JPH05220955A

JPH05220955A - インクジェットヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH05220955A
Application number: JP2283392A
Authority: JP
Inventors: Shinji Yasukawa; 信二安川; Minoru Usui; 稔碓井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1992-02-07
Filing date: 1992-02-07
Publication date: 1993-08-31
Anticipated expiration: 2016-06-04
Also published as: JP3173520B2

Abstract

(57)【要約】【目的】圧電素子２２の変位方向の位置決めを、製造
上、より正確に実施するため平坦化層１０で補正するこ
とにより、圧電素子２２の変位を忠実かつ効率良くイン
ク室５に伝え、安定してインク滴を吐出させること。【構成】インク室５の一部を形成する弾性部材８を圧電
素子２２により変位させ、ノズル２からインク滴を吐出
させるインクジェットヘッドにおいて、弾性部材８と圧
電素子２２の間に平坦化層１０を設け、金属薄板６面を
インク５１に接し、平坦化層１０面を圧電素子２２と接
合した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、印字信号に応じてイン
ク滴を吐出して、記録紙等の記録媒体上にインク像を形
成するオンデマンド型インクジェットプリンタの記録ヘ
ッド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】印字信号に応じてインク滴を飛翔させ
る、いわゆるオンデマンド型インクジェットプリンタの
記録ヘッドは、大きく分けて３種類の形式のものがあ
る。その第１の形式のものは、インクを瞬間的に気化さ
せるヒータをノズルの先端に設け、インク気化時の膨張
圧力によりインク滴を生成、飛翔させる、いわゆるバブ
ルジェット型である。また、第２の形式のものは、イン
ク室を形成する容器の一部を電圧印加で変形する圧電素
子により構成し、圧電素子の変形で生じた容器内の圧力
によりインクを液滴として飛翔させるものである。さら
に第３の形式のものは、ノズルを備えたインク室に圧電
素子を設け、圧電素子の伸縮によりインク室のインク圧
を変化させて、ノズルからインクを液滴として飛翔させ
るものである。上記第３の形式のオンデマンド型インク
ジェットヘッドは、日本特許公報特公平２ー４５９８５
号公報や特公平２ー５２６２５号に示されたように、一
端が基台に固定された圧電素子の他端を、インク室を形
成する容器の弾性壁に、脚部を介して弾接させて構成さ
れる。同公報の技術によると、両公報の第３図、第４図
に示されるように、予め弾性壁をインク室側にたわませ
ている。この状態から圧電素子を収縮させて弾性壁のた
わみを戻し、再び圧電素子を伸長させることでインク室
のインクをノズルから液滴として吐出している。この、
予め弾性壁をたわませる手段としては、脚部と弾性壁の
間に粘弾性部材を押し込む、脚部もしくは弾性壁に突起
部分を設ける、と開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】記録ヘッドの小型化、
高密度化を図るほど圧電素子やインク室は小さくなる。
よって、圧電素子の変位量も小さくなり、より効率良く
圧電素子の変位をインク室に伝えねばならない。そのた
めに、圧電素子と弾性部材の接合部、特に圧電素子の変
位方向の位置決めに注意をはらうことが極めて重要にな
る。しかし、前出の公報の構成においては、粘弾性部材
や、突起部分の周囲の弾性壁が少なからず圧力を吸収し
てしまう。更に圧電素子の変位方向については、粘弾性
部材や弾性壁を予めたわませる構造を備えることによ
り、圧電素子の復元位置が安定しにくく、たわみ量がバ
ラつく可能性が高い。その結果、吐出されるインク滴の
速度低下や、インク滴体積の減少や、吐出応答周波数の
低下を招き、インク滴の吐出特性が不安定になる可能性
もある。更に同技術の構成は、脚部を軸受け部に線接触
させて支持する構造をとるため、ここでの損失も起こり
うる。

【０００４】一方、同ヘッドの製造方法については、複
数のインク室と圧電素子を並列する場合、圧電素子の変
位方向の位置を製造時に安定させることが重要である
が、弾性壁や粘弾性部材を使用することにより、製造時
に圧電素子の変位方向の位置のバラつきを少なくするこ
とが極めて困難となる。

【０００５】そこで、本発明の目的は、インク圧力損失
の少ない、インク滴の吐出が安定したヘッド及びその製
造方法を簡素な構成及び方法で実現することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、インク室の一部を形成する弾性部材を圧電素
子により変位させ、インク室内のインク圧力を高め、ノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記弾性部材と前記圧電素子との少なくとも一
方に、製造時の前記圧電素子の変位方向の位置のバラつ
きを補正する目的で、平坦化層を設けたことを特徴とす
る。また、前記平坦化層が、感光性樹脂で構成されたこ
とを特徴とする。更に、その製造方法においては、前記
平坦化層を設ける部材が、少なくとも２部材が接合され
た後に、前記平坦化層を形成することを特徴とする。ま
た、前記平坦化層が、流動性を有する硬化性物質を、基
準平板側と前記弾性部材または前記圧電素子との間に設
けた後に、前記硬化性物質を選択的に硬化して、形成す
ることを特徴とする。

【０００７】

【実施例】図１は本発明の実施例の構成を示す斜視図で
あり、組立後に各部品を分解したものである。図２、図
３、図４はそれぞれ、同実施例をより詳細に描いた部分
断面図、同実施例を下方より見た部分斜視図、同実施例
を真上より見た部分平面図である。尚、図４は、構成部
品を上から順次剥いだ状態を示す。図５、図６、図７、
図８は本発明の実施例の構成に基ずいて、平坦化層を形
成する製造方法を示す。図９、図１０は本発明の他の実
施例の部分断面図、図１１は従来例の問題点を説明する
部分断面図、図１２は本発明の効果を説明する部分断面
図を示す。

【０００８】これらの図において、１はノズル基板であ
る。ノズル基板１には、複数のノズル２を設けてある。
３はキャビティ形成基板である。キャビティ形成基板３
は、ノズル基板１と、弾性壁となる弾性部材８とで挟ま
れて、リザーバ４とインク室５を形成する。弾性部材８
は、金属薄板６と壁部材７とからなる積層構造をなす。
弾性部材８、キャビティ形成基板３、ノズル基板１は順
次密着接合された後、後述する平坦化層１０を弾性部材
８側に形成し、ヘッドフレーム１１上に密着接合されて
いる。

【０００９】インク滴吐出の駆動源となる圧電素子２２
は、その長手方向の約半分の一面をを固定台２１に固着
され、固着されない半分の先端を平坦化層１０と接合し
ている。固定台２１には正極と負極の導通配線パターン
２４が施され、リードフレーム２５を介して、制御基板
１３により制御された電界を圧電素子２２に与える。１
１はヘッドフレームである。１２はヘッドフレーム１１
内を貫通する取り付け穴で、圧電素子２２のＸ，Ｙ方向
の位置決め（図１のＸＹＺ座標参照）をするべく固定台
２１を支持する。尚、圧電素子２２のＺ方向は、平坦化
層１０と弾性部材８とキャビティ形成基板３とノズル基
板１を接合した接合体を、ヘッドフレーム１１に接合
後、圧電素子２２の先端を平坦化層１０に当接して位置
決めする。３１はインク溜部（図示せず）からインク５
１を供給するインク供給管である。インク供給管３１
は、ヘッドフレーム１１に圧入接着されている。インク
流路は、ヘッドフレーム１１にあるインク接続口３２と
平坦化層１０、弾性部材８にあるインク連絡口３３を経
て、キャビティ形成基板３のリザーバ４、更にインク室
５と連通している。以上が概略構成である。

【００１０】図２に従って、構造について更に詳しく述
べる。圧電素子２２は、正電極４１と負電極４２が対向
している。正電極４１は、固定台２１上の配線パターン
２４特に正極導通パターンに接合と同時に電気接続され
ている。負電極４２は、共通板２３により、固定台２１
上の配線パターン２４特に負極導通パターンと電気接続
している。配線パターン２４と制御基板１３とをリード
フレーム２５で結び、それぞれ接続箇所を半田で固着し
ている。尚、固定板２１は、圧電素子２２が平坦化層１
０に当接した状態で、ヘッドフレーム１１に接着固定さ
れている。つまり、圧電素子２２のＺ方向は平坦化層１
０で位置決めする。そこで、平坦化層１０と当接するヘ
ッドフレーム１１の平面６０は、平面研磨等の手段によ
り高精度に仕上げられている。しかし、平坦化層１０を
形成しない従来例では、図１１に示すごとく、圧電素子
２２ａと弾性部材８ａを当接後直接接着すると、ノズル
基板１ａ、キャビティ形成基板３ａ、弾性部材８ａの製
造過程による厚み方向のバラつきやソリにより、圧電素
子２２ａの固定板と固着されない半分の先端と当接する
弾性部材８ａとの間に発生する間隙がバラつくことにな
る。この間隙には、圧電素子２２ａと弾性部材８ａとを
固着する接着剤が介在することとなる。前記接着剤塗布
方法としては、一般に一定量の接着剤を圧電素子２２ａ
または弾性部材８ａに、各塗布部分間にバラつきがでな
いように塗布した後、両者を接合した状態で保持し同接
着剤を硬化させている。これ以外に、例えば、圧電素子
２２ａと弾性部材８ａとを当接後、圧電素子２２ａと弾
性部材８ａとの各間隙に応じた適度な量を充填すること
が考えられるが、構造上、製法上制約が大きく実現する
可能性は極めて小さい。そこで、一定量の接着剤を管理
しながら塗布する方法を採ることとなる。圧電素子２２
ａと弾性部材８ａとの間隙がバラつくと、図１１に示す
ごとく、接着剤の接合状態において９ａ、９ｂ、９ｃ、
‥‥のごとく、バラつきの大きい状態が形成されること
となる。ここでは、代表的な３タイプを図示している
が、実際にはもっと多くの接合状態が生じている。９ａ
は、望ましい接合状態を示し、硬化する以前の流動性の
状態ではメニスカスが形成され、接合としては安定状態
で硬化することとなる。これは、即ち弾性部材８ａと圧
電素子２２ａとの前記間隙が適度に保たれているからで
ある。一方、９ｂはノズル基板１ａ、キャビティ形成基
板３ａ、弾性部材８ａの製造過程による厚み方向のバラ
つきやソリにより、圧電素子２２ａと弾性部材８ａとの
間隙が、適度な間隙より大きくなった状態を示す。この
状態においては、圧電素子２２ａと弾性部材８ａとの間
隙に設けられた接着剤はＺ方向に引っ張られた状態のご
とくとなり、接着剤の硬化にバラつきが生じ、硬化後の
接着剤のヤング率が安定せず、接着強度も低下する。９
ｃは、同様の理由により、バラつきが発生し圧電素子２
２ａと弾性部材８ａとの間隙が適度な間隙より小さくな
った状態を示す。この状態においては、間隙が小さすぎ
ることにより、９ａで言うメニスカスが破壊され弾性部
材８ａに流れ込んでしまう。接着剤が弾性部材８ａに流
れ込むと、弾性部材８ａの剛性に影響を及ぼし、圧電素
子２２ａの伸縮がインク室５に効率良く伝えられない。
更に、圧電素子２２ａと弾性部材８ａの接着強度の低下
にもつながる可能性がある。よって、圧電素子２２のＺ
方向の位置決めを正確に行うと共に、圧電素子２２の固
着されない半分の先端と当接面の間隙を安定させること
が重要である。図１２は、本発明で実施される平坦化層
１０を設けたことによる効果を説明する部分断面図であ
る。同図において、後述する方法で平坦化層を形成し、
圧電素子２２ａと接合された状態を示す。平坦化層は同
図のごとく、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ‥‥で、前述した
ノズルプレート１ａ、キャビティ形成基板３ａ、弾性部
材８ａの製造過程による厚み方向のバラつきやソリを補
正し、９ｄ、９ｅ、９ｆで示す様に、適度な間隙により
接着剤に安定したメニスカスを形成することが可能であ
る。この状態で保持し、接着剤を硬化させることによ
り、安定した接着強度が得られ、且つ弾性部材８ａに接
着剤が流れ込むことが防止できる。

【００１１】一方、インク５１が充填されるインク室５
及びリザーバ４は、キャビティ形成基板３とノズル基板
１と弾性部材８とで形成される。キャビティ形成基板３
は、ガラスのエッチング加工、金属薄板の積層、感光性
樹脂の露光形成、樹脂の射出成形等で作ることができる
が、本実施例では、コスト的に安価な感光性樹脂を用い
ている。キャビティ形成基板３の上面を覆うノズル基板
１は、プレス加工によって、複数のインク室５にそれぞ
れ一つずつノズル２が開けられた、０．１ｍｍ程のステ
ンレス鋼板からなる。

【００１２】ノズル基板１は、ニッケルの電鋳加工法に
よっても作ることができる。

【００１３】また、キャビティ形成基板３の下面を覆う
弾性部材８は、ニッケルの電鋳加工法で５ミクロン以下
の厚さに形成した金属薄板６に、同加工法で１０〜１０
０ミクロン程度の厚さに形成した壁部材７を積層した構
造をなす。金属薄板６は、圧電素子２２の伸縮をインク
室５に効率良く伝えるために薄いほど好ましいが、イン
ク室５内のインク５１がしみ出してはならない。インク
５１が導電性を呈する場合、圧電素子２２の正電極４１
と負電極４２間や制御基板１３にインク５１が付着し
て、電気的にショートしてしまうからである。上記理由
から、金属薄板６をフィルム等の樹脂で代替することが
できない。樹脂は、５ミクロン程度の厚さではインク５
１がしみ出してしまう上、機械的強度も不足する。圧電
素子２２を金属薄板６に直接接合すれば構成としては簡
素になるが、以下の理由によりこれができない。一つの
理由として、図２に示すように、正電極４１が金属薄板
６と接触すると隣接する圧電素子が短絡してしまう。仮
に、正電極４１側を共通電極とした場合には、インク５
１に電界が加わることになる。このことは、インク５１
が経時的にイオン化して、信頼性の劣化を招くことにつ
ながる。つまり、平坦化層１０に絶縁部材即ち感光性樹
脂を配することにより上記の問題から開放され、圧電素
子２２を制御するための配線の自由度が増すことにな
る。もう一つの理由は、図４に示すように、圧電素子２
２の断面形状とインク室５の断面形状が、コスト面及び
製造上の理由から異なる。このことは、圧電素子２２が
インク室５を加減圧する際、図４に示すように、変位で
きる弾性部材８の長さ（イ）が短すぎて充分にたわむこ
とができず、逆に変位できる弾性部材８の長さ（ロ）は
長すぎて発生する圧力を吸収してしまう。よって、圧電
素子２２の変位を効率良くインク室５に圧力伝達するた
めに、長さ（イ）（ロ）を適切に確保できる中間部材が
必要となる。上記理由から壁部材７が必要とされる。壁
部材７は、電鋳加工法によって、図３に示す形が作られ
る。同図に示すように、壁部材７の島状部７ａ先端に形
成された平坦化層の島状部１０ａに、圧電素子２２の先
端が接合されている。島状部７ａと１０ａは、図４に示
すように、インク室５の投影面より一回り小さく設計さ
れている。

【００１４】インク滴吐出動作は、図２において、印字
信号に応じて制御基板１３からリードフレーム２５、配
線パターン２４を通じて圧電素子２２の正電極４１と負
電極４２とに電界を印加する。電界を印加された圧電素
子２２は長手方向（同図上下方向）に収縮しようとす
る。この時、圧電素子２２の下半分は、ヘッドフレーム
１１に保持されている固定台２１に固着されており、収
縮変位できない。一方、圧電素子２２の上半分は、他の
拘束を受けることなく収縮変位して、その収縮力により
平坦化層１０を介して弾性部材８を引張る。平坦化層１
０を介して圧電素子２２に引張られた弾性部材８の金属
薄板６が下方へたわみ、その結果インク室５の体積が膨
張する。インク室５が膨張すると、リザーバ４からイン
ク供給口３ａを通じてインク５１が流入する。次いで、
圧電素子２２の電界を解除すると、圧電素子２２は元の
長さに伸長してインク室５を圧縮する。この圧力でノズ
ル２からインク滴を吐出する。圧電素子２２の変位をイ
ンク室５に伝える平坦化層の島状部１０ａと弾性部材８
の島状部７ａは前述したように、インク室５の投影面よ
り一回り小さいため、金属薄板６のたわみ部を残しつつ
インク室５をまんべんなく加減圧する。以上が、インク
滴の吐出動作である。

【００１５】一方、以上の実施例の他にも、例えば図９
の様に、圧電素子２２側に平坦化層１４を形成すること
もできる。また図１０の様に、圧電素子２２側に平坦化
層１６を形成し、弾性部材８側に平坦化層１５を形成す
ることもできる。

【００１６】次に図５、図６、図７、図８に従って、平
坦化層１０の製造方法について述べる。図５は、キャビ
ティ形成基板３のノズル基板側３ａとノズル基板１の接
合体７０を製造する方法を工程順に示す。最初に、前述
のごとくプレス加工または電鋳加工法によって加工され
たノズル基板１に感光性樹脂フィルム（以下ドライフィ
ルムと呼ぶ）６１をラミネートする。次に紫外線を露光
するパターンと露光しないパターンを形成したガラスマ
スク６２をドライフィルム６１側に配し、紫外線を照射
し露光を行う。露光後には、ドライフィルム６１上に、
露光によって硬化した部分と露光されない未露光部分が
形成される。次に、現像を行うことによって未露光部分
を除去し、キャビティ形成基板３ａとノズル基板１の接
合体７０が完成する。

【００１７】一方、図６はキャビティ形成基板３の弾性
部材側３ｂと弾性部材８の接合体８０を製造する方法を
工程順に示す。最初に、前述のごとく電鋳加工法によっ
て加工された弾性部材８にドライフィルム７１をラミネ
ートする。次に、前述と同様にガラスマスク７２をドラ
イフィルム７１側に配し、紫外線を照射し露光を行う。
露光後には、ドライフィルム７１上に、露光によって硬
化した部分と露光されない未露光部分が形成される。次
に、現像を行うことによって未露光部分を除去し、キャ
ビティ形成基板３ｂと弾性部材８の接合体８０が完成す
る。

【００１８】図７は、キャビティ形成基板３ａとノズル
基板１の接合体７０、キャビティ形成基板３ｂと弾性部
材８の接合体８０の両者を融着によって、キャビティ形
成基板完成体９０を製造する方法を示す。融着は、１５
０〜１７０℃の温度で行う。この時、ドライフィルム表
面は熱によって融着されるが、加圧力と時間によってド
ライフィルムのつぶれ量が決定される。また、加圧が均
等にされることがドライフィルムのつぶれ量のバラつき
を少なくする上で、重要となる。しかし実際には、ドラ
イフィルム上における融着肉の有無即ちパターンの配し
方によって、つぶれ量のアンバランスが起こり易い。ま
た、融着時の加熱から常温への冷却過程では、ソリが発
生しやすくなる。以上の理由から、製造時にキャビティ
形成基板完成体９０の厚みｈのバラつきが発生しやすく
なる。このことは、前述したように、圧電素子２２と弾
性部材８との間隙がバラつく原因となり、圧電素子２２
の変位が効率良くインク室５に圧力伝達しなくなり、そ
の結果インク滴の吐出特性不安定の原因となる。よっ
て、平坦化層１０を設けることが重要になる。

【００１９】図８は、前記平坦化層１０を形成する過程
を示す。９０は、キャビティ形成基板完成体である。ま
ず、キャビティ形成基板完成体９０の弾性部材８側に、
平坦化層１０を形成する流動性物質１０ｂを塗布する。
必要に応じて、塗布前に密着力向上を目的として、弾性
部材８にプライマー処理を施すこともある。流動性物質
１０ｂは、感光性樹脂、熱硬化性樹脂、常温硬化性樹脂
があげられるが、特にポリエステル樹脂、アクリル樹
脂、エポキシ樹脂、ＡＰＲ樹脂、各種レジストが使用さ
れる。本実施例では、比較的簡単に扱えコスト的にも安
価なポリエステル樹脂（感光性樹脂）を用いている。次
に、弾性部材８の最も凸となる部分から、一定の距離を
離間せしめる間隙部材（図示せず）を設けた部分に、離
型性を目的としたＰＥＴフィルムを少なくとも流動性物
質１０ｂよりも広い範囲に載置する。次に、前記フィル
ム上にガラスマスク９１（請求項４の基準平板）を載置
する。このガラスマスク９１には、流動性物質１０ｂに
対して露光部と未露光部を選択的に形成する目的で、パ
ターンが配されている。更に、このガラスマスクの少な
くともフィルム側の片面は、研磨加工で平面度０．１〜
０．２ミクロン程度に仕上げられている。該ガラスマス
ク９１を載置した後、３００〜４００nm程度の波長を持
つ紫外線を照射することによって、露光を行う。流動性
物質１０ｂは、可視光線４００nm以上には感光しにくい
ので、暗室や特別な設備は必要ない。前記露光後には、
流動性物質１０ｂは２分化され、被露光部は化学変化を
起こして硬化し未露光部は流動性の状態を保っている。
この状態で、未露光部で流動性の部分の除去を行う。流
動性物質１０ｂは、弱アルカリ液或は水で簡単に除去で
きるので、作業は安全且つ無害である。また、硬化部分
を更に確実に硬化させる目的で、後露光を必要に応じて
実施することもできる。以上の方法により、平坦化層１
０を形成することができ、平面精度については前記ガラ
スマスク９１と同程度な高精度の平坦化層１０を形成す
ることができる。尚、本実施例以外でも、前記熱硬化性
樹脂や常温硬化性樹脂についても、同様に高精度な平坦
化層１０を形成することができる。

【００２０】以上述べたごとく形成された平坦化層１０
は、樹脂の特性により軽いので、圧電素子２２の伸縮力
をほとんど損失することがなく、吐出応答周波数を向上
させることができる。また、平坦化層１０を設けること
により、平面精度を向上する目的で弾性部材８を削るよ
りも、更にトータルで高精度を実現することができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、インクのしみだし
を防ぎつつその厚さを極めて薄くした金属薄板とこれと
積層した壁部材とからなる弾性部材と、圧電素子の少な
くとも一方に樹脂の平坦化層を設けたことにより、圧電
素子の変位方向の位置決めが高精度に行えるようにな
る。また、平坦化層形成が、少なくとも２部材が接合さ
れた後に基準平板を使い選択的に硬化して行われること
により、各部材のソリやツブレのバラつきが平坦化層で
補正され、圧電素子当接面として、高精度な平面を作り
出すことができる。また、圧電素子接合面の間隙が安定
するので、接着強度も安定し、接着剤のはみだしも抑え
られる。その結果、圧電素子の変位を忠実且つ効率良く
インク室に伝えることができる。圧電素子の変位を効率
良くインク室に伝えることは、インク滴の吐出特性が安
定するばかりでなく、記録ヘッドの小型化、高密度化を
も可能にする。また、平坦化層に絶縁部材である感光性
樹脂を用いることで、製法上、コスト的に安価且つ簡単
に扱えると同時に、弾性部材と圧電素子とを電気的に絶
縁することにより、インクに電界が加わることを防止
し、隣接する圧電素子をも絶縁するため電気配線の自由
度が増す。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の構成を示す斜視図。

【図２】同上実施例の部分断面図。

【図３】同上実施例を下方より見た部分斜視図。

【図４】同上実施例を真上より見た平面図。

【図５】本発明の１実施例の１製法を示す図。

【図６】同上実施例の１製法を示す図。

【図７】同上実施例の１製法を示す図。

【図８】同上実施例の１製法を示す図。

【図９】本発明の他の実施例の部分断面図。

【図１０】本発明の他の実施例の部分断面図。

【図１１】従来例の問題を説明する部分断面図。

【図１２】本発明の効果を説明する部分断面図。

【符号の説明】

１、１ａノズル基板３、３ａキャビティ形成基板５インク室６金属薄板７壁部材８、８ａ弾性部材９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ，９ｅ，９ｆ接着剤の流動硬
化状態１０、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ、１４、１５、１６平
坦化層１０ｂ流動性物質１１ヘッドフレーム１２取り付け穴２１固定板２２、２２ａ圧電素子２３共通板２４配線パターン２５リードフレーム３１インク供給管３２インク接続口３３インク連絡口５１インク６０ヘッドフレーム平面６１、７１感光性樹脂フィルム（ドライフィル
ム）６２、７２ガラスマスク９０キャビティ形成基板完成体９１ガラスマスク（基準平板）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子によってインク室の一部を形成
する弾性部材を変位させ、インク室内のインク圧力を高
め、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記弾性部材と前記圧電素子との少なく
とも一方に平坦化層を設けたことを特徴とするインクジ
ェットヘッド。
【請求項２】前記平坦化層が、感光性樹脂で構成され
たことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッ
ド。
【請求項３】請求項１記載のインクジェットヘッドに
おいて、前記平坦化層を設ける部材が、少なくとも２部
材が接合された後に、前記平坦化層を形成することを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】前記平坦化層が、流動性を有する硬化性
物質を、基準平板側と前記弾性部材または前記圧電素子
との間に設けた後に、前記硬化性物質を選択的に硬化し
て、形成することを特徴とする請求項３記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。