JPH05190936A - パルスレーザ放電電極 - Google Patents
パルスレーザ放電電極Info
- Publication number
- JPH05190936A JPH05190936A JP1592A JP1592A JPH05190936A JP H05190936 A JPH05190936 A JP H05190936A JP 1592 A JP1592 A JP 1592A JP 1592 A JP1592 A JP 1592A JP H05190936 A JPH05190936 A JP H05190936A
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- JP
- Japan
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- main electrode
- main
- electrode
- electron beam
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- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 パルスレーザ放電電極において、ターゲット
金属の熱除去を容易にし、予備電離電子数を大きくし
て、高繰り返し運転を可能とする。 【構成】 主電極１の表面の一部には、原子量の大きい
金属製のターゲット６が取付けられ、また、主電極１の
背面側には冷却手段である冷却装置１０が配設され、そ
の内部を冷却媒質１１が通過できるように構成されてい
る。一方、前記主電極１に対向して配置された板状の主
電極２は、主電極１，２で作る空間と外部との圧力隔壁
を兼ねている。また、主電極２の背後には、高エネルギ
ー電子ビーム発生装置（図示せず）が配設され、電子ビ
ーム４が主電極１，２のギャップ方向に発射されてい
る。なお、主電極２により、主電極２の背後の空間圧力
は十分に低く、また主電極１，２で囲む空間の圧力は大
気圧程度に保たれている。
金属の熱除去を容易にし、予備電離電子数を大きくし
て、高繰り返し運転を可能とする。 【構成】 主電極１の表面の一部には、原子量の大きい
金属製のターゲット６が取付けられ、また、主電極１の
背面側には冷却手段である冷却装置１０が配設され、そ
の内部を冷却媒質１１が通過できるように構成されてい
る。一方、前記主電極１に対向して配置された板状の主
電極２は、主電極１，２で作る空間と外部との圧力隔壁
を兼ねている。また、主電極２の背後には、高エネルギ
ー電子ビーム発生装置（図示せず）が配設され、電子ビ
ーム４が主電極１，２のギャップ方向に発射されてい
る。なお、主電極２により、主電極２の背後の空間圧力
は十分に低く、また主電極１，２で囲む空間の圧力は大
気圧程度に保たれている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電部電極構成に改良
を施したパルスレーザ放電電極に関するものである。
を施したパルスレーザ放電電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】放電励起方式のガスレーザでは、レーザ
ガス中で空間的に均一なグロー放電を発生させてレーザ
発振を得ているが、横方向励起パルスＣＯ2 レーザやエ
キシマレーザを始めとするパルスレーザ発振装置では、
レーザガス圧力が大気圧以上であり、さらに電子付着性
の強いガス成分を含んでいるため、上記グロー放電を均
一に点弧することは難しい。このため、グロー放電点弧
に先立って予備電離を行うとともに高速のパルス電圧を
放電部に印加して、グロー放電を形成するのが一般的で
ある。
ガス中で空間的に均一なグロー放電を発生させてレーザ
発振を得ているが、横方向励起パルスＣＯ2 レーザやエ
キシマレーザを始めとするパルスレーザ発振装置では、
レーザガス圧力が大気圧以上であり、さらに電子付着性
の強いガス成分を含んでいるため、上記グロー放電を均
一に点弧することは難しい。このため、グロー放電点弧
に先立って予備電離を行うとともに高速のパルス電圧を
放電部に印加して、グロー放電を形成するのが一般的で
ある。
【０００３】図２は、従来のパルスレーザ放電電極の構
造の一例を示したものである。即ち、一対の主電極１，
２が対向して配設され、両者を囲む放電空間にはレーザ
ガスが充填されている。なお、主電極１は棒状の電極
で、主電極２は板状の電極で構成されている。また、主
電極１，２間にはパルス電圧を発生する高圧パルス電源
３が接続されている。
造の一例を示したものである。即ち、一対の主電極１，
２が対向して配設され、両者を囲む放電空間にはレーザ
ガスが充填されている。なお、主電極１は棒状の電極
で、主電極２は板状の電極で構成されている。また、主
電極１，２間にはパルス電圧を発生する高圧パルス電源
３が接続されている。
【０００４】また、主電極２の背面側には、アパーチャ
５と原子量の大きい金属からなるターゲット６が配設さ
れている。さらに、主電極２の背後には、高エネルギー
電子ビーム発生装置（図示せず）が配設され、電子ビー
ム４が主電極１，２のギャップ方向に発射されている。
５と原子量の大きい金属からなるターゲット６が配設さ
れている。さらに、主電極２の背後には、高エネルギー
電子ビーム発生装置（図示せず）が配設され、電子ビー
ム４が主電極１，２のギャップ方向に発射されている。
【０００５】なお、前記アパーチャ５及びターゲット６
が配設される空間の圧力は十分に低く、主電極１，２で
囲む空間の圧力とは主電極２により隔絶されている。ま
た、主電極１，２が作る空間の紙面垂直方向には、図示
していない光共振器が配設されている。
が配設される空間の圧力は十分に低く、主電極１，２で
囲む空間の圧力とは主電極２により隔絶されている。ま
た、主電極１，２が作る空間の紙面垂直方向には、図示
していない光共振器が配設されている。
【０００６】以上の様に構成された従来のパルスレーザ
放電電極の動作を説明する。即ち、主電極２の背後に設
けられた高エネルギー電子ビーム発生装置より発射され
た電子ビーム４がターゲット６に当たるとＸ線７が発生
する。この内、アパーチャ５内を通過したＸ線のみが、
主電極空間内のレーザガスに照射される。これにより主
電極空間内のレーザガスは電離して、主電極１，２の空
間内に予備電離電子が発生する。この予備電離電子の発
生時に前後して、高圧パルス電源３から主電極１，２間
に高電圧パルスが印加されると、主電極１，２間の電界
により、先に生じた予備電離電子は衝突して倍増し、主
電極１，２間にグロー放電が形成される。その結果、レ
ーザガスが励起され、図示していない光共振器の作用で
紙面垂直方向にレーザ光が出射される。
放電電極の動作を説明する。即ち、主電極２の背後に設
けられた高エネルギー電子ビーム発生装置より発射され
た電子ビーム４がターゲット６に当たるとＸ線７が発生
する。この内、アパーチャ５内を通過したＸ線のみが、
主電極空間内のレーザガスに照射される。これにより主
電極空間内のレーザガスは電離して、主電極１，２の空
間内に予備電離電子が発生する。この予備電離電子の発
生時に前後して、高圧パルス電源３から主電極１，２間
に高電圧パルスが印加されると、主電極１，２間の電界
により、先に生じた予備電離電子は衝突して倍増し、主
電極１，２間にグロー放電が形成される。その結果、レ
ーザガスが励起され、図示していない光共振器の作用で
紙面垂直方向にレーザ光が出射される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した様な従来のパ
ルスレーザ放電電極においては、Ｘ線７を発生させるた
めに必要なターゲット６が加熱されるため、これを冷却
をする必要があるが、効率よくＸ線７を発生させるため
に、ターゲット６の厚みはできるだけ薄いことが要求さ
れている。このため、ターゲット６はアパーチャ５を介
して冷却することとなり、効率の良い熱除去が困難で、
ターゲット６は加熱しやすかった。
ルスレーザ放電電極においては、Ｘ線７を発生させるた
めに必要なターゲット６が加熱されるため、これを冷却
をする必要があるが、効率よくＸ線７を発生させるため
に、ターゲット６の厚みはできるだけ薄いことが要求さ
れている。このため、ターゲット６はアパーチャ５を介
して冷却することとなり、効率の良い熱除去が困難で、
ターゲット６は加熱しやすかった。
【０００８】特に、レーザの運転周波数が高い場合は熱
上昇が激しく、長時間運転は困難であった。また、レー
ザガスの電離電子数密度は、Ｘ線との衝突断面積によっ
て決まるため、レーザガスの種類によっては電離電子数
密度が低く、レーザ発振効率を高くすることが困難であ
るといった問題があった。
上昇が激しく、長時間運転は困難であった。また、レー
ザガスの電離電子数密度は、Ｘ線との衝突断面積によっ
て決まるため、レーザガスの種類によっては電離電子数
密度が低く、レーザ発振効率を高くすることが困難であ
るといった問題があった。
【０００９】本発明は、上述した様な従来技術の欠点を
解消するために提案されたもので、その目的は、ターゲ
ット金属の熱除去を容易にするだけでなく、予備電離電
子数を大きくでき、高繰り返し運転も可能な、長寿命の
パルスレーザ放電電極を提供することにある。
解消するために提案されたもので、その目的は、ターゲ
ット金属の熱除去を容易にするだけでなく、予備電離電
子数を大きくでき、高繰り返し運転も可能な、長寿命の
パルスレーザ放電電極を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、対向配置され
た一対の主電極の少なくとも一方から電子ビームを透過
させるように構成したパルスレーザ放電電極において、
前記主電極の少なくとも一方の表面の一部に原子量の大
きい金属を設置し、また、前記金属を設置した主電極に
冷却手段を設けたことを特徴とするものである。
た一対の主電極の少なくとも一方から電子ビームを透過
させるように構成したパルスレーザ放電電極において、
前記主電極の少なくとも一方の表面の一部に原子量の大
きい金属を設置し、また、前記金属を設置した主電極に
冷却手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】本発明のパルスレーザ放電電極においては、タ
ーゲット金属を配設した主電極に冷却手段を設けたこと
により、ターゲット金属より発生する熱を主電極を介し
て容易に除去することができる。また、Ｘ線に変換され
ない電子ビームをレーザガスの予備電離に使用すること
ができるので、高効率で大出力の高繰り返しパルスレー
ザ発振を行うことができる。
ーゲット金属を配設した主電極に冷却手段を設けたこと
により、ターゲット金属より発生する熱を主電極を介し
て容易に除去することができる。また、Ｘ線に変換され
ない電子ビームをレーザガスの予備電離に使用すること
ができるので、高効率で大出力の高繰り返しパルスレー
ザ発振を行うことができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて具
体的に説明する。なお、図２に示した従来型と同一の部
材には同一の符号を付して、説明は省略する。
体的に説明する。なお、図２に示した従来型と同一の部
材には同一の符号を付して、説明は省略する。
【００１３】本実施例においては、図１に示した様に、
主電極１の表面の一部には、原子量の大きい金属製のタ
ーゲット６が取付けられ、また、主電極１の背面側には
冷却手段である冷却装置１０が配設され、その内部を冷
却媒質１１が通過できるように構成されている。
主電極１の表面の一部には、原子量の大きい金属製のタ
ーゲット６が取付けられ、また、主電極１の背面側には
冷却手段である冷却装置１０が配設され、その内部を冷
却媒質１１が通過できるように構成されている。
【００１４】一方、前記主電極１に対向して配置された
板状の主電極２は、主電極１，２で作る空間と外部との
圧力隔壁を兼ねている。また、主電極２の背後には、高
エネルギー電子ビーム発生装置（図示せず）が配設さ
れ、電子ビーム４が主電極１，２のギャップ方向に発射
されている。なお、主電極２により、主電極２の背後の
空間圧力は十分に低く、また主電極１，２で囲む空間の
圧力は大気圧程度に保たれている。
板状の主電極２は、主電極１，２で作る空間と外部との
圧力隔壁を兼ねている。また、主電極２の背後には、高
エネルギー電子ビーム発生装置（図示せず）が配設さ
れ、電子ビーム４が主電極１，２のギャップ方向に発射
されている。なお、主電極２により、主電極２の背後の
空間圧力は十分に低く、また主電極１，２で囲む空間の
圧力は大気圧程度に保たれている。
【００１５】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ放電電極は、以下に述べる様に作用する。即ち、高
エネルギーの電子ビーム４は、主電極２を通過して主電
極１，２により形成される空間内に入り、内部電子ビー
ム１２となり、この作用によりレーザガスが電離され、
予備電離電子が生ずる。さらに、内部電子ビーム１２が
ターゲット６に当たるとＸ線７が発生し、このＸ線が主
電極空間内のレーザガスに照射され予備電離電子が生ず
る。なお、Ｘ線７が発生する領域は、主電極１の表面に
設置したターゲット６の範囲内であり、これ以外の領域
には生じない。
ーザ放電電極は、以下に述べる様に作用する。即ち、高
エネルギーの電子ビーム４は、主電極２を通過して主電
極１，２により形成される空間内に入り、内部電子ビー
ム１２となり、この作用によりレーザガスが電離され、
予備電離電子が生ずる。さらに、内部電子ビーム１２が
ターゲット６に当たるとＸ線７が発生し、このＸ線が主
電極空間内のレーザガスに照射され予備電離電子が生ず
る。なお、Ｘ線７が発生する領域は、主電極１の表面に
設置したターゲット６の範囲内であり、これ以外の領域
には生じない。
【００１６】この時点に前後して、高圧パルス電極３か
ら主電極１，２間に高電圧パルスが印加されると、主電
極１，２間の電界により、先に生じた予備電離電子は衝
突して倍増し、主電極１，２間にグロー放電が形成され
る。この結果、レーザガスが励起されて、図示していな
い光共振器の作用でレーザ光が紙面垂直方向に出射され
る。この場合、衝突した電子ビームによって発生したタ
ーゲット６の熱は、熱伝導で主電極１に伝わり、さら
に、主電極１の背面側に配設された冷却装置１０の作用
で冷却される。
ら主電極１，２間に高電圧パルスが印加されると、主電
極１，２間の電界により、先に生じた予備電離電子は衝
突して倍増し、主電極１，２間にグロー放電が形成され
る。この結果、レーザガスが励起されて、図示していな
い光共振器の作用でレーザ光が紙面垂直方向に出射され
る。この場合、衝突した電子ビームによって発生したタ
ーゲット６の熱は、熱伝導で主電極１に伝わり、さら
に、主電極１の背面側に配設された冷却装置１０の作用
で冷却される。
【００１７】この様に本実施例によれば、Ｘ線に変換さ
れない電子ビームを、レーザガスの予備電離に使用する
ことができるので、予備電離電子数を増大させることが
できる。また、Ｘ線発生用のターゲット金属より発生す
る熱を、主電極を介して容易に除去することができる。
れない電子ビームを、レーザガスの予備電離に使用する
ことができるので、予備電離電子数を増大させることが
できる。また、Ｘ線発生用のターゲット金属より発生す
る熱を、主電極を介して容易に除去することができる。
【００１８】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、Ｘ線予備電離方式の横方向励起パルス
ＣＯ2 レーザやエキシマレーザを始めとするパルスレー
ザ発振装置に限らず、フラッシュランプ等の放電を利用
した機器にも適用することができる。
るものではなく、Ｘ線予備電離方式の横方向励起パルス
ＣＯ2 レーザやエキシマレーザを始めとするパルスレー
ザ発振装置に限らず、フラッシュランプ等の放電を利用
した機器にも適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、対向
配置された主電極の少なくとも一方の表面の一部に、原
子量の大きい金属を設置し、また、前記金属を設置した
主電極に冷却手段を設けることにより、ターゲット金属
の熱除去を容易にするだけでなく、予備電離電子数を大
きくでき、高繰り返し運転も可能な、長寿命のパルスレ
ーザ放電電極を提供することができる。
配置された主電極の少なくとも一方の表面の一部に、原
子量の大きい金属を設置し、また、前記金属を設置した
主電極に冷却手段を設けることにより、ターゲット金属
の熱除去を容易にするだけでなく、予備電離電子数を大
きくでき、高繰り返し運転も可能な、長寿命のパルスレ
ーザ放電電極を提供することができる。
【図１】本発明のパルスレーザ放電電極の一実施例を示
す図
す図
【図２】従来のパルスレーザ放電電極の構成を示す図
１…主電極 ２…主電極 ３…高圧パルス電源 ４…電子ビーム ５…アパーチャ ６…ターゲット ７…Ｘ線 １０…冷却装置 １１…冷却媒質 １２…内部電子ビーム
Claims (1)
- 【請求項１】 対向配置された一対の主電極の少なくと
も一方から電子ビームを透過させるように構成したパル
スレーザ放電電極において、 前記主電極の少なくとも一方の表面の一部に、原子量の
大きい金属を設置し、また、前記金属を設置した主電極
に冷却手段を設けたことを特徴とするパルスレーザ放電
電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1592A JPH05190936A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1592A JPH05190936A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ放電電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190936A true JPH05190936A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11462610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1592A Pending JPH05190936A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05190936A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03239445A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-25 | Amada Co Ltd | 切削油給油装置 |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP1592A patent/JPH05190936A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03239445A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-25 | Amada Co Ltd | 切削油給油装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
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