JPH0518382A - スクリユー形真空ポンプ - Google Patents
スクリユー形真空ポンプInfo
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- JPH0518382A JPH0518382A JP3195945A JP19594591A JPH0518382A JP H0518382 A JPH0518382 A JP H0518382A JP 3195945 A JP3195945 A JP 3195945A JP 19594591 A JP19594591 A JP 19594591A JP H0518382 A JPH0518382 A JP H0518382A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- rotor
- suction port
- gas
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンパクトで且つ到達真空度の高いスクリュ
ー形真空ポンプを提供することを目的とする。 【構成】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ７及び雌ロータ７Ａと、それら両ロー
タを収納するケーシング１とを具備し、該ケーシング１
は吸込ポート８ｂ及び吐出ポート９ｂを備え、吸込ポー
ト８ｂからロータ内へ気体を吸入する吸気過程と、移送
する移送過程と、圧縮する圧縮過程と、吐出ポート９ｂ
から吐出する吐出過程とからなるスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートを早く閉じることにより、吸気
過程と移送過程との間に膨張過程を設けた。
ー形真空ポンプを提供することを目的とする。 【構成】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ７及び雌ロータ７Ａと、それら両ロー
タを収納するケーシング１とを具備し、該ケーシング１
は吸込ポート８ｂ及び吐出ポート９ｂを備え、吸込ポー
ト８ｂからロータ内へ気体を吸入する吸気過程と、移送
する移送過程と、圧縮する圧縮過程と、吐出ポート９ｂ
から吐出する吐出過程とからなるスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートを早く閉じることにより、吸気
過程と移送過程との間に膨張過程を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスクリュー形真空ポンプ
に関し、特に到達真空度を高くすることができるスクリ
ュー形真空ポンプに関するものである。
に関し、特に到達真空度を高くすることができるスクリ
ュー形真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、平行な２軸の回りを互いに噛み合っ
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプには、
（Ａ）吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸気過
程と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程とを有する
もの、（Ｂ）上記吸気過程と圧縮過程の間に吸気した気
体を移送する移送過程を有するもの等がある。
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプには、
（Ａ）吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸気過
程と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程とを有する
もの、（Ｂ）上記吸気過程と圧縮過程の間に吸気した気
体を移送する移送過程を有するもの等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のスクリュー
形真空ポンプはいずれも歯溝容積が最大になった時、吸
込ポートを閉じるように構成されている。上記（Ａ）の
場合吐出、吸込ポート間の歯溝の数が少ないため気体が
吸込側にもれるので高い到達真空度を得られないという
問題がある。また、上記（Ｂ）の場合は、ロータ巻き角
を大きくして（いいかえればロータ長を長くして）、ロ
ータ内に移送区間を設け、吐出、吸込ポート間の歯溝の
数を増加させている。そのため高い到達真空度が得られ
るがロータの軸長が長くなりコンパクト性に欠けるとい
う欠点があった。
形真空ポンプはいずれも歯溝容積が最大になった時、吸
込ポートを閉じるように構成されている。上記（Ａ）の
場合吐出、吸込ポート間の歯溝の数が少ないため気体が
吸込側にもれるので高い到達真空度を得られないという
問題がある。また、上記（Ｂ）の場合は、ロータ巻き角
を大きくして（いいかえればロータ長を長くして）、ロ
ータ内に移送区間を設け、吐出、吸込ポート間の歯溝の
数を増加させている。そのため高い到達真空度が得られ
るがロータの軸長が長くなりコンパクト性に欠けるとい
う欠点があった。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去し、コンパクトで且つ到達真空度
の高いスクリュー形真空ポンプを提供することを目的と
する。
で、上記問題点を除去し、コンパクトで且つ到達真空度
の高いスクリュー形真空ポンプを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは吸込ポー
ト及び吐出ポートを備え、吸込ポートからロータ内へ気
体を吸入する吸気過程と、気体を移送する移送過程と、
ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポートか
ら気体を吐出する吐出過程とからなるスクリュー形真空
ポンプにおいて、吸込ポートを早く閉じることにより歯
溝の数を増加させ、前記吸気過程と移送過程との間に吸
気した気体を膨張させる膨張過程を挿入したことにより
移送区間を短くし、ロータ長を短くしたことを特徴とす
る。
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは吸込ポー
ト及び吐出ポートを備え、吸込ポートからロータ内へ気
体を吸入する吸気過程と、気体を移送する移送過程と、
ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポートか
ら気体を吐出する吐出過程とからなるスクリュー形真空
ポンプにおいて、吸込ポートを早く閉じることにより歯
溝の数を増加させ、前記吸気過程と移送過程との間に吸
気した気体を膨張させる膨張過程を挿入したことにより
移送区間を短くし、ロータ長を短くしたことを特徴とす
る。
【０００６】また、前記構成のスクリュー形真空ポンプ
を直列に多段に組合せたて多段スクリュー形真空ポンプ
としたことを特徴とする。
を直列に多段に組合せたて多段スクリュー形真空ポンプ
としたことを特徴とする。
【０００７】また、上記構成の多段スクリュー形真空ポ
ンプにおいて、後段の真空ポンプの排気速度を前段の真
空ポンプの排気速度と略同じか又は大きくすることを特
徴とする。
ンプにおいて、後段の真空ポンプの排気速度を前段の真
空ポンプの排気速度と略同じか又は大きくすることを特
徴とする。
【０００８】
【作用】上記のようなスクリュー形真空ポンプにおい
て、高い到達真空度を得るためには吐出ポートと吸込ポ
ートの間にできる限り多くの溝が有り、シール線の数を
多くして圧縮工程中のガスの吸込ポートへの漏れ込みを
小さくすることが肝要である。本発明においては吸込ポ
ートを早く閉じることにより歯溝の数を増加させ、吸気
過程と移送過程との間に膨張過程を設けたので、移送区
間を短くでき（いいかえればロータ長が短くでき）、且
つ吸込ポートと移送過程、圧縮過程の溝の間に吸込圧力
により低い圧力の溝ができるので従来より吸込ポートへ
の漏れ込みの防止効果が大きい。
て、高い到達真空度を得るためには吐出ポートと吸込ポ
ートの間にできる限り多くの溝が有り、シール線の数を
多くして圧縮工程中のガスの吸込ポートへの漏れ込みを
小さくすることが肝要である。本発明においては吸込ポ
ートを早く閉じることにより歯溝の数を増加させ、吸気
過程と移送過程との間に膨張過程を設けたので、移送区
間を短くでき（いいかえればロータ長が短くでき）、且
つ吸込ポートと移送過程、圧縮過程の溝の間に吸込圧力
により低い圧力の溝ができるので従来より吸込ポートへ
の漏れ込みの防止効果が大きい。
【０００９】また、このような構成及び作用を有するの
でスクリュー形真空ポンプを直列に接続して多段に構成
にすることにより、高い到達真空度が得られる。また、
後段の真空ポンプの排気速度を前段の真空ポンプの排気
速度と略同じか又は大きくすることにより、大気引き等
において、前段ポンプと後段ポンプの間で排気量の差か
らくる気体圧力の上昇がなく、駆動機に過負荷がかかる
ことを防止でき、真空ポンプの信頼性の向上が可能にな
る。
でスクリュー形真空ポンプを直列に接続して多段に構成
にすることにより、高い到達真空度が得られる。また、
後段の真空ポンプの排気速度を前段の真空ポンプの排気
速度と略同じか又は大きくすることにより、大気引き等
において、前段ポンプと後段ポンプの間で排気量の差か
らくる気体圧力の上昇がなく、駆動機に過負荷がかかる
ことを防止でき、真空ポンプの信頼性の向上が可能にな
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２は本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を
示す側断面図ある。スクリュー形真空ポンプは主ケーシ
ング１と吐出ケーシング２とで形成される空間に、雄ロ
ータ７と雌ロータ７Ａとが、それぞれ軸受け５ａ，５ｂ
により回転自在に支持され、軸シール６ａ，６ｂにより
軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシールされている。
する。図２は本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を
示す側断面図ある。スクリュー形真空ポンプは主ケーシ
ング１と吐出ケーシング２とで形成される空間に、雄ロ
ータ７と雌ロータ７Ａとが、それぞれ軸受け５ａ，５ｂ
により回転自在に支持され、軸シール６ａ，６ｂにより
軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシールされている。
【００１１】一方、例えば雄ロータ７は、図示しない変
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
【００１２】吸込口８ａから吸込まれた気体は、吸込ポ
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入される吸気過程、圧縮過程を
経て吐出ポート９ｂを介して吐出口９ａから吐出される
ようになっている。詳述すると、吸込ポート８ｂからロ
ータ内へ気体を吸入する吸気過程、吸気した気体を膨張
させる膨張過程、該気体を移送する移送過程、ロータ内
部で気体を圧縮する圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介
して吐出口９ａから吐出される。
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入される吸気過程、圧縮過程を
経て吐出ポート９ｂを介して吐出口９ａから吐出される
ようになっている。詳述すると、吸込ポート８ｂからロ
ータ内へ気体を吸入する吸気過程、吸気した気体を膨張
させる膨張過程、該気体を移送する移送過程、ロータ内
部で気体を圧縮する圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介
して吐出口９ａから吐出される。
【００１３】図１は雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが噛み
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図１において、Ａ１〜Ａ９とＢ１〜Ｂ９とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝である。歯溝Ａ１，Ｂ１
は吸込ポート８ｂから気体を吸入する吸気過程にあり、
歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ３は吸気した気体を膨張させ
る膨張過程にあり、歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ
５，Ｂ６は気体を移送する移送過程にあり、歯溝Ａ７，
Ａ８，Ｂ７，Ｂ８は気体を圧縮する圧縮過程にあり、さ
らにＡ９，Ｂ９は気体を吐出ポート９ｂから吐出させる
吐出過程にある。
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図１において、Ａ１〜Ａ９とＢ１〜Ｂ９とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝である。歯溝Ａ１，Ｂ１
は吸込ポート８ｂから気体を吸入する吸気過程にあり、
歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ３は吸気した気体を膨張させ
る膨張過程にあり、歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ
５，Ｂ６は気体を移送する移送過程にあり、歯溝Ａ７，
Ａ８，Ｂ７，Ｂ８は気体を圧縮する圧縮過程にあり、さ
らにＡ９，Ｂ９は気体を吐出ポート９ｂから吐出させる
吐出過程にある。
【００１４】図１に示すように、本スクリュー真空ポン
プにおいては、吸込ポート８ｂを早く閉じるように主ケ
ーシング１の壁部３０を大きくしている。これにより歯
溝の数を増加させ、吸気過程にある歯溝Ａ１，Ｂ１と圧
縮過程にある歯溝Ａ７，Ａ８，Ｂ７，Ｂ８との間に膨張
過程にある歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ３と移送過程にあ
る歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６を設けてい
る。即ち、本スクリュー真空ポンプは吸込ポートを早く
閉じることにより吐出ポート９ｂと吸込ポート９ａの間
のロータ長を長くすることなく、Ａ２，Ａ３、Ｂ２、Ｂ
３の歯溝の数を増やしている。そのためロータ長を短く
して移送区間中の歯溝の数を減じても吐出ポート９ｂと
吸込ポート９ａの間にある歯溝の数を従来と同数に確保
でき、性能をダウンすることなくコンパクトにできる。
プにおいては、吸込ポート８ｂを早く閉じるように主ケ
ーシング１の壁部３０を大きくしている。これにより歯
溝の数を増加させ、吸気過程にある歯溝Ａ１，Ｂ１と圧
縮過程にある歯溝Ａ７，Ａ８，Ｂ７，Ｂ８との間に膨張
過程にある歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，Ｂ３と移送過程にあ
る歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６を設けてい
る。即ち、本スクリュー真空ポンプは吸込ポートを早く
閉じることにより吐出ポート９ｂと吸込ポート９ａの間
のロータ長を長くすることなく、Ａ２，Ａ３、Ｂ２、Ｂ
３の歯溝の数を増やしている。そのためロータ長を短く
して移送区間中の歯溝の数を減じても吐出ポート９ｂと
吸込ポート９ａの間にある歯溝の数を従来と同数に確保
でき、性能をダウンすることなくコンパクトにできる。
【００１５】また、吸込ポート８ｂと圧縮過程の歯溝
（歯溝Ａ７，Ａ８，Ｂ７，Ｂ８）の間に吸込圧力より低
い圧力の歯溝（膨張過程にある歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，
Ｂ３と移送過程にある歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ
５，Ｂ６）があるので、従来例に比較し、吸込ポート８
ｂへの漏れ込みを防止できる。
（歯溝Ａ７，Ａ８，Ｂ７，Ｂ８）の間に吸込圧力より低
い圧力の歯溝（膨張過程にある歯溝Ａ２，Ａ３，Ｂ２，
Ｂ３と移送過程にある歯溝Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ｂ４，Ｂ
５，Ｂ６）があるので、従来例に比較し、吸込ポート８
ｂへの漏れ込みを防止できる。
【００１６】なお、上記実施例ではスクリュー真空ポン
プ単体の構成及び作用を説明したが、このよう構成のス
クリュー真空ポンプを多段に配列し、前段のポンプの吐
出口と後段のポンプの吸込口とは接続管で直列に接続し
て多段形のスクリュー真空ポンプに構成することによ
り、高い到達真空度が得られる。
プ単体の構成及び作用を説明したが、このよう構成のス
クリュー真空ポンプを多段に配列し、前段のポンプの吐
出口と後段のポンプの吸込口とは接続管で直列に接続し
て多段形のスクリュー真空ポンプに構成することによ
り、高い到達真空度が得られる。
【００１７】また、上記のように多段形とした場合、後
段の真空ポンプの排気速度を前段の真空ポンプの排気速
度と略同じか又は大きくする。これにより、大気引き等
に際して、前段真空ポンプと後段真空ポンプの間で気体
が圧縮される等の現象がなく、各真空ポンプが過負荷状
態になることがない。
段の真空ポンプの排気速度を前段の真空ポンプの排気速
度と略同じか又は大きくする。これにより、大気引き等
に際して、前段真空ポンプと後段真空ポンプの間で気体
が圧縮される等の現象がなく、各真空ポンプが過負荷状
態になることがない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、吸
込ポートを早く閉じることにより歯溝の数を増加させ、
吸気過程と移送過程の間に膨張過程を挿入したので、下
記のように優れた効果が得られる。
込ポートを早く閉じることにより歯溝の数を増加させ、
吸気過程と移送過程の間に膨張過程を挿入したので、下
記のように優れた効果が得られる。
【００１９】（１） ロータ長さが短くなり、ポンプが
コンパクトとなると共に、吸込ポートと圧縮過程の溝の
間に吸込圧力により低い圧力の歯溝ができるから、従来
より吸込ポートへの漏れ込みが防止され到達真空度が高
くなる。 （２）また、このような構成及び作用を有するのスクリ
ュー形真空ポンプの直列に接続して多段に構成すること
により、高い真空度を得ることができる。 （３）また、後段の真空ポンプの排気速度を前段の真空
ポンプの排気速度と略同じか又は大きくすることによ
り、各真空ポンプが過負荷状態になるようなことなく、
さらに高い到達真空度を得ることが可能になる。
コンパクトとなると共に、吸込ポートと圧縮過程の溝の
間に吸込圧力により低い圧力の歯溝ができるから、従来
より吸込ポートへの漏れ込みが防止され到達真空度が高
くなる。 （２）また、このような構成及び作用を有するのスクリ
ュー形真空ポンプの直列に接続して多段に構成すること
により、高い真空度を得ることができる。 （３）また、後段の真空ポンプの排気速度を前段の真空
ポンプの排気速度と略同じか又は大きくすることによ
り、各真空ポンプが過負荷状態になるようなことなく、
さらに高い到達真空度を得ることが可能になる。
【図１】雄ロータと雌ロータとが噛み合っている状態を
ロータの周方向に展開した図である。
ロータの周方向に展開した図である。
【図２】本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を示す
側断面図である。
側断面図である。
Ａ１〜Ａ９ 歯溝
Ｂ１〜Ｂ９ 歯溝
１ 主ケーシング
２ 吐出ケーシング
３ ギヤカバー
４ カバー
５ａ，５ｂ 軸受
６ａ，６ｂ 軸シール
７ 雄ロータ
７Ａ 雌ロータ
８ａ 吸込口
８ｂ 吸込ポート
９ａ 吐出口
９ｂ 吐出ポート
１０ タイミングギヤ
Claims (3)
- 【請求項１】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータ
を収納するケーシングとを具備し、該ケーシングは吸込
ポート及び吐出ポートを備え、吸込ポートからロータ内
へ気体を吸入する吸気過程と、ロータ内部で気体を圧縮
する圧縮過程と、気体を移送する移送過程と、吐出ポー
トから気体を吐出する吐出過程とからなるスクリュー形
真空ポンプにおいて、 前記吸込ポートを早く閉じることにより、前記吸気過程
と移送過程との間に吸気した気体を膨張させる膨張過程
を挿入したことを特徴とするスクリュー形真空ポンプ。 - 【請求項２】 前記請求項１記載のスクリュー形真空ポ
ンプを直列に多段に組合せたことを特徴とする多段スク
リュー形真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記請求項２記載のスクリュー形真空ポ
ンプにおいて、 後段の真空ポンプの排気速度を前段の真空ポンプの排気
速度と略同じか又は大きくすることを特徴とする２段ス
クリュー形真空ポンプ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195945A JPH0518382A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
| US07/907,035 US5374170A (en) | 1991-07-10 | 1992-07-01 | Screw vacuum pump |
| KR1019920012130A KR100221673B1 (ko) | 1991-07-10 | 1992-07-08 | 스크루 진공펌프 |
| DE69217283T DE69217283T2 (de) | 1991-07-10 | 1992-07-09 | Schraubenkolben-Vakuumpumpe |
| EP92111698A EP0523551B1 (en) | 1991-07-10 | 1992-07-09 | Screw vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195945A JPH0518382A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518382A true JPH0518382A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16349589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3195945A Pending JPH0518382A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5374170A (ja) |
| EP (1) | EP0523551B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0518382A (ja) |
| KR (1) | KR100221673B1 (ja) |
| DE (1) | DE69217283T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005307978A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Alcatel | 多段式真空ポンプおよびその種のポンプを備えたポンプ設備 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4853168B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2012-01-11 | 株式会社豊田自動織機 | スクリューポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62243982A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-24 | Hitachi Ltd | ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法 |
| JPS62284994A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-10 | Hitachi Ltd | 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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