JPH05196143A - 可変密度のガスケット及びその形成方法 - Google Patents
可変密度のガスケット及びその形成方法Info
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- JPH05196143A JPH05196143A JP4216576A JP21657692A JPH05196143A JP H05196143 A JPH05196143 A JP H05196143A JP 4216576 A JP4216576 A JP 4216576A JP 21657692 A JP21657692 A JP 21657692A JP H05196143 A JPH05196143 A JP H05196143A
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- JP
- Japan
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- gasket
- layer
- forming
- path
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- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
- F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
- F16J15/12—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing with metal reinforcement or covering
- F16J15/121—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing with metal reinforcement or covering with metal reinforcement
- F16J15/122—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing with metal reinforcement or covering with metal reinforcement generally parallel to the surfaces
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多重密度ガスケットを簡単な方法で作ること
にある。 【構成】 第１の横幅を持つ第１のガスケット材料３５
と、第１の横幅より狭い第２の横幅を持つ第２のガスケ
ット材料３９とを共に径路に沿って移動させる。第３の
ガスケット材料３７を使い第２のガスケット材料を第１
及び第３のガスケット材料の間に挾む。これ等のガスケ
ット材料を圧縮し、圧縮したガスケット材料４４からガ
スケット２０を打抜く。第２のガスケット材料３９は、
ガスケットで高い方の密度部分を選択的に形成する。
にある。 【構成】 第１の横幅を持つ第１のガスケット材料３５
と、第１の横幅より狭い第２の横幅を持つ第２のガスケ
ット材料３９とを共に径路に沿って移動させる。第３の
ガスケット材料３７を使い第２のガスケット材料を第１
及び第３のガスケット材料の間に挾む。これ等のガスケ
ット材料を圧縮し、圧縮したガスケット材料４４からガ
スケット２０を打抜く。第２のガスケット材料３９は、
ガスケットで高い方の密度部分を選択的に形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多重密度ガスケットを
作る方法に関する。
作る方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】流体流れを利用する装置の種種のハウジ
ング境界面を密封するのにガスケットが使われている。
１例としてエンジンでは、シリンダ・ヘッド及びエンジ
ン・ブロックの間にガスケットを配置し、これ等両者間
を密封し、とくに各シリンダ穴のまわりの区域を密封す
る。このようなガスケットは、各シリンダ穴の外方に延
び、シリンダ・ヘッドおよびエンジン・ブロックを互い
に連結する各ボルトのまわりの区域を密封する。ガスケ
ットは、各ハウジング部材のボルト締め連結により荷重
を受け、この力を使い密封作用を生ずる。
ング境界面を密封するのにガスケットが使われている。
１例としてエンジンでは、シリンダ・ヘッド及びエンジ
ン・ブロックの間にガスケットを配置し、これ等両者間
を密封し、とくに各シリンダ穴のまわりの区域を密封す
る。このようなガスケットは、各シリンダ穴の外方に延
び、シリンダ・ヘッドおよびエンジン・ブロックを互い
に連結する各ボルトのまわりの区域を密封する。ガスケ
ットは、各ハウジング部材のボルト締め連結により荷重
を受け、この力を使い密封作用を生ずる。
【０００３】このガスケットの若干の区域は、他の区域
より高い応力を受け、適当な密封作用を生じ、又は各ハ
ウジング部材の曲げに抵抗するのに一層密度の高いガス
ケット材料を必要とする。前記したガスケットの使用で
は、各シリンダ穴間の区域は高応力の区域である。一層
密度の高いガスケット材料は、これ等のシリンダ穴間で
は各シリンダ穴の外部で必要とされるよりも望ましい。
均質な密度を持つガスケットにおいては、密度の高い材
料をこの高応力区域で使用できるが、又高応力を受けて
ない区域に使ってもよい。このことは、設計者が全ガス
ケット区域にわたって均等に力を発散させるよりむし
ろ、高応力区域におけるハウジング連結部から力を集中
しようとするので望ましくない。高応力区域において一
層密度の高い材料を使うと、このような集中が可能にな
る。
より高い応力を受け、適当な密封作用を生じ、又は各ハ
ウジング部材の曲げに抵抗するのに一層密度の高いガス
ケット材料を必要とする。前記したガスケットの使用で
は、各シリンダ穴間の区域は高応力の区域である。一層
密度の高いガスケット材料は、これ等のシリンダ穴間で
は各シリンダ穴の外部で必要とされるよりも望ましい。
均質な密度を持つガスケットにおいては、密度の高い材
料をこの高応力区域で使用できるが、又高応力を受けて
ない区域に使ってもよい。このことは、設計者が全ガス
ケット区域にわたって均等に力を発散させるよりむし
ろ、高応力区域におけるハウジング連結部から力を集中
しようとするので望ましくない。高応力区域において一
層密度の高い材料を使うと、このような集中が可能にな
る。
【０００４】第１の密度を持つ第１の部分と共に一層高
い密度を持つ第２の部分を備えた複合のガスケットを作
ることはよく知られている。第２の部分は、付加的な密
度を持つことが望ましい区域に使えばよい。これ等の多
重密度ガスケットを形成する従来の方法は複雑で望まし
くない。
い密度を持つ第２の部分を備えた複合のガスケットを作
ることはよく知られている。第２の部分は、付加的な密
度を持つことが望ましい区域に使えばよい。これ等の多
重密度ガスケットを形成する従来の方法は複雑で望まし
くない。
【０００５】
【発明の概要】多重密度ガスケットを形成する前記した
方法は、第１及び第２のガスケット材料を径路に沿って
動かす段階を含む。又第３の材料も、第２の材料を第１
及び第３の材料の間に挾んで径路に沿って動かす。第２
の材料は、この径路の横方向に測って第１及び第３の材
料の横幅より狭い横幅を持つ。第１及び第３の材料の間
には金属質の心層を挾んでもよい。
方法は、第１及び第２のガスケット材料を径路に沿って
動かす段階を含む。又第３の材料も、第２の材料を第１
及び第３の材料の間に挾んで径路に沿って動かす。第２
の材料は、この径路の横方向に測って第１及び第３の材
料の横幅より狭い横幅を持つ。第１及び第３の材料の間
には金属質の心層を挾んでもよい。
【０００６】複数の層により形成した複合ガスケット
は、これを圧縮するローラ場所を通過する。圧縮したガ
スケット材料は、ガスケット形状に切断する切断場所に
移動する。第２のガスケット材料を選択的に配置するこ
とにより、密度の高い方の区域が比較的簡単な製法によ
りガスケットの一部にわたって得られる。この場合設計
者は密度の高い方の材料を所望の場所に集中することが
できる。前記した方法は、比較的簡単で種種のガスケッ
トの要求に合うように容易に修正できる。第２のガスケ
ット材料は、ガスケットの要求に応じてガスケットの横
幅を横切って１個所だけに使われ、又は互いに間隔を置
いた複数の場所に使うことができる。
は、これを圧縮するローラ場所を通過する。圧縮したガ
スケット材料は、ガスケット形状に切断する切断場所に
移動する。第２のガスケット材料を選択的に配置するこ
とにより、密度の高い方の区域が比較的簡単な製法によ
りガスケットの一部にわたって得られる。この場合設計
者は密度の高い方の材料を所望の場所に集中することが
できる。前記した方法は、比較的簡単で種種のガスケッ
トの要求に合うように容易に修正できる。第２のガスケ
ット材料は、ガスケットの要求に応じてガスケットの横
幅を横切って１個所だけに使われ、又は互いに間隔を置
いた複数の場所に使うことができる。
【０００７】本発明のこれ等の又その他の目的及び特長
は添付図面についての以下の説明から明らかである。
は添付図面についての以下の説明から明らかである。
【０００８】
【実施例】横幅を横切って互いに異なる密度を持つ改良
されたガスケット２０を図１に例示してある。ガスケッ
ト２０は一般に平坦であり、複数の穴２１を貫いて延び
る軸線方向寸法を定めてある。横寸法は、ガスケット２
０に平行で、この軸線方向寸法に交差する平面内に定め
られる。上面２２は第１のガスケット材料で形成され、
中間層２７を上面２２及び下面３０間に配置した複数の
中間部分２８により形成してある。中間部分２８は上面
２２及び下面３０の横幅の一部にわたって延びるだけで
ある。各部分２８は、互いに平行に間隔を置いた側部に
より形成した側方端部を持つ。
されたガスケット２０を図１に例示してある。ガスケッ
ト２０は一般に平坦であり、複数の穴２１を貫いて延び
る軸線方向寸法を定めてある。横寸法は、ガスケット２
０に平行で、この軸線方向寸法に交差する平面内に定め
られる。上面２２は第１のガスケット材料で形成され、
中間層２７を上面２２及び下面３０間に配置した複数の
中間部分２８により形成してある。中間部分２８は上面
２２及び下面３０の横幅の一部にわたって延びるだけで
ある。各部分２８は、互いに平行に間隔を置いた側部に
より形成した側方端部を持つ。
【０００９】ガスケット２０を設計する際には設計者
は、一層高いガスケット密度を持つことが望ましい区域
を定める。１例としてエンジンの各シリンダ穴間の区域
のような高応力の区域がこのような区域である。各穴２
１はエンジンのシリンダ穴にわたって整合しなければな
らない。中間部分２８は各穴２１間に、これ等の区域に
付加的なガスケット密度が与えられるように配置する。
或はこれ等の区域はハウジング部材の曲げを制御し又は
曲げに抵抗するように選定する。
は、一層高いガスケット密度を持つことが望ましい区域
を定める。１例としてエンジンの各シリンダ穴間の区域
のような高応力の区域がこのような区域である。各穴２
１はエンジンのシリンダ穴にわたって整合しなければな
らない。中間部分２８は各穴２１間に、これ等の区域に
付加的なガスケット密度が与えられるように配置する。
或はこれ等の区域はハウジング部材の曲げを制御し又は
曲げに抵抗するように選定する。
【００１０】高い密度の区域を定めるには、コンピュー
タ・モデルを設計し、又は試験用実物大のモデルを作
る。各区域を定めると、設計者は、これ等の区域に中間
層を使うようにガスケットを設計する。
タ・モデルを設計し、又は試験用実物大のモデルを作
る。各区域を定めると、設計者は、これ等の区域に中間
層を使うようにガスケットを設計する。
【００１１】中間の金属質の心層３１を、上面２２及び
下面３０の間に挾む。この金属質の心層に穴をあけ、舌
状片が上面２２及び下面３０に向かって延び、金属質の
心層を固定するようにする。金属質の心層３１は、上面
２２及び下面３０と同じ横幅を持つ。
下面３０の間に挾む。この金属質の心層に穴をあけ、舌
状片が上面２２及び下面３０に向かって延び、金属質の
心層を固定するようにする。金属質の心層３１は、上面
２２及び下面３０と同じ横幅を持つ。
【００１２】図２に示すようにガスケット２０は、上面
２２、下面３０及び複数の中間部分２８から成る。前記
したように中間層２７の場所は、高い方の密度が望まし
い区域に高い方の密度が得られるように選定する。鎖線
で示した金属質の心層３１も又設けてある。
２２、下面３０及び複数の中間部分２８から成る。前記
したように中間層２７の場所は、高い方の密度が望まし
い区域に高い方の密度が得られるように選定する。鎖線
で示した金属質の心層３１も又設けてある。
【００１３】図３はガスケット２０を形成するシステム
３２を示す。それぞれ径路に沿い第１のコイル３４はガ
スケット材料３５を分与し、第２のコイル３６はガスケ
ット材料３７を分与する。各ガスケット材料３６，３７
は相互に出会い平行に移動する。各層は上面２２及び下
面３０になる。第３のコイル３８は各ガスケット材料３
５，３７間に中間の材料３９を分与する。材料３９は、
ガスケット材料３５，３７に平行で仕上がりガスケット
２０で中間層になる。材料３９の横幅は各ガスケット材
料３５，３７の横幅より狭い。各ガスケット材料３５，
３７の横幅は、互いに等しいように示してあるが必ずし
もその必要はない。さらに本発明方法は、１つのガスケ
ット材料の層３５又は層３７だけしか使わないシステム
にも適用できる。鎖線で示した金属質の心層４１は又、
層３５，３７間に挾んでもよくこの場合層３１となる。
心層４１は、当業界にはよく知られているように穴をあ
けてもよく又は中実にしてもよくコイルから分与する。
３２を示す。それぞれ径路に沿い第１のコイル３４はガ
スケット材料３５を分与し、第２のコイル３６はガスケ
ット材料３７を分与する。各ガスケット材料３６，３７
は相互に出会い平行に移動する。各層は上面２２及び下
面３０になる。第３のコイル３８は各ガスケット材料３
５，３７間に中間の材料３９を分与する。材料３９は、
ガスケット材料３５，３７に平行で仕上がりガスケット
２０で中間層になる。材料３９の横幅は各ガスケット材
料３５，３７の横幅より狭い。各ガスケット材料３５，
３７の横幅は、互いに等しいように示してあるが必ずし
もその必要はない。さらに本発明方法は、１つのガスケ
ット材料の層３５又は層３７だけしか使わないシステム
にも適用できる。鎖線で示した金属質の心層４１は又、
層３５，３７間に挾んでもよくこの場合層３１となる。
心層４１は、当業界にはよく知られているように穴をあ
けてもよく又は中実にしてもよくコイルから分与する。
【００１４】層すなわち、ガスケット材料３５，３７，
３９，４１は、ローラ場所４２に導く複合のガスケット
材料４０を形成する。ローラ場所４２は、複合のガスケ
ット材料４０を圧縮材料４４に圧縮する。ローラ場所４
２は、ガスケット材料３９が厚さすなわち幅を横切って
一定である各面２２，３０の外面間の距離に加わらない
ように、複合のガスケット材料を圧縮する。或は中間部
分２８は、ガスケット２０の横方向中央部分の密度を増
すだけである。圧縮されたガスケット材料４４は、仕上
がりガスケット２０を打抜きする切断場所４６に移動す
る。
３９，４１は、ローラ場所４２に導く複合のガスケット
材料４０を形成する。ローラ場所４２は、複合のガスケ
ット材料４０を圧縮材料４４に圧縮する。ローラ場所４
２は、ガスケット材料３９が厚さすなわち幅を横切って
一定である各面２２，３０の外面間の距離に加わらない
ように、複合のガスケット材料を圧縮する。或は中間部
分２８は、ガスケット２０の横方向中央部分の密度を増
すだけである。圧縮されたガスケット材料４４は、仕上
がりガスケット２０を打抜きする切断場所４６に移動す
る。
【００１５】図４に示すように、ガスケット２０を圧縮
したガスケット材料４４から切断するときは、中間部分
２８にガスケット材料３９が得られる。図５は図４の５
−５線に沿う断面図である。ガスケット材料３９は、圧
縮したガスケット材料４４の横方向中央にある。簡略化
のために金属質の心層は図示してなくて、ガスケット材
料３９の相対寸法及び場所は明示してある。
したガスケット材料４４から切断するときは、中間部分
２８にガスケット材料３９が得られる。図５は図４の５
−５線に沿う断面図である。ガスケット材料３９は、圧
縮したガスケット材料４４の横方向中央にある。簡略化
のために金属質の心層は図示してなくて、ガスケット材
料３９の相対寸法及び場所は明示してある。
【００１６】図６は、ガスケット４８の横方向外側部に
高密度の区域を設けることが望ましい別の用途に対する
本発明方法の使用を示す。高密度の部分５０は各側方端
部に配置してある。このような用途では中間材料３９の
２個のロールを使い複合のガスケット材料４０を形成す
る。このようなガスケットは、アルミニウム製エンジン
で冷却構造に隣接する位置を密封しその曲げに抵抗する
のに使う。図７に示すようにガスケット４８は、上部層
３５及び下部層３７を持つ高密度の中間層５０を備えて
いる。又金属質の心層を使ってもよい。
高密度の区域を設けることが望ましい別の用途に対する
本発明方法の使用を示す。高密度の部分５０は各側方端
部に配置してある。このような用途では中間材料３９の
２個のロールを使い複合のガスケット材料４０を形成す
る。このようなガスケットは、アルミニウム製エンジン
で冷却構造に隣接する位置を密封しその曲げに抵抗する
のに使う。図７に示すようにガスケット４８は、上部層
３５及び下部層３７を持つ高密度の中間層５０を備えて
いる。又金属質の心層を使ってもよい。
【００１７】中間のガスケット材料は上下の層と同じ材
料でもよいし、又は異なる材料でもよい。任意の公知の
ガスケット材料を利用できる。米国オハヨー州クリーブ
ランド市のユニオンカーバイド（Ｕｎｉｏｎ Ｃａｒｂ
ｉｄｅ）社製のコイル状たわみ性グラファイトガスケッ
ト材料商品名グラフォイル（ＧｒａｆｏｉｌTM）を使っ
てもよい。或は米国カルフォルニア州バレンシア市のポ
リカーボン（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎ）社製のコイル状た
わみ性グラファイトガスケット材料商品名カルグラフ
（ＣａｌｇｒａｐｈTM）を使ってもよい。金属質の心層
は鋼がよい。ステンレス、クロムめっき、すずめっきの
低炭素鋼又はその他の鋼を使ってもよい。
料でもよいし、又は異なる材料でもよい。任意の公知の
ガスケット材料を利用できる。米国オハヨー州クリーブ
ランド市のユニオンカーバイド（Ｕｎｉｏｎ Ｃａｒｂ
ｉｄｅ）社製のコイル状たわみ性グラファイトガスケッ
ト材料商品名グラフォイル（ＧｒａｆｏｉｌTM）を使っ
てもよい。或は米国カルフォルニア州バレンシア市のポ
リカーボン（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎ）社製のコイル状た
わみ性グラファイトガスケット材料商品名カルグラフ
（ＣａｌｇｒａｐｈTM）を使ってもよい。金属質の心層
は鋼がよい。ステンレス、クロムめっき、すずめっきの
低炭素鋼又はその他の鋼を使ってもよい。
【００１８】本発明方法により形成した試料ガスケット
では、各面層は厚さが０．０３５ｉｎであった。中間層
は厚さが０．０１０ｉｎであった。心層は厚さが０．０
０８３ｉｎであった。これ等の４層は厚さが０．０６０
ないし０．０６６ｉｎの圧縮ガスケット材料に圧縮し
た。
では、各面層は厚さが０．０３５ｉｎであった。中間層
は厚さが０．０１０ｉｎであった。心層は厚さが０．０
０８３ｉｎであった。これ等の４層は厚さが０．０６０
ないし０．０６６ｉｎの圧縮ガスケット材料に圧縮し
た。
【００１９】以上本発明をその実施例について詳細に説
明したが本発明はなおその精神を逸脱しないで種種の変
化変型を行うことができるのはもちろんである。
明したが本発明はなおその精神を逸脱しないで種種の変
化変型を行うことができるのはもちろんである。
【図１】本発明によるガスケットの斜視図である。
【図２】図１に示したガスケットの展開斜視図である。
【図３】図１に示したガスケットを形成するシステムの
線図的斜視図である。
線図的斜視図である。
【図４】図３に例示したシステムによりガスケットを製
造する一段階の平面図である。
造する一段階の平面図である。
【図５】図４の５−５線に沿う断面図である。
【図６】本発明の１変型によるガスケットの図４と同様
な平面図である。
な平面図である。
【図７】図６の７−７線に沿う断面図である。
２０ ガスケット ３５ 第１の層 ３７ 第３の層 ３９ 第２の層 ４２ 圧縮場所 ４６ 切断場所
Claims (13)
- 【請求項１】 （１）第１の横幅を持ち、ガスケット材
料から成る大体において平坦な第１の層を径路に沿い移
動させる段階と、（２）前記第１の横幅より狭い第２の
横幅を持ち、前記第１の層と共に横寸法をそれぞれの層
平面内で前記径路の横方向に定め、ガスケット材料から
成る大体において平坦な第２の層を、前記第１の層に平
行に前記径路に沿って移動させる段階と、（３）前記径
路に沿い圧縮場所を配置し、複合のガスケット材料を圧
縮する段階と、を包含する、可変密度のガスケットの形
成方法。 - 【請求項２】 前記段階（２）においてガスケット材料
から成る大体において平坦な第３の層を前記径路に沿い
移動させ、前記第１の層及び第３の層の間に前記第２の
層を挾んで複合のガスケット材料を形成する段階をさら
に包含する、請求項１の可変密度のガスケットの形成方
法。 - 【請求項３】 前記第１及び第３のガスケット材料の外
面間の距離がそれぞれの全横幅にわたり比較的一定にな
るように、前記圧縮場所において前記複合のガスケット
材料を圧縮する、請求項２の可変密度のガスケットの形
成方法。 - 【請求項４】 金属質の心層を又前記径路に沿い移動さ
せ、前記第１の層と前記第３の層との間に挾む、請求項
３の可変密度のガスケットの形成方法。 - 【請求項５】 切断場所を、前記圧縮場所の下流側に位
置させ、前記圧縮した複合のガスケット材料からガスケ
ットを切断する段階をさらに包含する、請求項４の可変
密度のガスケット形成方法。 - 【請求項６】 切断場所（４６）を前記圧縮場所の下流
側に位置させ、前記圧縮した複合のガスケット材料から
ガスケットを切断する段階をさらに包含する、請求項１
の可変密度のガスケットの形成方法。 - 【請求項７】 前記第２の層を、前記第１の層の中央側
方部分に整合させる、請求項１の可変密度のガスケット
の形成方法。 - 【請求項８】 複数の第２層部分を、前記第１の層の横
幅を横切って相互に間隔を置いた場所に沿って移動させ
る、請求項１の可変密度のガスケットの形成方法。 - 【請求項９】 前記圧縮場所を、１対の互いに対向する
ローラにより形成する、請求項１の可変密度のガスケッ
トの形成方法。 - 【請求項１０】 前記第２の層を、材料のコイルから分
与し、前記第２の層の側方端部を、互いに平行に間隔を
置いた側部により形成する、請求項１の可変密度のガス
ケットの形成方法。 - 【請求項１１】 前記第１の層を又、材料のコイルから
分与する、請求項１０の可変密度のガスケットの形成方
法。 - 【請求項１２】 前記第１の層及び第２の層が、これ等
の層に直交して定めた厚さを持ち、前記第２の層の厚さ
を、前記第１の層の厚さより薄くする、請求項１の可変
密度のガスケットの形成方法。 - 【請求項１３】 （１）ガスケット材料から成る大体に
おいて平坦な第１の層を径路に沿い移動させる段階と、
（２）ガスケット材料から成る大体において平坦な第２
の層を前記径路に沿い移動させる段階と、（３）前記の
第１及び第２の層に平行であり、これ等の層と共に複合
のガスケット材料を形成し、前記第１及び第２の層と共
に横寸法をそれぞれの層平面内で前記径路の横方向に定
め、前記第１の層の横寸法と共に前記第２の層の横寸法
より大きくし、ガスケット材料から成る大体において平
坦な第３の層を前記径路に沿って移動させる段階と、
（４）前記径路に圧縮場所を配置し、前記複合のガスケ
ット材料を圧縮する段階と、（５）前記圧縮場所の下流
側に切断場所を配置し、圧縮したガスケット材料からガ
スケットを切断する段階と、によって形成したガスケッ
ト。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US742119 | 1991-08-08 | ||
| US07/742,119 US5297806A (en) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | Method of making multi-density composite gaskets |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196143A true JPH05196143A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=24983555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4216576A Pending JPH05196143A (ja) | 1991-08-08 | 1992-07-23 | 可変密度のガスケット及びその形成方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5297806A (ja) |
| JP (1) | JPH05196143A (ja) |
| CA (1) | CA2071770A1 (ja) |
| MX (1) | MX9204575A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019194495A (ja) * | 2018-05-02 | 2019-11-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板支持アセンブリ用の多領域ガスケット |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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