JPH0523187Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、カツタを前進後退自在に駆動させる
テープ状材料の切断装置。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention is a tape-shaped material cutting device that drives a cutter forward and backward.

従来の技術 半導体装置の製造工程でウエーハから個々のペ
レツトを分離するために、ウエーハを接着支持し
た合成樹脂シートのテープ状材料を用い、これを
所定長に引き伸ばしている。この引き伸ばしは、
いわゆるエキスパンダと呼ばれる拡張装置でテー
プ状材料を引き伸ばすが、引き伸ばした後のテー
プ材料の余分な部分が生じ、この部分をマウント
装置において邪魔な部分として切り取る。2. Description of the Related Art In order to separate individual pellets from a wafer in the process of manufacturing semiconductor devices, a synthetic resin sheet tape-like material to which the wafer is adhesively supported is used and stretched to a predetermined length. This stretching is
The tape-shaped material is stretched using an expansion device called an expander, but after stretching, an excess portion of the tape material is generated, and this portion is cut off as an obstructive portion in the mounting device.

従来、この切り取りは手作業で行われ、例え
ば、第３図に示すような引き伸ばし用円筒状支持
具１の端面部にウエーハを接着した部分を載置固
定した後、伸長に用いた支持具１の側壁面に沿つ
て垂れ下がつたテープ２に余つた不要部分が生ず
る。このテープ２の不要部分には引き伸ばしに用
いたリング３が嵌め込まれて緊張固定されている
ので、この状態でリング３の上方部分で支持具１
の周りに沿つてナイフを滑らせることで余分のテ
ープ材料を切り取れる。図示しないが、切り取り
に先立つてテープは支持具１の上端近傍で固定さ
れており、また、切り込み部分の支持具周面には
切り溝が形成されており、外側からのナイフカツ
トを容易にしている。 Conventionally, this cutting has been done manually, for example, after placing and fixing the glued portion of the wafer on the end face of a cylindrical support 1 for stretching as shown in FIG. An unnecessary portion is left on the tape 2 hanging down along the side wall surface of the tape. The ring 3 used for stretching is fitted into the unnecessary part of this tape 2 and is fixed under tension.
Remove excess tape material by running a knife around the edges. Although not shown, the tape is fixed near the upper end of the support 1 prior to cutting, and a cut groove is formed on the circumferential surface of the support at the cut portion to facilitate knife cutting from the outside. .

考案が解決しようとする問題点 上記の如く手作業により合成樹脂テープ２を切
断するとき、リング３の装着位置が狂うと切断不
良が発生し、また常に露出状態になるナイフによ
つて作業者が怪我をするおそれもある。このよう
な不都合を回避する目的で半自動式もしくは自動
式のテープ切断装置の使用が検討されているが、
在来のこの種の装置においては半自動化もしくは
自動化によつて装置の全体構造が複雑化し、コス
トアツプや故障発生に起因する停滞時間の増加な
ど新たな問題が発生する。Problems to be Solved by the Invention When cutting the synthetic resin tape 2 manually as described above, if the mounting position of the ring 3 is incorrect, cutting defects will occur, and the knife, which is always exposed, will cause the operator to cut the tape 2 manually. There is also a risk of injury. In order to avoid such inconvenience, the use of semi-automatic or automatic tape cutting equipment is being considered;
In conventional devices of this type, the overall structure of the device becomes complicated due to semi-automation or automation, and new problems arise such as increased costs and increased downtime due to failures.

本考案の主な目的は、手作業によるテープ状材
料の切断作業の上記問題点を解決し、作業の確実
性と安全性を図り、テープ切断寸法の精度を向上
させる構造容易なテープ状材料の切断装置の提供
にある。 The main purpose of this invention is to solve the above-mentioned problems of manual cutting of tape-shaped materials, to improve the reliability and safety of the work, and to improve the precision of tape-cutting dimensions by creating a tape-shaped material with an easy structure. Provide cutting equipment.

問題点を解決するための手段 上記目的に鑑みて本考案は、円筒外周壁の所定
位置にカム溝を形成した円筒カム部材と、このカ
ム部材と同軸中心で回転自在に支持され且つ上端
部分で前記カム溝に係合するカムフオロアとカツ
タを揺動自在に支承する複数個の支持部材を具備
する円筒状カツタホルダと、前記カム部材と同軸
上に配置してウエーハを粘着したテープ状材料を
保持する円筒リングと、この円筒リングの側方に
前記テープ状材料の切断部分を張設させるよう上
下動する張設支持具とから構成され、前記カムフ
オロアが支持部材に植設した支持ピンに装着した
バネ部材により前記円筒カム部材と常時弾性的に
係合し、前記カツタホルダの回転により各カツタ
を円筒カム部材の各カム溝に沿つて直径方向の揺
動運動を生起し、この揺動運動の範囲内に張設さ
れる前記テープ状材料を前記複数個の支持部材の
各カツタにより同時に内方から切り込ませること
を特徴とするテープ状材料の切断装置を開示す
る。Means for Solving the Problems In view of the above object, the present invention includes a cylindrical cam member in which a cam groove is formed at a predetermined position on a cylindrical outer peripheral wall, and a cylindrical cam member that is rotatably supported coaxially with the cam member and that has an upper end portion. a cylindrical cutter holder comprising a cam follower that engages with the cam groove, a plurality of support members that swingably support the cutter, and a tape-like material disposed coaxially with the cam member to hold a tape-like material to which a wafer is adhered. It is composed of a cylindrical ring and a tensioning support that moves up and down to tension the cut portion of the tape-like material on the side of the cylindrical ring, and the cam follower is a spring attached to a support pin implanted in the support member. A member is always elastically engaged with the cylindrical cam member, and rotation of the cutter holder causes each cutter to diametrically swing motion along each cam groove of the cylindrical cam member, and within the range of this swing motion. Disclosed is a cutting device for a tape-like material, characterized in that the tape-like material stretched over the tape-like material is simultaneously cut from inside by each cutter of the plurality of support members.

作 用 複数個の支持部材を具備する円筒状カツタホル
ダが円筒カムの周りを回転するとき、カツタホル
ダに揺動自在に取付けられたカムフオロアが、円
筒カムの周壁面の局限された区間に亘つて形成さ
れたカム溝と係合離脱を繰り返し、カツタに所定
周期で前進運動と後退運動を生起させる。カツタ
は前進時にカツタホルダの周囲に所定の間隔を置
いて張設されているテープ状材料を内周面側より
切断し、切断動作が終了したときにはテープ状材
料の張設面からカツタホルダの回転中心に向つて
後退し、切断基準位置に待機する。Function: When a cylindrical cutter holder equipped with a plurality of support members rotates around the cylindrical cam, a cam follower, which is swingably attached to the cutter holder, is formed over a limited section of the peripheral wall surface of the cylindrical cam. The cutter repeatedly engages and disengages from the cam groove, causing the cutter to move forward and backward at a predetermined period. When the cutter moves forward, it cuts the tape-shaped material stretched around the cutter holder at a predetermined interval from the inner circumferential side, and when the cutting operation is completed, it cuts from the tensioned surface of the tape-shaped material to the center of rotation of the cutter holder. The machine moves backward and waits at the cutting reference position.

すなわち、テープ状材料は上下動する張設支持
具で張力をかけた状態にされており、これにカツ
タが複数同時に均等に作用するのでテープ状材料
の全周が切断される。 That is, the tape-like material is kept under tension by a tensioning support that moves up and down, and a plurality of cutters act equally on this at the same time, so that the entire circumference of the tape-like material is cut.

実施例 第１図は本考案装置の具体例を例示する平面図
であり、第２図は第１図の−に沿う縦断面図
である。これらの図面に見られるようにベース１
１上には、ネジ止め等の適当な固着手段によつて
外周壁面の円周方向に沿う局限された区間に亘つ
てカム溝１２ａ，１２ａを形成した円筒カム１３
が固着されている。円筒カム１３の周囲には、リ
ング状のガイドレール１４があり、この上に円筒
状のカツタホルダ１５が回転自在に配置されてい
る。図示する実施例は、カツタホルダ１５の側壁
面にハンドル１６を固着することにより、手動操
作でカツタホルダ１５を回転駆動する装置が構成
されているが、この代わりに流体圧シリンダ装置
やモータと減速機を組合わせた図示しない駆動装
置を使用し、カツタホルダ１５を自動的に回転さ
せる自動切断装置とすることも可能である。カツ
タホルダ１５の上端面にはピン１７が植設され、
支持部材２０が取付けられている。このピン１７
にはそれを回転中心として首振り運動するカムフ
オロア１８ａ，１８ｂおよびカツタ１９の支持部
材２０と共に揺動自在に取付けられている。詳細
にはカムフオロア１８およびカツタ１９の揺動自
在の支持は、第４図に示すように、ホルダ１５に
植設されたピン１７にカムフオロア１８をカム溝
に弾接するための弾圧スプリングのバネ部材２４
とこれの止め具２３、およびカツタ１９を装着し
た支持部材２０が組み込まれる。また、支持部材
２０には軸状部材２１が植設されており、カムフ
オロア１８を回動自在に保持する。一方、該支持
部材２０の上面には、ピン１７と適当な間隔を置
いてカムフオロア１８およびカツタ１９の支持部
材として機能する軸状部材２１が植設固着されて
いる。カムフオロア１８はこの軸状部材２１に回
転自在に嵌め込まれ、カツタホルダ１５の回転時
に円筒カム１３の外壁面円周方向に沿つて形成さ
れたカム溝１２ａ，１２ａと係合し、これによつ
て軸状部材２１の上端に固着されたカツタ１９
ａ，１９ｂにカム直径方向に前進運動と後退運動
の揺動運動を生起させる。カムフオロア１８ａ，
１８ｂをカム溝１２ａ，１２ｂに対し確実に押し
付けるため、カムフオロア１８ａ，１８ｂは、支
持部材２０に取付けられた加圧スプリングのバネ
部材（第４図参照）によつて常時カム溝１２ａ，
１２ｂへの押込み方向に付勢されている。第１図
に例示するようにカツタホルダ１５の上端部に所
定の配設ピツチで４組のカツタ装置が取付られ、
これに対応して円筒カム１３の外周壁面にはカム
フオロア１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄとの係
合面の高さを異にする４個のカム溝１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄが形成されている。従つてカ
ツタホルダ１５が回転するとき、第１のカムフオ
ロア１８ａは対応する第１のカム溝１２ａのみと
係合し、該カムフオロア１８ａと対になつた第１
のカツタ１９ａのみにカム半径方向に揺動運動を
生起させる。同様にして、第２乃至第４のカムフ
オロア１８ｂ，１８ｃ，１８ｄと第２乃至第４の
カム溝１２ｂ，１２ｃ，１２ｄがそれぞれ係合
し、対応するそれぞれのカツタ１９に同様に個別
的な前進後退の揺動運動を生起させる。このよう
にして特定のカムフオロア、例えば第１のカムフ
オロア１８ａがそれと対になつている第１のカム
溝１２ａ以外のカム溝１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと
は係合しないカツタホルダ１５の回動経路が形成
される。カム溝１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ
間の配設位相差は、カツタホルダ１５の周囲に該
カツタホルダと同心状をなして配設支持された合
成樹脂テープ２２がカツタ１９ａ，１９ｂ，１９
ｃ，１９ｄによつて末切断部分を残すことなく同
一平面上で切断されるようにカツタの移動長さに
10°程度のオーバーラツプ域を形成するように選
定されている。第２図ａ及びｂは、テープ２２が
張設支持具３１の下降により引き伸ばされる状態
を示しており、下降動作がモータ振動により円板
３２を回転させクランク機構で張設支持具を下降
させている。ここで、合成樹脂テープ２２の切断
部分は、第２図ｂに示すように、ウエーハは貼着
したテープ２２を保持する円筒リング３０の側方
に垂設し、カツタ１９の揺動運動の範囲内にあつ
て下方に延び、切り取り位置の下方には張設支持
具３１がある。なお、切断に先立ち、この張設支
持具３１は、第２図ａに示すように、テープの張
設に用い、テープの張設状態で円筒リング３０に
テープ２２を固定する。すなわち、円筒カム１３
とガイドレール１４を支えるベース１１の下側に
張設支持具３１を上下動させる駆動手段を設けて
おり、モータ回転によりテープ２２を円筒リング
３０の側壁側の所定位置に配置する。本考案装置
は上記の如く構成されているから、ハンドル１６
を握つてカツタホルダ１５を円筒カム１３の周り
に約100°正回転させることによつて、カム溝１２
の底部から円筒カム１３の表面に向かつてカムフ
オロアが移動し、これに伴つてカツタが切断位置
に前進しテープ２２を切断する。切断動作が終了
した後、カツタホルダ１５を約100°逆回転するこ
とによつてカムフオロア１８は対応するそれぞれ
のカム溝１２との係合位置にカム中心に向かつて
後退し待機状態に入る。この後、図示する張設支
持具３１を弛めてテープ２２を切断装置から取り
外すことにより切断サイクルが完了する。Embodiment FIG. 1 is a plan view illustrating a specific example of the device of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view taken along - in FIG. 1. Base 1 as seen in these drawings
1, a cylindrical cam 13 is provided with cam grooves 12a, 12a formed therein over a limited area along the circumferential direction of the outer peripheral wall surface by suitable fixing means such as screws.
is fixed. There is a ring-shaped guide rail 14 around the cylindrical cam 13, on which a cylindrical cutter holder 15 is rotatably arranged. In the illustrated embodiment, a handle 16 is fixed to the side wall surface of the cutter holder 15 to constitute a device for rotating the cutter holder 15 by manual operation. It is also possible to use a combined drive device (not shown) to provide an automatic cutting device that automatically rotates the cutter holder 15. A pin 17 is installed on the upper end surface of the cutter holder 15,
A support member 20 is attached. This pin 17
The cam follower 18a, 18b and the support member 20 of the cutter 19 are swingably attached to the cam follower 18a and 18b, which swing around the cam follower 18a and 18b, and the support member 20 of the cutter 19. Specifically, as shown in FIG. 4, the cam follower 18 and the cutter 19 are supported in a swingable manner by a spring member 24 of an elastic spring for elastically contacting the cam follower 18 with the cam groove on the pin 17 implanted in the holder 15.
The stopper 23 of this and the support member 20 to which the cutter 19 is attached are assembled. Further, a shaft member 21 is implanted in the support member 20, and rotatably holds the cam follower 18. On the other hand, on the upper surface of the support member 20, a shaft member 21 is implanted and fixed at an appropriate distance from the pin 17, and functions as a support member for the cam follower 18 and the cutter 19. The cam follower 18 is rotatably fitted into the shaft member 21, and engages with cam grooves 12a, 12a formed along the circumferential direction of the outer wall surface of the cylindrical cam 13 when the cutter holder 15 rotates, thereby causing the shaft A cutter 19 fixed to the upper end of the shaped member 21
a, 19b are caused to swing forward and backward in the diametrical direction of the cam. Cam follower 18a,
In order to reliably press the cam followers 18b against the cam grooves 12a, 12b, the cam followers 18a, 18b are always pressed against the cam grooves 12a, 12b by a spring member (see FIG. 4) of a pressure spring attached to the support member 20.
It is biased in the direction of pushing into 12b. As illustrated in FIG. 1, four sets of cutter devices are attached to the upper end of the cutter holder 15 at predetermined pitches,
Correspondingly, four cam grooves 12a, 12 are formed on the outer circumferential wall surface of the cylindrical cam 13, and the engagement surfaces with the cam followers 18a, 18b, 18c, 18d have different heights.
b, 12c, and 12d are formed. Therefore, when the cutter holder 15 rotates, the first cam follower 18a engages only with the corresponding first cam groove 12a, and the first cam follower 18a paired with the first cam follower 18a
A rocking motion is caused only in the cutter 19a in the radial direction of the cam. Similarly, the second to fourth cam followers 18b, 18c, 18d and the second to fourth cam grooves 12b, 12c, 12d are engaged with each other, and the corresponding cutters 19 are individually moved forward and backward. This causes a rocking motion. In this way, a rotation path of the cutter holder 15 is formed in which a specific cam follower, for example, the first cam follower 18a, does not engage with any of the cam grooves 12b, 12c, and 12d other than the first cam groove 12a with which it is paired. Ru. Cam grooves 12a, 12b, 12c, 12d
The disposed phase difference between the cutters 19a, 19b, 19 is such that the synthetic resin tape 22, which is disposed and supported around the cutter holder 15 in a concentric manner with the cutter holder,
c and 19d, adjust the length of the cutter's movement so that the cut is made on the same plane without leaving any cut ends.
They are selected to form an overlap area of approximately 10°. FIGS. 2a and 2b show the state in which the tape 22 is stretched by lowering the tensioning support 31, and the lowering operation is performed by rotating the disk 32 by motor vibration and lowering the tensioning support using a crank mechanism. There is. Here, as shown in FIG. 2b, the cut portion of the synthetic resin tape 22 is cut by placing the wafer vertically on the side of the cylindrical ring 30 that holds the attached tape 22, and within the range of the swinging motion of the cutter 19. There is a tension support 31 located inside and extending downward, and below the cutting position. Note that, prior to cutting, the tensioning support 31 is used to tension the tape, as shown in FIG. 2a, and fixes the tape 22 to the cylindrical ring 30 in the tape tensioned state. That is, the cylindrical cam 13
A driving means for vertically moving the tensioning support 31 is provided below the base 11 that supports the guide rail 14, and the tape 22 is placed at a predetermined position on the side wall side of the cylindrical ring 30 by rotation of the motor. Since the device of the present invention is constructed as described above, the handle 16
cam groove 12 by rotating the cutter holder 15 approximately 100 degrees forward around the cylindrical cam 13.
The cam follower moves from the bottom toward the surface of the cylindrical cam 13, and along with this, the cutter advances to the cutting position and cuts the tape 22. After the cutting operation is completed, the cutter holder 15 is reversely rotated by approximately 100 degrees, so that the cam follower 18 is moved back toward the cam center to a position where it engages with each corresponding cam groove 12, and enters a standby state. The cutting cycle is then completed by loosening the illustrated tension support 31 and removing the tape 22 from the cutting device.

考案の効果 上述するテープ状材料の切断装置は、これを使
用することにより従来手作業に頼つていたテープ
状材料の切断を半自動的もしくは自動的な態様と
して、切断寸法の精度を向上させ且つ安全にする
ことができる。本考案によれば張設支持されたテ
ープ状材料に対してカツタが正確な相対作動位置
を保持しながら切断動作をするから、手作業に頼
つていた場合の切断ミス等の事故が皆無になると
共にインデツクスも向上する。また切断動作を終
了したカツタはカムフオロアのカム溝内への後退
嵌まり込みによつてテープ状材料を傷付けるおそ
れのない待機位置に復帰するから、操作性の向上
に関しても従来技術の水準を大きく上廻る効果を
発揮することができる。Effects of the invention The above-mentioned cutting device for tape-shaped materials can be used to semi-automatically or automatically cut tape-shaped materials, which previously had to be done by hand, thereby improving the precision of cutting dimensions. It can be done safely. According to the present invention, the cutter performs cutting operations while maintaining an accurate relative operating position for the tape-shaped material that is stretched and supported, so there are no accidents such as cutting errors that would otherwise occur if manual work was used. At the same time, the index also improves. Furthermore, after the cutting operation is completed, the cutter returns to the standby position where there is no risk of damaging the tape-like material by retreating into the cam groove of the cam follower, which greatly improves operability compared to the conventional technology. It can produce a spinning effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本考案に係るテープ状材料の切断装置
の具体例を示す平面図、第２図は第１図の−
線に沿う引き伸ばし前後についてのそれぞれの状
態を示す縦断面図、第３図は従来の手動切断器具
の斜視図、及び第４図は第２図の揺動待機の要部
分解斜視図である。 １２ａ，１２ｂ……カム溝、１３……円筒カム
（部材）、１５……円筒状カツタボルダ、１７……
支持ピン、１８ａ，１８ｂ……カムフオロア、１
９ａ，１９ｂ……カツタ、２０……支持部材、２
１……軸状部材、２２……テープ状部材、２４…
…バネ部材、３０……円筒リング、３１……張設
支持具。 FIG. 1 is a plan view showing a specific example of a tape-shaped material cutting device according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the device shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a conventional manual cutting instrument, and FIG. 4 is an exploded perspective view of a main part of the swing standby mode shown in FIG. 2. 12a, 12b... cam groove, 13... cylindrical cam (member), 15... cylindrical cutter boulder, 17...
Support pin, 18a, 18b...cam follower, 1
9a, 19b... cutter, 20... support member, 2
1... Shaft-shaped member, 22... Tape-shaped member, 24...
... Spring member, 30 ... Cylindrical ring, 31 ... Tension support.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 円筒外周壁の所定位置にカム溝を形成した円筒
カム部材と、このカム部材と同軸中心で回転自在
に支持され且つ上端部分で前記カム溝に係合する
カムフオロアとカツタを揺動自在に支承する複数
個の支持部材を具備する円筒状カツタホルダと、
前記カム部材と同軸上に配置してウエーハを粘着
したテープ状材料を保持する円筒リングと、この
円筒リングの側方に前記テープ状材料の切断部分
を張設させるよう上下動する張設支持具とから構
成され、前記カムフオロアが支持部材に植設した
支持ピンに装着したバネ部材により前記円筒カム
部材と常時弾性的に係合し、前記カツタホルダの
回転により各カツタを円筒カム部材の各カム溝に
沿つて直径方向の揺動運動を生起し、この揺動運
動の範囲内に張設される前記テープ状材料を前記
複数個の支持部材の各カツタにより同時に内方か
ら切り込ませることを特徴とするテープ状材料の
切断装置。 A cylindrical cam member having a cam groove formed at a predetermined position on a cylindrical outer circumferential wall, and a cam follower and a cutter that are rotatably supported coaxially with the cam member and that engage with the cam groove at the upper end portion are swingably supported. a cylindrical cutter holder including a plurality of support members;
a cylindrical ring that is disposed coaxially with the cam member and holds a tape-shaped material to which a wafer is attached; and a tensioning support that moves up and down to stretch the cut portion of the tape-shaped material on the side of the cylindrical ring. The cam follower is always elastically engaged with the cylindrical cam member by a spring member attached to a support pin implanted in the support member, and the rotation of the cutter holder moves each cutter into each cam groove of the cylindrical cam member. A rocking motion is generated in the diametrical direction along the rocking motion, and the tape-shaped material stretched within the range of the rocking motion is simultaneously cut from the inside by each cutter of the plurality of support members. A device for cutting tape-shaped materials.