JPH05251803A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH05251803A JPH05251803A JP4729092A JP4729092A JPH05251803A JP H05251803 A JPH05251803 A JP H05251803A JP 4729092 A JP4729092 A JP 4729092A JP 4729092 A JP4729092 A JP 4729092A JP H05251803 A JPH05251803 A JP H05251803A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高いレーザ発振効率を保ち、高出力のレーザ光
の発生を維持しながら、装置をコンパクト化する。 【構成】マイクロ波発生器９と、このマイクロ波発生器
９にマイクロ波分配器１２を介してそれぞれ接続された
複数、例えば２個の空胴共振器１Ａ，１Ｂと、これら空
胴共振器１Ａ，１Ｂを貫通してそれぞれ配設された複
数、例えば２個の放電管２Ａ，２Ｂと、これら放電管２
Ａ，２Ｂ列の最後端部、最前端部及び上記放電管の縦続
部に設けた反射鏡１４，１５によって構成される、レー
ザ光を上記放電管列内で共振させる光共振器と、上記放
電管２Ａ，２Ｂそれぞれにレーザ媒質ガス６を循環供給
する送風機８と、上記放電管２Ａ，２Ｂのレーザ媒質ガ
ス６の流出端部にそれぞれ配設される冷却用熱交換器７
Ａ，７Ｂとを備える。
の発生を維持しながら、装置をコンパクト化する。 【構成】マイクロ波発生器９と、このマイクロ波発生器
９にマイクロ波分配器１２を介してそれぞれ接続された
複数、例えば２個の空胴共振器１Ａ，１Ｂと、これら空
胴共振器１Ａ，１Ｂを貫通してそれぞれ配設された複
数、例えば２個の放電管２Ａ，２Ｂと、これら放電管２
Ａ，２Ｂ列の最後端部、最前端部及び上記放電管の縦続
部に設けた反射鏡１４，１５によって構成される、レー
ザ光を上記放電管列内で共振させる光共振器と、上記放
電管２Ａ，２Ｂそれぞれにレーザ媒質ガス６を循環供給
する送風機８と、上記放電管２Ａ，２Ｂのレーザ媒質ガ
ス６の流出端部にそれぞれ配設される冷却用熱交換器７
Ａ，７Ｂとを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波領域の電磁
波によって励起される放電を利用したレーザ発振装置に
関する。
波によって励起される放電を利用したレーザ発振装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から実施されているマイクロ波領域
の電磁波によって励起される放電を利用したレーザ発振
装置の基本構成を図４によって説明する。
の電磁波によって励起される放電を利用したレーザ発振
装置の基本構成を図４によって説明する。
【０００３】図４において１は空胴共振器、２はこの空
胴共振器１を貫通してその内部に収容されたガラス管等
の誘電体によって作られた放電管であり、放電管２の両
端部には互いに対向して全反射鏡３と部分透過鏡４とが
配設されて光共振器を構成している。
胴共振器１を貫通してその内部に収容されたガラス管等
の誘電体によって作られた放電管であり、放電管２の両
端部には互いに対向して全反射鏡３と部分透過鏡４とが
配設されて光共振器を構成している。
【０００４】放電管２とこの放電管２の両端部を連通さ
せる連通管５内には、レーザ媒質ガス６が封入されてお
り、このレーザ媒質ガス６は連通管５に配設された熱交
換器７によって冷却され、さらに送風機８によって例え
ば矢印方向に循環される。
せる連通管５内には、レーザ媒質ガス６が封入されてお
り、このレーザ媒質ガス６は連通管５に配設された熱交
換器７によって冷却され、さらに送風機８によって例え
ば矢印方向に循環される。
【０００５】９はマイクロ波発生器であり、このマイク
ロ波発生器９から出力されたマイクロ波は導波管（マイ
クロ波伝送路）１０によって上記空胴共振器１に導入さ
れる。なお、導波管１０はマイクロ波発生器９から出力
されるマイクロ波の伝送に適した仕様となっており、空
胴共振器１はマイクロ波の周波数に共振するように構成
されている。
ロ波発生器９から出力されたマイクロ波は導波管（マイ
クロ波伝送路）１０によって上記空胴共振器１に導入さ
れる。なお、導波管１０はマイクロ波発生器９から出力
されるマイクロ波の伝送に適した仕様となっており、空
胴共振器１はマイクロ波の周波数に共振するように構成
されている。
【０００６】すなわち、図４のレーザ発振装置は、マイ
クロ波発生器９から出力されるマイクロ波電力が空胴共
振器１内で共振することによってその電界強度が高めら
れ、放電管２内において放電が発生する。この放電によ
ってレーザ媒質ガス６が励起され、全反射鏡３と部分透
過鏡４との間に光共振現象が発生し、レーザ媒質ガス６
の仕様によって決定されるレーザ光１１が出力される。
クロ波発生器９から出力されるマイクロ波電力が空胴共
振器１内で共振することによってその電界強度が高めら
れ、放電管２内において放電が発生する。この放電によ
ってレーザ媒質ガス６が励起され、全反射鏡３と部分透
過鏡４との間に光共振現象が発生し、レーザ媒質ガス６
の仕様によって決定されるレーザ光１１が出力される。
【０００７】この図４に示したレーザ発振装置におい
て、レーザ光１１の高出力化を達成するためには、空胴
共振器１に入力するマイクロ波電力を大きくするか、あ
るいは空胴共振器１及び放電管２を長尺化してレーザ発
振に利用できるレーザ媒質ガス６の量を増加する必要が
ある。しかしながらこの点に関しては、 （１） 空胴共振器１に入力するマイクロ波電力を大き
くしすぎると、レーザ媒質ガス６の温度が上昇し、例え
ばＣＯ2 レーザ発振装置において発振効率が低下して、
レーザ光出力をかえって減少させてしまうことになる。
て、レーザ光１１の高出力化を達成するためには、空胴
共振器１に入力するマイクロ波電力を大きくするか、あ
るいは空胴共振器１及び放電管２を長尺化してレーザ発
振に利用できるレーザ媒質ガス６の量を増加する必要が
ある。しかしながらこの点に関しては、 （１） 空胴共振器１に入力するマイクロ波電力を大き
くしすぎると、レーザ媒質ガス６の温度が上昇し、例え
ばＣＯ2 レーザ発振装置において発振効率が低下して、
レーザ光出力をかえって減少させてしまうことになる。
【０００８】（２） 空胴共振器１を長くしすぎると、
放電管２内での放電発生の不安定化、マイクロ波で加熱
される領域が長くなることによるレーザ媒質ガス６の温
度上昇等の問題が発生し、発振効率が低下して前（１）
項と同様にレーザ光出力をかえって減少させてしまうこ
とになる。
放電管２内での放電発生の不安定化、マイクロ波で加熱
される領域が長くなることによるレーザ媒質ガス６の温
度上昇等の問題が発生し、発振効率が低下して前（１）
項と同様にレーザ光出力をかえって減少させてしまうこ
とになる。
【０００９】これらの問題点を解決し、高いレーザ発振
効率を保った状態で高出力のレーザ光を得るレーザ発振
装置として、図５に示すような構成のものが考えられて
いる。以下、この図５のレーザ発振装置の概要について
述べる。なお、上記図４と同一部分には同一符号を付し
てその説明は省略する。
効率を保った状態で高出力のレーザ光を得るレーザ発振
装置として、図５に示すような構成のものが考えられて
いる。以下、この図５のレーザ発振装置の概要について
述べる。なお、上記図４と同一部分には同一符号を付し
てその説明は省略する。
【００１０】同図において、空胴共振器１Ａ，１Ｂが同
軸的に配置され、これら空胴共振器１Ａ，１Ｂを同軸的
に貫通してそれぞれ放電管２Ａ，２Ｂが配設される。放
電管２Ａ，２Ｂは同軸に縦続配置される。また、放電管
２Ａと２Ｂの間に熱交換器７Ａが設けられ、この熱交換
器７Ａのガス出口ａは送風機８を経て放電管２Ａ，２Ｂ
の最後端部ｂと最前端部ｃにガス流路１３で接続され
る。
軸的に配置され、これら空胴共振器１Ａ，１Ｂを同軸的
に貫通してそれぞれ放電管２Ａ，２Ｂが配設される。放
電管２Ａ，２Ｂは同軸に縦続配置される。また、放電管
２Ａと２Ｂの間に熱交換器７Ａが設けられ、この熱交換
器７Ａのガス出口ａは送風機８を経て放電管２Ａ，２Ｂ
の最後端部ｂと最前端部ｃにガス流路１３で接続され
る。
【００１１】しかして、放電管２Ａ，２Ｂの最後端に部
分透過鏡４が配置され、これらが光共振器とされる。ま
た、各空胴共振器１Ａ，１Ｂには、マイクロ波発生器９
の出力がマイクロ波分配器１２を介して導波管１０，１
０Ａ，１０Ｂで接続される。
分透過鏡４が配置され、これらが光共振器とされる。ま
た、各空胴共振器１Ａ，１Ｂには、マイクロ波発生器９
の出力がマイクロ波分配器１２を介して導波管１０，１
０Ａ，１０Ｂで接続される。
【００１２】このような構成において、マイクロ波発生
器９で発生されたマイクロ波はマイクロ波分配器１２で
分配され、各空胴共振器１Ａ，１Ｂに供給される。空胴
共振器１Ａ，１Ｂが入力されたマイクロ波を共振増幅す
ると、その電界により放電管２Ａ，２Ｂ内で光共振現象
が発生し、レーザ光１１が部分透過鏡４から出力され
る。
器９で発生されたマイクロ波はマイクロ波分配器１２で
分配され、各空胴共振器１Ａ，１Ｂに供給される。空胴
共振器１Ａ，１Ｂが入力されたマイクロ波を共振増幅す
ると、その電界により放電管２Ａ，２Ｂ内で光共振現象
が発生し、レーザ光１１が部分透過鏡４から出力され
る。
【００１３】上記過程でレーザ媒質ガス６は加熱される
が、送風機８で循環されると共に、熱交換器７Ａで冷却
される。すなわち、放電管２Ａ，２Ｂ中を通ってきたレ
ーザ媒質ガス６は図中に破線で示した経路に沿って流
れ、熱交換器７Ａで熱交換し、冷却される。熱交換器７
Ａは放電管２Ａ，２Ｂのガス流出端部にあるため、レー
ザ媒質ガス６は放電管出口部でただちに熱交換器７Ａに
導入されることとなり、効率的荷レーザ媒質ガス６が冷
却される。さらに、高温のレーザ媒質ガス６が流れる流
路長が極小化されるので、レーザ発振装置全体の熱変形
の極小化にとっても有利となる。
が、送風機８で循環されると共に、熱交換器７Ａで冷却
される。すなわち、放電管２Ａ，２Ｂ中を通ってきたレ
ーザ媒質ガス６は図中に破線で示した経路に沿って流
れ、熱交換器７Ａで熱交換し、冷却される。熱交換器７
Ａは放電管２Ａ，２Ｂのガス流出端部にあるため、レー
ザ媒質ガス６は放電管出口部でただちに熱交換器７Ａに
導入されることとなり、効率的荷レーザ媒質ガス６が冷
却される。さらに、高温のレーザ媒質ガス６が流れる流
路長が極小化されるので、レーザ発振装置全体の熱変形
の極小化にとっても有利となる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記図５
に示したレーザ発振装置にあっては、複数個の放電管を
直列的に縦続結合しているために発振装置全体が長尺と
なり、これに伴なってレーザ媒質ガス６の供給、循環の
ためのガス流路１３及びマイクロ波電力の供給のための
導波管１０Ａ，１０Ｂを長尺とする必要があり、発振装
置全体をコンパクト化することが困難となるという問題
があった。
に示したレーザ発振装置にあっては、複数個の放電管を
直列的に縦続結合しているために発振装置全体が長尺と
なり、これに伴なってレーザ媒質ガス６の供給、循環の
ためのガス流路１３及びマイクロ波電力の供給のための
導波管１０Ａ，１０Ｂを長尺とする必要があり、発振装
置全体をコンパクト化することが困難となるという問題
があった。
【００１５】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、高いレーザ発振効
率を保ち、高出力のレーザ光の発生を維持しながら、装
置のコンパクト化をも実現可能としたレーザ発振装置を
提供することにある。
たもので、その目的とするところは、高いレーザ発振効
率を保ち、高出力のレーザ光の発生を維持しながら、装
置のコンパクト化をも実現可能としたレーザ発振装置を
提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段及び作用】すなわち本発明
は、マイクロ波発生器と、このマイクロ波発生器にマイ
クロ波分配器を介してそれぞれ接続された複数の空胴共
振器と、これら空胴共振器を貫通してそれぞれ配設され
た複数の放電管と、これら放電管列の最後端部、最前端
部及び上記放電管の縦続部に設けた反射鏡によって構成
される、レーザ光を上記放電管列内で共振させる光共振
器と、上記放電管それぞれにレーザ媒質ガスを循環供給
する送風機と、上記放電管のレーザ媒質ガス流出端部に
それぞれ配設される冷却用熱交換器とを備えるようにし
たもので、放電管の縦続部に反射鏡を設けてレーザ光の
方向を変更することにより複数の放電管を同軸上に順次
縦続配置する必要がなくなり、ガス流路及び導波管の長
尺化を回避して、高いレーザ発振効率を保ち、高出力の
レーザ光の発生を維持しながら、装置のコンパクト化を
も可能とすることができる。
は、マイクロ波発生器と、このマイクロ波発生器にマイ
クロ波分配器を介してそれぞれ接続された複数の空胴共
振器と、これら空胴共振器を貫通してそれぞれ配設され
た複数の放電管と、これら放電管列の最後端部、最前端
部及び上記放電管の縦続部に設けた反射鏡によって構成
される、レーザ光を上記放電管列内で共振させる光共振
器と、上記放電管それぞれにレーザ媒質ガスを循環供給
する送風機と、上記放電管のレーザ媒質ガス流出端部に
それぞれ配設される冷却用熱交換器とを備えるようにし
たもので、放電管の縦続部に反射鏡を設けてレーザ光の
方向を変更することにより複数の放電管を同軸上に順次
縦続配置する必要がなくなり、ガス流路及び導波管の長
尺化を回避して、高いレーザ発振効率を保ち、高出力の
レーザ光の発生を維持しながら、装置のコンパクト化を
も可能とすることができる。
【００１７】また、本発明によれば、前項の上記冷却用
熱交換器を上記放電管のレーザ媒質ガス流入端部にもそ
れぞれ配設するようにしたもので、レーザ媒質ガスの温
度上昇をより効率的に抑えることで、同じく装置のコン
パクト化を可能としながら、より高出力のレーザ光の発
生を可能とすることができる。
熱交換器を上記放電管のレーザ媒質ガス流入端部にもそ
れぞれ配設するようにしたもので、レーザ媒質ガスの温
度上昇をより効率的に抑えることで、同じく装置のコン
パクト化を可能としながら、より高出力のレーザ光の発
生を可能とすることができる。
【００１８】
【実施例】以下図面を参照して本発明の一実施例を説明
する。
する。
【００１９】図１はその概要構成を示すもので、上記図
４、図５と同一部分には同一符号を付してその説明は省
略する。
４、図５と同一部分には同一符号を付してその説明は省
略する。
【００２０】しかして、空胴共振器１Ａ，１Ｂを並列配
置とし、熱交換器７Ｃ，７Ｄをそれぞれ放電管２Ａ，２
Ｂのガス流出端に設置するものとする。また、反射鏡１
４，１５をそれぞれ放電管２Ａ，２Ｂの接続部に配設
し、部分透過鏡４、反射鏡１４、反射鏡１５及び全反射
鏡３の経路で光共振回路を構成する。なお、上記熱交換
器７Ｃ，７Ｄがレーザ光の光路を遮ることのないように
構成されることは言うまでもない。
置とし、熱交換器７Ｃ，７Ｄをそれぞれ放電管２Ａ，２
Ｂのガス流出端に設置するものとする。また、反射鏡１
４，１５をそれぞれ放電管２Ａ，２Ｂの接続部に配設
し、部分透過鏡４、反射鏡１４、反射鏡１５及び全反射
鏡３の経路で光共振回路を構成する。なお、上記熱交換
器７Ｃ，７Ｄがレーザ光の光路を遮ることのないように
構成されることは言うまでもない。
【００２１】上記のような構成にあって、マイクロ波発
生器９で発生されたマイクロ波は、マイクロ波分配器１
２で分配され、空胴共振器１Ａ，１Ｂのそれぞれに供給
される。空胴共振器１Ａ，１Ｂがこの入力されたマイク
ロ波を共振増幅すると、その電界強度が高められ、放電
管２Ａ，２Ｂ内において放電が発生する。この放電によ
ってレーザ媒質ガス６が励起され、上記した部分透過鏡
４、反射鏡１４、反射鏡１５及び全反射鏡３の経路で構
成される光共振回路により放電管２Ａ，２Ｂ内で光共振
現象が発生して、レーザ光１１が部分透過鏡４から出力
される。
生器９で発生されたマイクロ波は、マイクロ波分配器１
２で分配され、空胴共振器１Ａ，１Ｂのそれぞれに供給
される。空胴共振器１Ａ，１Ｂがこの入力されたマイク
ロ波を共振増幅すると、その電界強度が高められ、放電
管２Ａ，２Ｂ内において放電が発生する。この放電によ
ってレーザ媒質ガス６が励起され、上記した部分透過鏡
４、反射鏡１４、反射鏡１５及び全反射鏡３の経路で構
成される光共振回路により放電管２Ａ，２Ｂ内で光共振
現象が発生して、レーザ光１１が部分透過鏡４から出力
される。
【００２２】このような過程において、レーザ媒質ガス
６は加熱される一方、送風機８で循環されることで熱交
換器７Ｃ，７Ｄによって冷却される。すなわち、放電管
２Ａ，２Ｂ内を通ってきたレーザ媒質ガス６は図中に矢
印で示す経路に沿って流れ、熱交換器７Ｃ，７Ｄで熱交
換し冷却される。
６は加熱される一方、送風機８で循環されることで熱交
換器７Ｃ，７Ｄによって冷却される。すなわち、放電管
２Ａ，２Ｂ内を通ってきたレーザ媒質ガス６は図中に矢
印で示す経路に沿って流れ、熱交換器７Ｃ，７Ｄで熱交
換し冷却される。
【００２３】しかして熱交換器７Ｃ，７Ｄが放電管２
Ａ，２Ｂのガス流出端部に配置されているため、加熱さ
れたレーザ媒質ガス６は放電管２Ａ，２Ｂの出口部でた
だちに熱交換器７Ｃ，７Ｄに導入されることになり、効
率的に冷却されることとなる。また、放電管２Ａ，２Ｂ
のガス流入口及び流出口が隣接して配置されているた
め、レーザ媒質ガス６の循環用のガス流路、主として放
電管２Ａ，２Ｂへのガス供給側の短尺化が可能となり、
装置全体をコンパクト化することができる。さらに、空
胴共振器１Ａ，１Ｂが隣接して配置されているために導
波管１０Ａ，１０Ｂの短尺化も可能となる。
Ａ，２Ｂのガス流出端部に配置されているため、加熱さ
れたレーザ媒質ガス６は放電管２Ａ，２Ｂの出口部でた
だちに熱交換器７Ｃ，７Ｄに導入されることになり、効
率的に冷却されることとなる。また、放電管２Ａ，２Ｂ
のガス流入口及び流出口が隣接して配置されているた
め、レーザ媒質ガス６の循環用のガス流路、主として放
電管２Ａ，２Ｂへのガス供給側の短尺化が可能となり、
装置全体をコンパクト化することができる。さらに、空
胴共振器１Ａ，１Ｂが隣接して配置されているために導
波管１０Ａ，１０Ｂの短尺化も可能となる。
【００２４】なお、上記の如き構成とすることで、レー
ザ媒質ガス６の循環方向を矢印で示すようにその流路か
ら全反射鏡３、部分透過鏡４の位置を外すことで、レー
ザ媒質ガス６の熱の影響により全反射鏡３、部分透過鏡
４が変形、損傷することを防止することができる。
ザ媒質ガス６の循環方向を矢印で示すようにその流路か
ら全反射鏡３、部分透過鏡４の位置を外すことで、レー
ザ媒質ガス６の熱の影響により全反射鏡３、部分透過鏡
４が変形、損傷することを防止することができる。
【００２５】次に本発明の他の構成例を図２及び図３に
より説明する。
より説明する。
【００２６】まず、図２においては空胴共振器１Ａと１
Ｂが特定の角度αをもって配置されており、それぞれの
ガス流路の延長線上の交点位置に反射鏡１６が配置され
る。すなわち、部分透過鏡４、反射鏡１６及び全反射鏡
３を経路とするようにして光共振回路が構成されるもの
で、上記図１の構成に比して反射鏡の部品点数を縮小す
ることができる。
Ｂが特定の角度αをもって配置されており、それぞれの
ガス流路の延長線上の交点位置に反射鏡１６が配置され
る。すなわち、部分透過鏡４、反射鏡１６及び全反射鏡
３を経路とするようにして光共振回路が構成されるもの
で、上記図１の構成に比して反射鏡の部品点数を縮小す
ることができる。
【００２７】上記のような構成とすることで、図１に示
した場合と同様に、レーザ媒質ガス６の冷却を効率的に
行なうことができるだけでなく、レーザ媒質ガス６の循
環用のガス流路、主として放電管２Ａ，２Ｂへのガス供
給側の短尺化が可能となり、さらには導波管１０Ａ，１
０Ｂの短尺化も可能となるので、装置全体をコンパクト
化することができる。さらに、レーザ媒質ガス６の熱の
影響により全反射鏡３、部分透過鏡４が変形、損傷する
ことを防止することもできる。
した場合と同様に、レーザ媒質ガス６の冷却を効率的に
行なうことができるだけでなく、レーザ媒質ガス６の循
環用のガス流路、主として放電管２Ａ，２Ｂへのガス供
給側の短尺化が可能となり、さらには導波管１０Ａ，１
０Ｂの短尺化も可能となるので、装置全体をコンパクト
化することができる。さらに、レーザ媒質ガス６の熱の
影響により全反射鏡３、部分透過鏡４が変形、損傷する
ことを防止することもできる。
【００２８】また、図３は上記図１で示した構成に加え
て、放電管２Ａ，２Ｂのレーザ媒質ガス６の入口部近傍
にも冷却用の熱交換器７Ｅ，７Ｆを配置したものであ
る。これら熱交換器７Ｅ，７Ｆによってレーザ媒質ガス
６は冷却後に放電管２Ａ，２Ｂに供給され、放電管２
Ａ，２Ｂを通過した後も熱交換器７Ｃ，７Ｄによって冷
却されることとなるので、レーザ媒質ガス６の温度上昇
がより効率的に抑えられ、より高出力のレーザを発生さ
せることができる。
て、放電管２Ａ，２Ｂのレーザ媒質ガス６の入口部近傍
にも冷却用の熱交換器７Ｅ，７Ｆを配置したものであ
る。これら熱交換器７Ｅ，７Ｆによってレーザ媒質ガス
６は冷却後に放電管２Ａ，２Ｂに供給され、放電管２
Ａ，２Ｂを通過した後も熱交換器７Ｃ，７Ｄによって冷
却されることとなるので、レーザ媒質ガス６の温度上昇
がより効率的に抑えられ、より高出力のレーザを発生さ
せることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳記した如く本発明によれば、マイ
クロ波発生器と、このマイクロ波発生器にマイクロ波分
配器を介してそれぞれ接続された複数の空胴共振器と、
これら空胴共振器を貫通してそれぞれ配設された複数の
放電管と、これら放電管列の最後端部、最前端部及び上
記放電管の縦続部に設けた反射鏡によって構成される、
レーザ光を上記放電管列内で共振させる光共振器と、上
記放電管それぞれにレーザ媒質ガスを循環供給する送風
機と、上記放電管のレーザ媒質ガス流出端部にそれぞれ
配設される冷却用熱交換器とを備えるようにしたので、
放電管の縦続部に反射鏡を設けてレーザ光の方向を変更
することにより複数の放電管を同軸上に順次縦続配置す
る必要がなくなり、ガス流路及び導波管の長尺化を回避
して、高いレーザ発振効率を保ち、高出力のレーザ光の
発生を維持しながら、装置のコンパクト化をも可能とす
ることができる。
クロ波発生器と、このマイクロ波発生器にマイクロ波分
配器を介してそれぞれ接続された複数の空胴共振器と、
これら空胴共振器を貫通してそれぞれ配設された複数の
放電管と、これら放電管列の最後端部、最前端部及び上
記放電管の縦続部に設けた反射鏡によって構成される、
レーザ光を上記放電管列内で共振させる光共振器と、上
記放電管それぞれにレーザ媒質ガスを循環供給する送風
機と、上記放電管のレーザ媒質ガス流出端部にそれぞれ
配設される冷却用熱交換器とを備えるようにしたので、
放電管の縦続部に反射鏡を設けてレーザ光の方向を変更
することにより複数の放電管を同軸上に順次縦続配置す
る必要がなくなり、ガス流路及び導波管の長尺化を回避
して、高いレーザ発振効率を保ち、高出力のレーザ光の
発生を維持しながら、装置のコンパクト化をも可能とす
ることができる。
【００３０】また、本発明によれば、前項の上記冷却用
熱交換器を上記放電管のレーザ媒質ガス流入端部にもそ
れぞれ配設するようにしたので、レーザ媒質ガスの温度
上昇をより効率的に抑えることで、同じく装置のコンパ
クト化を可能としながら、より高出力のレーザ光の発生
を可能とすることができる。
熱交換器を上記放電管のレーザ媒質ガス流入端部にもそ
れぞれ配設するようにしたので、レーザ媒質ガスの温度
上昇をより効率的に抑えることで、同じく装置のコンパ
クト化を可能としながら、より高出力のレーザ光の発生
を可能とすることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る概略構成を示す図。
【図２】本発明の一実施例に係る他の構成例を示す図。
【図３】本発明の一実施例に係る他の構成例を示す図。
【図４】従来のレーザ発振装置の概略構成を示す図。
【図５】従来のレーザ発振装置の概略構成を示す図。
１，１Ａ，１Ｂ…空胴共振器、２，２Ａ，２Ｂ…放電
管、３…全反射鏡、４…部分透過鏡、５…連通管、６…
レーザ媒質ガス、７，７Ａ，７Ｃ，７Ｄ…熱交換器、８
…送風機、９…マイクロ波発生器、１０，１０Ａ，１０
Ｂ…導波管、１１…レーザ光、１２…マイクロ波分配
器、１３…ガス流路、１４〜１６……反射鏡。
管、３…全反射鏡、４…部分透過鏡、５…連通管、６…
レーザ媒質ガス、７，７Ａ，７Ｃ，７Ｄ…熱交換器、８
…送風機、９…マイクロ波発生器、１０，１０Ａ，１０
Ｂ…導波管、１１…レーザ光、１２…マイクロ波分配
器、１３…ガス流路、１４〜１６……反射鏡。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 8934−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/08 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】 マイクロ波発生器と、 このマイクロ波発生器にマイクロ波分配器を介してそれ
ぞれ接続された複数の空胴共振器と、 これら空胴共振器を貫通してそれぞれ配設された複数の
放電管と、 これら放電管列の最後端部、最前端部及び上記放電管の
縦続部に設けた反射鏡によって構成される、レーザ光を
上記放電管列内で共振させる光共振器と、 上記放電管それぞれにレーザ媒質ガスを循環供給する送
風機と、 上記放電管のレーザ媒質ガス流出端部にそれぞれ配設さ
れる冷却用熱交換器とを具備したことを特徴とするレー
ザ発振装置。 - 【請求項２】 上記冷却用熱交換器は上記放電管のレー
ザ媒質ガス流入端部にもそれぞれ配設されることを特徴
とした請求項１記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4729092A JPH05251803A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4729092A JPH05251803A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251803A true JPH05251803A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12771157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4729092A Pending JPH05251803A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251803A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19625603A1 (de) * | 1995-06-27 | 1997-01-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gaslaser-Oszillationsvorrichtung zur Abgabe eines Laserstrahls aufgrund der Anregung von Gas mittels Mikrowellen |
| JP2009226950A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-08 | Krones Ag | 容器を加熱するための装置 |
-
1992
- 1992-03-04 JP JP4729092A patent/JPH05251803A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19625603A1 (de) * | 1995-06-27 | 1997-01-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gaslaser-Oszillationsvorrichtung zur Abgabe eines Laserstrahls aufgrund der Anregung von Gas mittels Mikrowellen |
| DE19625603C2 (de) * | 1995-06-27 | 2001-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gaslaser zur Abgabe eines Laserstrahls aufgrund der Anregung von Gas mittels Mikrowellen |
| JP2009226950A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-08 | Krones Ag | 容器を加熱するための装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991019 |