JPH05173065A - 縮小投影レンズ - Google Patents
縮小投影レンズInfo
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- JPH05173065A JPH05173065A JP4022837A JP2283792A JPH05173065A JP H05173065 A JPH05173065 A JP H05173065A JP 4022837 A JP4022837 A JP 4022837A JP 2283792 A JP2283792 A JP 2283792A JP H05173065 A JPH05173065 A JP H05173065A
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- lens
- lens group
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- reduction projection
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 像歪みを小さくするために、縮小投影レンズ
の入射瞳位置が物体面から比較的遠くにあり、短波長光
を光源とする高解像力で焦点深度の広い縮小投影レン
ズ。 【構成】 互いに凹面を向かい合わせた一対のメニスカ
スレンズを含んでなる第1レンズ群I、正の屈折力を持
ち少なくとも2枚のレンズにより構成された第2レンズ
群II、正の屈折力を持った第3レンズ群III より構成さ
れ、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置をE、物像
間距離をL、第1レンズ群の焦点距離をF1 とすると
き、 0.5<|E/L| 0.2<|F1 /L| なる条件を満足する。
の入射瞳位置が物体面から比較的遠くにあり、短波長光
を光源とする高解像力で焦点深度の広い縮小投影レン
ズ。 【構成】 互いに凹面を向かい合わせた一対のメニスカ
スレンズを含んでなる第1レンズ群I、正の屈折力を持
ち少なくとも2枚のレンズにより構成された第2レンズ
群II、正の屈折力を持った第3レンズ群III より構成さ
れ、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置をE、物像
間距離をL、第1レンズ群の焦点距離をF1 とすると
き、 0.5<|E/L| 0.2<|F1 /L| なる条件を満足する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、投影露光法によってI
C等の集積回路パターン等を描いたマスク等から半導体
ウエーハ上に回路パターン等を転写する際に用いられる
縮小投影レンズに関するものである。
C等の集積回路パターン等を描いたマスク等から半導体
ウエーハ上に回路パターン等を転写する際に用いられる
縮小投影レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】今日、集積回路等の集積度が上がるにつ
れて、より微細な回路パターンを形成する必要が生じて
いる。このため、高い解像力を得るのにレンズ系のNA
(開口数)を上げるのが一般的方法である。以前は、こ
の方法により高NA化が行われてきたが、近年では、あ
まりに高NAでは、焦点深度が浅くなり、オートフォー
カスの要求精度が非常に厳しくなったり、半導体ウェー
ハの反り等によって不都合が生じるため、実用的にNA
は0.5前後が最適である。そこで、使用波長の短波長
化に力点が移されてきた。例えば、g線(436nm)
からi線(365nm)を使用するレンズ系が発明さ
れ、今後はKrFエキシマレーザ(248nm)を光源
とするレンズ系が主流となると言われているし、特許出
願が盛んに行われている。
れて、より微細な回路パターンを形成する必要が生じて
いる。このため、高い解像力を得るのにレンズ系のNA
(開口数)を上げるのが一般的方法である。以前は、こ
の方法により高NA化が行われてきたが、近年では、あ
まりに高NAでは、焦点深度が浅くなり、オートフォー
カスの要求精度が非常に厳しくなったり、半導体ウェー
ハの反り等によって不都合が生じるため、実用的にNA
は0.5前後が最適である。そこで、使用波長の短波長
化に力点が移されてきた。例えば、g線(436nm)
からi線(365nm)を使用するレンズ系が発明さ
れ、今後はKrFエキシマレーザ(248nm)を光源
とするレンズ系が主流となると言われているし、特許出
願が盛んに行われている。
【0003】一方、回路パターンが微細になればなるほ
ど、回路パターンの歪みもより少ないレンズ系が要求さ
れてきている。しかし、いくらレンズ系の歪みが少なく
ても、露光する半導体ウェーハ基板の平面度を厳しく抑
えないと、ウェーハ基板等の反りによる像の歪みが発生
してしまう。そのために、像側の射出瞳位置を無限遠に
した像側テレセントリック光学系にすることが行われて
いた。
ど、回路パターンの歪みもより少ないレンズ系が要求さ
れてきている。しかし、いくらレンズ系の歪みが少なく
ても、露光する半導体ウェーハ基板の平面度を厳しく抑
えないと、ウェーハ基板等の反りによる像の歪みが発生
してしまう。そのために、像側の射出瞳位置を無限遠に
した像側テレセントリック光学系にすることが行われて
いた。
【0004】なお、公知の縮小投影露光レンズとしは、
特開昭63−155014号、特開昭60−14031
0号、特開昭63−121810号、特開昭63−11
8115号等のものがある。また、本出願人が出願した
特願平2−283827号等のものがある。
特開昭63−155014号、特開昭60−14031
0号、特開昭63−121810号、特開昭63−11
8115号等のものがある。また、本出願人が出願した
特願平2−283827号等のものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の縮小投影法に使用される縮小投影レンズに
は、248nm等の短波長光を光源として、投影レンズ
の射出側のみならず、入射側の入射瞳位置も像面から比
較的遠くにあり、物体面の平面度が悪くても像の歪みが
小さくてすむ高解像力で焦点深度の広い縮小投影レンズ
は存在しなかった。
ような従来の縮小投影法に使用される縮小投影レンズに
は、248nm等の短波長光を光源として、投影レンズ
の射出側のみならず、入射側の入射瞳位置も像面から比
較的遠くにあり、物体面の平面度が悪くても像の歪みが
小さくてすむ高解像力で焦点深度の広い縮小投影レンズ
は存在しなかった。
【0006】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、この像歪みを小さくするため
に、縮小投影レンズの入射瞳位置が物体面から比較的遠
くにあり、短波長光を光源とする高解像力で焦点深度の
広い縮小投影レンズを提供することである。
ものであり、その目的は、この像歪みを小さくするため
に、縮小投影レンズの入射瞳位置が物体面から比較的遠
くにあり、短波長光を光源とする高解像力で焦点深度の
広い縮小投影レンズを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の縮小投影レンズは、物体側より順に、互いに凹面を
向かい合わせた一対のメニスカスレンズを含んでなる第
1レンズ群、正の屈折力を持ち少なくとも2枚のレンズ
により構成された第2レンズ群、正の屈折力を持った第
3レンズ群より構成され、レンズ系の第1面より測った
入射瞳位置をE、物像間距離をL、第1レンズ群の焦点
距離をF1 とするとき、 0.5<|E/L| 0.2<|F1 /L| なる条件を満足することを特徴とするものである。
明の縮小投影レンズは、物体側より順に、互いに凹面を
向かい合わせた一対のメニスカスレンズを含んでなる第
1レンズ群、正の屈折力を持ち少なくとも2枚のレンズ
により構成された第2レンズ群、正の屈折力を持った第
3レンズ群より構成され、レンズ系の第1面より測った
入射瞳位置をE、物像間距離をL、第1レンズ群の焦点
距離をF1 とするとき、 0.5<|E/L| 0.2<|F1 /L| なる条件を満足することを特徴とするものである。
【0008】この場合、第2レンズ群の焦点距離をF2
とするとき、 0.1<|F2 /L|<0.3 なる条件を満足することが望ましく、また、第3レンズ
群の焦点距離をF3 とするとき、 0.04<|F3 /L|<0.1 なる条件を満足することが望ましい。
とするとき、 0.1<|F2 /L|<0.3 なる条件を満足することが望ましく、また、第3レンズ
群の焦点距離をF3 とするとき、 0.04<|F3 /L|<0.1 なる条件を満足することが望ましい。
【0009】
【作用】以下、本発明の構成を採用した理由と作用につ
いて説明する。レンズ系への入射瞳が物体に近いと、軸
外光束が光軸となす角度が大きくなって、物体面の面精
度が悪いと、物点位置の光軸方向へのズレが縮小投影さ
れた像の歪みとして大きくなるという問題がある。物体
高I、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置E、縮小
倍率B、物体面の光軸方向の撓み量dと像の歪みDとの
関係は、次式で表される。
いて説明する。レンズ系への入射瞳が物体に近いと、軸
外光束が光軸となす角度が大きくなって、物体面の面精
度が悪いと、物点位置の光軸方向へのズレが縮小投影さ
れた像の歪みとして大きくなるという問題がある。物体
高I、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置E、縮小
倍率B、物体面の光軸方向の撓み量dと像の歪みDとの
関係は、次式で表される。
【0010】D=I/E×B×d 本出願人が先に出願した特願平2−283827号のエ
キシマレーザを光源とする実施例の場合には、物体面の
反り量が1μmの場合に、像面上の歪みとして0.03
6μmが発生する(I=90、E=490、B=0.
2)。
キシマレーザを光源とする実施例の場合には、物体面の
反り量が1μmの場合に、像面上の歪みとして0.03
6μmが発生する(I=90、E=490、B=0.
2)。
【0011】この物体面の反りによる像歪みを十分小さ
くするためには、入射瞳位置を物体から遠くにする必要
がある。上記条件式は、この入射瞳位置を規定したも
のである。この条件を満足しないと、物体面を射出す
る軸外主光線傾角が大きくなり、物体面の反りによる像
面上での歪みが無視できなくなる。
くするためには、入射瞳位置を物体から遠くにする必要
がある。上記条件式は、この入射瞳位置を規定したも
のである。この条件を満足しないと、物体面を射出す
る軸外主光線傾角が大きくなり、物体面の反りによる像
面上での歪みが無視できなくなる。
【0012】しかし、単に特願平2−283827号の
レンズ構成で入射瞳位置を遠くにすると、レンズ系の主
な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍から瞳がズレて
しまう。このため、このレンズ群を通る軸外物点の上側
光束と下側光束の対称性が崩れ、この主な正の屈折力を
持つレンズ群でのコマ収差の発生が大きくなり、広い露
光領域を確保することが不可能となる。
レンズ構成で入射瞳位置を遠くにすると、レンズ系の主
な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍から瞳がズレて
しまう。このため、このレンズ群を通る軸外物点の上側
光束と下側光束の対称性が崩れ、この主な正の屈折力を
持つレンズ群でのコマ収差の発生が大きくなり、広い露
光領域を確保することが不可能となる。
【0013】そこで、物体近くに正のレンズ群を付加し
て、主な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍に瞳位置
を投影することが考えられる。しかし、軸外主光線の高
い物体近傍に正レンズ群を配することになり、ペッツバ
ール和が悪化すると共に、この正レンズ群により発生す
るコマ収差が他の群で補正不可能となってしまう。この
コマ収差とペッツバール和を良好に補正するためには、
物体近傍の正のレンズ群のさらに物体側に、凹面が向き
合う一対のメニスカスレンズを含み負の屈折力を持つレ
ンズ群を配置することが収差補正上重要になる。
て、主な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍に瞳位置
を投影することが考えられる。しかし、軸外主光線の高
い物体近傍に正レンズ群を配することになり、ペッツバ
ール和が悪化すると共に、この正レンズ群により発生す
るコマ収差が他の群で補正不可能となってしまう。この
コマ収差とペッツバール和を良好に補正するためには、
物体近傍の正のレンズ群のさらに物体側に、凹面が向き
合う一対のメニスカスレンズを含み負の屈折力を持つレ
ンズ群を配置することが収差補正上重要になる。
【0014】したがって、本発明では、上記物体側の負
のレンズ群を第1群、次の正レンズ群を第2群、主な屈
折力を持つレンズ群を第3群とした3群構成としてい
る。
のレンズ群を第1群、次の正レンズ群を第2群、主な屈
折力を持つレンズ群を第3群とした3群構成としてい
る。
【0015】次に、この第1群、第2群、第3群の役割
に付いて説明する。第1群の互いに向き合った凹面を持
つメニスカスレンズは、コマ収差を負側に補正してい
る。前記条件式の範囲を越えて焦点距離が短くなる
と、第1群で発生するコマ収差が大きくなりすぎ、第2
群とのコマ収差補正のバランスが崩れ、第1群と第2群
を合わせたトータルのコマ収差補正が不可能となる。な
お、条件式に上限を設けて、|F1 /L|<1なる条
件を満足するようにすると、他のレンズ群で発生する正
のペッツバール和を補正するために必要な負のペッツバ
ール和を発生させることができ、全系のペッツバール和
をより良好にすることができる。
に付いて説明する。第1群の互いに向き合った凹面を持
つメニスカスレンズは、コマ収差を負側に補正してい
る。前記条件式の範囲を越えて焦点距離が短くなる
と、第1群で発生するコマ収差が大きくなりすぎ、第2
群とのコマ収差補正のバランスが崩れ、第1群と第2群
を合わせたトータルのコマ収差補正が不可能となる。な
お、条件式に上限を設けて、|F1 /L|<1なる条
件を満足するようにすると、他のレンズ群で発生する正
のペッツバール和を補正するために必要な負のペッツバ
ール和を発生させることができ、全系のペッツバール和
をより良好にすることができる。
【0016】さらに好ましくは、第2群は、第1群の負
のパワーによって発散してしまう入射瞳を第3群の中央
付近に投影する役目を持っている。前記条件式は、こ
の入射瞳の投影条件を規定している関係式である。この
条件式の上限を越えても、下限を越えても、瞳の投影を
第3群の中央近傍にすることができなくなる。つまり、
条件は、前記した条件と同様に、レンズ全系で発生
するコマ収差を補正するために必要な条件であり、この
条件を外れると、第3群で発生するコマ収差が大きくな
りすき、他の群でこれを補正することが不可能となって
しまう。
のパワーによって発散してしまう入射瞳を第3群の中央
付近に投影する役目を持っている。前記条件式は、こ
の入射瞳の投影条件を規定している関係式である。この
条件式の上限を越えても、下限を越えても、瞳の投影を
第3群の中央近傍にすることができなくなる。つまり、
条件は、前記した条件と同様に、レンズ全系で発生
するコマ収差を補正するために必要な条件であり、この
条件を外れると、第3群で発生するコマ収差が大きくな
りすき、他の群でこれを補正することが不可能となって
しまう。
【0017】また、第1群と第2群の屈折力の配分は、 1<|F1 /F2 |<5 の条件を満足すると、第1群と第2群で発生するコマフ
レアーの発生を全系で補正するのによい結果が得られ
る。
レアーの発生を全系で補正するのによい結果が得られ
る。
【0018】第3群は、レンズ系全体の投影倍率等の近
軸量を決定しているレンズ群であり、条件式の上限を
越えると、投影倍率が大きくなり、下限を越えると小さ
くなり、何れも所望の倍率が得られなくなってしまう。
軸量を決定しているレンズ群であり、条件式の上限を
越えると、投影倍率が大きくなり、下限を越えると小さ
くなり、何れも所望の倍率が得られなくなってしまう。
【0019】さて、縮小投影光学系において、高い解像
力と広い露光領域とを確保するためには、第3群で発生
する像面湾曲をほぼ完全に補正しなくてはならない。こ
のような目的のため、互いに向き合った凹面を持つガウ
スタイプが写真レンズ等ではよく用いられるが、本発明
では、第3群の中に向き合った凹面を持つレンズ群を少
なくとも1組設けることにより、ペッツバール和を補正
する。
力と広い露光領域とを確保するためには、第3群で発生
する像面湾曲をほぼ完全に補正しなくてはならない。こ
のような目的のため、互いに向き合った凹面を持つガウ
スタイプが写真レンズ等ではよく用いられるが、本発明
では、第3群の中に向き合った凹面を持つレンズ群を少
なくとも1組設けることにより、ペッツバール和を補正
する。
【0020】また、縮小投影法では、基板の平面度によ
って部分的な像歪が生じないように、射出瞳を無限遠に
近くなるようにしている。本発明でも、少なくとも像面
側の射出瞳を無限遠に近くするために、第3群の向き合
った凹面により構成されたレンズ群のさらに像面側に、
正のレンズ群と像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ
を配置している。この正レンズ群は、レンズ系の中にあ
る瞳を無限遠に結像する作用を持つ。像面側に凹面を向
けたメニスカスレンズは、ペッツバール和を補正するた
めのもので、コマ収差を劣化させないようにするため、
面に対する光線の傾角が小さくなる向き、すなわち、凹
面が像面側になるように配置している。
って部分的な像歪が生じないように、射出瞳を無限遠に
近くなるようにしている。本発明でも、少なくとも像面
側の射出瞳を無限遠に近くするために、第3群の向き合
った凹面により構成されたレンズ群のさらに像面側に、
正のレンズ群と像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ
を配置している。この正レンズ群は、レンズ系の中にあ
る瞳を無限遠に結像する作用を持つ。像面側に凹面を向
けたメニスカスレンズは、ペッツバール和を補正するた
めのもので、コマ収差を劣化させないようにするため、
面に対する光線の傾角が小さくなる向き、すなわち、凹
面が像面側になるように配置している。
【0021】なお、この像面側に凹面を向けたメニスカ
スレンズの凹面の屈折力をφ3 、物像間距離をLとする
と、 1/L<|φ3 |<20/L なる条件を満足することによって、広い露光領域が確保
される。この条件の下限を越えた場合には、凹面での屈
折力が弱くなりすぎてしまい、広い露光領域を得ること
が難しくなる。また、その上限を越えると、負の屈折力
が強くなりすぎてしまい、ペッツバール和は補正できる
が、コマ収差の発生が大きくなり、他の面で補正するこ
とが難しくなる。
スレンズの凹面の屈折力をφ3 、物像間距離をLとする
と、 1/L<|φ3 |<20/L なる条件を満足することによって、広い露光領域が確保
される。この条件の下限を越えた場合には、凹面での屈
折力が弱くなりすぎてしまい、広い露光領域を得ること
が難しくなる。また、その上限を越えると、負の屈折力
が強くなりすぎてしまい、ペッツバール和は補正できる
が、コマ収差の発生が大きくなり、他の面で補正するこ
とが難しくなる。
【0022】
【実施例】以下に、本発明の縮小投影レンズの実施例に
ついて説明する。実施例1〜8のレンズ配置を示すレン
ズ断面図を図1〜図8に示す。本発明の縮小投影レンズ
では、縮小倍率が小さくなると、ペッツバール和が補正
し難くなるため、第3群に設けた向き合った凹面の負の
屈折力が強くなりがちである。しかし、この向き合った
凹面の負の屈折力を強くしすぎると、ペッツバール和は
小さくなるが、あまりに凹面が強くなりすぎると、この
面で発生するコマ収差が大きくなり、他の面ではこれを
補正できなくなってしまう。
ついて説明する。実施例1〜8のレンズ配置を示すレン
ズ断面図を図1〜図8に示す。本発明の縮小投影レンズ
では、縮小倍率が小さくなると、ペッツバール和が補正
し難くなるため、第3群に設けた向き合った凹面の負の
屈折力が強くなりがちである。しかし、この向き合った
凹面の負の屈折力を強くしすぎると、ペッツバール和は
小さくなるが、あまりに凹面が強くなりすぎると、この
面で発生するコマ収差が大きくなり、他の面ではこれを
補正できなくなってしまう。
【0023】この問題に対処するため、実施例1〜5に
示した縮小投影倍率が1/5のレンズ系においては、上
記の向き合った凹面で構成するレンズ群を2組用いてい
る。この場合、2組のレンズ群を単に並べただけでは、
凹面による光線の発散作用を持ったレンズ群がレンズ系
の一部に集まってしまうため、全系の屈折力を所定の屈
折力にするために、上記の向き合った凹面の屈折力が弱
くなってしまう。つまり、ペッツバール和を小さくする
作用を持った向き合った凹面は増えるが、凹面の負の屈
折力が弱くなり、結局ペッツバール和は小さくならな
い。
示した縮小投影倍率が1/5のレンズ系においては、上
記の向き合った凹面で構成するレンズ群を2組用いてい
る。この場合、2組のレンズ群を単に並べただけでは、
凹面による光線の発散作用を持ったレンズ群がレンズ系
の一部に集まってしまうため、全系の屈折力を所定の屈
折力にするために、上記の向き合った凹面の屈折力が弱
くなってしまう。つまり、ペッツバール和を小さくする
作用を持った向き合った凹面は増えるが、凹面の負の屈
折力が弱くなり、結局ペッツバール和は小さくならな
い。
【0024】そこで、これらの実施例1〜5において
は、この向き合った凹面で構成された2組のレンズ群を
有効にペッツバール和の補正に使うため、上記2組のレ
ンズ群の間に少なくとも1つの正の屈折力を持つレンズ
面を配置する。この正の屈折力のレンズ面によってはじ
めて、物体側と像側の向き合った凹面で構成された2組
のレンズ群のそれぞれの凹面が、ペッツバール和とコマ
収差に対して適切な屈折力を持ち得ることになる。上記
の適切な屈折力とは、上記の向き合った2つの凹面の屈
折力を各々φ1 、φ2 とし、物像間距離をLとしたと
き、上記2組のレンズ群が共に、 1/L|φ1 |<20/L、1/L|φ2 |<20/
L なる条件を満足することである。これらの条件式の上
限、下限の意味は、条件式について述べたことと同じ
である。
は、この向き合った凹面で構成された2組のレンズ群を
有効にペッツバール和の補正に使うため、上記2組のレ
ンズ群の間に少なくとも1つの正の屈折力を持つレンズ
面を配置する。この正の屈折力のレンズ面によってはじ
めて、物体側と像側の向き合った凹面で構成された2組
のレンズ群のそれぞれの凹面が、ペッツバール和とコマ
収差に対して適切な屈折力を持ち得ることになる。上記
の適切な屈折力とは、上記の向き合った2つの凹面の屈
折力を各々φ1 、φ2 とし、物像間距離をLとしたと
き、上記2組のレンズ群が共に、 1/L|φ1 |<20/L、1/L|φ2 |<20/
L なる条件を満足することである。これらの条件式の上
限、下限の意味は、条件式について述べたことと同じ
である。
【0025】ところで、上記の実施例では、第3群の主
点を像面側に置くために、第3群全体をレトロフォーカ
ス的なパワー配置にしてあり、凹面を向き合わせたレン
ズ群の中の像側にある群が、このレトロフォーカス配置
の負のパワーの役割を担っている。
点を像面側に置くために、第3群全体をレトロフォーカ
ス的なパワー配置にしてあり、凹面を向き合わせたレン
ズ群の中の像側にある群が、このレトロフォーカス配置
の負のパワーの役割を担っている。
【0026】しかし、投影倍率が1/4と大きくなる
と、レンズ系の主たる屈折力を負担する第3群の主点位
置が像側から物体側に移動する。このため、上記のレト
ロフォーカス的配置が不要となり、このレンズ群の負の
屈折力を弱くすることができる。その結果、凹面を向き
合わせた2組のレンズ群の一方を省略することができ
る。実施例6〜8では、このような理由により、凹面を
向き合わせたレンズ群の数は1つになっている。
と、レンズ系の主たる屈折力を負担する第3群の主点位
置が像側から物体側に移動する。このため、上記のレト
ロフォーカス的配置が不要となり、このレンズ群の負の
屈折力を弱くすることができる。その結果、凹面を向き
合わせた2組のレンズ群の一方を省略することができ
る。実施例6〜8では、このような理由により、凹面を
向き合わせたレンズ群の数は1つになっている。
【0027】なお、倍率1/4の実施例6〜8では、後
記のレンズデータから明らかなように、倍率1/5の実
施例1〜5のものに比較して、開口数、露光領域が共に
大きくなっている。
記のレンズデータから明らかなように、倍率1/5の実
施例1〜5のものに比較して、開口数、露光領域が共に
大きくなっている。
【0028】以下、より具体的に、実施例1〜5におい
ては、第1群Iは第1レンズから第3レンズの3枚から
なり、第2群IIは第4レンズと第5レンズの2枚からな
る。第3群III は、実施例1から実施例4は、第6レン
ズから第23レンズの18枚からなり、実施例5は第6
レンズから第24レンズの19枚からなる。また、実施
例6〜8においては、第1群Iは第1レンズから第3レ
ンズの3枚からなり、第2群IIは第4レンズから第6レ
ンズの3枚からなる。第3群III は、実施例6、実施例
8は、第7レンズから第24レンズの18枚からなり、
実施例7は、第7レンズから第23レンズの17枚から
なる。何れのレンズも溶融石英(SiO2 )からなる。
ては、第1群Iは第1レンズから第3レンズの3枚から
なり、第2群IIは第4レンズと第5レンズの2枚からな
る。第3群III は、実施例1から実施例4は、第6レン
ズから第23レンズの18枚からなり、実施例5は第6
レンズから第24レンズの19枚からなる。また、実施
例6〜8においては、第1群Iは第1レンズから第3レ
ンズの3枚からなり、第2群IIは第4レンズから第6レ
ンズの3枚からなる。第3群III は、実施例6、実施例
8は、第7レンズから第24レンズの18枚からなり、
実施例7は、第7レンズから第23レンズの17枚から
なる。何れのレンズも溶融石英(SiO2 )からなる。
【0029】また、第3群中の向き合った凹面について
は、上記したように、実施例1〜5においては2組用い
ており、何れの実施例においても、第14面(φ1 )と
第19面(φ2 )、第28面(φ1 )と第29面
(φ2 )がそれらの組を構成しており、また、上記メニ
スカスレンズの像面側の面は、第40面(φ3 )が構成
している。また、実施例6〜8においては、第3群中に
向き合った凹面を1組用いており、実施例6、8におい
ては、第16面(φ1 )と第23面(φ2 )がその組を
構成しており、実施例7においては、第14面(φ1 )
と第21面(φ2 )がその組を構成している。メニスカ
スレンズの像面側の面は、実施例6、8においては、第
40面(φ3 )が、実施例7においては、第36面(φ
3 )が、それぞれ構成している。
は、上記したように、実施例1〜5においては2組用い
ており、何れの実施例においても、第14面(φ1 )と
第19面(φ2 )、第28面(φ1 )と第29面
(φ2 )がそれらの組を構成しており、また、上記メニ
スカスレンズの像面側の面は、第40面(φ3 )が構成
している。また、実施例6〜8においては、第3群中に
向き合った凹面を1組用いており、実施例6、8におい
ては、第16面(φ1 )と第23面(φ2 )がその組を
構成しており、実施例7においては、第14面(φ1 )
と第21面(φ2 )がその組を構成している。メニスカ
スレンズの像面側の面は、実施例6、8においては、第
40面(φ3 )が、実施例7においては、第36面(φ
3 )が、それぞれ構成している。
【0030】次に、これら実施例1〜8のレンズデータ
を示すが、記号については、上記の外、ri は物体側よ
り順に第i番目のレンズ面の曲率半径、di は物体側よ
り順に第i番目のレンズ面間間隔(ただし、実施例1〜
8のd0 は物体面から第1レンズ面までの距離、実施例
1〜4、7のd46、実施例5、6、8のd48はレンズ系
の最終レンズ面から像面までの距離)、n248,i は物体
側より順に第i番目のレンズの波長248nmでの屈折
率、NAは開口数、Eは第1レンズ面より測った入射瞳
位置であり、また、上記したように、何れのレンズも溶
融石英から構成され、そのn248,i は1.5083であ
る。
を示すが、記号については、上記の外、ri は物体側よ
り順に第i番目のレンズ面の曲率半径、di は物体側よ
り順に第i番目のレンズ面間間隔(ただし、実施例1〜
8のd0 は物体面から第1レンズ面までの距離、実施例
1〜4、7のd46、実施例5、6、8のd48はレンズ系
の最終レンズ面から像面までの距離)、n248,i は物体
側より順に第i番目のレンズの波長248nmでの屈折
率、NAは開口数、Eは第1レンズ面より測った入射瞳
位置であり、また、上記したように、何れのレンズも溶
融石英から構成され、そのn248,i は1.5083であ
る。
【0031】なお、実施例1〜5においては、倍率β=
1/5、物像間距離L=1000mmであり、実施例6
〜8においては、倍率β=1/4、物像間距離L=10
00mmである。
1/5、物像間距離L=1000mmであり、実施例6
〜8においては、倍率β=1/4、物像間距離L=10
00mmである。
【0032】実施例1 NA=0.50 露光領域16.7×16.7mm E= ∞ d0 =41.667 r1 = 158.8180 d1 =41.667 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 155.6344 d2 =62.989 r3 = 521.3761 d3 =18.467 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 154.8448 d4 =50.923 r5 = -109.4408 d5 =12.500 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -119.5306 d6 =16.162 r7 = 366.1980 d7 =37.475 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -256.3179 d8 = 0.083 r9 = 353.4320 d9 =40.072 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -667.9980 d10=35.047 r11= 131.6928 d11=23.349 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12= 248.4079 d12= 1.511 r13= 142.7179 d13=41.065 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 60.8060 d14=27.503 r15= -167.3935 d15=12.500 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -107.3010 d16= 0.083 r17= -721.4791 d17=12.500 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 101.6271 d18=20.585 r19= -62.1308 d19=12.500 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 213.2965 d20=22.453 r21= -290.4600 d21=41.667 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= -142.1379 d22= 0.083 r23= 710.6183 d23=25.767 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -157.4733 d24= 0.083 r25= 176.7278 d25=20.056 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= 2143.3574 d26= 0.083 r27= 212.7948 d27=38.145 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= 108.7235 d28=25.747 r29= -135.8758 d29=12.500 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 487.8604 d30=32.627 r31= -559.6964 d31=35.123 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= -219.9666 d32= 0.083 r33= 905.5655 d33=24.259 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -198.0141 d34= 0.083 r35= 229.0919 d35=40.041 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= -753.1448 d36=12.508 r37= 129.3415 d37=22.495 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 293.9816 d38= 0.124 r39= 87.6213 d39=41.667 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 59.4786 d40=18.051 r41=-1548.7213 d41=25.915 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 161.4997 d42= 0.083 r43= 72.3482 d43=20.560 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 90.3115 d44= 0.580 r45= 58.8494 d45=20.566 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= ∞ d46=10.000 F1=-509.343 F2= 187.569 F3= 51.157 φ1=-0.00836 φ2=-0.00818 φ1=-0.00468 φ2=-0.00374 φ3=-0.00855 。
【0033】実施例2 NA=0.48 露光領域 20×20 mm E=20842.22 d0 =50.000 r1 = 141.2698 d1 =33.671 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 152.0192 d2 =29.286 r3 = 666.2277 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 151.1574 d4 =26.859 r5 = -108.1434 d5 =15.000 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -118.8647 d6 =14.745 r7 = 460.9167 d7 =43.187 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -276.6500 d8 = 0.100 r9 = 275.5863 d9 =35.557 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10=-1203.1428 d10= 0.131 r11= 160.4572 d11=34.632 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12= 661.6698 d12= 0.222 r13= 214.4262 d13=41.178 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 71.8816 d14=64.177 r15= -166.9853 d15=15.006 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -121.2880 d16= 4.026 r17= -947.7400 d17=24.617 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 96.3131 d18=21.706 r19= -63.8413 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 236.8715 d20=21.763 r21= -295.4267 d21=49.126 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= -152.0088 d22= 0.100 r23= 777.0670 d23=29.069 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -157.5230 d24= 0.100 r25= 168.4778 d25=22.530 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= 1074.2257 d26= 0.100 r27= 251.5811 d27=20.491 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= 131.9121 d28=28.754 r29= -137.1541 d29=15.000 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 425.5107 d30=22.730 r31= -682.4012 d31=26.847 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= -241.5028 d32= 0.100 r33= 1049.8203 d33=28.249 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -182.7013 d34= 0.100 r35= 226.6109 d35=25.505 n248,18=1.5083 (SiO2) r36=-1068.8899 d36= 0.100 r37= 141.2526 d37=21.972 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 329.5029 d38= 0.146 r39= 98.8268 d39=41.393 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 66.7276 d40=26.108 r41= -517.3678 d41=38.814 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 186.4744 d42= 0.100 r43= 74.2966 d43=36.835 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 94.9398 d44= 0.101 r45= 58.8202 d45=21.753 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= ∞ d46= 8.013 F1=-516.940 F2= 198.765 F3= 52.931 φ1=-0.00707 φ2=-0.00796 φ1=-0.00385 φ2=-0.00371 φ3=-0.00762 。
【0034】実施例3 NA=0.50 露光領域 20×20 mm E=725.58 d0 =50.000 r1 = 106.2081 d1 =19.183 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 112.7090 d2 =14.582 r3 = 243.1751 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 102.7156 d4 =59.376 r5 = -121.6125 d5 =15.000 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -136.4936 d6 =17.234 r7 = 295.0056 d7 =33.106 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -389.3950 d8 = 0.100 r9 = 228.2290 d9 =30.132 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10=-1157.4165 d10= 0.100 r11= 239.1661 d11=24.828 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12=-2736.2711 d12= 0.239 r13= 200.6372 d13=15.000 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 74.3536 d14=40.122 r15= -124.0785 d15=15.631 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -112.5088 d16= 0.100 r17=-1081.6120 d17=75.311 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 99.0951 d18=25.286 r19= -61.2676 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 290.7525 d20=13.838 r21= -264.3925 d21=42.982 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= -142.3785 d22= 0.100 r23=-2574.3470 d23=33.911 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -128.0224 d24= 0.100 r25= 178.8290 d25=27.785 n248,13=1.5083 (SiO2) r26=14133.9919 d26= 0.100 r27= 366.2486 d27=15.000 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= 145.1509 d28=39.190 r29= -134.1619 d29=15.000 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 546.4401 d30=18.673 r31= -510.4058 d31=24.615 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= -230.2698 d32= 0.100 r33= 1032.2937 d33=39.467 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -175.7421 d34= 0.100 r35= 253.8440 d35=30.345 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= -784.4228 d36= 0.100 r37= 165.8967 d37=22.259 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 348.5753 d38= 0.100 r39= 111.5420 d39=43.105 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 79.1769 d40=31.484 r41= -513.011 d41=51.270 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 236.3217 d42= 0.100 r43= 89.8217 d43=54.275 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 110.2619 d44= 0.100 r45= 61.3966 d45=22.570 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= ∞ d46= 8.000 F1=-449.873 F2= 181.832 F3= 47.071 φ1=-0.00684 φ2=-0.00830 φ1=-0.00350 φ2=-0.00379 φ3=-0.00642 。
【0035】実施例4 NA=0.48 露光領域 20×20 mm E=1478.10 d0=100.000 r1 = 137.2562 d1 =25.000 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 147.6178 d2 =15.558 r3 = 444.0530 d3 =25.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 137.1186 d4 =47.265 r5 = -120.4597 d5 =25.000 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -140.3130 d6 = 7.696 r7 = 467.8743 d7 =32.991 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -359.6274 d8 = 1.000 r9 = 557.3871 d9 =30.000 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -515.5693 d10= 1.000 r11= 123.7905 d11=41.484 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12= 643.8987 d12= 1.000 r13= 171.4587 d13=25.016 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 66.5180 d14=41.583 r15= -152.4686 d15=20.000 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -126.9177 d16=23.751 r17= ∞ d17=15.000 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 92.5666 d18=24.103 r19= -65.0156 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 260.3267 d20=18.623 r21= -272.8242 d21=47.402 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= -150.2897 d22= 1.000 r23= 700.4601 d23=32.885 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -147.3217 d24= 1.000 r25= 198.8265 d25=23.375 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= ∞ d26= 1.000 r27= 276.9653 d27=22.000 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= 139.4304 d28=30.352 r29= -135.7057 d29=22.000 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 425.1163 d30=16.299 r31= -488.1142 d31=23.000 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= -221.2312 d32= 1.000 r33= 793.9923 d33=29.322 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -178.4943 d34= 1.000 r35= 230.7597 d35=24.399 n248,18=1.5083 (SiO2) r36=-1400.000 d36= 1.000 r37= 143.8285 d37=22.630 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 346.4978 d38= 1.000 r39= 92.4396 d39=46.822 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 59.0889 d40=17.769 r41= ∞ d41=48.415 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 100.6209 d42= 1.000 r43= 59.7465 d43=25.260 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 92.1960 d44= 1.000 r45= 57.9881 d45=15.000 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= ∞ d46= 8.001 F1=-487.258 F2= 235.341 F3= 67.839 φ1=-0.00764 φ2=-0.00782 φ1=-0.00365 φ2=-0.00375 φ3=-0.00860 。
【0036】実施例5 NA=0.47 露光領域 25×25 mm E= ∞ d0=100.000 r1 = 158.8170 d1 =19.241 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 239.7566 d2 =25.114 r3 = -520.0778 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 173.3822 d4 =55.581 r5 = -134.3573 d5 =12.500 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -158.9506 d6 = 0.833 r7 =11353.9937 d7 =30.783 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -260.7941 d8 = 0.833 r9 = 236.4466 d9 =41.454 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -965.9305 d10= 0.833 r11= 197.3572 d11=33.902 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12= 2305.5231 d12= 0.833 r13= 155.2685 d13=39.333 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 74.2733 d14=33.505 r15= -833.0055 d15=16.231 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -173.1079 d16=15.107 r17= -132.3474 d17=12.500 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 107.5686 d18=39.258 r19= -71.6995 d19=12.500 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 231.6966 d20=17.492 r21= -526.9275 d21=36.447 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= -188.3114 d22= 0.833 r23= 866.0416 d23=36.994 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -156.0137 d24= 0.833 r25= 274.4281 d25=33.991 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= -342.0398 d26= 0.833 r27= 228.3407 d27=25.104 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= 113.0798 d28=44.582 r29= -145.4000 d29=12.500 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 785.8063 d30=14.521 r31= -572.7342 d31=18.677 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= -210.7349 d32= 0.833 r33= 615.9888 d33=33.977 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -184.3613 d34= 0.833 r35= 243.9015 d35=21.294 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= ∞ d36= 0.833 r37= 145.8836 d37=20.377 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 349.6684 d38= 0.833 r39= 99.0981 d39=56.543 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 55.1839 d40=21.646 r41= -279.6333 d41=12.500 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= -140.8099 d42= 8.770 r43= -187.9892 d43=18.628 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 89.6294 d44= 0.833 r45= 57.9895 d45=30.250 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= 155.8950 d46= 0.833 r47= 57.2342 d47=14.113 n248,24=1.5083 (SiO2) r48= ∞ d48= 8.750 F1=-343.449 F2= 217.296 F3= 70.923 φ1=-0.00685 φ2=-0.00709 φ1=-0.00450 φ2=-0.00350 φ3=-0.00921 。
【0037】実施例6 NA=0.48 露光領域 25×25 mm E=1000 d0=100.000 r1 = 122.2218 d1 =42.000 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 131.8406 d2 =26.527 r3 = -456.7383 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 146.7156 d4 =58.920 r5 = -109.3340 d5 =15.000 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -124.4118 d6 =16.650 r7 =-1603.5903 d7 =30.631 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -230.6638 d8 = 1.000 r9 = 306.7289 d9 =40.340 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -589.4298 d10= 1.000 r11= 344.7579 d11=27.251 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12=-7346.6854 d12= 1.000 r13= 208.1925 d13=26.911 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 663.0676 d14= 1.000 r15= 99.4529 d15=15.000 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= 71.1583 d16=43.911 r17= -572.6484 d17=15.000 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= -241.4067 d18= 9.511 r19= -515.5571 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 125.7783 d20= 9.188 r21= 594.4223 d21=15.000 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= 136.9477 d22=24.889 r23= -73.8735 d23=15.000 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= 453.6327 d24=13.350 r25= -173.8233 d25=20.397 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= -131.9886 d26= 1.000 r27= 245.6658 d27=27.993 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= -324.3616 d28= 3.841 r29=-1493.8830 d29=15.000 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 511.5606 d30= 9.729 r31= -931.9050 d31=15.000 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= 259.1839 d32=14.889 r33=-2876.7613 d33=24.510 n248,17=1.5083 (SiO2) r34=
-225.4203 d34= 1.000 r35= 396.8058 d35=40.820 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= -211.6756 d36= 1.000 r37= 160.4017 d37=37.780 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 1933.4335 d38= 1.000 r39= 157.5349 d39=48.675 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 289.4471 d40=49.305 r41= 603.3704 d41=50.000 n248,21=1.5083 (SiO2) r42=-4086.5298 d42= 6.206 r43= -128.0736 d43=15.000 n248,22=1.5080 (SiO2) r44= 80.1338 d44= 1.000 r45= 54.7881 d45=16.776 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= 181.4529 d46= 1.000 r47= 85.3329 d47=10.000 n248,24=1.5083 (SiO2) r48= ∞ d48= 9.000 F1=-287.448 F2= 174.217 F3= 69.301 φ1=-0.00714 φ2=-0.00688 φ3=-0.00176 。
-225.4203 d34= 1.000 r35= 396.8058 d35=40.820 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= -211.6756 d36= 1.000 r37= 160.4017 d37=37.780 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 1933.4335 d38= 1.000 r39= 157.5349 d39=48.675 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 289.4471 d40=49.305 r41= 603.3704 d41=50.000 n248,21=1.5083 (SiO2) r42=-4086.5298 d42= 6.206 r43= -128.0736 d43=15.000 n248,22=1.5080 (SiO2) r44= 80.1338 d44= 1.000 r45= 54.7881 d45=16.776 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= 181.4529 d46= 1.000 r47= 85.3329 d47=10.000 n248,24=1.5083 (SiO2) r48= ∞ d48= 9.000 F1=-287.448 F2= 174.217 F3= 69.301 φ1=-0.00714 φ2=-0.00688 φ3=-0.00176 。
【0038】実施例7 NA=0.48 露光領域 25×25 mm E=1000 d0=100.000 r1 = 123.3658 d1 =18.768 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 123.8122 d2 =31.218 r3 = -498.8768 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 172.6737 d4 =49.975 r5 = -110.7247 d5 =15.000 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -129.4457 d6 = 1.000 r7 =-3947.7165 d7 =32.190 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -232.1087 d8 = 1.000 r9 = 389.1147 d9 =39.911 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -430.7653 d10= 1.000 r11= 192.5059 d11=44.254 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12=-1743.8050 d12= 1.000 r13= 132.0319 d13=34.793 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 74.3519 d14=42.281 r15= -332.3886 d15=15.827 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= -167.3614 d16= 1.000 r17= -241.8117 d17=43.457 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= 171.1876 d18= 7.936 r19= 1020.6841 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 174.9693 d20=28.528 r21= -71.1009 d21=35.689 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= 887.0010 d22=12.714 r23= -285.9543 d23=25.520 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= -167.7632 d24= 1.113 r25=-4840.1342 d25=32.591 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= -178.2112 d26=52.896 r27=80941.2159 d27=33.607 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= -229.9629 d28= 1.000 r29= 546.6617 d29=25.562 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= -718.3377 d30= 1.000 r31= 190.6956 d31=28.558 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= 945.1528 d32= 1.000 r33= 165.1537 d33=19.762 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= 272.3522 d34= 1.000 r35= 108.8985 d35=36.791 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= 82.9680 d36=18.432 r37= 650.5592 d37=25.135 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= -325.9244 d38= 1.986 r39= -275.1850 d39=15.000 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 68.8076 d40=33.857 r41= 61.0827 d41=26.023 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 140.8818 d42= 1.000 r43= 76.1085 d43=10.000 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= -210.8257 d44= 1.624 r45= -183.0680 d45=10.000 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= ∞ d46= 9.001 F1=-254.075 F2= 141.816 F3= 49.773 φ1=-0.00684 φ2=-0.00715 φ3=-0.00613 。
【0039】実施例8 NA=0.52 露光領域 25×25 mm E=874.0 d0=100.000 r1 = 111.7880 d1 =16.214 n248,1 =1.5083 (SiO2) r2 = 123.4881 d2 =35.706 r3 = -348.6845 d3 =15.000 n248,2 =1.5083 (SiO2) r4 = 164.8758 d4 =56.185 r5 = -104.1790 d5 =19.988 n248,3 =1.5083 (SiO2) r6 = -127.9442 d6 = 1.000 r7 = -988.3088 d7 =35.450 n248,4 =1.5083 (SiO2) r8 = -202.1689 d8 = 1.000 r9 = 396.2774 d9 =42.997 n248,5 =1.5083 (SiO2) r10= -455.9975 d10= 1.000 r11= 317.7947 d11=33.108 n248,6 =1.5083 (SiO2) r12=-2661.3524 d12= 1.000 r13= 190.6737 d13=30.320 n248,7 =1.5083 (SiO2) r14= 565.1670 d14= 1.000 r15= 96.2734 d15=15.000 n248,8 =1.5083 (SiO2) r16= 68.6751 d16=43.994 r17=-9282.0807 d17=16.617 n248,9 =1.5083 (SiO2) r18= -271.6829 d18= 1.000 r19= -406.2942 d19=15.000 n248,10=1.5083 (SiO2) r20= 118.7133 d20=11.932 r21= 1567.6905 d21=15.000 n248,11=1.5083 (SiO2) r22= 134.3926 d22=27.019 r23= -74.6080 d23=15.000 n248,12=1.5083 (SiO2) r24= 503.2389 d24=13.695 r25= -189.2346 d25=16.706 n248,13=1.5083 (SiO2) r26= -130.1851 d26= 1.000 r27= 247.8524 d27=30.749 n248,14=1.5083 (SiO2) r28= -271.8151 d28= 1.000 r29= -788.0965 d29=15.000 n248,15=1.5083 (SiO2) r30= 454.5327 d30=10.242 r31=-1211.5252 d31=15.000 n248,16=1.5083 (SiO2) r32= 257.7440 d32=15.420 r33=-4049.8333 d33=25.467 n248,17=1.5083 (SiO2) r34= -229.8300 d34= 1.000 r35= 391.4166 d35=44.040 n248,18=1.5083 (SiO2) r36= -208.8223 d36= 1.000 r37= 159.7557 d37=40.383 n248,19=1.5083 (SiO2) r38= 1991.5753 d38= 1.000 r39= 147.8854 d39=49.645 n248,20=1.5083 (SiO2) r40= 182.5940 d40=50.209 r41= 169.5532 d41=38.119 n248,21=1.5083 (SiO2) r42= 616.6126 d42= 7.377 r43= -144.3126 d43=15.000 n248,22=1.5083 (SiO2) r44= 73.4065 d44= 1.000 r45= 53.1077 d45=16.417 n248,23=1.5083 (SiO2) r46= 138.8285 d46= 1.000 r47= 81.6751 d47=10.000 n248,24=1.5083 (SiO2) r48= ∞ d48= 9.001 F1=-240.598 F2= 167.965 F3= 66.235 φ1=-0.00740 φ2=-0.00681 φ3=-0.00278 。
【0040】以上の実施例1〜8の球面収差、非点収
差、歪曲収差、コマ収差を表す収差図をそれぞれ図9か
ら図16に示す。
差、歪曲収差、コマ収差を表す収差図をそれぞれ図9か
ら図16に示す。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の縮小投影
レンズによると、入射瞳位置を物体面から比較的遠くに
位置させ、像歪みが小さく、短波長光を光源とする高解
像力で焦点深度の広い縮小投影レンズを得ることができ
る。
レンズによると、入射瞳位置を物体面から比較的遠くに
位置させ、像歪みが小さく、短波長光を光源とする高解
像力で焦点深度の広い縮小投影レンズを得ることができ
る。
【図1】本発明の実施例1の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図2】本発明の実施例2の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図3】本発明の実施例3の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図4】本発明の実施例4の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図5】本発明の実施例5の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図6】本発明の実施例6の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図7】本発明の実施例7の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図8】本発明の実施例8の縮小投影レンズの断面図で
ある。
ある。
【図9】実施例1の球面収差、非点収差、歪曲収差、コ
マ収差を表す収差図である。
マ収差を表す収差図である。
【図10】実施例2の図9の同様な収差図である。
【図11】実施例3の図9の同様な収差図である。
【図12】実施例4の図9の同様な収差図である。
【図13】実施例5の図9の同様な収差図である。
【図14】実施例6の図9の同様な収差図である。
【図15】実施例7の図9の同様な収差図である。
【図16】実施例8の図9の同様な収差図である。
I …第1レンズ群 II …第2レンズ群 III …第3レンズ群
Claims (3)
- 【請求項1】 物体側より順に、互いに凹面を向かい合
わせた一対のメニスカスレンズを含んでなる第1レンズ
群、正の屈折力を持ち少なくとも2枚のレンズにより構
成された第2レンズ群、正の屈折力を持った第3レンズ
群より構成され、レンズ系の第1面より測った入射瞳位
置をE、物像間距離をL、第1レンズ群の焦点距離をF
1 とするとき、 0.5<|E/L| 0.2<|F1 /L| なる条件を満足することを特徴とする縮小投影レンズ。 - 【請求項2】 第2レンズ群の焦点距離をF2 とすると
き、 0.1<|F2 /L|<0.3 なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の縮
小投影レンズ。 - 【請求項3】 第3レンズ群の焦点距離をF3 とすると
き、 0.04<|F3 /L|<0.1 なる条件を満足することを特徴とする請求項1又は2記
載の記載の縮小投影レンズ。
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