JPH0517798Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は半導体製造ラインのイオン打ち込み
装置において、デイスクのウエハー置き台に設け
られたクランプ装置に関するものである。

［従来技術］ 従来この種のウエハーのクランプ装置は、第８
図、第９図に示す如く、デイスク１′の台本体
２′にウエハー５′の装入又は取り出しを行うバキ
ユームチヤツク１９′の装入溝が設けられており、
この装入溝上のウエハー５′は、台本体２′に接触
することができないので冷却効果が悪くなり、イ
オン打ち込み時に150℃以上にも達するような温
度上昇をまねいていた。

この温度上昇により、LSIの微細パターンを加
工する為に塗布されているレジスト膜に変質、破
損が起こり、LSIの歩留りが低下するか若しくは
温度上昇の為ビーム電流を上げることが出来ず生
産性の低下をも招いていた。また、ウエハー積載
面側に揺動機構が設けられている為にここで発生
するゴミがウエハーに付着しやすく、歩留りの低
下もまねいていた。

上記欠点を改良する為、第１０図、第１１図に
示すように台本体２″のウエハー５″を保持するこ
とのできる保持ピン１２″が装備されたクランプ
装置も知られている。

この装置ではブラケツト２３″に、ウエハー
５″を保持するピン１２″とロツド２０″を介して
ウエハー５″をクランプするクランプアーム８″と
が設けられており、ブラケツト２３″が台本体
２″の上面に対し直角方向に上下動することによ
り、ウエハー５″をクランプ又はクランプ解除時
の下方からの支持を行うようにして前記欠点を解
消している。しかし、ウエハー５″をクランプ又
はクランプ解除時の下方からの支持を行う際、ク
ランプロツド２０″が貫通穴２２″に対しスライド
するようにしているので、スムーズに作動しなく
なる場合があり、生産性の低下をまねいていた。

しかも、摺動面の偏摩擦によりゴミが発生し、
製品の歩留り低下もまねいていた。

また、装置全体をデイスク面に対し上下方向に
スライドするようにしているで、装置を覆うデイ
スクチヤンバーの空間部が大きくなつて、デイス
クチヤンバー内を真空にしたり、または真空から
大気にもどすのに長時間を必要とし、生産性の低
下をまねいていた。

［考案が解決しようとする問題点］ 半導体製造工程においてウエハーの温度のばら
つき及び塵は、ウエハーの歩留を著しく悪化さ
せ、また、装置の不円滑な動き及び装置の大型化
は製品コストアツプになるため上記従来例はいず
れも問題がある。

本考案は、従来技術に於ける前記問題点を回避
するためになされたものである。

［問題点を解決するための手段］ そこで本考案のクランプ装置は、ウエハー置き
台を有するデイスクの裏側にクランプアームとレ
バーとを揺動可能に枢着し、前記デイスクに貫通
してウエハーを押さえるクランプをクランプアー
ムに複数個設けると共に、前記ウエハー置き台に
貫通してウエハーを保持するピンをレバーに複数
個設け、前記クランプアームとデイスクとの間に
バネを介在させ、該バネより強力なバネ力を有す
るバネをクランプアームとレバーとの間に介在さ
せたものである。

［実施例］ 本考案の構成を添付図面（第１図乃至第７図）
に示す実施例により詳細に説明する。

１はデイスクで、その上面には円周方向に複数
の台本体２が設けられている。３と４は、イオン
注入時デイスク１が高速で回転している時もウエ
ハー５を回転保持する内側突起と外側ストツパー
で、台本体２の周囲に夫々２個づつ設けられてい
る。

６は軸受で、その軸受部にはクランプアーム８
及びレバー９を枢着しているシヤフト７が軸支さ
れ、その取付位置はデイスク１の下面で台本体２
の外周付近のデイスク中心側になる。８は台本体
２の形状より大きい外形をしたクランプアーム
で、その元付側がシヤフト７の両端に枢着され、
開放側がデイスクの周辺側になる。クランプアー
ム８の開放側には開口８ａが形成され、ピン１２
に邪魔にならないようにしている。クランプアー
ム８の開放側と元付側付近との両側には、ウエハ
ー５をクランプするための外側クランプ１０と内
側クランプ１１とが夫々２個づつ設けられ、それ
らの先端はデイスク１の台本体２近辺に穿設され
た孔１６を貫通している。外側クランプ１０と内
側クランプ１１との先端はＬ字形に形成され、そ
の先端は台本体２の上面に重なるようになつてい
る。

９はレバーで、元付側がッシヤフト７に枢着さ
れ、開放側がデイスク１の周辺側になる。その先
端には、台本体２に穿設された孔１７を貫通して
ウエハー５を保持するピン１２が固設されてい
る。

１３はクランプアーム８にウエハー５をクラン
プする為のクランプ力を付与するバネで、デイス
ク１とクランプアーム８との間に取り付けられて
いる。１４はクランプアーム８に取り付けられた
ストツパーで、クランプアーム８を上方へ押し上
げたときにデイスク１に当たつてクランプアーム
８がそれ以上開かないようにする。１５はバネ１
３より大きいバネ力を有するバネで、クランプア
ーム８とレバー９との間に取り付けられている。
１８はクランプアーム８とレバー９とが一定間隔
以上に開かないようにするためのブラケツトで、
その形状はＬ字形をし、その先端がレバー９の下
面に引つ掛かるようになつており、元付部はクラ
ンプアーム８に取り付けられている。

尚、実施例ではブラケツト１８がクランプアー
ム８に取り付けられているが、レバー９に取り付
けても良い。

本考案は上記のように構成され、その構成によ
りウエハー５を台本体２に載置させる場合につい
て第６図、第７図を参照にして説明する。

まず、クランプリフター（図示せず）によりレ
バー９を上方へ押し上げる。この時、バネ１３は
バネ１５よりバネ力が弱い為、バネ１３のみが圧
縮され、クランプアーム８とレバー９とが一体で
シヤフト７を中心に回転移動する。

そして、クランプアーム８に取り付けられたス
トツパー１４がデイスク１に当たると外側クラン
プ１０と内側クランプ１１とが開の状態になる。
（第６図参照）この時、クランプリフターの押上
げを停止させ、バキユームチヤツク１９（ウエハ
ー装入装置）によつて吸着されたウエハー５を台
本体２の上に装入する。

そして再び、クランプリフターでレバー９を上
方へ押し上げると今度は、バネ１５のみが圧縮さ
れレバー９のみがシヤフト７を中心に回転移動
し、ウエハー５はレバー９の先端に設けられたピ
ン１２に保持される。（第７図参照） 次に、バキユームチヤツク１９を後退させてク
ランプリフターを下方へ下降させると、まず、レ
バー９のみがシヤフト７を中心に回転移動して、
ウエハー５を台本体２に載置する。そして、ブラ
ケツト１８の先端がレバー９に引つ掛かると今度
は、クランプアーム８もレバー９と同様にシヤフ
ト７を中心に回転移動し、外側クランプ１０と内
側クランプ１１とがウエハー５を押さえるまで回
転する。

そして、クランプリフターがレバー９から離れ
るとウエハー５は、バネ１３のバネ力で外側クラ
ンプ１０と内側クランプ１１とによりクランプさ
れる。

また、逆にウエハー５を台本体２から取り出す
場合は、クランプリフターによりレバー９を上方
に押し上げ、ウエハー５がピン１２により第７図
の想像線の位置になるまでクランプリフターを作
動させ、その後、バキユームチヤツク１９により
ウエハー５を吸着して台本体２から取り出す。そ
して、クランプリフターを下方へ下降させて、ク
ランプアーム８及びレバー９等を第１図の位置に
戻す。

［考案の効果］ 以上のように本考案装置では、ウエハーをウエ
ハー置き台の下面よりピンで保持し、クランプア
ーム、レバーの回転揺動部をデイスクのウエハー
積載面の裏側に設け、デイスクとウエハークラン
プアームとレバーとの夫々の間にバネを介在させ
２段式作動にクランプとレバーとの開閉機構を単
一としたことにより、ウエハー積載面からバキユ
ームチヤツクの切欠部がなくなり、この部分の温
度上昇を低下させるのと同時に、直動式クランプ
に伴うゴミの発生及び真空容器の大容量化に伴う
生産性低下の問題も解決できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の正面図、第２図は第１図
の平面図、第３図は第１図の下面図、第４図は第
１図の断面図、第５図は第３図の断面図、第
６図はウエハーを本考案装置に装入する際の図、
第７図はウエハーが本考案装置のピンに保持され
た状態を示す図。第８図は従来技術（ウエハー置
き台切欠き型）の正面図、第９図は第８図の平面
図、第１０図は従来装置（クランプアームスライ
ド式）の正面図、第１１図は第１０図の平面図で
ある。 １，１′，１″……デイスク、２，２′，２″……
台本体、５，５′，５″……ウエハー、８，８″…
…クランプアーム、９……レバー、１０……外側
クランプ、１１……内側クランプ、１２，１２″
……ピン、１３……バネ、１５……バネ、１９，
１９′，１９″……バキユームチヤツク、２０″…
…クランプロツド、２１′……ウエハークランプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハー置き台を有するデイスクの裏側にクラ
   ンプアームとレバーとを揺動可能に枢着し、前記
   デイスクに貫通してウエハーを押さえるクランプ
   をクランプアームに複数個設けると共に、前記ウ
   エハー置き台に貫通してウエハーを保持するピン
   をレバーに複数個設け、前記クランプアームとデ
   イスクとの間にバネを介在させ、該バネより強力
   なバネ力を有するバネをクランプアームとレバー
   との間に介在させたことを特徴とするデイスクの
   ウエハー置き台に設けられたクランプ装置。