JPH0528394Y2 - - Google Patents

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JPH0528394Y2
JPH0528394Y2 JP5264088U JP5264088U JPH0528394Y2 JP H0528394 Y2 JPH0528394 Y2 JP H0528394Y2 JP 5264088 U JP5264088 U JP 5264088U JP 5264088 U JP5264088 U JP 5264088U JP H0528394 Y2 JPH0528394 Y2 JP H0528394Y2
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casing
scroll
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oil
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば全系回転形スクロール真空ポ
ンプに使用されるスクロール流体機械の改良に関
するものである。
〔従来の技術〕
第2図例えば特開昭55−46081号公報に示され
た従来のスクロール流体機械の実施例を示す断面
図であり、図において、1は下部に潤滑油10が
収容されたケーシング、2はこのケーシング1内
に配置されたモートルで、回転軸2aには軸方向
に貫通する油通路2bが形成され、上記潤滑油1
0内に位置されている。3はケーシング1内に結
合されたフランジ、4はこのフランジ3に結合さ
れ、上記回転軸2aを回転自在に支承する軸受支
え、5はこの軸受支え4に結合された固定スクロ
ール、6はこの固定スクロール5に対し旋回動作
し得るように上記回転軸2aにより偏心回転され
る揺動スクロール、7は上記固定スクロール5内
に連通した吸気口、8は上記固定スクロール5と
上記揺動スクロール6にて圧縮された空気を排気
する排気口、9は上記フランジ3を上下に貫通
し、軸受支え4の上部の潤滑油を下方へ戻す戻し
穴である。
次に動作について説明する。
モートル2を回転させると揺動スクロール6が
公転し、吸気口7から気体を取り入れ、スクロー
ル部で気体を圧縮し、排気口8よりケーシング1
外へ排気する。ケーシング1の下部に貯えられた
油はケーシング1内の圧力差により、油通路2b
を介してスクロール部に達し、各部の潤滑をしな
がら油の戻し穴9から元に戻される。
〔考案が解決しようとする課題〕
従来のスクロール流体機械は以上のように構成
されているので、この種の流体機械を真空ポンプ
として利用した場合、狭隙からの気体のリーク防
止や軸受け、継ぎ手などの潤滑のために、油を使
用するのが一般的に行なわれている。ところが、
前述したように従来の装置ではスクロールの回転
で油が充満しているスクロールの近辺に吸気口が
もうけられているために、この油が逆流して接続
された真空容器を汚染するという課題があつた。
この考案は、上記の課題を解決するためになさ
れたもので、接続された真空容器側に油が逆流し
ないスクロール流体機械を得ることを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
この考案に係わるスクロール流体機械は、一対
のスクロールが配置された下部ケーシング、潤滑
油が収容されて上記下部ケーシングに気密に結合
され、内部には上記一対のスクロールから圧縮空
気が排出される上部ケーシング、この上部ケーシ
ングに設けられ、上記上部ケーシング内の気体を
排出する排気口、上記下部ケーシングから離間し
て上記上部ケーシングに設けられ、真空容器内と
連通する吸気口、上記上部ケーシング内とは水密
に仕切られて上記上部ケーシングに設けられ、上
記吸気口と上記下部ケーシング内とを連通する吸
気通路を備えたものである。
〔作用〕
この考案におけるスクロール流体機械は、下部
ケーシングから離間した上部ケーシングの吸気口
と、吸気通路とを介して真空容器内の気体が吸気
とされ、下部ケーシング内の一対のスクロールの
動作により、その気体が圧縮され、上部ケーシン
グ内を介して排気口から気体外へと排出される。
〔考案の実施例〕
第1図はこの考案の一実施例を示す部分断面図
で、11はモートルで回転軸11aが下方へ突出
している。12はこのモートル11に結合された
上部ケーシングで、上部外側の一方に排気口13
が装着されると共に他方に真空容器14と連通す
る吸気口15が装着されている。12aは上部ケ
ーシング12内と仕切られて上端が上記吸気口1
5と連通すると共に下方が開口した垂直状の吸気
通路、16は上記上部ケーシング12の下部に結
合された下部ケーシング、17はこの下部ケーシ
ング16の下部に結合された下部カバー、18は
下部ケーシング16内に配置される駆動スクロー
ルで、軸部18aが下部ケーシング16と上部ケ
ーシング12に軸受20,23を介して回転自在
に支承されている。21は上記駆動スクロール1
8と協働する従動スクロールで、軸部21aが下
部カバー17に軸受22を介し、上記駆動スクロ
ール18の軸心に対して偏心した位置にて回転自
在に支承されている。24は上記駆動スクロール
18と上記従動スクロール21とを互に旋回自在
に連結する継手、25は回転軸11aと軸部18
aとを連結するカツプリングでフアン25aと兼
用されている。26は上部ケーシング12と下部
ケーシング16間をシールするOリング、27は
吸気通路、12aを上部ケーシング12内から仕
切るOリング、28は下部ケーシング16と下部
ケーシング17間をシールするOリング、29は
軸部18aに形成された排気通路で潤滑油30の
油面の上部に開口している。31,32は上部ケ
ーシング12と下部ケーシング16間を封止する
オイルシールである。
上記のように構成されたものにおいては、モー
トル11の回転により、駆動スクロール18が回
転すると共に継手24を介して従動スクロール2
1が偏心回転するので、各スクロール18,21
で圧縮された気体が、排気通路29を介して上部
ケーシング12内に吐出される。このため、真空
容器14内の気体は吸気口15→吸気通路12a
→下部ケーシング16を経て、各スクロール1
8,21内へと吸込まれ、上記の様に、上部ケー
シング12内へ吐出される。また、上部ケーシン
グ12内の気体は排気口13を介して気体外へと
排気される。
一方向、上部ケーシング12と下部ケーシング
16の上部とで構成された油タンク内の潤滑油3
0は図示しない油自動供給装置により各スクロー
ル18,21内へ供給され、潤滑とシール機能を
果すことになる。なお、各スクロール18,21
内に供給された潤滑油は気体と共に排気通路29
から排出されるが、一部の油か下部ケーシング9
内に残留され、下部ケーシング16内の継手24
や軸受22の潤滑を行なう。ところで、下部ケー
シング16内の潤滑油は、その量が増えると、各
スクロール18,21に吸込まれるため、通常は
継手24が若干漬かる程度で一定量を保つが、運
転中には継手24によつて攪拌され、円周方向に
振り切られて下部ケーシング16内は油沫で充満
され、更に、壁面に付着した油は壁面を伝つて下
方へ流れ落ち、下方に溜ることになる。また、吸
気通路12aは垂直状に構成されているため、上
方に飛散した油沫も吸気口15に達することがな
く、容易に下方へと落下する。
〔考案の効果〕 以上のようにこの考案は、一対のスクロールが
配置された下部ケーシング、潤滑油が収容されて
上記下部ケーシングに気密に結合され、内部には
上記一対のスクロールから圧縮空気が排出される
上部ケーシング、この上部ケーシングに設けら
れ、上記上部ケーシング内の気体を排出する排気
口、上記下部ケーシングから離間して上記上部ケ
ーシングに設けられ、真空容器内と連通する吸気
口、上記上部ケーシング内とは気密に仕切られて
上記上部ケーシングに設けられ、上記吸気口と上
記下部ケーシング内とを連通する吸気通路を備え
たので、吸気口から気体外へ油が流出することを
確実に防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
2図は従来装置の断面図である。 図中、12は上部ケーシング、12aは吸気通
路、13は排気口、15は吸気口、16は下部ケ
ーシング、17は下部カバー、18は駆動スクロ
ール、21は従動スクロールである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一対のスクロールが配置された下部ケーシン
    グ、潤滑油が収容されて上記下部ケーシングに気
    密に結合され、内部には上記一対のスクロールか
    ら圧縮空気が排出される上部ケーシング、この上
    部ケーシングに設けられ、上記上部ケーシング内
    の気体を排出する排気口、上記下部ケーシングか
    ら離間して上記上部ケーシングに設けられ、真空
    容器内と連通する吸気口、上記上部ケーシング内
    とは気密に仕切られて上記上部ケーシングに設け
    られ、上記吸気口と上記下部ケーシング内とを連
    通する吸気通路を備えたスクロール流体機械。
JP5264088U 1988-04-18 1988-04-18 Expired - Lifetime JPH0528394Y2 (ja)

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JP5264088U JPH0528394Y2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18

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JP5264088U JPH0528394Y2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01158585U JPH01158585U (ja) 1989-11-01
JPH0528394Y2 true JPH0528394Y2 (ja) 1993-07-21

Family

ID=31278646

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JP5264088U Expired - Lifetime JPH0528394Y2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18

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JPH01158585U (ja) 1989-11-01

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