JPH0518624A - クライオポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スラックピストンを用いることなく、中間圧
と高圧及び低圧との圧力差でディスプレーサを往復動さ
せることができ、ポンプ全体を小形化できると共に、デ
ィスプレーサの往復動終端位置での衝突による振動を小
さくすることができるようにすること。 【構成】 切換弁装置４の切換えで高圧ガスの導入と低
圧ガスの排出とを行なう注排通路３１をもった通路ブロ
ック３と、シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧ガスの
排出とで往復動するディスプレーサ５との間に、該ディ
スプレーサ５の往復動で容積が変化する圧力制御室８を
設けて、この圧力制御室８を前記注排通路３１にオリフ
ィス９を介して連通させるか、又は前記シリンダ１内
で、前記通路ブロック３とディスプレーサ５との間に、
前記圧力制御室８を設けて、該圧力制御室８を前記注排
通路３１にオリフィス９を介して連通させて、圧力制御
室８を中間圧にできて、しかも、この中間圧を徐々に昇
圧及び減圧できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプ、詳し
くは、シリンダに内装するディスプレーサを高圧ガスの
導入と低圧ガスの排出とにより往復動させて極低温を得
るようにしたクライオポンプに関する。

【０００２】

【従来技術】従来、この種クライオポンプは、例えば特
開昭６３ー２５９３５７号公報に記載されている。この
従来のクライオポンプは、図６に示すように、ヒートス
テージＡ、ＢをもったシリンダＣと、該シリンダＣの上
端部に連結するモータハウジングＤとを備え、該モータ
ハウジングＤに、前記シリンダＣに対し高圧ガスの導入
と低圧ガスの排出とを行う注排通路Ｅをもった通路ブロ
ックＦと、前記注排通路Ｅを高圧ガス通路Ｇと低圧ガス
通路Ｈとに交互に切換える弁体Ｉ及び該弁体Ｉを駆動す
るモータＪをもった切換弁装置Ｋとを内装する一方、前
記シリンダＣに、畜冷器Ｌ、Ｍをもち、前記シリンダＣ
への高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とで往復動するデ
ィスプレーサＮを内装し、このディスプレーサＮと前記
通路ブロックＦとの間に、前記ディスプレーサＮと所定
ストロークを介して連動するスラックピストンＰを往復
動自由に設けると共に、前記通路ブロックＦとモータハ
ウジングＤとの間に、キャピラリー（図示せず）を介し
て前記注排通路Ｅと、またブリード（図示せず）を介し
て前記低圧ガス通路Ｈとにそれぞれ連通する中間圧のサ
ージボリウムＲを設け、このサージボリウムＲを、オリ
フィスＳを介して前記スラックピストンＰの作用室Ｔに
対向する対向室Ｖに連通させている。

【０００３】そして、前記切換弁装置Ｋにより前記注排
通路Ｅを高圧ガス通路Ｇに切換えて、前記シリンダＣ内
に高圧ガスを導入すると、前記スラックピストンＰの作
用室Ｔが高圧となり、この作用室Ｔと、前記サージボリ
ウムＲに連通し中間圧に制御している対向室Ｖとの間の
圧力差により前記スラックピストンＰ及びディスプレー
サＮが上方に向かって往動して、前記ヒートステージ
Ａ、Ｂに隣接する膨張空間Ｘ、Ｙに導入ガスが充満し、
また、前記切換弁装置Ｋにより前記注排通路Ｅが低圧ガ
ス通路Ｈに切換えられて、前記シリンダＣ内及び作用室
Ｔが低圧になると、この作用室Ｔと、中間圧となる前記
対向室Ｖとの間の圧力差により前記スラックピストンＰ
及びディスプレーサＮが下方に向かって復動して、膨張
後の低圧ガスが排出し、これら高圧ガスの導入と排出と
の繰り返しによりヒートステージＡ、Ｂに極低温を得る
ようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】所が、以上のごとくス
ラックピストンＰを用いたクライオポンプの場合、前記
スラックピストンＰはディスプレーサＮの往復動方向一
端側に配置されるから、ポンプの全長が長くなって大形
となる問題がり、また、スラックピストンＰを用いるか
ら、部品点数が増大してコスト高になる問題もある。
又、前記サージボリウムＲは、所定の中間圧に制御し、
このサージボリウムＲに連通すると高圧又は低圧に切換
えられる作用室Ｔとの圧力差により前記スラックピスト
ンＰ及びディスプレーサＮを往復動するようにしている
から、前記サージボリウムＲの容積を大きくする必要が
あり、このためモータハウジングＤが大形化し、スラッ
クピストンＰを用いることと相俟ってポンプ全体を小形
化できない問題があった。また、前記サージボリウムＲ
の圧力は、高圧と低圧との中間の所定中間圧に設定して
いるため、高圧と中間圧及び低圧と中間圧との差圧は所
定差圧以下にできないのであり、従って、高圧と低圧と
の差圧で前記ディスプレーサＮを往復動させる場合に比
較して前記ディスプレーサＮの動きを緩慢にできるけれ
ども不充分であり、この結果、前記ディスプレーサＮの
往動終端位置及び復動終端位置での衝突による振動を小
さくできない問題も有している。

【０００５】本発明は以上の問題点に鑑み発明したもの
で、その目的は、スラックピストンを用いることなく、
中間圧と高圧及び低圧との圧力差でディスプレーサを往
復動させることができて、しかもディスプレーサの往復
動を緩やかにできて、このディスプレーサの往動及び復
動終端位置での衝突による振動を小さくすることができ
るようにする点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、シリンダ１と、切換弁装置４の切換え
で高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排通路
３１をもった通路ブロック３と、前記シリンダ１に内装
され、前記シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧ガスの
排出とで往復動するディスプレーサ５とを備えたクライ
オポンプにおいて、前記通路ブロック３とディスプレー
サ５との間に、該ディスプレーサ５の往復動で容積が変
化する圧力制御室８を設けて、この圧力制御室８を前記
注排通路３１にオリフィス９を介して連通させたのであ
る。

【０００７】この場合、前記通路ブロック３には、前記
ディスプレーサ５の往復動方向に延びる空洞部３３を設
けると共に、前記ディスプレーサ５に、前記空洞部３３
に往復動自在に内装するピストン５１を設けて、前記空
洞部３３とピストン５１とで圧力制御室８を形成する一
方、前記通路ブロック３に、前記空洞部３３を注排通路
３１に連通する連通路３４を設け、該連通路３４にオリ
フィス９を設けるのが好ましい。

【０００８】更に、前記ディスプレーサ５には、該ディ
スプレーサ５の往復動方向に延びる筒部５４を設けると
共に、通路ブロック３に、前記筒部５４に往復動自在に
内装するピストン３５を設けて、前記筒部５４の内腔部
５３とピストン３５とで圧力制御室８を形成する一方、
前記通路ブロック３に、一端が前記ピストン３５の端面
に開口し、他端が注排通路３１に連通する連通路３４を
設け、該連通路３４にオリフィス９を設けるのが好まし
い。

【０００９】又、前記クライオポンプにおいて、前記シ
リンダ１内で、前記通路ブロック３とディスプレーサ５
との間に、該ディスプレーサ５の往復動で容積が変化す
る圧力制御室８を設けて、該圧力制御室８を前記注排通
路３１にオリフィス９を介して連通すると共に、前記通
路ブロック３とディスプレーサ５との間に前記圧力制御
室８と区画され、ディスプレーサ５の内部に連通する注
排中継室１０を設け、この注排中継室１０に前記注排通
路３１を開口させてもよい。

【００１０】

【作用】切換弁装置４により通路ブロック３の注排通路
３１を高圧ガス通路に連通させてシリンダ１内に高圧ガ
スを導入すると、該シリンダ１内が高圧になると共に、
前記注排通路３１を流れる高圧ガスの一部がオリフィス
９から圧力制御室８に流入して、該圧力制御室８が中間
圧となり、この圧力制御室８の中間圧と前記シリンダ１
内の高圧との圧力差により前記ディスプレーサ５が前記
通路ブロック３に向かって往動させられるのであり、し
かもこの場合、ディスプレーサ５の往動に伴い前記圧力
制御室８の容積が減少し、該圧力制御室８のガスが圧縮
されることになるから、圧力制御室８の中間圧は、図２
のイに示すように高圧と低圧との中間の圧力から徐々に
昇圧して高圧に近づき、この中間圧と前記シリンダ１内
の高圧（図２ではロ）との圧力差が小さくなるのであ
る。従って、前記ディスプレーサ５の往動を緩やかにで
きるので、ディスプレーサ５の往動終端位置での衝突に
よる振動を小さくできるのである。また、前記切換弁装
置４により前記注排通路３１が低圧ガス通路に連通する
と、前記シリンダ１内の高圧ガスが膨張して注排通路３
１から低圧ガス通路に排出されるから、シリンダ１内が
低圧になる。また、前記注排通路３１も低圧になるか
ら、この低圧よりも高い中間圧になっている前記圧力制
御室８内のガスの一部は前記オリフィス９から注排通路
３１に流出することになるが、その流出量は少なく、前
記圧力制御室８の中間圧は低圧と高圧との中間の圧力よ
り高い圧力になっているので、前記シリンダ１内の低圧
と前記圧力制御室８内の中間圧との圧力差により前記デ
ィスプレーサ５を下方に向かって速やかに復動させ得る
のである。しかもこの場合、ディスプレーサ５の復動に
伴い前記圧力制御室８の容積は増大することになるか
ら、圧力制御室８の中間圧は図２のハに示すように徐々
に減圧して、この中間圧と前記シリンダ１内の低圧（図
２ではニ）との圧力差が小さくなるのである。従って、
この状態では前記ディスプレーサ５の復動を緩やかにで
きるので、ディスプレーサ５の復動終端位置での衝突に
よる振動を小さくできるのである。

【００１１】また、前記通路ブロック３に、前記ディス
プレーサ５の往復動方向に延びる空洞部３３を設けると
共に、前記ディスプレーサ５に、前記空洞部３３に往復
動自在に内装するピストン５１を設けて、前記空洞部３
３とピストン５１とで圧力制御室８を形成する一方、前
記通路ブロック３に、前記空洞部３３を注排通路３１に
連通する連通路３４を設け、該連通路３４にオリフィス
９を設けることにより、前記通路ブロック３を利用して
該通路ブロック３の内部に前記圧力制御室８を形成でき
るから、構成を簡単にできポンプ全体を有効に短くでき
るのである。

【００１２】また、前記ディスプレーサ５に、該ディス
プレーサ５の往復動方向に延びる筒部５４を設けると共
に、通路ブロック３に、前記筒部５４に往復動自在に内
装するピストン３５を設けて、前記筒部５４の内腔部５
３とピストン３５とで圧力制御室８を形成する一方、前
記通路ブロック３に、一端が前記ピストン３５の端面に
開口し、他端が注排通路３１に連通する連通路３４を設
け、該連通路３４にオリフィス９を設けることにより、
前記ディスプレーサ５と通路ブロック３とを利用して前
記圧力制御室８を形成できるから、通路ブロック３を利
用して圧力制御室８を形成する場合と同様に構成を簡単
にできる。

【００１３】又、前記シリンダ１内で、前記通路ブロッ
ク３とディスプレーサ５との間に前記圧力制御室８を設
ける場合には、前記ディスプレーサ５の往復動に必要な
空間を利用して前記圧力制御室８を形成することができ
るので、前記圧力制御室８の高さ方向の寸法を短くで
き、従って、ポンプ全体の長さをより短くできるのであ
る。

【００１４】

【実施例】図１において、１は下端部にヒートステージ
１１をもったシリンダ、２は高圧ガス管及び低圧ガス管
の接続口２１、２２をもち、前記シリンダ１の上端部に
連結するモータハウジング、３は前記シリンダ１に対し
高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行う注排通路３１
をもち、前記モータハウジング２に内装する通路ブロッ
ク、４は前記注排通路３１を前記接続口２１に連通する
高圧ガス通路と接続口２２に連通する低圧ガス通路とに
交互に切換える弁体４１及び該弁体４１を駆動するモー
タ４２をもち、前記モータハウジング２に内装する切換
弁装置であって、前記シリンダ１には、該シリンダ１へ
の高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とで往復動し、内部
に銅や鉛などから成る畜冷器６を設けたディスプレーサ
５を往復動自由に内装し、該ディスプレーサ５の下端を
膨張空間７に臨ませている。

【００１５】また、前記通路ブロック３の注排通路３１
は、前記弁体４１と接触する弁座面から軸方向に延びる
二つの縦孔３１ａとこれら縦孔３１ａの先端を連通させ
る横孔３１ｂと該横孔３１ｂの両端側から軸方向に延び
る二つの縦孔３１ｃとにより形成している。また、前記
通路ブロック３には、前記弁座面から軸方向に延び、か
つその先端が半径方向に屈曲して前記接続口２２に連通
する排出通路３２を設けると共に、前記縦孔３１ｃ側中
心部に、前記ディスプレーサ５の往復動方向に延びて前
記ディスプレーサ５側端面に開口する空洞部３３を設け
ている。

【００１６】そして、前記ディスプレーサ５の上端部
に、前記空洞部３３に往復動自在に内装するピストン５
１を設けて、前記空洞部３３とピストン５１とにより、
前記ディスプレーサ５の往復動で容積が変化する圧力制
御室８を形成すると共に、前記通路ブロック３に、前記
空洞部３３を前記横孔３１ｂに連通する連通路３４を設
けて、該連通路３４に可変オリフィス９を設けている。

【００１７】前記圧力制御室８は、前記注排通路３１か
らシリンダ１内に高圧ガスを導入するとき、前記注排通
路３１を流れる高圧ガスの一部はオリフィス９から導入
され中間圧になるのであって、この圧力制御室８の中間
圧と、前記シリンダ１内の高圧との圧力差により前記デ
ィスプレーサ５が上方に向かって往動させられるし、ま
たこのとき、圧力制御室８の容積が減少して、該圧力制
御室８のガスが圧縮され、前記中間圧が昇圧するのであ
る。また、前記切換弁装置４により前記シリンダ１内が
低圧になるときには、圧力制御室８の中間圧とシリンダ
１内の低圧との圧力差により前記ディスプレーサ５が前
記ヒートステージ１１に向かって復動させられるし、ま
た、このとき圧力制御室８の容積が増大して、その内部
の中間圧は低下することになるのであって、前記圧力制
御室８の圧力を、図２のように制御できるのである。

【００１８】尚、図１中、５２は前記ディスプレーサ５
のシ−ルリングである。

【００１９】本発明は以上のごとく構成するもので、図
１のごとくディスプレーサ５が復動位置にある状態で、
切換弁装置４のモータ４２を駆動し、弁体４１により通
路ブロック３の注排通路３１を、接続口２１と連通する
高圧ガス通路に切換えて、シリンダ１内に高圧ガスを導
入すると、該シリンダ１内が高圧になると共に、前記注
排通路３１を流れる高圧ガスの一部が連通路３４及びオ
リフィス９から圧力制御室８に流入して、該圧力制御室
８が中間圧になるので、この圧力制御室８の中間圧と前
記シリンダ１内の高圧との圧力差により前記ディスプレ
ーサ５が前記通路ブロック３に向かって往動させられ
る。しかもディスプレーサ５の往動に伴い前記圧力制御
室８の容積が減少して、該圧力制御室８のガスが圧縮さ
れ、前記圧力制御室８の中間圧は、図２のイに示すよう
に高圧と低圧との中間の圧力から徐々に昇圧して高圧に
近づき、この中間圧と前記シリンダ１内の高圧（図２で
はロ）との圧力差が小さくなるのである。従って、前記
ディスプレーサ５の往動を緩やかにできるので、ディス
プレーサ５の往動終端位置での衝突による振動を小さく
できるのである。

【００２０】また、前記切換弁装置４の弁体４１により
前記注排通路３１が接続口２２と連通する低圧ガス通路
に切換えられると、前記シリンダ１内の高圧ガスが膨張
して注排通路３１から低圧ガス通路に排出されるから、
シリンダ１内及び注排通路３１が低圧になり、この低圧
よりも高い中間圧になっている前記圧力制御室８内のガ
スの一部は前記オリフィス９から注排通路３１に流出す
ることになるが、その流出量は少なく、前記圧力制御室
８の中間圧は低圧と高圧との中間の圧力より高い圧力に
なっているので、前記シリンダ１内の低圧と前記圧力制
御室８内の中間圧との圧力差により前記ディスプレーサ
５を下方に向かって速やかに復動させ得るのである。こ
の場合、ディスプレーサ５の復動に伴い前記圧力制御室
８の容積は増大することになるから、圧力制御室８の中
間圧は図２のハに示すように徐々に減圧して、この中間
圧と前記シリンダ１内の低圧（図２ではニ）との圧力差
が小さくなるのである。従って、この状態では、前記デ
ィスプレーサ５の復動を緩やかにできるので、ディスプ
レーサ５の復動終端位置での衝突による振動を小さくで
き、それだけ騒音を低くできるのである。

【００２１】また、従来におけるスラックピストンをな
くし、前記通路ブロック３を利用して該通路ブロック３
の内部に前記圧力制御室８を形成できるし、しかも、従
来のようにモータハウジング２にサージボリウムを設け
る必要がないので、前記スラックピストンが不要なこと
と相俟ってポンプ全体を小形化できると共に、部品点数
を少なくでき、コストを低減できるのである。

【００２２】尚、以上説明した実施例では、通路ブロッ
ク３に空洞部３３を設けると共に、ディスプレーサ５に
ピストン５１を設けて圧力制御室８を形成したが、その
他、図３に示すごとく 前記ディスプレーサ５の上端部
に、該ディスプレーサ５の往復動方向に延びる内腔部５
３をもった筒部５４を設けると共に、前記通路ブロック
３の下端部に、前記内腔部５３に往復動自在に内装する
ピストン３５を設けて、前記内腔部５３とピストン３５
とで前記圧力制御室８を形成する一方、前記通路ブロッ
ク３に、一端が前記ピストン３５の端面に開口し、他端
が前記注排通路３１の横孔３１ｂに連通する連通路３４
を設け、該連通路３４に前記オリフィス９を設けてもよ
いのである。

【００２３】また、以上説明した実施例では、通路ブロ
ック３に空洞部３３を設けるか、又はディスプレーサ５
に内腔部５３を設けて圧力制御室８を形成したが、その
他、図４、図５のごとくシリンダ１内で、前記通路ブロ
ック３とディスプレーサ５との間に前記圧力制御室８を
形成してもよい。尚、図４、５のポンプは基本的には図
１のポンプと同じであるから相違点のみを説明する。

【００２４】しかして、図４では、前記通路ブロック３
におけるディスプレーサ５側端部に、前記ディスプレー
サ５の往復動方向に延びて前記注排通路３１と連通し、
かつ、前記ディスプレーサ５側端面に開口する内腔部３
６をもった筒部３７を設けると共に、前記ディスプレー
サ５の上端部に、中心部に貫通孔をもち、前記内腔部３
６に往復動自在に突入する突出部５５を設けて、これら
筒部３７及び突出部５５の外周りで、前記通路ブロック
３とディスプレーサ５との間に、該ディスプレーサ５の
往復動で容積が変化する圧力制御室８を設ける一方、前
記通路ブロック３に、前記圧力制御室８を前記注排通路
３１の横孔３１ｂに連通する連通路３４を設け、該連通
路３４に前記オリフィス９を設けている。そして、前記
内腔部３６における奥部の空間を、前記圧力制御室８と
区画され、かつ、前記ディスプレーサ５の内部に連通す
る注排中継室１０とし、前記注排通路３１に導入された
高圧ガスを、前記注排中継室１０を経てディスプレーサ
５内に導き、また、シリンダ１内の低圧ガスを前記ディ
スプレーサ５内から注排中継室１０を経て注排通路３１
に排出させるようにしている。

【００２５】この図４の場合も、前記図１と同様の作用
になるため、その説明は省略する。

【００２６】また、図５では、前記ディスプレーサ５の
上端部に内腔部５６を設けると共に、前記通路ブロック
３におけるディスプレーサ５側端部に、前記注排通路３
１に連通する貫通孔をもち、前記内腔部５６に相対移動
可能に突入する突出部３８を設けて、この突出部３８の
外周りで、前記通路ブロック３とディスプレーサ５との
間に、該ディスプレーサ５の往復動で容積が変化する前
記圧力制御室８を設ける一方、前記通路ブロック３に、
前記圧力制御室８を前記注排通路３１の横孔３１ｂに連
通する連通路３４を設け、該連通路３４に前記オリフィ
ス９を設けている。そして、前記内腔部５６における奥
部の空間を、前記圧力制御室８と区画され、かつ、前記
ディスプレーサ５の内部に連通する注排中継室１０とし
ている。この図５の場合も図１と同様の作用になるた
め、その説明は省略する。

【００２７】

【発明の効果】以上のごとく本発明は、シリンダ１と、
切換弁装置４の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排
出とを行なう注排通路３１をもった通路ブロック３と、
前記シリンダ１に内装され、前記シリンダ１への高圧ガ
スの導入と低圧ガスの排出とで往復動するディスプレー
サ５とを備えたクライオポンプにおいて、前記通路ブロ
ック３とディスプレーサ５との間に、該ディスプレーサ
５の往復動で容積が変化する圧力制御室８を設けて、こ
の圧力制御室８を前記注排通路３１にオリフィス９を介
して連通させたから、前記注排通路３１からシリンダ１
内に導入する高圧ガスにより前記圧力制御室８を中間圧
にでき、この中間圧と前記シリンダ１内の高圧又は低圧
との圧力差によりディスプレーサ５を往復動させること
ができながら、前記圧力制御室８の容積変化により、該
圧力制御室８の中間圧を、高圧と低圧との中間の圧力か
ら徐々に昇圧又は減圧して、この中間圧と前記シリンダ
１内の高圧又は低圧との圧力差を小さくでき、従って、
前記ディスプレーサ５の往動及び復動を緩やかにできる
ので、ディスプレーサ５の往動終端位置及び復動終端位
置での衝突による振動を小さくでき、それだけ騒音を小
さくできるのである。しかも、従来におけるスラックピ
ストンをなくすることができると共に、従来のように容
積の大きなサージボリウムを設ける必要がないので、サ
ージボリウムとスラックピストンとを用いてディスプレ
ーサを往復動させるようにしていた従来例に比較してポ
ンプ全体を小形化できると共に、部品点数を少なくで
き、コストを低減できるのである。

【００２８】また、前記通路ブロック３に、前記ディス
プレーサ５の往復動方向に延びる空洞部３３を設けると
共に、前記ディスプレーサ５に、前記空洞部３３に往復
動自在に内装するピストン５１を設けて、前記空洞部３
３とピストン５１とで圧力制御室８を形成する一方、前
記通路ブロック３に、前記空洞部３３を注排通路３１に
連通する連通路３４を設け、該連通路３４にオリフィス
９を設けることにより、前記通路ブロック３を利用して
該通路ブロック３の内部に圧力制御室８を形成できるか
ら、構成を簡単にでき、ポンプ全体の長さを有効に短く
できるのである。

【００２９】又、前記ディスプレーサ５に、該ディスプ
レーサ５の往復動方向に延びる筒部５４を設けると共
に、通路ブロック３に、前記筒部５４に往復動自在に内
装するピストン３５を設けて、前記筒部５４の内腔部５
３とピストン３５とで圧力制御室８を形成する一方、前
記通路ブロック３に、一端が前記ピストン３５の端面に
開口し、他端が注排通路３１に連通する連通路３４を設
け、該連通路３４にオリフィス９を設けることにより、
前記ディスプレーサ５と通路ブロック３とを利用して前
記圧力制御室８を形成できるから、通路ブロック３を利
用して圧力制御室８を形成する場合と同様に構成を簡単
にできるのである。

【００３０】又、前記シリンダ１内で、前記通路ブロッ
ク３とディスプレーサ５との間に前記圧力制御室８を設
ける場合には、前記ディスプレーサ５の往復動に必要な
空間を利用して前記圧力制御室８を形成することができ
るので、前記圧力制御室８の高さ方向の寸法を短くで
き、従って、ポンプ全体の長さをより短くできるのであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明クライオポンプの縦断面図である。

【図２】ポンプ作動時の圧力変化を示す説明図である。

【図３】別の実施例を示す要部のみの断面図である。

【図４】別の実施例を示す要部のみの断面図である。

【図５】別の実施例を示す要部のみの断面図である。

【図６】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１ シリンダ ３ 通路ブロック ３１ 注排通路 ３３ 空洞部 ３４ 連通路 ３５ ピストン ４ 切換弁装置 ５ ディスプレーサ ５１ ピストン ５３ 内腔部 ５４ 筒部 ８ 圧力制御室 ９ オリフィス １０ 注排中継室

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダ１と、切換弁装置４の切換えで高
   圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排通路３１
   をもった通路ブロック３と、前記シリンダ１に内装さ
   れ、前記シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧ガスの排
   出とで往復動するディスプレーサ５とを備えたクライオ
   ポンプにおいて、前記通路ブロック３とディスプレーサ
   ５との間に、該ディスプレーサ５の往復動で容積が変化
   する圧力制御室８を設けて、この圧力制御室８を前記注
   排通路３１にオリフィス９を介して連通したことを特徴
   とするクライオポンプ。
2. 【請求項２】通路ブロック３に、ディスプレーサ５の往
   復動方向に延びる空洞部３３を設けると共に、前記ディ
   スプレーサ５に、前記空洞部３３に往復動自在に内装す
   るピストン５１を設けて、前記空洞部３３とピストン５
   １とで圧力制御室８を形成する一方、前記通路ブロック
   ３に、前記空洞部３３を注排通路３１に連通する連通路
   ３４を設け、該連通路３４にオリフィス９を設けている
   請求項１記載のクライオポンプ。
3. 【請求項３】ディスプレーサ５に、該ディスプレーサ５
   の往復動方向に延びる筒部５４を設けると共に、通路ブ
   ロック３に、前記筒部５４に往復動自在に内装するピス
   トン３５を設けて、前記筒部５４の内腔部５３とピスト
   ン３５とで圧力制御室８を形成する一方、前記通路ブロ
   ック３に、一端が前記ピストン３５の端面に開口し、他
   端が注排通路３１に連通する連通路３４を設け、該連通
   路３４にオリフィス９を設けている請求項１記載のクラ
   イオポンプ。
4. 【請求項４】シリンダ１と、切換弁装置４の切換えで高
   圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排通路３１
   をもった通路ブロック３と、前記シリンダ１に内装さ
   れ、前記シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧ガスの排
   出とで往復動するディスプレーサ５とを備えたクライオ
   ポンプにおいて、前記シリンダ１内で、前記通路ブロッ
   ク３とディスプレーサ５との間に、該ディスプレーサ５
   の往復動で容積が変化する圧力制御室８を設けて、該圧
   力制御室８を前記注排通路３１にオリフィス９を介して
   連通すると共に、前記通路ブロック３とディスプレーサ
   ５との間に前記圧力制御室８と区画され、ディスプレー
   サ５の内部に連通する注排中継室１０を設け、この注排
   中継室１０に前記注排通路３１を開口させていることを
   特徴とするクライオポンプ。