JPH05256770A - 反射率測定装置 - Google Patents
反射率測定装置Info
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- JPH05256770A JPH05256770A JP5566992A JP5566992A JPH05256770A JP H05256770 A JPH05256770 A JP H05256770A JP 5566992 A JP5566992 A JP 5566992A JP 5566992 A JP5566992 A JP 5566992A JP H05256770 A JPH05256770 A JP H05256770A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被覆層を有する被測定面の反射率を測定する
場合において、被測定面の反射光と被覆層表面の反射光
との干渉を回避して、被測定面に対する反射率の測定を
確実に行い得る反射率測定装置を提供する。 【構成】 被覆層１を有する被反射率測定面２に、集光
レンズ系３を有する分離手段１０を介してレーザ光Ｌを
照射して、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥
‥と被覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを、分離手段
１０により異なる光路に分離して、被反射率測定面２か
らの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入す
る。
場合において、被測定面の反射光と被覆層表面の反射光
との干渉を回避して、被測定面に対する反射率の測定を
確実に行い得る反射率測定装置を提供する。 【構成】 被覆層１を有する被反射率測定面２に、集光
レンズ系３を有する分離手段１０を介してレーザ光Ｌを
照射して、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥
‥と被覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを、分離手段
１０により異なる光路に分離して、被反射率測定面２か
らの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反射率測定装置、特に
例えば光ディスクの記録反射面に適用して好適な反射率
測定装置に係わる。
例えば光ディスクの記録反射面に適用して好適な反射率
測定装置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク等の記録媒体は、例えばアク
リル、ポリカーボネイト（ＰＣ）等の光透過性樹脂より
成る基板上に情報信号に対応する凹凸が予め形成され、
その上に反射層と必要に応じて保護層が設けられて構成
される。この反射層としては、Ａｌ、Ａｕ等より成る高
反射率で低吸収率の材料が用いられる。そしてその再生
方法としては、この光透過性基板側からレーザ光を照射
して、凹凸によって生じる反射面からの干渉光の強度の
違いによって記録情報の読み出しを行うようになされて
いる。
リル、ポリカーボネイト（ＰＣ）等の光透過性樹脂より
成る基板上に情報信号に対応する凹凸が予め形成され、
その上に反射層と必要に応じて保護層が設けられて構成
される。この反射層としては、Ａｌ、Ａｕ等より成る高
反射率で低吸収率の材料が用いられる。そしてその再生
方法としては、この光透過性基板側からレーザ光を照射
して、凹凸によって生じる反射面からの干渉光の強度の
違いによって記録情報の読み出しを行うようになされて
いる。
【０００３】このような光ディスク等の光記録媒体で
は、その読み出し光の強度を保証するために、その反射
面での読み出し光の反射率が７０％程度以上必要とされ
ているが、その被着形成時の蒸着むら等によって反射率
にばらつきが生じる場合があるために、この反射率を精
度良く検出する必要がある。
は、その読み出し光の強度を保証するために、その反射
面での読み出し光の反射率が７０％程度以上必要とされ
ているが、その被着形成時の蒸着むら等によって反射率
にばらつきが生じる場合があるために、この反射率を精
度良く検出する必要がある。
【０００４】しかしながらＣＤ（コンパクト・ディス
ク）等の光ディスクにおいては、例えば入射光の波長が
０．６μｍ程度であるに対し、基板の厚さのばらつきが
±０．５μｍ程度以上あるため、基板表面での反射光
と、反射面での反射光との間で生じる干渉が測定面内に
おいて部分的に生じたり生じなかったりするために、反
射面の絶対的な反射率や、面内の反射率のばらつきを測
定することは非常に難しい。また、この基板の厚さが現
状では１．２ｍｍ程度と非常に薄いことから、測定用の
入射光を傾斜させても、これらの反射面での反射光と、
基板表面での反射光とを完全に分離することはできな
い。
ク）等の光ディスクにおいては、例えば入射光の波長が
０．６μｍ程度であるに対し、基板の厚さのばらつきが
±０．５μｍ程度以上あるため、基板表面での反射光
と、反射面での反射光との間で生じる干渉が測定面内に
おいて部分的に生じたり生じなかったりするために、反
射面の絶対的な反射率や、面内の反射率のばらつきを測
定することは非常に難しい。また、この基板の厚さが現
状では１．２ｍｍ程度と非常に薄いことから、測定用の
入射光を傾斜させても、これらの反射面での反射光と、
基板表面での反射光とを完全に分離することはできな
い。
【０００５】このため、従来はハロゲンランプ等の光源
にフィルターを設けて、ここから比較的広い波長帯域を
有するインコヒーレントな光を照射し、これによって反
射率を測定する等の手段が採られており、特定波長の読
み出し光に対する反射率を正確に測定することはできな
かった。
にフィルターを設けて、ここから比較的広い波長帯域を
有するインコヒーレントな光を照射し、これによって反
射率を測定する等の手段が採られており、特定波長の読
み出し光に対する反射率を正確に測定することはできな
かった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うに光ディスクの反射面等、被覆層を有する被測定面の
反射率を測定する場合等において、被測定面の反射光と
被覆層表面の反射光との干渉を回避して、被測定面に対
する反射率の測定を確実に行い得る反射率測定装置を提
供する。
うに光ディスクの反射面等、被覆層を有する被測定面の
反射率を測定する場合等において、被測定面の反射光と
被覆層表面の反射光との干渉を回避して、被測定面に対
する反射率の測定を確実に行い得る反射率測定装置を提
供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明反射率測定装置
は、その一例の要部の略線的構成図を図１に示すよう
に、被覆層１を有する被反射率測定面２に、集光レンズ
系３を有する分離手段１０を介してレーザ光Ｌを照射し
て、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥と被
覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを分離手段１０によ
り異なる光路に分離して、被反射率測定面２からの反射
光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入する。
は、その一例の要部の略線的構成図を図１に示すよう
に、被覆層１を有する被反射率測定面２に、集光レンズ
系３を有する分離手段１０を介してレーザ光Ｌを照射し
て、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥と被
覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを分離手段１０によ
り異なる光路に分離して、被反射率測定面２からの反射
光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入する。
【０００８】また本発明は、このような反射率測定装置
において、被反射率測定面２を集光レンズ系３の焦点面
に位置するようにして、レーザ光Ｌを集光レンズ系３の
光軸からずれた位置に照射して、被反射率測定面２の表
面の被覆層１での反射光Ｌ-1を分離する。
において、被反射率測定面２を集光レンズ系３の焦点面
に位置するようにして、レーザ光Ｌを集光レンズ系３の
光軸からずれた位置に照射して、被反射率測定面２の表
面の被覆層１での反射光Ｌ-1を分離する。
【０００９】更に本発明は、上述の反射率測定装置にお
いて、被反射率測定面２上の被覆層表面１Ｓからの反射
光Ｌ-1を遮断する遮断手段５を設け、被反射率測定面２
からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入す
る。
いて、被反射率測定面２上の被覆層表面１Ｓからの反射
光Ｌ-1を遮断する遮断手段５を設け、被反射率測定面２
からの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入す
る。
【００１０】更にまた本発明は、上述の反射率測定装置
において、図２に示すように、被反射率測定面２からの
反射光Ｌ0 を集光し、光検出器４の検出位置に焦点を形
成する集光レンズ系６を設けて構成する。
において、図２に示すように、被反射率測定面２からの
反射光Ｌ0 を集光し、光検出器４の検出位置に焦点を形
成する集光レンズ系６を設けて構成する。
【００１１】
【作用】本発明反射率測定装置によれば、被反射率測定
面２からの反射光と、この上の被覆層１の表面１Ｓから
の反射光とを分離することによって、これらの光の干渉
による影響を排除することができて、正確に測定面２の
反射率を測定することができる。
面２からの反射光と、この上の被覆層１の表面１Ｓから
の反射光とを分離することによって、これらの光の干渉
による影響を排除することができて、正確に測定面２の
反射率を測定することができる。
【００１２】また本発明反射率測定装置によれば、被反
射率測定面２を集光レンズ系３の焦点面に位置させ、レ
ーザ光Ｌを集光レンズ系３の一点鎖線ｃで示す光軸から
ずれた位置に照射することから、焦点面より集光レンズ
系３の近くに位置する被覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ
-1は、集光レンズ系３の光軸に対し、焦点面に位置する
被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 に比し外側に拡散し
て出射される。また、被覆層１内で反射を繰り返す高次
の反射光Ｌ1 （図１においては測定面２で２回反射した
光のみを示す）は、０次の反射光Ｌ0 よりも内側に集光
されることから、これら反射光Ｌ0 、Ｌ1 、‥‥と、被
覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とをいわば空間的に分
離させることができることとなる。
射率測定面２を集光レンズ系３の焦点面に位置させ、レ
ーザ光Ｌを集光レンズ系３の一点鎖線ｃで示す光軸から
ずれた位置に照射することから、焦点面より集光レンズ
系３の近くに位置する被覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ
-1は、集光レンズ系３の光軸に対し、焦点面に位置する
被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 に比し外側に拡散し
て出射される。また、被覆層１内で反射を繰り返す高次
の反射光Ｌ1 （図１においては測定面２で２回反射した
光のみを示す）は、０次の反射光Ｌ0 よりも内側に集光
されることから、これら反射光Ｌ0 、Ｌ1 、‥‥と、被
覆層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とをいわば空間的に分
離させることができることとなる。
【００１３】更に本発明は、上述の反射率測定装置にお
いて、この分離した反射光Ｌ-1を遮断する遮断手段５を
設けることによって、被反射率測定面２からの反射光Ｌ
0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入させることができ
る。
いて、この分離した反射光Ｌ-1を遮断する遮断手段５を
設けることによって、被反射率測定面２からの反射光Ｌ
0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入させることができ
る。
【００１４】更にまた本発明の反射率測定装置において
は、図２に示すように、被反射率測定面２からの反射光
Ｌ0 ‥‥を集光し、光検出器４の検出位置に焦点を形成
する集光レンズ系６を設けることによって、被反射率測
定面２が矢印ｓで示すように面振れを生じて、この面振
れによって反射光の入射角度及び反射角度が変動して
も、自動的に集光レンズ系６の焦点位置にある光検出器
４上にこの反射光Ｌ0 ′を集光させることができる。
は、図２に示すように、被反射率測定面２からの反射光
Ｌ0 ‥‥を集光し、光検出器４の検出位置に焦点を形成
する集光レンズ系６を設けることによって、被反射率測
定面２が矢印ｓで示すように面振れを生じて、この面振
れによって反射光の入射角度及び反射角度が変動して
も、自動的に集光レンズ系６の焦点位置にある光検出器
４上にこの反射光Ｌ0 ′を集光させることができる。
【００１５】このように、本発明反射率測定装置によれ
ば、被反射率測定面上に被覆層が設けられる場合におい
ても、この表面における反射光を空間的に分離すること
ができるため、狭波長帯域のコヒーレントな光に対する
反射率を正確に測定することができる。
ば、被反射率測定面上に被覆層が設けられる場合におい
ても、この表面における反射光を空間的に分離すること
ができるため、狭波長帯域のコヒーレントな光に対する
反射率を正確に測定することができる。
【００１６】
【実施例】以下本発明反射率測定装置の一例を、図面と
共に詳細に説明する。この例においては、ＣＤ（コンパ
クトディスク）等の光記録媒体において、基板側から再
生用レーザ光を照射する際の、記録反射面での反射率を
測定する場合に本発明を適用した例である。
共に詳細に説明する。この例においては、ＣＤ（コンパ
クトディスク）等の光記録媒体において、基板側から再
生用レーザ光を照射する際の、記録反射面での反射率を
測定する場合に本発明を適用した例である。
【００１７】図１において２は光記録媒体２０の記録反
射面等の被反射率測定面を示し、この上の被覆層１は、
例えばＰＣ等より成る光透過性の基板で、その表面１Ｓ
に対向して、集光レンズ系３を有する分離手段１０を設
ける。この集光レンズ系３は、図１においては凸レンズ
のみを示すが、複数のレンズによって構成することもで
きる。そして、この分離手段１０即ちこの場合集光レン
ズ系３を介してレーザ光Ｌを照射して、被反射率測定面
２からの反射光Ｌ0 及び測定面２で反射した後被覆層１
内で反射して出射される高次の反射光Ｌ1 ‥‥と、被覆
層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを、それぞれ異なる光
路に分離して、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ
1 ‥‥のみを光検出器４に導入する。
射面等の被反射率測定面を示し、この上の被覆層１は、
例えばＰＣ等より成る光透過性の基板で、その表面１Ｓ
に対向して、集光レンズ系３を有する分離手段１０を設
ける。この集光レンズ系３は、図１においては凸レンズ
のみを示すが、複数のレンズによって構成することもで
きる。そして、この分離手段１０即ちこの場合集光レン
ズ系３を介してレーザ光Ｌを照射して、被反射率測定面
２からの反射光Ｌ0 及び測定面２で反射した後被覆層１
内で反射して出射される高次の反射光Ｌ1 ‥‥と、被覆
層１の表面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを、それぞれ異なる光
路に分離して、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ
1 ‥‥のみを光検出器４に導入する。
【００１８】この例においては、被反射率測定面２を集
光レンズ系３の焦点面に位置するようになす。図におい
てｆは焦点距離を示す。そしてレーザ光Ｌを集光レンズ
系３の光軸ｃからずれた位置に照射して、被反射率測定
面２の表面の被覆層１での反射光Ｌ-1を、被反射率測定
面２からの反射光Ｌ0 よりも、光軸ｃに対し外側に集光
されるように分離する。またこの場合、この被覆層１で
の反射光Ｌ-1を遮断する遮断手段５例えばスリットを設
け、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1‥‥のみ
を光検出器４に導入する構成とするものである。
光レンズ系３の焦点面に位置するようになす。図におい
てｆは焦点距離を示す。そしてレーザ光Ｌを集光レンズ
系３の光軸ｃからずれた位置に照射して、被反射率測定
面２の表面の被覆層１での反射光Ｌ-1を、被反射率測定
面２からの反射光Ｌ0 よりも、光軸ｃに対し外側に集光
されるように分離する。またこの場合、この被覆層１で
の反射光Ｌ-1を遮断する遮断手段５例えばスリットを設
け、被反射率測定面２からの反射光Ｌ0 、Ｌ1‥‥のみ
を光検出器４に導入する構成とするものである。
【００１９】図３は、この分離動作態様の説明図であ
る。集光レンズ系３の光軸ｃから、この光軸ｃと直交す
る方向に例えばｒ0 離間した位置から、光軸ｃに沿って
スポット径φのレーザ光Ｌを照射した場合を示す。被反
射率測定面２上で反射してそのまま出射された光Ｌ
0 （０次光）は、測定面２が焦点に位置するため、集光
レンズ系３によって、光軸ｃを挟んで入射レーザ光Ｌと
は反対側にｒ0 離間した位置に、スポット径がφ0 とな
って集束される。これに対し、被覆層１の表面１Ｓでの
反射光Ｌ-1は、焦点距離ｆより近い位置で反射されるた
め、集光レンズ系３によってこの光軸ｃに対し外側に出
射され、かつそのスポット径はφ0 に比し大となる。一
方、被反射率測定面２上で反射した後、被覆層１内で複
数回反射して出射される高次の反射光Ｌ1 は、焦点レン
ズ系３に対し、焦点距離より離間した位置から出射され
るように観測され、集光位置は上述の０次光に比し光軸
ｃ側に近い位置となる。図３においては、測定面２で２
回反射された１次光のみを示し、また集光レンズ系３か
ら距離ｄの位置Ｐにおける、各反射光Ｌ0 、Ｌ1 及びＬ
-1のスポット径をそれぞれφ0 、φ1 及びφ-1、また光
軸ｃからの距離をそれぞれＲ0 、Ｒ1 及びＲ-1として示
す。
る。集光レンズ系３の光軸ｃから、この光軸ｃと直交す
る方向に例えばｒ0 離間した位置から、光軸ｃに沿って
スポット径φのレーザ光Ｌを照射した場合を示す。被反
射率測定面２上で反射してそのまま出射された光Ｌ
0 （０次光）は、測定面２が焦点に位置するため、集光
レンズ系３によって、光軸ｃを挟んで入射レーザ光Ｌと
は反対側にｒ0 離間した位置に、スポット径がφ0 とな
って集束される。これに対し、被覆層１の表面１Ｓでの
反射光Ｌ-1は、焦点距離ｆより近い位置で反射されるた
め、集光レンズ系３によってこの光軸ｃに対し外側に出
射され、かつそのスポット径はφ0 に比し大となる。一
方、被反射率測定面２上で反射した後、被覆層１内で複
数回反射して出射される高次の反射光Ｌ1 は、焦点レン
ズ系３に対し、焦点距離より離間した位置から出射され
るように観測され、集光位置は上述の０次光に比し光軸
ｃ側に近い位置となる。図３においては、測定面２で２
回反射された１次光のみを示し、また集光レンズ系３か
ら距離ｄの位置Ｐにおける、各反射光Ｌ0 、Ｌ1 及びＬ
-1のスポット径をそれぞれφ0 、φ1 及びφ-1、また光
軸ｃからの距離をそれぞれＲ0 、Ｒ1 及びＲ-1として示
す。
【００２０】このように、被覆層１の表面１Ｓで反射す
る光を−１次光として、測定面２で１回反射した光を０
次光、２回反射した光を１次光‥‥として順次ｎ次光
（ｎは−１以上の整数）として表し、被覆層１の厚さを
ｔとすると、各反射光は、集光レンズ系３から（ｆ＋２
ｎｔ）の距離の光軸ｃ上の位置から出射された光と等し
い光路を採る。これをもとに、位置Ｐにおけるｎ次の光
の光軸ｃからの距離Ｒnと、スポット径φn との一般式
を求めると、 Ｒn ＝ｒ0 ｛１＋２ｎｔ（ｆ−ｄ）／ｆ2 ｝‥‥（１） φn ＝φ0 ｛１＋２ｎｔ（ｆ−ｄ）／ｆ2 ｝‥‥（２） と表される。
る光を−１次光として、測定面２で１回反射した光を０
次光、２回反射した光を１次光‥‥として順次ｎ次光
（ｎは−１以上の整数）として表し、被覆層１の厚さを
ｔとすると、各反射光は、集光レンズ系３から（ｆ＋２
ｎｔ）の距離の光軸ｃ上の位置から出射された光と等し
い光路を採る。これをもとに、位置Ｐにおけるｎ次の光
の光軸ｃからの距離Ｒnと、スポット径φn との一般式
を求めると、 Ｒn ＝ｒ0 ｛１＋２ｎｔ（ｆ−ｄ）／ｆ2 ｝‥‥（１） φn ＝φ0 ｛１＋２ｎｔ（ｆ−ｄ）／ｆ2 ｝‥‥（２） と表される。
【００２１】そして、ｎ次の反射光と（ｎ−１）次の反
射光とが位置Ｐにおいて分離されるためには、それぞれ
の光軸ｃからの差が、スポットの半径の差より大となる
ことが必要であるため、その分離条件は、 Ｒ-1−Ｒ0 ＞１／２（φ-1−φ0 ） ‥‥（３） となる。
射光とが位置Ｐにおいて分離されるためには、それぞれ
の光軸ｃからの差が、スポットの半径の差より大となる
ことが必要であるため、その分離条件は、 Ｒ-1−Ｒ0 ＞１／２（φ-1−φ0 ） ‥‥（３） となる。
【００２２】この（３）式に（１）式及び（２）式を代
入すると、下記数１が導かれる。
入すると、下記数１が導かれる。
【数１】
【００２３】ここで、焦点距離ｆを１００ｍｍ、被覆層
１の厚さｔを１ｍｍ、入射レーザ光Ｌのスポット径φ0
を１ｍｍ、距離ｄを５００ｍｍとすると、０次光と−１
次光とが分離する条件は、 ｒ0 ＞１２ｍｍ となる。
１の厚さｔを１ｍｍ、入射レーザ光Ｌのスポット径φ0
を１ｍｍ、距離ｄを５００ｍｍとすると、０次光と−１
次光とが分離する条件は、 ｒ0 ＞１２ｍｍ となる。
【００２４】従って、このｒ0 を１２ｍｍを越える例え
ば１５ｍｍ程度とすることによって、確実に、被反射率
測定面２による反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥と、被覆層１の表
面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを分離することができる。
ば１５ｍｍ程度とすることによって、確実に、被反射率
測定面２による反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥と、被覆層１の表
面１Ｓでの反射光Ｌ-1とを分離することができる。
【００２５】そして図１に示すように、分離した反射光
Ｌ-1を遮断する位置に、遮断手段５例えばスリットを設
けることによって、確実にこの被覆層１での反射光Ｌ-1
を遮断し、これにより、基板表面での反射光と、反射面
での反射光との干渉を生じることなく、光記録媒体２０
の反射面の反射率を正確に測定することができることと
なる。
Ｌ-1を遮断する位置に、遮断手段５例えばスリットを設
けることによって、確実にこの被覆層１での反射光Ｌ-1
を遮断し、これにより、基板表面での反射光と、反射面
での反射光との干渉を生じることなく、光記録媒体２０
の反射面の反射率を正確に測定することができることと
なる。
【００２６】またこの場合、図２に示すように、被反射
率測定面２からの反射光Ｌ0 を集光し、光検出器４の検
出位置に焦点を形成する集光レンズ系６を設けるとき
は、被反射率測定面２、この場合光記録媒体２０の反射
面に、スピンドルの軸ねじれや、スキュー等によって矢
印ｓで示すように面振れが生じても、図２において破線
Ｌa で示すように、この集光レンズ系６によってその入
射角及び反射角が補正されて、光検出器４上に集光され
るようになされる。
率測定面２からの反射光Ｌ0 を集光し、光検出器４の検
出位置に焦点を形成する集光レンズ系６を設けるとき
は、被反射率測定面２、この場合光記録媒体２０の反射
面に、スピンドルの軸ねじれや、スキュー等によって矢
印ｓで示すように面振れが生じても、図２において破線
Ｌa で示すように、この集光レンズ系６によってその入
射角及び反射角が補正されて、光検出器４上に集光され
るようになされる。
【００２７】図４に、この場合の反射率測定装置の一例
の全体的な構成図を示す。Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の光源２
１から出たグリーンレーザ光Ｌは、集光レンズ系３によ
って、光記録媒体２０上に集光され、被反射率測定面、
この場合記録反射面から反射された光Ｌ0 は、ミラーＭ
1 で一旦反射され、遮断手段５例えばスリットを通過し
た後、集光レンズ系６により集光され、フィルター７こ
の場合例えばグリーンフィルターを介して光検出器４に
集光される。９はオシロスコープである。この場合、集
光レンズ系３の焦点位置に光記録媒体２０の記録反射即
ち被反射率測定面２を配置し、また集光レンズ系６の焦
点位置に光検出器４を配置する。ｆ1 及びｆ2 はそれぞ
れ集光レンズ系３及び６の焦点距離を示す。このように
することによって、光記録媒体２０の基板即ち被覆層１
の表面１Ｓでの反射光を被反射測定面２からの反射光か
ら確実に分離すると共に、被反射率測定面２の面振れに
よる入射角及び反射角のずれを補正して、確実に光検出
器４に集光させることができて、反射率を精度良く測定
することができる。
の全体的な構成図を示す。Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の光源２
１から出たグリーンレーザ光Ｌは、集光レンズ系３によ
って、光記録媒体２０上に集光され、被反射率測定面、
この場合記録反射面から反射された光Ｌ0 は、ミラーＭ
1 で一旦反射され、遮断手段５例えばスリットを通過し
た後、集光レンズ系６により集光され、フィルター７こ
の場合例えばグリーンフィルターを介して光検出器４に
集光される。９はオシロスコープである。この場合、集
光レンズ系３の焦点位置に光記録媒体２０の記録反射即
ち被反射率測定面２を配置し、また集光レンズ系６の焦
点位置に光検出器４を配置する。ｆ1 及びｆ2 はそれぞ
れ集光レンズ系３及び６の焦点距離を示す。このように
することによって、光記録媒体２０の基板即ち被覆層１
の表面１Ｓでの反射光を被反射測定面２からの反射光か
ら確実に分離すると共に、被反射率測定面２の面振れに
よる入射角及び反射角のずれを補正して、確実に光検出
器４に集光させることができて、反射率を精度良く測定
することができる。
【００２８】このような反射率測定装置を用いて、アク
リル等より成る直径３０ｃｍの基板上に形成した光記録
媒体２０の反射面の反射率の測定を行った。この例にお
いては、この記録媒体２０にグリーンレーザ光を用い
て、開口数Ｎ．Ａ．＝０．６の対物レンズで再生したと
ころ、同一のスタンパーから作製された光記録媒体であ
るにも係わらず、ノイズレベルにばらつきが発生した。
そこで、この光記録媒体２０のＡｌ反射面に対し、グリ
ーン光に対する反射率と、その面内におけるばらつきを
測定し、ノイズレベルに相関関係があるかどうかを確認
した。
リル等より成る直径３０ｃｍの基板上に形成した光記録
媒体２０の反射面の反射率の測定を行った。この例にお
いては、この記録媒体２０にグリーンレーザ光を用い
て、開口数Ｎ．Ａ．＝０．６の対物レンズで再生したと
ころ、同一のスタンパーから作製された光記録媒体であ
るにも係わらず、ノイズレベルにばらつきが発生した。
そこで、この光記録媒体２０のＡｌ反射面に対し、グリ
ーン光に対する反射率と、その面内におけるばらつきを
測定し、ノイズレベルに相関関係があるかどうかを確認
した。
【００２９】この結果、ノイズレベルにばらつきが生じ
た光記録媒体２０においては、図５に示すように、回転
面内に関して反射率のばらつきが存在し、一方ノイズレ
ベルにばらつきがみられなかった光記録媒体２０におい
ては、図６に示すように、回転面内の反射率はほぼ一定
の値を示した。この結果、ノイズレベルのばらつきと反
射率のばらつきに相関関係があることを確認することが
できた。
た光記録媒体２０においては、図５に示すように、回転
面内に関して反射率のばらつきが存在し、一方ノイズレ
ベルにばらつきがみられなかった光記録媒体２０におい
ては、図６に示すように、回転面内の反射率はほぼ一定
の値を示した。この結果、ノイズレベルのばらつきと反
射率のばらつきに相関関係があることを確認することが
できた。
【００３０】尚、上述の実施例においては、本発明をＣ
Ｄに適用した場合について説明したが、その他ＬＤ（レ
ーザディスク）、またはＭＯ（光磁気記録）等と光記録
とを併用した記録媒体等、種々の光記録媒体の反射面、
また記録媒体に限ることなく被反射率測定面上に被覆層
を有する構成の被測定物に本発明を適用し得ることはも
ちろんである。また、本発明反射率測定装置の構成は、
上述の実施例に限ることなく、その他種々の変形変更を
なし得ることはいうまでもない。
Ｄに適用した場合について説明したが、その他ＬＤ（レ
ーザディスク）、またはＭＯ（光磁気記録）等と光記録
とを併用した記録媒体等、種々の光記録媒体の反射面、
また記録媒体に限ることなく被反射率測定面上に被覆層
を有する構成の被測定物に本発明を適用し得ることはも
ちろんである。また、本発明反射率測定装置の構成は、
上述の実施例に限ることなく、その他種々の変形変更を
なし得ることはいうまでもない。
【００３１】
【発明の効果】上述したように、本発明反射率測定装置
によれば、被覆層での反射光を、被反射率測定面での反
射光とを空間的に分離することによって、これらの光の
干渉による影響を受けることなく、正確に反射率の測定
を行うことができる。
によれば、被覆層での反射光を、被反射率測定面での反
射光とを空間的に分離することによって、これらの光の
干渉による影響を受けることなく、正確に反射率の測定
を行うことができる。
【００３２】また、この分離した反射光Ｌ-1を遮断する
遮断手段５を設けることによって、被反射率測定面２か
らの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入させ
ることができる。
遮断手段５を設けることによって、被反射率測定面２か
らの反射光Ｌ0 、Ｌ1 ‥‥のみを光検出器４に導入させ
ることができる。
【００３３】更にまた、被反射率測定面２からの反射光
Ｌ0 、Ｌ1 、‥‥を集光し、光検出器４上に焦点を形成
する集光レンズ系６を設けることによって、被反射率測
定面２の面振れによって反射光の入射角度及び反射角度
が変動しても、自動的に集光レンズ系６の焦点位置にあ
る光検出器４上にこの反射光を集光させることができ
る。
Ｌ0 、Ｌ1 、‥‥を集光し、光検出器４上に焦点を形成
する集光レンズ系６を設けることによって、被反射率測
定面２の面振れによって反射光の入射角度及び反射角度
が変動しても、自動的に集光レンズ系６の焦点位置にあ
る光検出器４上にこの反射光を集光させることができ
る。
【図１】本発明反射率測定装置の一例の要部の略線的構
成図である。
成図である。
【図２】本発明反射率測定装置の他の例の要部の略線的
構成図である。
構成図である。
【図３】本発明反射率測定装置の一例の動作態様の説明
図である。
図である。
【図４】本発明反射率測定装置の一例の略線的構成図で
ある。
ある。
【図５】本発明反射率測定装置による測定結果を示す図
である。
である。
【図６】本発明反射率測定装置による測定結果を示す図
である。
である。
１ 被覆面 ２ 被反射率測定面 ３ 集光レンズ系 ４ 光検出器 ５ 遮断手段 ６ 集光レンズ系 ７ フィルター ８ オシロスコープ １０ 分離手段 ２０ 光記録媒体 ２１ 光源
Claims (4)
- 【請求項１】 被覆層を有する被反射率測定面に、集光
レンズ系を有する分離手段を介してレーザ光が照射さ
れ、 上記被反射率測定面からの反射光と上記被覆層表面での
反射光とが上記分離手段により異なる光路に分離され
て、上記被反射率測定面からの反射光のみが光検出器に
導入されるようになされたことを特徴とする反射率測定
装置。 - 【請求項２】 上記被反射率測定面が上記集光レンズ系
の焦点面に位置するようになされ、 上記レーザ光が集光レンズ系の光軸からずれた位置に照
射されるようになされることによって、上記被反射率測
定面の表面の上記被覆層での反射光が分離されるように
なされたことを特徴とする上記請求項１に記載の反射率
測定装置。 - 【請求項３】 上記被反射率測定面上の上記被覆層表面
からの反射光を遮断する遮断手段が設けられ、上記被反
射率測定面からの反射光のみが上記光検出器に導入され
ることを特徴とする上記請求項２に記載の反射率測定装
置。 - 【請求項４】 上記被反射率測定面からの反射光を集光
し、上記光検出器の検出位置に焦点を形成する集光レン
ズ系が設けられることを特徴とする上記請求項２に記載
の反射率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5566992A JPH05256770A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 反射率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5566992A JPH05256770A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 反射率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05256770A true JPH05256770A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=13005277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5566992A Pending JPH05256770A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 反射率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05256770A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110763657A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-07 | 江苏赛诺格兰医疗科技有限公司 | 用于反射材料反射率测试***的光电数字转换*** |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP5566992A patent/JPH05256770A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110763657A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-07 | 江苏赛诺格兰医疗科技有限公司 | 用于反射材料反射率测试***的光电数字转换*** |
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