JPH0519850Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0519850Y2 JPH0519850Y2 JP1982038683U JP3868382U JPH0519850Y2 JP H0519850 Y2 JPH0519850 Y2 JP H0519850Y2 JP 1982038683 U JP1982038683 U JP 1982038683U JP 3868382 U JP3868382 U JP 3868382U JP H0519850 Y2 JPH0519850 Y2 JP H0519850Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light beam
- plane
- receiving surface
- cylindrical lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 101100008047 Caenorhabditis elegans cut-3 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はフオーカスエラー検出装置に関し、特
に光学式情報読取装置におけるフオーカスエラー
検出装置に関するものである。
に光学式情報読取装置におけるフオーカスエラー
検出装置に関するものである。
従来この種の装置として第１図に示すものがあ
つた。第１図において、１は光源、２はこの光源
１から発せられた読取光束、３はこの読取光束２
を記録媒体５方向に反射するビームスプリツタ、
４はこのビームスプリツタ３で反射された読取光
束２を記録媒体５の情報記録面５ａに収束照射せ
しめる対物レンズ、６は記録面５ａで反射された
反射光束、７はこの反射光束６に非点収差を与え
るシリンドリカルレンズである。このシリンドリ
カルレンズ７を経た非点光束が合焦状態で生じる
２つの焦線の間に光束断面が円形となる位置があ
り、そこに受光面８ａが位置するように光検知器
８が置かれる。そしてこの光検知器８の出力に基
づいてフオーカスエラー信号が導出されるのであ
る。
つた。第１図において、１は光源、２はこの光源
１から発せられた読取光束、３はこの読取光束２
を記録媒体５方向に反射するビームスプリツタ、
４はこのビームスプリツタ３で反射された読取光
束２を記録媒体５の情報記録面５ａに収束照射せ
しめる対物レンズ、６は記録面５ａで反射された
反射光束、７はこの反射光束６に非点収差を与え
るシリンドリカルレンズである。このシリンドリ
カルレンズ７を経た非点光束が合焦状態で生じる
２つの焦線の間に光束断面が円形となる位置があ
り、そこに受光面８ａが位置するように光検知器
８が置かれる。そしてこの光検知器８の出力に基
づいてフオーカスエラー信号が導出されるのであ
る。
かかる構成の装置では、子午面、球欠面でのそ
れぞれの倍率についての一切の考慮が無い為、得
られるフオーカスエラー信号は記録媒体５の記録
面５ａの変位に対し対称とならず、又変位とエラ
ー信号の極性とが反転対応してしまう反転領域が
存在するという欠点があつた。
れぞれの倍率についての一切の考慮が無い為、得
られるフオーカスエラー信号は記録媒体５の記録
面５ａの変位に対し対称とならず、又変位とエラ
ー信号の極性とが反転対応してしまう反転領域が
存在するという欠点があつた。
この対称性について改良が加えられた装置とし
て第２図に示すものがある。第２図において、第
１図と同等部分は同一符号で示されており、Ｒは
対物レンズ４の瞳半径、Ｌは対物レンズ４とシリ
ンドリカルレンズ７の主点との間の距離、Ｚは結
像点９とシリンドリカルレンズ７の主点との間の
距離、Ｄはシリンドリカルレンズ７の主点と光検
知器８の受光面８ａとの間の距離である。ここで
シリンドリカルレンズ７の焦点距離をＦとし、Ｄ
＝2Fの条件を満足させると、結像点９がＺ＝０
の位置を中心にしてＺ＝±Ｄの位置で受光面８ａ
上に各々の線像が結像される為に記録面５ａの変
位に対し対称なフオーカスエラー信号が得られる
のである。
て第２図に示すものがある。第２図において、第
１図と同等部分は同一符号で示されており、Ｒは
対物レンズ４の瞳半径、Ｌは対物レンズ４とシリ
ンドリカルレンズ７の主点との間の距離、Ｚは結
像点９とシリンドリカルレンズ７の主点との間の
距離、Ｄはシリンドリカルレンズ７の主点と光検
知器８の受光面８ａとの間の距離である。ここで
シリンドリカルレンズ７の焦点距離をＦとし、Ｄ
＝2Fの条件を満足させると、結像点９がＺ＝０
の位置を中心にしてＺ＝±Ｄの位置で受光面８ａ
上に各々の線像が結像される為に記録面５ａの変
位に対し対称なフオーカスエラー信号が得られる
のである。
すなわち、子午面（紙面）内における受光面８
ａ上での反射光束の直径Ｘは Ｘ＝｜2R・（１−Ｄ／Ｆ）・ Ｆ・Ｄ／（Ｆ−Ｄ）＋Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ 球欠面（光軸を含んで紙面に直角な面）内にお
ける受光面８ａ上での反射光束の直径Ｙは Ｙ＝｜2R・Ｄ＋Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ で表わされ、Ｄ＝2Fの時 Ｘ＝｜2R・Ｄ−Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ となつて、Ｚ＝０の時Ｘ＝Ｙ，Ｚ＝＋Ｄの時Ｘ＝
０，Ｙ≠０，Ｚ＝−Ｄの時Ｘ≠０，Ｙ＝０とな
り、結像点９の光軸に沿つた変位に対しＺ＝０の
位置を中心に対称となるのである。
ａ上での反射光束の直径Ｘは Ｘ＝｜2R・（１−Ｄ／Ｆ）・ Ｆ・Ｄ／（Ｆ−Ｄ）＋Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ 球欠面（光軸を含んで紙面に直角な面）内にお
ける受光面８ａ上での反射光束の直径Ｙは Ｙ＝｜2R・Ｄ＋Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ で表わされ、Ｄ＝2Fの時 Ｘ＝｜2R・Ｄ−Ｚ／Ｌ−Ｚ｜ となつて、Ｚ＝０の時Ｘ＝Ｙ，Ｚ＝＋Ｄの時Ｘ＝
０，Ｙ≠０，Ｚ＝−Ｄの時Ｘ≠０，Ｙ＝０とな
り、結像点９の光軸に沿つた変位に対しＺ＝０の
位置を中心に対称となるのである。
しかし乍ら、結像点９の変位と記録面５ａの変
位とは直線比例関係にはなく、対物レンズ前焦点
と物点との距離をl1、後焦点と像点との距離をl2、
対物レンズの焦点距離をｆとすると、l1・l2＝f2
の関係となる。すなわち、通常の使用状態である
l1＜l2の場合、l1の一定量の増加に対しl2のより少
ない減少、l1の一定量の減少に対しより大きな増
加が対応する。従つて記録媒体５の変位に対し対
称なフオーカスエラー信号が得られないことにな
る。
位とは直線比例関係にはなく、対物レンズ前焦点
と物点との距離をl1、後焦点と像点との距離をl2、
対物レンズの焦点距離をｆとすると、l1・l2＝f2
の関係となる。すなわち、通常の使用状態である
l1＜l2の場合、l1の一定量の増加に対しl2のより少
ない減少、l1の一定量の減少に対しより大きな増
加が対応する。従つて記録媒体５の変位に対し対
称なフオーカスエラー信号が得られないことにな
る。
また、受光面内の点Ｏと子午面で共役な点Ｐ及
び点Ｏと球欠面で共役な点Ｑ（第３図参照）をと
ると、子午面内におけるＯ点とＰ点の横倍率m1
と球欠面内におけるＯ点とＱ点の横倍率m2とが
等しくないので、受光面上の光束径Ｘ，ＹがＸ＝
Ｙとなる条件は、共役面上での光束径をｘ，ｙと
すると、ｘ／ｙ＝m2／m1であり、その状態で合焦状態 となる様に調整される。共役面上での光束径ｘ，
ｙは記録面５ａの変位に対し直線比例関係にある
が合焦状態でｘ≠ｙの為、フオーカスエラー信号
の極大値、極小値を生じさせる位置、即ちｘ＝Ｘ
＝０の記録面位置とｙ＝Ｙ＝０の記録面位置の合
焦位置からの変位量は等しくなく、従つて対称な
フオーカスエラー信号は得られない。更に、Ｘ＝
Ｙとなるためのｘ／ｙ＝m2／m1の条件は非合焦状態に も存在し、その位置を境にフオーカスエラー信号
の極性が反転してしまう。
び点Ｏと球欠面で共役な点Ｑ（第３図参照）をと
ると、子午面内におけるＯ点とＰ点の横倍率m1
と球欠面内におけるＯ点とＱ点の横倍率m2とが
等しくないので、受光面上の光束径Ｘ，ＹがＸ＝
Ｙとなる条件は、共役面上での光束径をｘ，ｙと
すると、ｘ／ｙ＝m2／m1であり、その状態で合焦状態 となる様に調整される。共役面上での光束径ｘ，
ｙは記録面５ａの変位に対し直線比例関係にある
が合焦状態でｘ≠ｙの為、フオーカスエラー信号
の極大値、極小値を生じさせる位置、即ちｘ＝Ｘ
＝０の記録面位置とｙ＝Ｙ＝０の記録面位置の合
焦位置からの変位量は等しくなく、従つて対称な
フオーカスエラー信号は得られない。更に、Ｘ＝
Ｙとなるためのｘ／ｙ＝m2／m1の条件は非合焦状態に も存在し、その位置を境にフオーカスエラー信号
の極性が反転してしまう。
本考案は上述した点に鑑みなされたもので、真
に対称でかつ反転領域の存在しない良好なフオー
カスエラー信号を導出できるフオーカスエラー検
出装置を提供することを目的とする。
に対称でかつ反転領域の存在しない良好なフオー
カスエラー信号を導出できるフオーカスエラー検
出装置を提供することを目的とする。
本考案によるフオーカスエラー検出装置は、記
録媒体の情報記録面に情報読み取りの為の光束を
収束照射せしめる第１の光学系と、該記録面を経
た光束を受光手段の受光面に非点光束形態で導く
第２の光学系とを備えた構成において、第２の光
学系を経た非点光束の子午面内における該受光面
とこの受光面の共役面との横倍率と、非点光束の
球欠面内における該受光面とのこの受光面の共役
面との横倍率とを略一致させたことを特徴として
いる。
録媒体の情報記録面に情報読み取りの為の光束を
収束照射せしめる第１の光学系と、該記録面を経
た光束を受光手段の受光面に非点光束形態で導く
第２の光学系とを備えた構成において、第２の光
学系を経た非点光束の子午面内における該受光面
とこの受光面の共役面との横倍率と、非点光束の
球欠面内における該受光面とのこの受光面の共役
面との横倍率とを略一致させたことを特徴として
いる。
以下、図面を用いて本考案の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第３図は本考案の原理を説明するための概略構
成図であり、図中第２図と同等部分は同一符号に
より示されている。第３図において、シリンドリ
カルレンズ７の主面１２は合焦状態での結像点９
と一致しており、従つて子午面（紙面）光束も球
欠面光束もシリンドリカルレンズ７のレンズ作用
を受けていない。１１は対物レンズ４の像側焦点
Ｆを含む面であり、この面１１と面１２との距離
をｌ、面１２と受光面８ａとの距離をｄ、対物レ
ンズ４の焦点距離をｆ、シリンドリカルレンズ７
の焦点距離をfcとする。受光面８ａ内の点Ｏと子
午面で共役な点Ｐと、点Ｏと球欠面で共役な点Ｑ
をとり、点Ｐ，Ｑから各々光軸に対し角度θで発
する光線を考えた場合に（子午面光線を実線、球
欠面光線を破線で示す）、両者が面１１で光軸か
ら同一高さの点を通り、共に角度αでＯ点に入射
する様に構成する。すなわち、Ｏ点とＰ点の横倍
率と、Ｏ点とＱ点の横倍率とを一致させる。この
条件を満足するｄの値は ｄ＝2fc・ｌ／（ｌ−2fc） で与えられる。
成図であり、図中第２図と同等部分は同一符号に
より示されている。第３図において、シリンドリ
カルレンズ７の主面１２は合焦状態での結像点９
と一致しており、従つて子午面（紙面）光束も球
欠面光束もシリンドリカルレンズ７のレンズ作用
を受けていない。１１は対物レンズ４の像側焦点
Ｆを含む面であり、この面１１と面１２との距離
をｌ、面１２と受光面８ａとの距離をｄ、対物レ
ンズ４の焦点距離をｆ、シリンドリカルレンズ７
の焦点距離をfcとする。受光面８ａ内の点Ｏと子
午面で共役な点Ｐと、点Ｏと球欠面で共役な点Ｑ
をとり、点Ｐ，Ｑから各々光軸に対し角度θで発
する光線を考えた場合に（子午面光線を実線、球
欠面光線を破線で示す）、両者が面１１で光軸か
ら同一高さの点を通り、共に角度αでＯ点に入射
する様に構成する。すなわち、Ｏ点とＰ点の横倍
率と、Ｏ点とＱ点の横倍率とを一致させる。この
条件を満足するｄの値は ｄ＝2fc・ｌ／（ｌ−2fc） で与えられる。
次に、本考案の作用について説明する。上記横
倍率を一致させる事は子午断面においてＰ点に立
つた物体がＯ点に結像される倍率と球欠断面にお
いてＱ点に立てた物体がＯ点に結像される倍率と
を一致させる事であり、レンズ類による反射光束
のいわゆるケラレが無視できる場合、Ｐ点を含む
面１３及びＱ点を含む面１４で切つた読取光束断
面が子午面及び球欠面で同一倍率で結像される事
になる。
倍率を一致させる事は子午断面においてＰ点に立
つた物体がＯ点に結像される倍率と球欠断面にお
いてＱ点に立てた物体がＯ点に結像される倍率と
を一致させる事であり、レンズ類による反射光束
のいわゆるケラレが無視できる場合、Ｐ点を含む
面１３及びＱ点を含む面１４で切つた読取光束断
面が子午面及び球欠面で同一倍率で結像される事
になる。
第４図に、子午面における受光面８ａの共役面
１３と球欠面における共役面１４での読取光束の
状態Ａと、それに対応する受光面上での反射光束
形状Ｂ及び記録面変位に対するフオーカスエラー
信号の変化Ｃをそれぞれ示す。第４図上の破線は
読取光束を記録面５ａを境に展開したものであ
り、２つの共役面１３，１４は記録面５ａの変位
に拘わらず常に一定位置に存在するが、共役面１
３，１４を切る光束径ｘ，ｙは記録面変位に伴い
変化する。光束径ｘ，ｙの大小関係は合焦状態ｃ
でｘ＝ｙであり、合焦状態より記録面５ａが遠い
とき（図のａ，ｂ状態）には常にｙ＞ｘであり、
逆に近いとき（図のｄ，ｅ状態）には常にｘ＞ｙ
となり、合焦状態以外にｘ＝ｙとはならない。一
方、受光面８ａ上の光束径Ｘ，Ｙは上述の如く子
午面、球欠面での横倍率が等しい為、横倍率をｍ
とすると、Ｘ＝mx，Ｙ＝myで示され、従つて合
焦状態でＸ＝Ｙすなわち円形となる。
１３と球欠面における共役面１４での読取光束の
状態Ａと、それに対応する受光面上での反射光束
形状Ｂ及び記録面変位に対するフオーカスエラー
信号の変化Ｃをそれぞれ示す。第４図上の破線は
読取光束を記録面５ａを境に展開したものであ
り、２つの共役面１３，１４は記録面５ａの変位
に拘わらず常に一定位置に存在するが、共役面１
３，１４を切る光束径ｘ，ｙは記録面変位に伴い
変化する。光束径ｘ，ｙの大小関係は合焦状態ｃ
でｘ＝ｙであり、合焦状態より記録面５ａが遠い
とき（図のａ，ｂ状態）には常にｙ＞ｘであり、
逆に近いとき（図のｄ，ｅ状態）には常にｘ＞ｙ
となり、合焦状態以外にｘ＝ｙとはならない。一
方、受光面８ａ上の光束径Ｘ，Ｙは上述の如く子
午面、球欠面での横倍率が等しい為、横倍率をｍ
とすると、Ｘ＝mx，Ｙ＝myで示され、従つて合
焦状態でＸ＝Ｙすなわち円形となる。
光検知器８は受光面８ａが４分割されており、
各エレメントの出力S1〜S4を演算〔SF＝（S1＋S3）
−（S2＋S4）〕することでフオーカスエラー信号SF
が得られる。このフオーカスエラー信号SFは合焦
状態ｃで零となる。受光面８ａ上の光束径Ｘ，Ｙ
は合焦状態ｃより記録面５ａが遠いときには常に
Ｙ＞ＸでありＹ軸方向に長径を持つ楕円形とな
り、フオーカスエラー信号SFは常に負であり、逆
に近いときは常にＸ＞ＹでありＸ軸方向に長径を
持つ楕円形となり、フオーカスエラー信号SFは常
に正となり、極性の反転領域は存在しない。ま
た、光束径ｘ，ｙは記録面変位に対しそれぞれｂ
状態、ｄ状態で折り返す直線比例関係にあり、光
束径Ｘ，Ｙも横倍率ｍが共に等しい為、同様の直
線比例関係が保たれ、従つてフオーカスエラー信
号SFは合焦状態を中心とした対称なものとなる。
各エレメントの出力S1〜S4を演算〔SF＝（S1＋S3）
−（S2＋S4）〕することでフオーカスエラー信号SF
が得られる。このフオーカスエラー信号SFは合焦
状態ｃで零となる。受光面８ａ上の光束径Ｘ，Ｙ
は合焦状態ｃより記録面５ａが遠いときには常に
Ｙ＞ＸでありＹ軸方向に長径を持つ楕円形とな
り、フオーカスエラー信号SFは常に負であり、逆
に近いときは常にＸ＞ＹでありＸ軸方向に長径を
持つ楕円形となり、フオーカスエラー信号SFは常
に正となり、極性の反転領域は存在しない。ま
た、光束径ｘ，ｙは記録面変位に対しそれぞれｂ
状態、ｄ状態で折り返す直線比例関係にあり、光
束径Ｘ，Ｙも横倍率ｍが共に等しい為、同様の直
線比例関係が保たれ、従つてフオーカスエラー信
号SFは合焦状態を中心とした対称なものとなる。
以上本考案の動作原理をレンズ類による反射光
束のケラレが無視できる場合について説明した
が、ケラレのある場合においても、通常主として
ケラレを生じさせる対物レンズにおいてケラレの
作用は子午面、球欠面共に同等であり、従つて反
転領域は存在せず、又対称性の乱れもフオーカス
エラー信号が僅かに変化するのみで実用上問題と
ならない。
束のケラレが無視できる場合について説明した
が、ケラレのある場合においても、通常主として
ケラレを生じさせる対物レンズにおいてケラレの
作用は子午面、球欠面共に同等であり、従つて反
転領域は存在せず、又対称性の乱れもフオーカス
エラー信号が僅かに変化するのみで実用上問題と
ならない。
なお、上記実施例では合焦時の結像点９の位置
にシリンドリカルレンズ７の主面を一致させたも
のを示したが、対物レンズ像側焦点面１１又はそ
の共役面にシリンドリカルレンズ７の主面を一致
させても良い。また、複数のレンズ類を用いる事
により、上記の如く、特殊な光学的位置にシリン
ドリカルレンズ７を置くという制限なしに本考案
の目的を達成できる。
にシリンドリカルレンズ７の主面を一致させたも
のを示したが、対物レンズ像側焦点面１１又はそ
の共役面にシリンドリカルレンズ７の主面を一致
させても良い。また、複数のレンズ類を用いる事
により、上記の如く、特殊な光学的位置にシリン
ドリカルレンズ７を置くという制限なしに本考案
の目的を達成できる。
以上のように、本考案によれば、非点収差光学
系を用いたフオーカスエラー検出において、戻り
光路における子午面内での受光面とその共役面と
の横倍率と球欠面内での受光面とその共役面との
横倍率が一致するように構成したので、フオーカ
スエラー信号に有害な極性反転領域が存在せず、
合焦状態を中心とした真に対称なフオーカスエラ
ー信号が得られ、フオーカスサーボが制定する合
焦位置付近での検出ゲインも均一なものとなる。
系を用いたフオーカスエラー検出において、戻り
光路における子午面内での受光面とその共役面と
の横倍率と球欠面内での受光面とその共役面との
横倍率が一致するように構成したので、フオーカ
スエラー信号に有害な極性反転領域が存在せず、
合焦状態を中心とした真に対称なフオーカスエラ
ー信号が得られ、フオーカスサーボが制定する合
焦位置付近での検出ゲインも均一なものとなる。
第１図は第１の従来例を示す構成図、第２図は
第２の従来例を示す構成図、第３図は本考案の原
理を説明するための概略構成図、第４図は子午面
における受光面の共役面と球欠面における共役面
での読取光束の状態Ａ、それに対応する受光面上
での反射光束形状Ｂ及び記録面変位に対するフオ
ーカスエラー信号の変化Ｃをそれぞれ示す図であ
る。 主要部分の符号の説明、１……光源、３……ビ
ームスプリツタ、４……対物レンズ、５……記録
媒体、７……シリンドリカルレンズ、８……光検
知器、１３……子午面における受光面の共役面、
１３……球欠面における受光面の共役面。
第２の従来例を示す構成図、第３図は本考案の原
理を説明するための概略構成図、第４図は子午面
における受光面の共役面と球欠面における共役面
での読取光束の状態Ａ、それに対応する受光面上
での反射光束形状Ｂ及び記録面変位に対するフオ
ーカスエラー信号の変化Ｃをそれぞれ示す図であ
る。 主要部分の符号の説明、１……光源、３……ビ
ームスプリツタ、４……対物レンズ、５……記録
媒体、７……シリンドリカルレンズ、８……光検
知器、１３……子午面における受光面の共役面、
１３……球欠面における受光面の共役面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 記録媒体の情報記録面に情報読み取りの為の
光束を収束照射せしめる第１の光学系と、受光
手段と、該情報記録面を経た光束を光束せしめ
る集光レンズ系及びこれによつて収束せしめら
れた光束を前記受光手段の受光面に非点光束形
態で導くシリンドリカルレンズを有する第２の
光学系とを備え、前記受光手段の出力に基づい
てフオーカスエラー信号を導出するようにした
フオーカスエラー検出装置であつて、前記集光
レンズ系の像側焦点面と前記シリンドリカルレ
ンズの主面との距離をｌ、該主面と前記受光面
との距離をｄ、前記シリンドリカルレンズの焦
点距離をfcとしたとき、下記式、 ｄ＝2fc・ｌ／（ｌ−2fc） を満たす位置に前記シリンドリカルレンズの主
面を配置し、前記第２の光学系を経た非点光束
の子午面内における該受光面とこの受光面の共
役面との横倍率と、前記非点光束の球欠面内に
おける該受光面とこの受光面の共役面との横倍
率とを略一致させたことを特徴とするフオーカ
スエラー検出装置。 (2) 前記シリンドリカルレンズの主面を前記集光
レンズ系による合焦時の結像点に一致させたこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のフオーカスエラー検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3868382U JPS58141434U (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | フオ−カスエラ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3868382U JPS58141434U (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | フオ−カスエラ−検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58141434U JPS58141434U (ja) | 1983-09-22 |
| JPH0519850Y2 true JPH0519850Y2 (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=30050007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3868382U Granted JPS58141434U (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | フオ−カスエラ−検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58141434U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58105439A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-23 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 光学フオ−カシング誤差検出装置 |
-
1982
- 1982-03-19 JP JP3868382U patent/JPS58141434U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58105439A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-23 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 光学フオ−カシング誤差検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58141434U (ja) | 1983-09-22 |
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