JPH05212203A - 蒸留分離方法 - Google Patents

蒸留分離方法

Info

Publication number
JPH05212203A
JPH05212203A JP4199454A JP19945492A JPH05212203A JP H05212203 A JPH05212203 A JP H05212203A JP 4199454 A JP4199454 A JP 4199454A JP 19945492 A JP19945492 A JP 19945492A JP H05212203 A JPH05212203 A JP H05212203A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
distillation column
stream
nitrogen
column
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4199454A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0785761B2 (ja
Inventor
Rakesh Agrawal
アグラウォル ラケッシュ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Products and Chemicals Inc
Original Assignee
Air Products and Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Products and Chemicals Inc filed Critical Air Products and Chemicals Inc
Publication of JPH05212203A publication Critical patent/JPH05212203A/ja
Publication of JPH0785761B2 publication Critical patent/JPH0785761B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/044Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a single pressure main column system only
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D3/00Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
    • B01D3/14Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
    • B01D3/143Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step
    • B01D3/146Multiple effect distillation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/0204Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream characterised by the feed stream
    • F25J3/0209Natural gas or substitute natural gas
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/0228Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream characterised by the separated product stream
    • F25J3/0233Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream characterised by the separated product stream separation of CnHm with 1 carbon atom or more
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/0228Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream characterised by the separated product stream
    • F25J3/0257Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream characterised by the separated product stream separation of nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04284Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using internal refrigeration by open-loop gas work expansion, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04284Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using internal refrigeration by open-loop gas work expansion, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
    • F25J3/04321Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using internal refrigeration by open-loop gas work expansion, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams of oxygen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04333Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
    • F25J3/04351Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams of nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/02Processes or apparatus using separation by rectification in a single pressure main column system
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/30Processes or apparatus using separation by rectification using a side column in a single pressure column system
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/50Processes or apparatus using separation by rectification using multiple (re-)boiler-condensers at different heights of the column
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/72Refluxing the column with at least a part of the totally condensed overhead gas
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/76Refluxing the column with condensed overhead gas being cycled in a quasi-closed loop refrigeration cycle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/90Details relating to column internals, e.g. structured packing, gas or liquid distribution
    • F25J2200/94Details relating to the withdrawal point
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/42Nitrogen or special cases, e.g. multiple or low purity N2
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/42Nitrogen or special cases, e.g. multiple or low purity N2
    • F25J2215/44Ultra high purity nitrogen, i.e. generally less than 1 ppb impurities
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2220/00Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
    • F25J2220/42Separating low boiling, i.e. more volatile components from nitrogen, e.g. He, H2, Ne
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2240/00Processes or apparatus involving steps for expanding of process streams
    • F25J2240/02Expansion of a process fluid in a work-extracting turbine (i.e. isentropic expansion), e.g. of the feed stream
    • F25J2240/12Expansion of a process fluid in a work-extracting turbine (i.e. isentropic expansion), e.g. of the feed stream the fluid being nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2250/00Details related to the use of reboiler-condensers
    • F25J2250/20Boiler-condenser with multiple exchanger cores in parallel or with multiple re-boiling or condensing streams
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2270/00Refrigeration techniques used
    • F25J2270/42Quasi-closed internal or closed external nitrogen refrigeration cycle

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Emergency Medicine (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 他のより重量成分をさらに含みまた揮発成分
より揮発性の軽量不純物で汚染された流れから、通常純
度と超高純度の揮発性成分を同時生成する方法を改良す
ること。 【構成】 実質的に軽量成分を含まない揮発成分を取り
出した後、不純物をストリッピングした流れを第2の蒸
留塔に導入して分離操作を行う。第2の蒸留塔は精留部
を有し、ここで流れは精留され、塔頂フラクションとし
て超高純度の揮発成分が得られる。通常純度の揮発成分
は第1の蒸留塔の塔頂フラクションとして得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は気流中に通常純度および
超高純度の揮発成分を同時生成するための蒸留分離方法
に係わる。
【0002】
【従来の技術】軽量不純物で汚染された空気流および中
性ガス流の如き流れの蒸留分離方法は知られている。典
型的には、軽量不純物で汚染された揮発性成分からなる
塔頂分と重量成分からなる塔底フラクションが得られ
る。多くの技術分野における技術進歩によって、従来の
蒸留方法で通常得られるより高純度の生成物が要求され
るようになった。より高純度の生成物を得るためには、
揮発成分から軽量不純物を除去するためにさらに処理お
よび蒸留する必要がある。このような追加の工程のため
に、実質的な量のエネルギーまたは追加の装置あるいは
その両方が、揮発成分のより高い純度を実現するために
必要である。例えば、半導体及び集積回路の分野では超
高純度の生成物が必要である。このように技術が超高純
度生成物を要求する場合でも、そこに必要な生成物の量
は超高純度操作専用のプラントを賄うほどでないことが
しばしばである。他の技術分野では超高純度生成物を生
成する精巧な処理は必要ないかもしれない。したがっ
て、蒸留の分野、特に極低温の分野で、或る純度の成分
と超高純度の同じ成分を同時に生成することに実質的な
利益がある。このようにして、大規模な装置を構築し、
生成物を異なる技術分野に分配することができる。流体
の蒸留および流体中の成分のフラクションへの分離を示
す代表的技術としては下記のものがある。
【0003】米国特許第4662917号明細書は、窒
素および酸素を製造する単塔式方法を開示する。この方
法では、空気を不純物を除いてから、その露点温度まで
冷却し、単一の塔に導入して成分に分離する。酸素が豊
富な重量流が塔底から抜き出され生成物とされる。窒素
が豊富なフラクションは塔頂から留去される。一部はボ
イラー/凝縮器で富酸素重量流に対向させて凝縮され、
そこで一部は単一塔へ還流され一部は生成物として回収
される。
【0004】米国特許第4871382号明細書は、空
気を成分に分離する慣用の2塔式方法が開示され、これ
はアルゴンを回収する副アーム塔(side arm column) を
含む。この方法では、空気は高圧塔に導入され、ここで
富窒素フラクションが塔の頂部に生成され、富酸素フラ
クションが塔の底部に生成される。富酸素フラクション
と富窒素塔頂フラクションの一部が低圧塔に導入され、
ここでさらに分離が進められる。富窒素塔頂分が低圧塔
からの生成物として回収され、酸素は低圧塔の底部から
液体又は気体として抜き出される。アルゴン流は低圧塔
から富アルゴン副流として抜き出して得られ、副アーム
塔で分離操作され、アルゴンは塔頂フラクション、酸素
は塔底フラクションとして回収される。
【0005】米国特許第4902321号明細書は、空
気流の極低温蒸留による超高純度窒素の製造方法を開示
する。前記文献の如く、富酸素流は蒸留塔の底部に生成
され、富窒素流は蒸留塔の頂部に生成される。前記の特
許に記載された方法と異なり、窒素塔頂フラクションの
一部はボイラー/凝縮器で凝縮され、ここで塔頂フラク
ション中の不純物は軽量成分として除去される。ボイラ
ー/凝縮器からの凝縮物は次いで圧力を下げて同じボイ
ラー/凝縮器中で蒸発させて軽量成分の濃度の低い高純
度窒素流を生成する。この装置の欠点は高純度窒素の圧
力が蒸留塔の圧力よりも低いことにあることが明らかで
ある。
【0006】米国特許第5049173号明細書は、空
気流から超高純度酸素の製造方法を開示する。この方法
では、他の空気分離のための極低温蒸留方法のように、
富酸素フラクションおよび富窒素フラクションは蒸留塔
から製造される。実質的に重量成分のない酸素含有流を
第2分離塔に入れ、酸素から不純物をストリップして超
高純度液体酸素フラクションが得られる。
【0007】
【課題を解決するための手段及び発明の作用効果】本発
明は、主揮発成分(A)、主重量成分(B)及び成分
(A)より高い揮発性を有する少なくとも1種の軽量成
分(I)を含む多成分の流れを蒸留分離する方法の改良
にある。従来の方法では、成分(A)は成分(B)から
分離され、成分(A)は軽量成分(I)と共に塔頂フラ
クションとして除去される。成分(B)に富む流れは塔
底フラクションとして抜き出され、実質的に軽量成分は
含まない。通常純度の成分(A)からなり少量の軽量成
分(I)を含む流れと軽量不純物を実質的に含まない超
高純度の成分(A)の流れとを同時生成する方法の改良
が下記の一連の工程で得られる。主揮発成分(A)を濃
縮しかつそれを塔頂フラクションとして除去する精留帯
域と成分(B)を濃縮しかつそれを塔底フラクションと
して抜き出す下部ストリッピング帯域とを有する第1の
蒸留塔に、多成分流を導入する。流れを第1蒸留塔よ
り、成分(A)を含み実質的に不純物(I)を含まない
位置で、抜き出す。この流れを次いで少なくとも精留帯
域を有する第2蒸留塔に導入する。この導入はその精留
帯域より下の位置で行う。揮発成分(A)はこの精留帯
域で濃縮され、この精留帯域上のフラクションとして最
終的に除去される。成分(B)に富む底部フラクション
は精留帯域より下の位置で抜き出される。第2蒸留塔の
精留帯域上からの流れは、第1蒸留塔からの塔頂分より
も実質的に高純度である。
【0008】異なる濃度、即ち高濃度と超高濃度、の揮
発成分の同時製造が実現される事実の他に、規定の工程
で蒸留を行うといくつかの利点が得られる。これらの利
点には下記のものが含まれる。 エネルギー消費という損失なしで揮発成分(A)の
同時製造が実現され得ること。
【0009】 追加のリボイル及び/又は凝縮なし
で、同様な方法で高純度と超高純度の両方の成分(A)
の製造できること。 成分(A)を高収率で収得できること。
【0010】
【実施例】本発明の方法は、重量成分(B)と成分
(A)より高い揮発性を有する少なくとも1種の軽量不
純物(I)を含む多成分流から揮発性成分(A)を同時
生成することに特に適合している。多くの場合、多成分
流れはその他の成分を含むであろう。典型的な分離され
る流れとしては、高純度及び超高純度窒素が同時生成物
として望まれる場合の空気がある。この方法は同じくい
ろいろな純度の炭化水素の製造にも適合する。
【0011】その最も簡単な形態では、この方法は図1
を参照して理解される。この態様では、揮発性主成分
(A)、重量成分(B)、および少なくとも1種の軽量
不純物(I)を含む多成分流を蒸留する。空気が原料の
場合、窒素が濃度78.12%の主揮発成分であり、濃
度20.95%の酸素が主重量成分である。しかし、ア
ルゴン(0.93%)等の如く窒素より重い他の成分は
典型的には重量成分に分類される。窒素よりも揮発性で
空気に含まれる軽量不純物(I)は水素(10ppm以
下の濃度)、ヘリウム(5.3ppm)およびネオン
(18ppm)である。空気以外の一般的な原料では、
軽量不純物の濃度はppmレベルよりはるかに高いこと
が可能である。
【0012】多成分流をライン10から蒸留塔12に供
給する。蒸留塔12は精留部14とストリッピング部1
6を含む。原料は精留部14とストリッピング部16の
中間に導入し、そこで揮発成分(A)および軽量不純物
(I)が濃縮されて塔頂分として生成し、ライン18か
ら除去される。塔頂分は凝縮器20で凝縮され、凝縮液
の一部はライン22を介して蒸留塔12の頂部に還流さ
れる。残りの凝縮液はライン24から取出される。これ
は主として成分(A)からなり、軽量不純物により汚染
されている。選択的に、流れ18の一部を気体生成物と
して除去することもできる。空気蒸留の場合、窒素(成
分(A))は99.5%以上の純度を有し、50ppm
以下の水素、ヘリウム、ネオン等の軽量不純物(I)を
含む。
【0013】原料流10中の重量成分(B)はストリッ
ピング部16で濃縮され、重量成分に富む液体フラクシ
ョンは蒸留塔12の底部からライン26を介して抜き出
される。この液体フラクションの一部はボイラー/凝縮
器28で気化させ、得られる蒸気はストリッピング部1
6の底部に再導入してストリッピングする。重量成分
(B)に富む残りの液体フラクションはライン30から
除去する。
【0014】成分(A)の超高純度フラクションの生成
は、成分(B)で汚染されているが軽量不純物(I)を
実質的に含まない成分(A)の実質的な部分をを含む流
れ32を、蒸留塔12から除去することにより行う。こ
の流れの中の軽量不純物(I)の濃度は、副精留塔34
の頂部で同時生成される超高純度生成物に求められる濃
度よりも低い。例えば、5ppm以下の軽量不純物であ
る水素、ヘリウムおよびネオンの合計濃度を含む超高純
度窒素を同時生成する空気蒸留の場合、上記流れの中の
これらの軽量不純物の合計濃度は3ppm以下でなけれ
ばならない。この流れを抜き出す場所はストリッピング
部16の適当な位置である。この流れはライン32から
取り出され、精留帯域を有する副精留塔34に導入され
る。この導入物は濃縮されて超高純度生成物が精留帯域
の頂部に生成し、超高純度気体はライン36から除去さ
れる。この蒸気流はボイラー/凝縮器38で少なくとも
一部は凝縮され、凝縮液の一部は還流して流れ中の重量
成分即ち成分(B)のストリッピングを実施する。成分
(A)の残りは、これは超高純度であるが、ライン42
から除去する。選択的に、ライン36の超高純度気体の
一部を除去して気体超高純度生成物としてもよい。成分
(B)に富む塔底フラクションは副精留塔34の底部か
らライン44を介して除去し、蒸留塔12のストリッピ
ング部の適当な位置に導入する。
【0015】この流れ図から、成分(A)即ち通常純度
の窒素と超高純度の窒素の圧力は実質的に同じであるこ
と、また通常濃度の成分(A)即ち窒素及び超高純度の
成分(A)即ち窒素の同時生成が例えば米国特許出願第
4902321号の流れ図に見られる如きそれぞれの流
れの追加の凝縮と気化を行うことなく実現されているこ
とが、明らかである。
【0016】図2は通常純度と超高純度の窒素を生成物
として得る空気の極低温蒸留を行う本発明の1態様を示
す。このプロセスは従来の窒素リサイクルを有する廃棄
物膨張サイクル(waste expander cycle)を以下に説明す
る技術思想に基く変形を行ってその成果を実現する。窒
素リサイクルを有し通常濃度の窒素を生成する従来の廃
棄物膨張サイクルは米国特許出願第4400188号明
細書に記載されている。より詳しく述べると、この変形
プロセスでは、空気をライン100から導入し、圧縮
し、冷却し、水及び二酸化炭素を分子篩床に吸着させて
から、102及び104で示された主熱交換器列に導入
する。空気は熱交換器系102,104でその露点温度
近くに冷却した後、ライン106を介して単塔式蒸留装
置108に導入する。富窒素フラクションが塔の頂部に
塔頂分として生成し、富酸素フラクションが塔の底部に
生成する。富窒素フラクションの一部はライン110を
介して除去して熱交換器104,102中のプロセス流
と対向させて暖められる。この流れの一部は通常濃度生
成物としてして除去され、一部は再圧縮され、冷却さ
れ、蒸留塔108の底部のボイラー/凝縮器112で凝
縮される。次いで、凝縮液流を等エンタルピー的に膨張
させ、塔の頂部に導入して蒸留塔108に還流する。富
窒素蒸気の別の部分をライン114から除去し、ボイラ
ー/凝縮器116で凝縮し、凝縮液の少なくとも一部を
蒸留塔108の頂部に還流として戻す。残りはライン1
18から任意に通常濃度の液体窒素生成物として除去し
てもよい。蒸留塔108の底部からの粗液体酸素はライ
ン120を介してボイラー/凝縮器116の気化器側に
輸送して、蒸留塔の頂部から得られる富窒素蒸気に対向
させて気化させる。気化させた粗液体酸素は気化部から
ライン122を介して除去し、暖め、膨張させ、プロセ
ス流に対向させて再び暖め、そして廃棄物として除去す
る。
【0017】超高純度窒素は、このプロセスの同時生成
物として回収するが、まず、窒素含有流を蒸留塔108
のストリッピング部の原料空気の導入位置より下部から
ライン124を介して除去する。この流れは実質的に軽
量不純物を含まず、例えば水素、ヘリウム、ネオンなど
の高揮発性不純物は5ppm以下、好ましくは5ppb
以下である。この流れは第2の蒸留塔126に導入す
る。この第2蒸留塔126は蒸留帯域を有する。窒素含
有流を第2蒸留塔126に供給すると、残留重量物質が
除去され、第2蒸留塔の頂部に超高純度窒素生成物を生
成する。第2蒸留塔126の塔頂分の一部はライン12
8を介してボイラー/蒸留器116に輸送し、凝集液の
少なくとも一部は第2蒸留塔126の頂部に還流として
戻す。超高純度窒素生成物の残りはライン130を介し
て除去し、プロセス流に対向させて暖められ、ライン1
32から生成物として回収される。所望であれば、ボイ
ラー/蒸留器116からの凝集液流118の一部は超高
純度の液体窒素生成物として製造してもよい。第2蒸留
塔126に導入した流れの酸素成分は第2蒸留塔の底部
からライン134を介して液体として抜き出す。このフ
ラクションは蒸留塔108のストリッピング部に戻す。
【0018】このように、図2は従来の廃棄物膨張窒素
リサイクル法を改良して空気を分離して通常濃度および
超高純度の窒素を同時生成物として回収する方法を説明
するものである。超高純度窒素は、標準窒素の圧力と比
べて減圧なしで、またプロセス流に存在するエネルギー
以外に実質的に追加のエネルギーを供給することなく、
得られる。
【0019】図2は図1に記載された本発明の、廃棄物
膨張と窒素リサイクルを有する窒素発生器への応用を示
すものである。この技術思想はストリッピング部を有す
る他の窒素発生器に応用可能である。ストリッピング部
を有する他の単塔式窒素発生器の例は米国特許第446
4188号、第4662916〜4662918号、第
4594085号、第4867773号に記載されてお
り、その内容はここに参照されるべきである。これらの
例では、窒素流または空気流あるいはこれらの組合せを
凝縮することにより、蒸留塔の底部に沸騰(boil-up) が
生ずる。本発明は同様に従来公知の2塔式窒素発生方法
にも適用できる。2塔式窒素発生器の例は英国特許12
15377号、米国特許出願第4617026号、第5
006137号に記載されており、その内容はここに参
照されるべきである。このような2塔式窒素発生方法で
は、低圧塔(場合により同様に上方塔または中圧塔とも
指称される)のストリッピング部から副精留塔に供給を
行って超高純度窒素の同時生成を行う。
【0020】図3は、図1および図2に記載された本発
明の応用として、ストリッピング部を第2蒸留部126
の精留帯域の上に導入する態様を説明する。図示の態様
では、取得率を向上させること、すなわち超高純度生成
物としての窒素の分率を大きくすることが可能である。
図3に示した方法の図2の方法に対する改良についての
分析を促すために、第2蒸留塔126とその蒸留塔10
8との関係に焦点を合わせて説明する。図示の態様で
は、第2蒸留塔126は2つのステージAおよびBに分
割され、ステージAで精留、ステージBでストリッピン
グが行われる。図2の態様と異なり、ライン118の凝
縮液の一部は第2蒸留塔のゾーンAの上の点に導入さ
れ、ゾーンBとして示されているストリッピング部で前
記凝縮液流からすべての軽量不純物がストリップされ
る。必要であれば、ライン118の凝縮液の一部は生成
物として回収される。ゾーンBで示されるストリッピン
グ部の上の塔頂の蒸気はライン128から除去され、蒸
留塔108の塔頂部に戻される。ライン128から導入
されたこの塔頂分はその一部または実質的に全部をライ
ン110から生成物として除去することが可能である。
ライン128中の塔頂分は図2の如くボイラー/凝縮器
116に導入することもできるが、ライン128から除
去した第2蒸留塔126の塔頂分を蒸留塔108に直接
導入する図示の方式の方が装置がずっと簡単である。超
高純度窒素生成物は、第2蒸留塔126からその精留ゾ
ーンAとストリッピング部たるゾーンBの中間でライン
130を介して除去される。図示されていないが、必要
であれば、超高純度液体窒素流を、第2蒸留塔126の
上記と同じ位置から生成物として除去することができ
る。
【0021】第2蒸留塔126の精留部の上のストリッ
ピング部への導入と蒸留塔108の塔頂分から得られる
凝集液の一部の利用により、ライン128を介して除去
される第2蒸留塔126の塔頂分の実質的に全部を主蒸
留塔108に戻すことができる。このため、ライン13
6中の蒸留塔126へ向かう液体流はライン128中の
蒸気より多くなる。したがって、より大量の超高純度窒
素生成物をライン130から除去することが可能であ
る。図2の態様では、第2蒸留塔126の塔頂分は2つ
に分割され、一部はライン128からボイラー/凝縮器
116へ戻され、残りはライン130から超高純度窒素
生成物として回収される。
【0022】上記の方法にいろいろな変形を施して所望
の成果を収めることが可能であることが理解される。例
えば、図1の装置に直列にもう1つの装置を採用して、
多成分原料流を処理することができる。図1は2成分系
の例を示しているが、この方法は3成分以上の分離にも
適用できる。例えば、これは公知の3成分系蒸留方式に
も適用できる。例えば、3つの主成分(A),(B),
(C)を含み少なくとも1つの軽量不純物(I)で汚染
されている原料流が考えられる。この3成分のうち
(A)が最も揮発性で次いで(B)それから(C)へ続
くとする。軽量不純物(I)は成分(A)よりも揮発性
である。目的は、実質的に軽量不純物(I)を含まない
超高純度の成分(A)の流れを同時生成することであ
る。一般に、3成分蒸留は少なくとも2つの主蒸留塔を
使用する。図1に示した技術思想によると、成分(A)
を含むが軽量不純物(I)を殆ど含まない適当な流れ
を、主蒸留塔の少なくとも1つのストリッピング部から
除去することができることは明らかである。この流れは
次いで副精留塔で蒸留して超高純度生成物(A)を同時
生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】異なる純度の窒素の同時生成のための多塔式蒸
留装置の流れ図である。
【図2】廃棄物膨張を用いる多塔式蒸留装置の流れ図で
ある。
【図3】図2の如く廃棄物膨張を用いる多塔式蒸留装置
であるが、サイドアーム塔がその精留部の上方にストリ
ッピング部を有する装置の流れ図である。
【符号の説明】
10…原料流 12…蒸留塔 14…精留部 16…ストリッピング部 20,28,38…ボイラー/凝縮器 34…精留塔 102,104…熱交換器 108…蒸留塔 112,116…ボイラー/凝縮器 126…第2蒸留塔 A…精留部 B…ストリッピング部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主揮発成分(A)、主重量成分(B)及
    び成分(A)より高い揮発性を有する少なくとも1種の
    軽量成分(I)を含む多成分の流れを蒸留し、塔頂フラ
    クションとして成分(A)が濃縮されたフラクションを
    生成し、塔底フラクションとして成分(B)が濃縮され
    たフラクションを生成し、通常純度の成分(A)の流れ
    と実質的に軽量成分(I)を含まない超高純度の成分
    (A)の流れとを同時生成する、多成分流の蒸留分離方
    法であって、 主揮発成分(A)を濃縮しそれを塔頂流として除去し、
    その一部を通常純度生成物として回収する精留帯域と、
    成分(B)を濃縮しそれを塔底フラクションとして抜き
    出すストリッピング帯域とを有する第1蒸留塔に、原料
    として前記多成分流の少なくとも一部を導入する工程
    と、 ストリッピングされ成分(A)及び(B)を含み実質的
    に不純物(I)を含まない流れをストリッピング帯域よ
    り抜き出す工程と、 前記ストリッピングされた流れを、主重量成分(B)か
    ら主揮発成分(A)を分離する精留帯域を有する第2の
    蒸留塔に導入する工程と、 前記第2の蒸留塔の前記精留帯域で成分(A)を成分
    (B)から分離する工程と、 前記第2の蒸留塔で、前記第1蒸留塔から回収される成
    分(A)より高純度の成分(A)を回収する工程を含む
    ことを特徴とする多成分流の蒸留分離方法。
  2. 【請求項2】 原料を圧縮し、その露点温度に冷却しそ
    して多塔蒸留装置中で極低温蒸留して、窒素を塔頂フラ
    クションとして生成しかつ前記蒸留装置の塔のうちの少
    なくとも1つから生成物として除去し、酸素を前記蒸留
    装置の塔のうちの少なくとも1つから塔底フラクション
    として抜き出し、そして通常純度窒素と超高純度窒素を
    同時生成する、極低温蒸留法により空気から少なくとも
    窒素成分を分離する方法であって、 前記多塔蒸留装置の第1蒸留塔のストリッピング部で軽
    量不純物を含まない窒素及び酸素の原料流(feed
    stream)を形成する工程と、 前記窒素/酸素フラクションを、前記ストリッピング部
    から抜き出し、そして多塔蒸留装置に含まれる少なくと
    も精留帯域を有する第2蒸留塔に導入する工程と、 該蒸留塔中の前記精留帯域中で窒素を前記酸素から分離
    して、前記第1蒸留塔で発生した窒素より高純度の窒素
    を含む塔頂フラクションと、酸素を含む塔底フラクショ
    ンとを生成する工程と、 前記高純度窒素を回収する工程からなることを特徴とす
    る空気から少なくとも窒素成分を分離する方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の多成分流の蒸留分離方法
    において、前記第2蒸留塔が主揮発成分(A)の主重量
    成分(B)からの分離を実施する精留帯域の上にさらに
    ストリッピング帯域を有し、 前記第1蒸留塔から前記ストリッピングした流れを前記
    第2蒸留塔に前記精留帯域の下の位置で導入し、そこで
    主揮発成分(A)を該第2蒸留塔の前記精留帯域の上か
    つ前記精留帯域及び前記ストリッピング帯域の中間で塔
    頂分として生成し、かつ主重量成分(B)を前記第2蒸
    留塔の塔底フラクションとして生成する工程と、 該主重量成分(B)を第1蒸留塔に戻す工程と、 前記第1蒸留塔から得られた、成分(A)および(I)
    を含み実質的に主重量成分(B)を含まない液体フラク
    ションを、前記第2蒸留塔に前記ストリッピング帯域上
    の位置で導入し、そこで成分(I)に富む塔頂分を前記
    ストリッピング帯域の上で生成する工程と、 前記第2蒸留塔の前記ストリッピング帯域上の前記塔頂
    分の少なくとも一部を前記第1蒸留塔の塔頂部に戻す工
    程を含むことを特徴とする多成分流の蒸留分離方法。
JP4199454A 1991-11-15 1992-07-27 蒸留分離方法 Expired - Lifetime JPH0785761B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US79284991A 1991-11-15 1991-11-15
US792849 1991-11-15
US07/854,939 US5218825A (en) 1991-11-15 1992-03-19 Coproduction of a normal purity and ultra high purity volatile component from a multi-component stream
US854939 1992-03-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05212203A true JPH05212203A (ja) 1993-08-24
JPH0785761B2 JPH0785761B2 (ja) 1995-09-20

Family

ID=27121342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4199454A Expired - Lifetime JPH0785761B2 (ja) 1991-11-15 1992-07-27 蒸留分離方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5218825A (ja)
EP (1) EP0542405B1 (ja)
JP (1) JPH0785761B2 (ja)
CA (1) CA2075230C (ja)
DE (1) DE69204800T2 (ja)
ES (1) ES2079800T3 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001163865A (ja) * 1999-11-30 2001-06-19 Basf Ag 粗製ピロリジンの精製法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2694383B1 (fr) * 1992-07-29 1994-09-16 Air Liquide Production et installation de production d'azote gazeux à plusieurs puretés différentes.
US5511380A (en) 1994-09-12 1996-04-30 Liquid Air Engineering Corporation High purity nitrogen production and installation
JP3472631B2 (ja) * 1994-09-14 2003-12-02 日本エア・リキード株式会社 空気分離装置
US5461872A (en) * 1994-11-21 1995-10-31 The Boc Group, Inc. Air separation method and apparatus
US5528906A (en) * 1995-06-26 1996-06-25 The Boc Group, Inc. Method and apparatus for producing ultra-high purity oxygen
US5590543A (en) * 1995-08-29 1997-01-07 Air Products And Chemicals, Inc. Production of ultra-high purity oxygen from cryogenic air separation plants
US6500310B1 (en) 1998-06-23 2002-12-31 Shell Oil Company Process for the treatment of waste water
FR2910604B1 (fr) * 2006-12-22 2012-10-26 Air Liquide Procede et appareil de separation d'un melange gazeux par distillation cryogenique
EP2662653A1 (de) 2012-05-08 2013-11-13 Linde Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung von wasserstofffreiem Stickstoff
US20170108263A1 (en) * 2014-06-11 2017-04-20 Thermo King Corporation Air supply system and method
WO2021204418A1 (de) * 2020-04-09 2021-10-14 Linde Gmbh Verfahren zur herstellung eines gasförmigem und eines flüssigen stickstoffprodukts durch tieftemperaturzerlegung von luft und luftzerlegungsanlage
CN114593358A (zh) * 2022-01-21 2022-06-07 杭州制氧机集团股份有限公司 一种与空分装置耦合进行储能生产的方法及其装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60142183A (ja) * 1983-12-28 1985-07-27 日本酸素株式会社 空気液化分離方法及び装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4615716A (en) * 1985-08-27 1986-10-07 Air Products And Chemicals, Inc. Process for producing ultra high purity oxygen
US4662918A (en) * 1986-05-30 1987-05-05 Air Products And Chemicals, Inc. Air separation process
DE3722746A1 (de) * 1987-07-09 1989-01-19 Linde Ag Verfahren und vorrichtung zur luftzerlegung durch rektifikation
US4871382A (en) * 1987-12-14 1989-10-03 Air Products And Chemicals, Inc. Air separation process using packed columns for oxygen and argon recovery
US4783210A (en) * 1987-12-14 1988-11-08 Air Products And Chemicals, Inc. Air separation process with modified single distillation column nitrogen generator
US4895583A (en) * 1989-01-12 1990-01-23 The Boc Group, Inc. Apparatus and method for separating air
US4957523A (en) * 1989-01-27 1990-09-18 Pacific Consolidated Industries High speed pressure swing adsorption liquid oxygen/liquid nitrogen generating plant
US4902321A (en) * 1989-03-16 1990-02-20 Union Carbide Corporation Cryogenic rectification process for producing ultra high purity nitrogen
US5049173A (en) * 1990-03-06 1991-09-17 Air Products And Chemicals, Inc. Production of ultra-high purity oxygen from cryogenic air separation plants

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60142183A (ja) * 1983-12-28 1985-07-27 日本酸素株式会社 空気液化分離方法及び装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001163865A (ja) * 1999-11-30 2001-06-19 Basf Ag 粗製ピロリジンの精製法

Also Published As

Publication number Publication date
CA2075230A1 (en) 1993-05-16
DE69204800T2 (de) 1996-04-25
ES2079800T3 (es) 1996-01-16
CA2075230C (en) 1997-03-25
JPH0785761B2 (ja) 1995-09-20
US5218825A (en) 1993-06-15
DE69204800D1 (de) 1995-10-19
EP0542405B1 (en) 1995-09-13
EP0542405A1 (en) 1993-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2696705B2 (ja) 精留による空気分離方法及び装置
US5137559A (en) Production of nitrogen free of light impurities
JP2677486B2 (ja) 超高純度窒素を製造するための方法と装置
JPH05212203A (ja) 蒸留分離方法
US5167125A (en) Recovery of dissolved light gases from a liquid stream
KR100192702B1 (ko) 공급공기를 극저온 증류시켜서 초고순도 산소 생성물을 생산하는 방법
US5205127A (en) Cryogenic process for producing ultra high purity nitrogen
US5123947A (en) Cryogenic process for the separation of air to produce ultra high purity nitrogen
EP0762066B1 (en) Production of ultra-high purity oxygen from cryogenic air separation plants
CA2082291C (en) Inter-column heat integration for multi-column distillation system
JPH08178521A (ja) 高純度窒素の製造方法及び製造装置
JP2983393B2 (ja) 高純度窒素の製造における極低温蒸留により水素を除去する方法
US6662593B1 (en) Process and apparatus for the cryogenic separation of air
US5309719A (en) Process to produce a krypton/xenon enriched stream from a cryogenic nitrogen generator
EP1067346B1 (en) Method and apparatus for recovering xenon or a mixture of krypton and xenon from air
KR950012518B1 (ko) 다성분 스트림으로부터 표준순도 및 초고순도의 휘발성 성분을 동시에 제조하는 방법
JP2656403B2 (ja) 空気の極低温分離法
JPH11132654A (ja) 空気分離方法および空気分離装置
TW200407B (en) Coproduction of a normal purity and ultra high purity volatile component from a multi-component stream
JPH0615947B2 (ja) 空気液化分離方法及び装置
JP2001099566A (ja) 精製流の回収方法及びエレクトロニクスグレード酸素の製造方法
JPH04292778A (ja) 空気の極低温分離の方法