抵抗効果型ヘツド - Google Patents

磁気抵抗効果型ヘツド

Info

Publication number
JPH0528436A
JPH0528436A JP3179741A JP17974191A JPH0528436A JP H0528436 A JPH0528436 A JP H0528436A JP 3179741 A JP3179741 A JP 3179741A JP 17974191 A JP17974191 A JP 17974191A JP H0528436 A JPH0528436 A JP H0528436A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
effect element
magnetic
magnetoresistive
layer
bias layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3179741A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Kanai
均 金井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP3179741A priority Critical patent/JPH0528436A/ja
Publication of JPH0528436A publication Critical patent/JPH0528436A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気抵抗効果素子の電流方向と直交する方向の
幅を正確な所定幅に形成し、磁気抵抗効果素子の抵抗値
のばらつきを生じないようにすることである。 【構成】非磁性金属層2を挟んで磁気抵抗効果素子1と
強磁性体からなるバイアス層3を積層し、これに導体層
4を通してセンス電流Jを流し、このセンス電流Jによ
り前記バイアス層3が形成する磁界により前記磁気抵抗
効果素子1にバイアス磁界を印加する磁気抵抗効果型ヘ
ッドにおいて、磁気抵抗効果素子1を所定の矩形状に形
成し、バイアス層3を、前記磁気抵抗効果素子1の電流
方向と直交する方向の幅hよりも磁気記録媒体との対向
面側に突出させて形成し、この磁気記録媒体との対向面
に露出した突出部3aを有するバイアス層3を、磁気記
録媒体からの信号磁界の伝播路として形成したことを特
徴とする磁気抵抗効果型ヘッドとしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスク装置や
磁気テープ装置などに用いる薄膜磁気ヘッド、特に磁気
抵抗効果型ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、コンピュータシステムの外部記憶
装置である磁気ディスク装置の小型化・大容量化に伴
い、磁気ディスク装置で用いる薄膜磁気ヘッドの高性能
化が要求されている。この要求を満足させるものとし
て、磁気ディスクの回転速度に依存せずに高出力が得ら
れる磁気抵抗効果型ヘッドが注目されている。
【0003】図5は従来の磁気抵抗効果型ヘッドの要部
を拡大して示した斜視図、図6はその側断面図であり、
8はニッケル鉄(NiFe)などの強磁性体からなる矩形の
磁気抵抗効果素子、9はチタン(Ti)、タングステン
(W)、またはモリブデン(Mo)などからなる非磁性金属
層、10はコバルト(Co)系非晶質磁性膜あるいはニッケ
ル・鉄・ロジウム(NiFeRh)磁性膜または窒化鉄膜(FeN)
などの強磁性体膜からなるバイアス層であり、これらは
スパッタリングなどの真空蒸着技術により順次積層形成
され、磁気ディスクとの対向面14において端部が揃っ
て形成されている。
【0004】非磁性金属層9は、磁気抵抗効果素子8と
バイアス層10との間で磁気交換結合を避けるために設
けたスペーサの役目をなす。11は金(Au)膜からなる引
き出し導体層、12は非磁性絶縁層、13a,13bは
ニッケル鉄(NiFe)などの強磁性体からなる磁気シール
ド層である。
【0005】磁気抵抗効果素子8およびバイアス層10
は、その長手方向(y軸方向)に磁化容易軸が一致する
ように矩形に形成されている。引き出し導体層11は、
磁気抵抗効果素子8の長手方向に対して所定幅(磁気デ
ィスクのトラック幅に相当)で切除されて、磁気抵抗効
果素子8の両端部に接合している。
【0006】磁気抵抗効果素子8,非磁性金属層9,バ
イアス層10,および引き出し導体層11は、二つの磁
気シールド層13a,13bの間(再生ギャップに相
当)に配置されるが、非磁性絶縁層12を介して磁気シ
ールド層13a,13bと電気的に絶縁されている。こ
れらは、たとえば磁気シールド層13a側から順次積層
され、さらに、図6に示すように、磁気ディスクとの対
向面14が、点線で示す寸法からラッピング加工によっ
て、磁気抵抗効果素子8の電流方向と直交する方向の幅
(高さ)hが所定値になるように加工されて磁気抵抗効
果型ヘッドが形成される。
【0007】センス電流jは、図5に示すように、引き
出し導体層11を通して磁気抵抗効果素子8と非磁性金
属層9およびバイアス層10に流れ、引き出し導体層1
1で画定される長方形の磁気抵抗効果素子8の信号検知
領域8aに流れる。また、非磁性金属層9を流れる電流
が作る磁界、ならびに磁気抵抗効果素子8と非磁性金属
層9を流れる電流が作る磁界により磁化したバイアス層
10からの漏洩磁界、の二つの磁界によって磁気抵抗効
果素子8はバイアス磁界を受ける。これにより、磁気抵
抗効果型ヘッドは、ヘッド真下の磁気ディスクからの信
号磁界に対して線型動作し、この信号検知領域8aの抵
抗変化に変換して、磁気ディスクに残留磁化の形で記録
された情報を読取る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の磁気
抵抗効果型ヘッドにおいては、前記磁気抵抗効果素子8
の電流方向と直交する方向の幅(高さ)hは、ラッピン
グ加工により規定されるものであるが、この幅hは3〜
5μmという小さな値であるのに対し、ラッピング加工
精度は±1μm程度の加工誤差があり、この誤差は前記
磁気抵抗効果素子8の幅hを規定するには影響が大き
く、この幅hを精度よく所望の値にすることは困難であ
った。このため磁気抵抗効果素子8の幅hの加工のばら
つきが磁気抵抗効果素子8の抵抗値のばらつきとなり、
これは磁気抵抗効果型ヘッド毎の再生出力に大きなばら
つきを生じるという問題があった。
【0009】この発明は、磁気抵抗効果型ヘッドの磁気
ディスクとの対向面のラッピング加工誤差が、磁気抵抗
効果素子の電流方向と直交する方向の規定された幅(高
さ)hに影響を与えずに、正確な設定幅を形成すること
ができ、磁気抵抗効果素子の抵抗値のばらつきのない磁
気抵抗効果型ヘッドを提供することを目的とするもので
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するため、図1の(a)に示すように、非磁性金属
層2を挟んで磁気抵抗効果素子1と強磁性体からなるバ
イアス層3を積層し、これに導体層4を通してセンス電
流Jを流し、このセンス電流Jにより前記バイアス層3
が形成する磁界により前記磁気抵抗効果素子1にバイア
ス磁界を印加する磁気抵抗効果型ヘッドにおいて、磁気
抵抗効果素子1を所定の矩形状に形成し、バイアス層3
を、前記磁気抵抗効果素子1の電流方向と直交する方向
の幅hよりも磁気記録媒体との対向面側に突出させて形
成し、この磁気記録媒体との対向面に露出した突出部3
aを有するバイアス層3を、磁気記録媒体からの信号磁
界の伝播路として形成したことを特徴とする磁気抵抗効
果型ヘッドとしたものである。
【0011】また、図1の(b)に示すように、前記磁
気抵抗効果素子1の電流方向と直交する方向の幅hより
も磁気記録媒体との対向面側に突出させて形成したバイ
アス層3の突出部3aを、磁気抵抗効果素子1の信号検
知領域1aに近接した部分のみとしたことを特徴とする
磁気抵抗効果型ヘッドとしたものである。
【0012】
【作用】この発明によれば、磁気抵抗効果素子1をフォ
トリソグラフィ技術により所定の矩形に形成し、かつ、
その電流方向と直交する方向の幅hを設計値に正確に形
成し、バイアス層3を磁気記録媒体との対向面側に突出
して形成し、その突出した対向面側をラッピング加工し
て、バイアス層3を磁気記録媒体からの信号磁界の伝播
路としたものであるから、磁気抵抗効果素子1自体はラ
ッピング加工されることなく、フォトリソグラフィ技術
により正確に規定された電流方向と直交する方向の幅を
保持することができるので、磁気抵抗効果素子1の抵抗
値のばらつきがなくなり、磁気抵抗効果型ヘッド毎の再
生出力に大きなばらつきを生じるという問題がなくな
る。
【0013】
【実施例】図2はこの発明の一実施例の概略を示す斜視
図、図3はその要部の側断面図である。これらの図にお
いて、1はニッケル鉄(NiFe)などの強磁性体からなる
矩形の磁気抵抗効果素子であり、フォトリソグラフィ技
術により正確に矩形に形成され、その電流方向と直交す
る方向の幅hが設計値に正確に形成されている。2はチ
タン(Ti)、タングステン(W)、またはモリブデン(Mo)
などからなる非磁性金属層、3はコバルト(Co)系非晶質
磁性膜あるいはニッケル・鉄・ロジウム(NiFeRh)磁性膜
または窒化鉄膜(FeN) などの強磁性体膜からなるバイア
ス層であり、このバイアス層3は前記磁気抵抗効果素子
1の電流方向と直交する方向の幅hよりも大きく作成さ
れ、磁気ディスクとの対向面側に突出している。
【0014】これら磁気抵抗効果素子1と非磁性金属層
2とバイアス層3は積層構造となっており、非磁性金属
層2は磁気抵抗効果素子1とバイアス層3が磁気交換結
合を避けるために設けたスペーサの役目をなす。4は金
(Au)からなる引き出し導体層、5は非磁性絶縁層、6
a,6bはNiFeなどの強磁性体膜からなる磁気シー
ルド層である。
【0015】磁気抵抗効果素子1およびバイアス層3
は、その長手方向(y軸方向)に磁化容易軸が一致する
ように矩形に形成されている。磁気抵抗効果素子1の電
流方向と直交する方向の幅hは設計された所望の値に設
定されるが、バイアス層3の幅は前記幅hよりも大きく
なっている。引き出し導体層4は、磁気抵抗効果素子1
の長手方向に対して所定幅で切除されて、磁気抵抗効果
素子1の両端部に接合されている。
【0016】磁気抵抗効果素子1,非磁性金属層2,バ
イアス層3,および引き出し導体層4は、二つの磁気シ
ールド層6a,6bの間(再生ギャップに相当)に配置
されるが、非磁性絶縁層5を介して磁気シールド層6
a,6bと電気的に絶縁されている。これらは、たとえ
ば磁気シールド層6a側から順次積層され、さらに、図
3に示すように、磁気ディスクとの対向面7はバイアス
層3の突出部3aのみが露出するようにラッピング加工
され、磁気ディスクとの対向面に露出したバイアス層3
が磁気ディスクからの信号磁界の伝播路を形成するよう
にして、磁気抵抗効果型ヘッドが形成される。
【0017】センス電流jは、図2に示すように、引き
出し導体層4を通して磁気抵抗効果素子1と非磁性金属
層2およびバイアス層3に流れ、引き出し導体層4で画
定される長方形の磁気抵抗効果素子1の信号検知領域1
aに流れる。また、非磁性金属層2を流れる電流が作る
磁界、ならびに磁気抵抗効果素子1と非磁性金属層2を
流れる電流が作る磁界とにより磁化したバイアス層3か
らの漏洩磁界、の二つの磁界によって磁気抵抗効果素子
1はバイアス磁界を受ける。これにより、磁気抵抗効果
型ヘッドはヘッド真下の磁気ディスクからの信号磁界に
対して線型動作し、この信号検知領域1aの抵抗変化に
変換して磁気ディスクに残留磁化の形で記録された情報
を読取る。
【0018】図4はこの発明の他の実施例の概略を示す
斜視図であり、前記磁気抵抗効果素子1の電流方向と直
交する方向の幅hよりも磁気ディスクとの対向面側に突
出させて形成したバイアス層3の突出部3aを、磁気抵
抗効果素子1の信号検知領域1aに近接した部分のみと
し、その他の磁気ディスクとの対向部分を後退させて形
成したものである。このようにした場合は、磁気ディス
クの、磁気抵抗効果素子1の信号検知領域1aに隣接し
た、記録トラックからのサイドクロストークを低減する
利点がある。また、この発明の磁気抵抗効果型ヘッド
は、磁気テープにも適用可能である。
【0019】
【発明の効果】この発明の磁気抵抗効果型ヘッドは、磁
気抵抗効果素子を例えばフォトリソグラフィ技術により
所定の矩形に形成し、かつ、その電流方向と直交する方
向の幅を設計値に正確に形成し、バイアス層を磁気記録
媒体との対向面側に突出して形成し、その突出した対向
面側をラッピング加工して、バイアス層を磁気記録媒体
からの信号磁界の伝播路としたものであるから、磁気抵
抗効果素子自体はラッピング加工されることなく、フォ
トリソグラフィ技術により正確に規定された電流方向と
直交する方向の幅を保持することができるので、磁気抵
抗効果素子の抵抗値のばらつきがなくなり、磁気抵抗効
果型ヘッド毎の再生出力に大きなばらつきを生じるとい
う問題がなくなり、安定した再生出力が得られるもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の磁気抵抗効果型ヘッドの概略を示す
斜視図である。
【図2】この発明の磁気抵抗効果型ヘッドの一実施例の
概略を示す斜視図である。
【図3】この発明の磁気抵抗効果型ヘッドの要部の側断
面図である。
【図4】この発明の磁気抵抗効果型ヘッドの他の実施例
の概略を示す斜視図である。
【図5】従来の磁気抵抗効果型ヘッドの概略を示す斜視
図である。
【図6】従来の磁気抵抗効果型ヘッドの要部の側断面図
である。
【符号の説明】
1 磁気抵抗効果素子 1a 信号検知領域 2 非磁性金属層 3 バイアス層 3a 突出部 4 引き出し導体層 5 非磁性絶縁層 6a,6b 磁気シールド層 7 磁気ディスクとの対向面 8 磁気抵抗効果素子 8a 信号検知領域 9 非磁性金属層 10 バイアス層 11 引き出し導体層 12 非磁性絶縁層 13a,13b 磁気シールド層 14 磁気ディスクとの対向面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】非磁性金属層(2)を挟んで磁気抵抗効果
    素子(1)と強磁性体からなるバイアス層(3)を積層
    し、これに導体層(4)を通してセンス電流Jを流し、
    このセンス電流Jにより前記バイアス層(3)が形成す
    る磁界により前記磁気抵抗効果素子(1)にバイアス磁
    界を印加する磁気抵抗効果型ヘッドにおいて、磁気抵抗
    効果素子(1)を所定の矩形状に形成し、バイアス層
    (3)を、前記磁気抵抗効果素子(1)の電流方向と直
    交する方向の幅hよりも磁気記録媒体との対向面側に突
    出させて形成し、この磁気記録媒体との対向面に露出し
    た突出部(3a)を有するバイアス層(3)を、磁気記
    録媒体からの信号磁界の伝播路として形成したことを特
    徴とする磁気抵抗効果型ヘッド。
  2. 【請求項2】前記磁気抵抗効果素子(1)の電流方向と
    直交する方向の幅hよりも磁気記録媒体との対向面側に
    突出させて形成した前記バイアス層(3)の突出部(3
    a)を、磁気抵抗効果素子(1)の信号検知領域(1
    a)に近接した部分のみとしたことを特徴とする請求項
    1に記載の磁気抵抗効果型ヘッド。
JP3179741A 1991-07-19 1991-07-19 磁気抵抗効果型ヘツド Withdrawn JPH0528436A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3179741A JPH0528436A (ja) 1991-07-19 1991-07-19 磁気抵抗効果型ヘツド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3179741A JPH0528436A (ja) 1991-07-19 1991-07-19 磁気抵抗効果型ヘツド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0528436A true JPH0528436A (ja) 1993-02-05

Family

ID=16071059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3179741A Withdrawn JPH0528436A (ja) 1991-07-19 1991-07-19 磁気抵抗効果型ヘツド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0528436A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0694911A2 (en) * 1994-07-29 1996-01-31 Sony Corporation Magnetic resistance type magnetic head and composite type magnetic head for recording/reproducing, and production method for the same
US5661621A (en) * 1994-09-08 1997-08-26 Fujitsu Limited Magnetoresistive head
US6074535A (en) * 1994-09-09 2000-06-13 Fujitsu Limited Magnetoresistive head, method of fabricating the same and magnetic recording apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0694911A2 (en) * 1994-07-29 1996-01-31 Sony Corporation Magnetic resistance type magnetic head and composite type magnetic head for recording/reproducing, and production method for the same
EP0694911A3 (en) * 1994-07-29 1996-04-24 Sony Corp Magnetic resistance and composite type magnetic head for recording and reproducing, manufacturing method therefor
US5661621A (en) * 1994-09-08 1997-08-26 Fujitsu Limited Magnetoresistive head
US6074535A (en) * 1994-09-09 2000-06-13 Fujitsu Limited Magnetoresistive head, method of fabricating the same and magnetic recording apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5668686A (en) Magneto-resistive reading head with reduced side-lobe
US5406433A (en) Dual magnetoresistive head for reproducing very narrow track width short wavelength data
JPS6138525B2 (ja)
JP3180785B2 (ja) ヨーク型磁気抵抗効果ヘッド、ヨーク型磁気抵抗効果複合薄膜ヘッドおよび磁気記憶装置
JPH1186218A (ja) 薄膜磁気ヘッド
KR0145034B1 (ko) 자기 트랜스듀서와, 자기 트랜스듀서를 포함하는 매체 드라이브
EP0372420B1 (en) Magnetic recording-reproducing apparatus and magnetoresistive head for use therewith
JPH0528436A (ja) 磁気抵抗効果型ヘツド
JP2662334B2 (ja) 薄膜磁気ヘッド
Valstyn et al. Performance of single-turn film heads
JPH11175925A (ja) 磁気抵抗効果型素子及び磁気記録再生装置
JP3209290B2 (ja) 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置
JPH0473210B2 (ja)
JP3175176B2 (ja) 磁気抵抗効果型ヘッド
JPH08203032A (ja) 磁気抵抗効果再生ヘッド
JP3082003B2 (ja) 磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法
JPH04298809A (ja) 磁気ヘッド
JPS6112591Y2 (ja)
JPH0546946A (ja) 磁気抵抗効果型ヘツド
JPS61287025A (ja) 磁気抵抗効果型再生ヘツド
JPH05266435A (ja) 薄膜磁気ヘッド
JPS60115014A (ja) 垂直磁化用磁気ヘッド
JPH0115927B2 (ja)
JPH06187615A (ja) 磁気抵抗効果再生ヘッド
JP2002367122A (ja) 磁気ヘッドおよびこれを用いた磁気記録再生装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19981008