JPH05256777A - 流体変調式のガス分析装置 - Google Patents

流体変調式のガス分析装置

Info

Publication number
JPH05256777A
JPH05256777A JP8969692A JP8969692A JPH05256777A JP H05256777 A JPH05256777 A JP H05256777A JP 8969692 A JP8969692 A JP 8969692A JP 8969692 A JP8969692 A JP 8969692A JP H05256777 A JPH05256777 A JP H05256777A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
humidity
concentration
measurement
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8969692A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2696692B2 (ja
Inventor
弘 ▲吉▼田
Hiroshi Yoshida
Toshio Inoue
俊夫 井上
Masaru Miwa
勝 三輪
Osamu Kumazaki
脩 熊崎
Shuichi Ishimoto
秀一 石本
Hajime Mikasa
元 三笠
Michio Kada
教夫 嘉田
Takeshi Yamada
毅 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Chubu Electric Power Co Inc
Original Assignee
Horiba Ltd
Chubu Electric Power Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd, Chubu Electric Power Co Inc filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP4089696A priority Critical patent/JP2696692B2/ja
Publication of JPH05256777A publication Critical patent/JPH05256777A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2696692B2 publication Critical patent/JP2696692B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定ガス中の被測定対象ガスの僅かな濃度変
化を高精度で分析させるための測定ガスと比較ガスとの
湿度調整を、ローコストで達成させることを目的として
いる。 【構成】 分析部のセルに比較ガスと測定ガスとを一定
の周期で交互に供給して、測定ガス中の被測定対象ガス
の濃度を分析するようにした流体変調式のガス分析装置
において、比較ガスの供給路3に、前記被測定対象ガス
と同じ成分で且つ濃度がほゞ近似する比較ガスの供給手
段(14,19,20)を接続し、かつ、比較ガスと測定ガス
を各別に且つほゞ同じ湿度に加湿させる加湿手段(7,
15)と、加湿後に両ガスを各別に且つ同じ湿度に除湿さ
せる除湿手段18とを設けてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、分析部のセルに比較ガ
スと測定ガスとを一定の周期で交互に供給して、測定ガ
ス中の被測定対象ガスの濃度を分析するようにした流体
変調式のガス分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば大気に含まれるCO2 ガスの濃度
分析に際して、大気中のCO2 ガスの濃度は多少変動す
るものの350ppm前後であることから、大気中のC
2 ガスの濃度にほゞ近似するCO2 ガスを含む比較ガ
ス、例えば350ppmのCO2 ガスを含む比較ガスを
セルに供給させることによって、大気中のCO2 ガスの
僅かな濃度変化を高精度で分析することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ボンベ
に充填された比較ガスの湿度は極めて低く、一方、大気
は高湿度である上に湿度変化が大きくて、この湿度の変
化すなわち水分分圧の変化がCO2 ガスの濃度変化に繋
がることから従来では、大気を一旦マイナス50℃以下
に冷却させて除湿し、比較ガスと同じような超低湿度の
条件下に置くようにしている。しかし、大気をマイナス
50℃以下に冷却させための大掛かりな装置が必要で、
コスト面はもとよりメンテナンス性の面などで問題があ
った。
【0004】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、測定ガス中の被測定対象ガスの僅かな濃度
変化を高精度で分析できるようにした上で、測定ガスと
比較ガスとの湿度調整がローコストで達成される流体変
調式のガス分析装置を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明は、冒頭に記載した流体変調式のガス分析装
置において、前記比較ガスの供給路に、被測定対象ガス
と同じ成分で且つ濃度がほゞ近似する比較ガスの供給手
段を接続すると共に、当該比較ガスと前記測定ガスを各
別に且つほゞ同じ湿度に加湿させる加湿手段と、加湿後
において両ガスを各別に且つ同じ湿度に除湿させる除湿
手段とを設けた点に特徴がある。
【作用】上記の特徴構成によれば、比較ガスと測定ガス
を一旦加湿させて後に除湿させることによって、両ガス
が同じ低湿度の条件下に置かれることになり、加湿によ
る湿度影響を回避させた状態でガス分析が好適に行われ
る。
【0006】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は流体変調式のガス分析装置の原理図を示
し、1は試料ガスそのものの赤外線吸収によって生じる
変調効果を利用した流体変調式のガス分析計で、当該流
体変調式のガス分析計1の分析部のセルには、測定ガス
(例えば大気)の供給路2と比較ガスの供給路3とが接
続され、前記比較ガスと測定ガスが分析部のセルに一定
の周期で交互に供給されて、前記測定ガス中の被測定対
象ガス(例えばCO2 ガス)の濃度を分析するように構
成されている。
【0007】一方の測定ガスの供給路2には、測定ガス
の取入口4と、フイルタ5と、電磁式の三方弁6と、加
湿器7と、圧送ポンプ8と、調圧器9と、キャピラリ10
とが、その順に介装され、かつ、前記三方弁6には、測
定ガスと同じ成分の高精度の標準ガスを各別に供給する
ためのガス供給手段11,12が電磁弁13を介して接続され
ている。この標準ガスはガス分析計2の校正用に用いら
れる。他方の比較ガスの供給路3には、ガス希釈手段14
と、加湿手段15と、調圧器16と、キャピラリ17とが、そ
の順に介装され、かつ、この比較ガスの供給路3と前記
測定ガスの供給路2は、それぞれ除湿手段18に接続され
ていて、除湿直後のガスが分析計1の分析部に導入され
るようになっている。
【0008】そして、前記ガス希釈手段14には、ゼロガ
スを精製して供給するゼロガス精製手段19と、前記測定
ガス中の被測定対象ガスと同じ成分の高濃度の基準ガス
を供給するガス供給手段20とが接続されており、更に前
記ガス希釈手段14には、前記高濃度の基準ガスに対する
ゼロガスの希釈比を変更設定する制御手段21が備えられ
ていて、希釈された基準ガスの濃度が被測定対象ガスの
濃度に近似する範囲内で比較ガスを供給路3に供給でき
るようになっている。
【0009】前記比較ガス用の加湿手段15は、後段の除
湿にとって有利なように、乾燥ガスである比較ガスを測
定ガスの湿度に近似させるために設けるものであるが、
比較ガスの湿度を測定ガスの湿度変化に対応させる制御
は非常に困難である。このことから測定ガスの供給路2
にも加湿手段7を設けて、測定ガスの湿度を安定させた
上で、この測定ガスの湿度に比較ガスの湿度を近似させ
るように、両供給路2,3に加湿手段7,15を設けてい
るのであるが、加湿手段7,15の何れにおいてもガスを
過飽和に加湿させるようにすれば、湿度制御の簡略化を
図ることができて好ましい。
【0010】前記除湿手段18は、測定ガスならびに比較
ガスをほゞ同じ低湿度の条件下に置いて、加湿による湿
度影響を回避させた状態でガス分析を行わせるために設
けられるもので、測定ガスと比較ガスが前段の工程でほ
ゞ同じ湿度に制御され且つ分析部のセルに一定の周期で
交互に供給されるのでガス流量もほゞ同じであって、両
ガスに対する除湿条件が同じであることから、除湿装置
を共通にする機能的に同じ二つの除湿室22,23を一つの
除湿槽24に備えさせると共に、各除湿室22,23にドレン
流路25,26を接続させて除湿手段18を構成している。
【0011】上記の構成によれば、測定ガス中の被測定
対象ガスの濃度に近似させた比較ガスをセルに供給させ
るようにしたことで、被測定対象ガスの僅かな濃度変化
を高精度で分析することができる。一方、高精度の標準
ガスについても、これを測定ガス供給路2における加湿
手段7の上流側に供給させるようにしているので、当該
標準ガスの湿度も測定ガスと同じ湿度条件下に置かれて
ガス分析計2に導入されることになり、校正が精度よく
行われるのである。
【0012】そして、基準ガスのゼロガスによる希釈ガ
スを比較ガスとして用いるので、比較ガスの消費量が大
であってもガス分析を経済的に行うことができる上に、
例えばボンベに充填されている基準ガスを用いる場合の
当該ボンベの交換頻度が、ゼロガスによる高濃度基準ガ
スの希釈比に反比例して低くなる。しかも、測定ガスを
乾燥ガスである比較ガスと同じような超低湿度の条件下
に置くのではなく、測定ガスと比較ガスを一旦加湿させ
て後に除湿させて、両ガスを同じ低湿度の条件下に置く
ことによって、実質的に測定ガスの湿度を比較ガスの湿
度に合わせる超低湿度化と変わりのない制御で、測定ガ
スの湿度変化すなわち水分分圧の変化が濃度変化に繋が
る事態を回避さつつ、加湿による湿度影響を回避させた
状態でガス分析が好適に行われる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、測定ガス
中の被測定対象ガスの濃度に近似させた比較ガスをセル
に流して、被測定対象ガスの僅かな濃度変化を高精度で
分析させるようにし、かつ、前記測定ガスと比較ガスと
を交互にセルに流すに際して、測定ガスを乾燥ガスであ
る比較ガスと同じような超低湿度の条件下に置くのでは
なく、測定ガスと比較ガスを一旦加湿させて後に除湿さ
せて、両ガスを同じ低湿度の条件下に置くことによっ
て、実質的に測定ガスの湿度を比較ガスの湿度に合わせ
る超低湿度化と変わりのない制御で、測定ガスの湿度変
化すなわち水分分圧の変化が濃度変化に繋がる事態を回
避させつつ、加湿による湿度影響を回避させた状態でガ
ス分析が好適に行われるようになった。
【0014】しかも、上記したように、測定ガスを乾燥
ガスである比較ガスと同じような超低湿度の条件下に置
くのではなく、単に両ガスを加湿させて後に低湿度に除
湿させるだけであるから、被測定対象ガスの僅かな濃度
変化を高精度で分析できる装置の測定ガスと比較ガスと
の湿度調整がローコストで達成されるに至ったのであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】流体変調式のガス分析装置の原理図である。
【符号の説明】
3…比較ガスの供給路、14,19,20…比較ガス供給手段
(ガス希釈手段,ゼロガス精製手段,基準ガス供給手
段)、7,15…加湿手段、18…除湿手段。
フロントページの続き (72)発明者 三輪 勝 三重県員弁郡東員町笹尾西3丁目8番地の 26 (72)発明者 熊崎 脩 愛知県名古屋市天白区島田2丁目301号 (72)発明者 石本 秀一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 三笠 元 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 嘉田 教夫 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 毅 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社堀場製作所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 分析部のセルに比較ガスと測定ガスとを
    一定の周期で交互に供給して、測定ガス中の被測定対象
    ガスの濃度を分析するようにした流体変調式のガス分析
    装置において、前記比較ガスの供給路に、前記被測定対
    象ガスと同じ成分で且つ濃度がほゞ近似する比較ガスの
    供給手段を接続すると共に、当該比較ガスと前記測定ガ
    スを各別に且つほゞ同じ湿度に加湿させる加湿手段と、
    加湿後において両ガスを各別に且つ同じ湿度に除湿させ
    る除湿手段とを設けてあることを特徴とする流体変調式
    のガス分析装置。
  2. 【請求項2】 前記測定ガスの供給路に設けられた加湿
    手段の上流側に校正用の標準ガスの供給手段が接続され
    ていることを特徴とする請求項1に記載された流体変調
    式のガス分析装置。
JP4089696A 1992-03-13 1992-03-13 流体変調式のガス分析装置 Expired - Fee Related JP2696692B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4089696A JP2696692B2 (ja) 1992-03-13 1992-03-13 流体変調式のガス分析装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4089696A JP2696692B2 (ja) 1992-03-13 1992-03-13 流体変調式のガス分析装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05256777A true JPH05256777A (ja) 1993-10-05
JP2696692B2 JP2696692B2 (ja) 1998-01-14

Family

ID=13977935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4089696A Expired - Fee Related JP2696692B2 (ja) 1992-03-13 1992-03-13 流体変調式のガス分析装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2696692B2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435348A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Shimadzu Corp Gas analyzer
JPH01174945A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Horiba Ltd ガス分析計

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435348A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Shimadzu Corp Gas analyzer
JPH01174945A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Horiba Ltd ガス分析計

Also Published As

Publication number Publication date
JP2696692B2 (ja) 1998-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4269057A (en) Multipurpose humidity controlled agent generator
EP0469437B1 (en) Method of and apparatus for preparing calibration gas
Welp et al. Design and performance of a Nafion dryer for continuous operation at CO 2 and CH 4 air monitoring sites
US5882937A (en) Ammonia monitor
JP7293248B2 (ja) ガス分析装置及びガス分析装置の校正方法
JP2696692B2 (ja) 流体変調式のガス分析装置
KR19980085280A (ko) 반도체장치 제조용 청정실의 대기 중의 수용성 오염물질 분석방법 및 분석장치
Nishikawa et al. Ion chromatographic determination of nitrogen dioxide and sulphur dioxide in the atmosphere using triethanolamine-potassium hydroxide-coated cartridges
JP2526265Y2 (ja) 流体変調式のガス分析装置
EP0568610B1 (en) Feedback controlled gas mixture generator especially for an hygrometer reaction check
RU114528U1 (ru) Устройство для приготовления поверочных газовых смесей в динамическом режиме
JP3166657B2 (ja) 臭気測定装置
RU189336U1 (ru) Генератор влажного газа
JPH0545260A (ja) 臭気ガス分析用標準空気の製造システム及び装置
JPS5924989Y2 (ja) 植物試験装置
JP3261272B2 (ja) 流体変調型分析計の校正装置とその校正方法
US11761893B2 (en) Water vapor differential minimization systems and methods for gas exchange measurements of aqueous or water saturated samples
JPH04303743A (ja) 炭酸ガス測定装置
JP2002071536A (ja) 連続ガス分析計
JPH11148907A (ja) エチレンガス濃度測定装置
JPH10153562A (ja) におい検出装置
EP4006526A1 (en) Gas-sensor-based measurement method and measurement device
JP2005069870A (ja) 赤外線ガス分析装置
JPS642889B2 (ja)
JPH11174035A (ja) ガスクロマトグラフ装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees