JPH05266840A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
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- JPH05266840A JPH05266840A JP4061839A JP6183992A JPH05266840A JP H05266840 A JPH05266840 A JP H05266840A JP 4061839 A JP4061839 A JP 4061839A JP 6183992 A JP6183992 A JP 6183992A JP H05266840 A JPH05266840 A JP H05266840A
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- Japan
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- electron beam
- axis
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Abstract
(57)【要約】
【目的】走査形電子顕微鏡に関して、電気的な手段で軸
調整を行うことにより、高い操作性を持つ走査形電子顕
微鏡を提供することを目的とする。 【構成】電子源１と対物レンズ４の間に上軸調整コイル
Ｘ２０と上軸調整コイルＹ２１，下軸調整コイルＸ３２
と下軸調整コイルＹ３３を配置し、この軸調整コイルに
直流信号と偏向信号とを重畳させて印加することで構成
される。 【効果】絞り及びレンズに対して軸ずれをおこしている
電子線を、電気的な手段により軸調整を行うため、軸調
整に必要な時間を大幅に減少できる。また自動的に軸調
整をすることも可能なため、操作性の高い装置を提供す
ることができる。
調整を行うことにより、高い操作性を持つ走査形電子顕
微鏡を提供することを目的とする。 【構成】電子源１と対物レンズ４の間に上軸調整コイル
Ｘ２０と上軸調整コイルＹ２１，下軸調整コイルＸ３２
と下軸調整コイルＹ３３を配置し、この軸調整コイルに
直流信号と偏向信号とを重畳させて印加することで構成
される。 【効果】絞り及びレンズに対して軸ずれをおこしている
電子線を、電気的な手段により軸調整を行うため、軸調
整に必要な時間を大幅に減少できる。また自動的に軸調
整をすることも可能なため、操作性の高い装置を提供す
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絞りあるいは類似の形
状の物体を有するすべての走査形電子顕微鏡において、
電子線を適切な位置に移動することに関する。
状の物体を有するすべての走査形電子顕微鏡において、
電子線を適切な位置に移動することに関する。
【０００２】
【従来の技術】走査形電子顕微鏡で用いられる電子銃
は、電子を引き出す引出電極と引き出された電子を加速
する加速電極を有している。一般にこれらの電極は静電
レンズとして作用するために、二つの電極に印加される
電圧の比が変化すると光学系の軸ずれが発生する。軸ず
れが発生すると、光学軸上にある絞り等によって電子線
が遮断されるといった問題や、分解能の低下といった問
題が発生する。
は、電子を引き出す引出電極と引き出された電子を加速
する加速電極を有している。一般にこれらの電極は静電
レンズとして作用するために、二つの電極に印加される
電圧の比が変化すると光学系の軸ずれが発生する。軸ず
れが発生すると、光学軸上にある絞り等によって電子線
が遮断されるといった問題や、分解能の低下といった問
題が発生する。
【０００３】この問題を解決する手段として、実開昭58
−174852号公報に記載されているように、電子線を偏向
し、特定の位置を通過させるための偏向器を持つ構造が
考案されている。これは、偏向器に直流信号と偏向信号
に同期した交流信号を流し、ＣＲＴなどの表示器に表示
された像を直流信号を変化させることでＣＲＴの中心に
移動させ、軸調整を行うものである。この構造は、表示
器に表示された像をＣＲＴ中心に移動することのみが記
述されている。しかし、ＣＲＴ中心に像を移動するため
の目標物がないため、実際には精度よく軸調整を行えな
いという問題がある。
−174852号公報に記載されているように、電子線を偏向
し、特定の位置を通過させるための偏向器を持つ構造が
考案されている。これは、偏向器に直流信号と偏向信号
に同期した交流信号を流し、ＣＲＴなどの表示器に表示
された像を直流信号を変化させることでＣＲＴの中心に
移動させ、軸調整を行うものである。この構造は、表示
器に表示された像をＣＲＴ中心に移動することのみが記
述されている。しかし、ＣＲＴ中心に像を移動するため
の目標物がないため、実際には精度よく軸調整を行えな
いという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電子光学系
で発生した軸ずれを電気的に精度良く補正し、かつ補正
量を自動的に設定することで、操作性の高い走査形電子
顕微鏡を提供することにある。
で発生した軸ずれを電気的に精度良く補正し、かつ補正
量を自動的に設定することで、操作性の高い走査形電子
顕微鏡を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目標を達成するため
に、電子銃と絞りあるいは類似形状の物体の間、及び絞
りと対物レンズの間に電子線を偏向するための静電また
は磁界による偏向器を配置し、それぞれの偏向器に直流
信号と交流信号を流すことで画面上に電子線位置を表示
でき、また画面上に表示された目標物に電子線像を移動
することで軸調整ができ、更に画面上の電子線位置から
偏向器に加える直流信号を自動的に設定できるようにし
たものである。
に、電子銃と絞りあるいは類似形状の物体の間、及び絞
りと対物レンズの間に電子線を偏向するための静電また
は磁界による偏向器を配置し、それぞれの偏向器に直流
信号と交流信号を流すことで画面上に電子線位置を表示
でき、また画面上に表示された目標物に電子線像を移動
することで軸調整ができ、更に画面上の電子線位置から
偏向器に加える直流信号を自動的に設定できるようにし
たものである。
【０００６】
【作用】電子銃と対物レンズの間に配置された複数の偏
向器には、電子線を試料上で走査するための偏向信号に
同期した交流信号と、電子線を恒常的に偏向するための
直流信号を重畳して流すことができる。光学系で軸ずれ
が発生した場合、光軸の目標中心位置が表示されている
画面上に絞りあるいはレンズ位置における電子線像を表
示する。偏向器に流されている直流信号を変化させ、電
子線像を目標中心位置と一致させることで、電子線を絞
りあるいはレンズに対して適切な位置に移動することが
できる。また、画面上に表示された電子線位置と直流信
号値を対応させることで、電子線位置を自動的に適切な
位置に設定することができる。したがって、非常に高い
操作性を実現することができる。
向器には、電子線を試料上で走査するための偏向信号に
同期した交流信号と、電子線を恒常的に偏向するための
直流信号を重畳して流すことができる。光学系で軸ずれ
が発生した場合、光軸の目標中心位置が表示されている
画面上に絞りあるいはレンズ位置における電子線像を表
示する。偏向器に流されている直流信号を変化させ、電
子線像を目標中心位置と一致させることで、電子線を絞
りあるいはレンズに対して適切な位置に移動することが
できる。また、画面上に表示された電子線位置と直流信
号値を対応させることで、電子線位置を自動的に適切な
位置に設定することができる。したがって、非常に高い
操作性を実現することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１，図２，図３，
図４，図５，図６，図７及び図８を用いて説明する。図
１は、本発明の全体の構成図である。電子源１からでた
電子線２は、絞り３を通過した後、対物レンズ４によっ
て収束され試料５上に照射される。途中、電子線２はＸ
偏向コイル６及びＹ偏向コイル７によって試料５の上を
二次元的に走査される。試料５から発生した二次電子８
は二次電子検出器９によって検出され、信号増幅回路１
０によって増幅されたのち輝度信号としてＣＲＴ１１に
供給される。Ｘ走査信号発生回路１２からは、Ｘ走査信
号増幅回路１３を通してＣＲＴ１１のＸ走査コイル１４
と、Ｘ偏向信号増幅回路１５を通してＸ偏向コイル６に
信号が供給される。また、Ｙ走査信号発生回路１６から
は、Ｙ走査信号増幅回路１７を通してＣＲＴ１１のＹ走
査コイル１８と、Ｙ偏向信号増幅回路１９を通してＹ偏
向コイル７に信号が供給される。これにより、試料５上
での電子線２の走査と、ＣＲＴ１１上の走査が同期して
行われることになり、ＣＲＴ１１上に二次電子像が表示
される。
図４，図５，図６，図７及び図８を用いて説明する。図
１は、本発明の全体の構成図である。電子源１からでた
電子線２は、絞り３を通過した後、対物レンズ４によっ
て収束され試料５上に照射される。途中、電子線２はＸ
偏向コイル６及びＹ偏向コイル７によって試料５の上を
二次元的に走査される。試料５から発生した二次電子８
は二次電子検出器９によって検出され、信号増幅回路１
０によって増幅されたのち輝度信号としてＣＲＴ１１に
供給される。Ｘ走査信号発生回路１２からは、Ｘ走査信
号増幅回路１３を通してＣＲＴ１１のＸ走査コイル１４
と、Ｘ偏向信号増幅回路１５を通してＸ偏向コイル６に
信号が供給される。また、Ｙ走査信号発生回路１６から
は、Ｙ走査信号増幅回路１７を通してＣＲＴ１１のＹ走
査コイル１８と、Ｙ偏向信号増幅回路１９を通してＹ偏
向コイル７に信号が供給される。これにより、試料５上
での電子線２の走査と、ＣＲＴ１１上の走査が同期して
行われることになり、ＣＲＴ１１上に二次電子像が表示
される。
【０００８】絞りの上部で軸ずれが生じた場合、スイッ
チＸ３０とスイッチＹ３１をそれぞれＡ側に接続し、上
軸調整コイルＸ２０と上軸調整コイルＹ２１によって軸
調整を行う。それぞれのコイルは、上軸調整コイル駆動
回路Ｘ２２と上軸調整コイル駆動回路Ｙ２３によって駆
動される。駆動回路Ｘ２２は、上直流増幅回路Ｘ２５と
上加算回路Ｘ２６から構成されている。上加算回路Ｘ２
６には直流信号源Ｘ24から発生した直流信号を上直流増
幅回路Ｘ２５で増幅された直流信号と、Ｘ走査信号発生
回路１２で発生した走査信号が加えられる。また、駆動
回路Ｙ２３は、上直流増幅回路Ｙ２８と上加算回路Ｙ２
９から構成されている。上加算回路Ｘ29には直流信号源
Ｙ２７から発生した直流信号を上直流増幅回路Ｙ２８で
増幅された直流信号と、Ｙ走査信号発生回路１６で発生
した走査信号が加えられる。図２は、軸ずれがある場合
でのＣＲＴ１１上の表示例である。この場合、ＣＲＴ１
１上に表示されている目標中心位置４０に対して電子線
像４１の位置が一致するように、上直流増幅回路Ｘ２５
と上直流増幅回路Ｙ２８のゲインを調整する。図３は、
調整後の電子線像を示している。像の移動が終了した
ら、スイッチＸ３０とスイッチＹ３１を開放する。する
と、各軸調整コイルには適正な直流信号のみが供給され
ることになり、常に電子線が偏向を受け、絞り位置にお
ける最適な位置を通過することになる。
チＸ３０とスイッチＹ３１をそれぞれＡ側に接続し、上
軸調整コイルＸ２０と上軸調整コイルＹ２１によって軸
調整を行う。それぞれのコイルは、上軸調整コイル駆動
回路Ｘ２２と上軸調整コイル駆動回路Ｙ２３によって駆
動される。駆動回路Ｘ２２は、上直流増幅回路Ｘ２５と
上加算回路Ｘ２６から構成されている。上加算回路Ｘ２
６には直流信号源Ｘ24から発生した直流信号を上直流増
幅回路Ｘ２５で増幅された直流信号と、Ｘ走査信号発生
回路１２で発生した走査信号が加えられる。また、駆動
回路Ｙ２３は、上直流増幅回路Ｙ２８と上加算回路Ｙ２
９から構成されている。上加算回路Ｘ29には直流信号源
Ｙ２７から発生した直流信号を上直流増幅回路Ｙ２８で
増幅された直流信号と、Ｙ走査信号発生回路１６で発生
した走査信号が加えられる。図２は、軸ずれがある場合
でのＣＲＴ１１上の表示例である。この場合、ＣＲＴ１
１上に表示されている目標中心位置４０に対して電子線
像４１の位置が一致するように、上直流増幅回路Ｘ２５
と上直流増幅回路Ｙ２８のゲインを調整する。図３は、
調整後の電子線像を示している。像の移動が終了した
ら、スイッチＸ３０とスイッチＹ３１を開放する。する
と、各軸調整コイルには適正な直流信号のみが供給され
ることになり、常に電子線が偏向を受け、絞り位置にお
ける最適な位置を通過することになる。
【０００９】絞り３の位置での電子線２の軸調整が終了
した後、対物レンズ４の位置での電子線２の軸調整を行
う必要がある。この場合、図１のスイッチＸ３０とスイ
ッチＹ３１をそれぞれＢ側に接続し、下軸調整コイルＸ
３２と下軸調整コイルＹ３３によって軸調整を行う。そ
れぞれのコイルは、下軸調整コイル駆動回路Ｘ３４と下
軸調整コイル駆動回路Ｙ３５によって駆動される。駆動
回路Ｘ３４は、下直流増幅回路Ｘ３６と下加算回路Ｘ３
７から構成されている。下加算回路Ｘ３７には直流信号
源Ｘ２４から発生した直流信号を下直流増幅回路Ｘ３６
で増幅された直流信号と、Ｘ走査信号発生回路１２で発
生した走査信号が加えられる。また、駆動回路Ｙ３５
は、下直流増幅回路Ｙ３８と下加算回路Ｙ３９から構成
されている。下加算回路Ｙ３９には直流信号源Ｙ２７か
ら発生した直流信号を下直流増幅回路Ｙ３８で増幅され
た直流信号と、Ｙ走査信号発生回路１６で発生した走査
信号が加えられる。図４は、対物レンズ４で軸ずれが発
生している場合のＣＲＴ１１上での表示例である。対物
レンズは複数の軸対称な円筒から構成されるため、ＣＲ
Ｔ１１上には目標中心位置４０と複数の円を含むレンズ
磁極像４２が表示される。この場合も、ＣＲＴ１１上に
表示されている目標中心位置４０に対してレンズ磁極像
４２の位置が一致するように、下直流増幅回路Ｘ３６と
下直流増幅回路Ｙ３８のゲインを調整する。図５は、調
整後のレンズ磁極像を示している。像の移動が終了した
ら、スイッチＸ３０とスイッチＹ３１を開放する。する
と、各軸調整コイルには適正な直流信号のみが供給され
ることになり、常に電子線が偏向を受け、対物レンズに
対して最適な位置を通過することになる。
した後、対物レンズ４の位置での電子線２の軸調整を行
う必要がある。この場合、図１のスイッチＸ３０とスイ
ッチＹ３１をそれぞれＢ側に接続し、下軸調整コイルＸ
３２と下軸調整コイルＹ３３によって軸調整を行う。そ
れぞれのコイルは、下軸調整コイル駆動回路Ｘ３４と下
軸調整コイル駆動回路Ｙ３５によって駆動される。駆動
回路Ｘ３４は、下直流増幅回路Ｘ３６と下加算回路Ｘ３
７から構成されている。下加算回路Ｘ３７には直流信号
源Ｘ２４から発生した直流信号を下直流増幅回路Ｘ３６
で増幅された直流信号と、Ｘ走査信号発生回路１２で発
生した走査信号が加えられる。また、駆動回路Ｙ３５
は、下直流増幅回路Ｙ３８と下加算回路Ｙ３９から構成
されている。下加算回路Ｙ３９には直流信号源Ｙ２７か
ら発生した直流信号を下直流増幅回路Ｙ３８で増幅され
た直流信号と、Ｙ走査信号発生回路１６で発生した走査
信号が加えられる。図４は、対物レンズ４で軸ずれが発
生している場合のＣＲＴ１１上での表示例である。対物
レンズは複数の軸対称な円筒から構成されるため、ＣＲ
Ｔ１１上には目標中心位置４０と複数の円を含むレンズ
磁極像４２が表示される。この場合も、ＣＲＴ１１上に
表示されている目標中心位置４０に対してレンズ磁極像
４２の位置が一致するように、下直流増幅回路Ｘ３６と
下直流増幅回路Ｙ３８のゲインを調整する。図５は、調
整後のレンズ磁極像を示している。像の移動が終了した
ら、スイッチＸ３０とスイッチＹ３１を開放する。する
と、各軸調整コイルには適正な直流信号のみが供給され
ることになり、常に電子線が偏向を受け、対物レンズに
対して最適な位置を通過することになる。
【００１０】ＣＲＴ１１上に表示された電子線像を移動
するのではなく、ＣＲＴ上で電子線像４１、あるいはレ
ンズ磁極像４２の位置をを指定しても軸調整は可能であ
る。図６は、ＣＲＴ１１上に表示された電子線像４１を
カーソル４３を用いて、位置の指定をする場合の例であ
る。ＣＲＴ１１上での目標中心位置４０とカーソル４３
によって指定された電子線像４１との位置から軸調整量
を計算し、図１の各直流増幅回路のゲインを決定するこ
とで軸調整ができる。表示されているのがレンズ磁極像
であっても同様である。
するのではなく、ＣＲＴ上で電子線像４１、あるいはレ
ンズ磁極像４２の位置をを指定しても軸調整は可能であ
る。図６は、ＣＲＴ１１上に表示された電子線像４１を
カーソル４３を用いて、位置の指定をする場合の例であ
る。ＣＲＴ１１上での目標中心位置４０とカーソル４３
によって指定された電子線像４１との位置から軸調整量
を計算し、図１の各直流増幅回路のゲインを決定するこ
とで軸調整ができる。表示されているのがレンズ磁極像
であっても同様である。
【００１１】外部に画像処理装置などを取り付けること
で、軸調整を自動的に行うことができる。図７はその一
構成例である。図１の信号増幅回路１０によって発生し
た輝度信号を画像処理装置４４に取り込む。画像処理装
置４４は、画面に表示された電子線像あるいはレンズ磁
極像の位置を画像から自動的に計算し、軸調整量を決定
する。この装置には、図１のスイッチＸ３０及びスイッ
チＹ３１に連動した切替スイッチ４３がついており、そ
の先には、各直流増幅回路が接続されている。各増幅回
路のゲインを軸調整量に対応して変化すれば、軸調整は
自動で行われる。
で、軸調整を自動的に行うことができる。図７はその一
構成例である。図１の信号増幅回路１０によって発生し
た輝度信号を画像処理装置４４に取り込む。画像処理装
置４４は、画面に表示された電子線像あるいはレンズ磁
極像の位置を画像から自動的に計算し、軸調整量を決定
する。この装置には、図１のスイッチＸ３０及びスイッ
チＹ３１に連動した切替スイッチ４３がついており、そ
の先には、各直流増幅回路が接続されている。各増幅回
路のゲインを軸調整量に対応して変化すれば、軸調整は
自動で行われる。
【００１２】目標中心位置４０はＣＲＴ１１の中心に表
示されても良い。また、軸ずれが生じていない場合の電
子線像４１、あるいはレンズ磁極像４２の中心あるいは
重心位置でも同様である。また、図２における目標中心
位置４０と図４における目標中心位置４０の位置は一致
している必要はない。
示されても良い。また、軸ずれが生じていない場合の電
子線像４１、あるいはレンズ磁極像４２の中心あるいは
重心位置でも同様である。また、図２における目標中心
位置４０と図４における目標中心位置４０の位置は一致
している必要はない。
【００１３】表示される目標中心位置の形状は、クロス
した複数の直線によって構成されても良い。または、Ｃ
ＲＴ１１上に表示される電子線像４１、またはレンズ磁
極像４２の大きさに合わせた箱状の形状を持ったもので
も良い。
した複数の直線によって構成されても良い。または、Ｃ
ＲＴ１１上に表示される電子線像４１、またはレンズ磁
極像４２の大きさに合わせた箱状の形状を持ったもので
も良い。
【００１４】ＣＲＴ１１上に電子線像４１あるいはレン
ズ磁極像４２を表示する必要はない。図８は、像の代わ
りにその中心位置を表示した場合の例である。像中心位
置４６を目標中心位置４０に対して移動すれば、電子線
像を移動するよりも高精度に軸調整が行える。また、中
心ではなく、重心位置を表示しても同様である。また図
６のように、画面上で像中心位置を指定する構造でも同
様に軸調整が可能である。
ズ磁極像４２を表示する必要はない。図８は、像の代わ
りにその中心位置を表示した場合の例である。像中心位
置４６を目標中心位置４０に対して移動すれば、電子線
像を移動するよりも高精度に軸調整が行える。また、中
心ではなく、重心位置を表示しても同様である。また図
６のように、画面上で像中心位置を指定する構造でも同
様に軸調整が可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば電
子線位置のＣＲＴ上への表示、及び軸調整を電気的な手
段でのみ行うことが可能となるため、操作性の向上を図
ることができる。また、画像処理等の手段を併用し、電
子線位置を自動的に検出すれば軸調整を自動的に行うこ
とも可能となり、自動化された装置の提供が行える。
子線位置のＣＲＴ上への表示、及び軸調整を電気的な手
段でのみ行うことが可能となるため、操作性の向上を図
ることができる。また、画像処理等の手段を併用し、電
子線位置を自動的に検出すれば軸調整を自動的に行うこ
とも可能となり、自動化された装置の提供が行える。
【図１】本発明の一実施例を示す配置図である。
【図２】本発明の絞り上で軸ずれが発生した場合の表示
例を示すＣＲＴ像を示す図である。
例を示すＣＲＴ像を示す図である。
【図３】本発明の絞り上での軸ずれを調整した後の表示
例を示すＣＲＴ像を示す図である。
例を示すＣＲＴ像を示す図である。
【図４】本発明の対物レンズで軸ずれが発生した場合の
表示例を示すＣＲＴ像を示す図である。
表示例を示すＣＲＴ像を示す図である。
【図５】本発明の対物レンズでの軸ずれを調整した後の
表示例を示すＣＲＴ像を示す図である。
表示例を示すＣＲＴ像を示す図である。
【図６】本発明のカーソルを用いて画面上での電子線像
の位置を指定する場合の実施例を示す図である。
の位置を指定する場合の実施例を示す図である。
【図７】本発明の画像処理装置を用いて自動的に軸調整
を行う場合の一構成例を示す図である。
を行う場合の一構成例を示す図である。
【図８】本発明の電子線像またはレンズ磁極像の中心位
置を表示し、軸調整を行う場合の表示例ＣＲＴ像を示す
図である。
置を表示し、軸調整を行う場合の表示例ＣＲＴ像を示す
図である。
【符号の説明】 １…電子源、２…電子線、３…絞り、４…対物レンズ、
５…試料、６…Ｘ偏向コイル、７…Ｙ偏向コイル、８…
二次電子、９…二次電子検出器、１０…信号増幅回路、
１１…ＣＲＴ、１２…Ｘ走査信号発生回路、１３…Ｘ走
査信号増幅回路、１４…Ｘ走査コイル、１５…Ｘ偏向信
号増幅回路、１６…Ｙ走査信号発生回路、１７…Ｙ走査
信号増幅回路、１８…Ｙ走査コイル、１９…Ｙ偏向信号
増幅回路、２０…上軸調整コイルＸ、２１…上軸調整コ
イルＹ、２２…上軸調整コイル駆動回路Ｘ、２３…上軸
調整コイル駆動回路Ｙ、２４…直流信号源Ｘ、２５…上
直流増幅回路Ｘ、２６…上加算回路Ｘ、２７…直流信号
源Ｙ、２８…上直流増幅回路Ｙ、２９…上加算回路Ｙ、
３０…スイッチＸ、３１…スイッチＹ、３２…下軸調整
コイルＸ、３３…下軸調整コイルＹ、３４…下軸調整コ
イル駆動回路Ｘ、３５…下軸調整コイル駆動回路Ｙ、３
６…下直流増幅回路Ｘ、３７…下加算回路Ｘ、３８…下
直流増幅回路Ｙ、３９…下加算回路Ｙ、４０…目標中心
位置、４１…電子線像、４２…レンズ磁極像、４３…カ
ーソル、４４…画像処理装置、４５…切替スイッチ、４
６…像中心位置。
５…試料、６…Ｘ偏向コイル、７…Ｙ偏向コイル、８…
二次電子、９…二次電子検出器、１０…信号増幅回路、
１１…ＣＲＴ、１２…Ｘ走査信号発生回路、１３…Ｘ走
査信号増幅回路、１４…Ｘ走査コイル、１５…Ｘ偏向信
号増幅回路、１６…Ｙ走査信号発生回路、１７…Ｙ走査
信号増幅回路、１８…Ｙ走査コイル、１９…Ｙ偏向信号
増幅回路、２０…上軸調整コイルＸ、２１…上軸調整コ
イルＹ、２２…上軸調整コイル駆動回路Ｘ、２３…上軸
調整コイル駆動回路Ｙ、２４…直流信号源Ｘ、２５…上
直流増幅回路Ｘ、２６…上加算回路Ｘ、２７…直流信号
源Ｙ、２８…上直流増幅回路Ｙ、２９…上加算回路Ｙ、
３０…スイッチＸ、３１…スイッチＹ、３２…下軸調整
コイルＸ、３３…下軸調整コイルＹ、３４…下軸調整コ
イル駆動回路Ｘ、３５…下軸調整コイル駆動回路Ｙ、３
６…下直流増幅回路Ｘ、３７…下加算回路Ｘ、３８…下
直流増幅回路Ｙ、３９…下加算回路Ｙ、４０…目標中心
位置、４１…電子線像、４２…レンズ磁極像、４３…カ
ーソル、４４…画像処理装置、４５…切替スイッチ、４
６…像中心位置。
Claims (8)
- 【請求項１】電子銃と対物レンズの間に、電子線を偏向
し軸調整を行うことのできる偏向器を有する走査形電子
顕微鏡において、像を表示する表示器上に光軸の目標中
心位置が表示されることを特徴する走査形電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、表示器に光学軸上に配
置された絞りまたは類似形状の物体の位置における電子
線の位置を表示することを特徴とする走査形電子顕微
鏡。 - 【請求項３】請求項１又は２において、表示された電子
線の位置を画面上で指定することにより、自動的に軸調
整が行われることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 【請求項４】請求項１又は２において、表示された電子
線の位置を自動的に検出し、自動的に軸調整を行うこと
を特徴する走査形電子顕微鏡。 - 【請求項５】電子銃と対物レンズの間に、電子線を偏向
し軸調整を行うことのできる偏向器を有する走査形電子
顕微鏡において、レンズ磁極面での電子線の位置が表示
されることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 【請求項６】請求項５において、像を表示する表示器上
に光軸の目標中心位置が表示されることを特徴する走査
形電子顕微鏡。 - 【請求項７】請求項５又は６において、表示された電子
線の位置を画面上で指定することにより、自動的に軸調
整が行われることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 【請求項８】請求項５又は６において、表示された電子
線の位置を自動的に検出し、自動的に軸調整を行うこと
を特徴する走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061839A JPH05266840A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061839A JPH05266840A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05266840A true JPH05266840A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13182666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4061839A Pending JPH05266840A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05266840A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006140119A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-06-01 | Jeol Ltd | アライメント自動補正方法及び装置並びに収差補正器の制御方法 |
| US7271396B2 (en) | 2001-10-10 | 2007-09-18 | Applied Materials, Israel Limited | Method and device for aligning a charged particle beam column |
| JP2008084823A (ja) * | 2006-03-08 | 2008-04-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 |
| US8026491B2 (en) | 2006-03-08 | 2011-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and method for charged particle beam adjustment |
| WO2011145273A1 (ja) | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡、および電子顕微鏡の光軸調整方法 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4061839A patent/JPH05266840A/ja active Pending
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| JP2011243470A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡、および電子顕微鏡の光軸調整方法 |
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