JPH05172716A - Detecting device of leakage gas - Google Patents
Detecting device of leakage gasInfo
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- JPH05172716A JPH05172716A JP34526491A JP34526491A JPH05172716A JP H05172716 A JPH05172716 A JP H05172716A JP 34526491 A JP34526491 A JP 34526491A JP 34526491 A JP34526491 A JP 34526491A JP H05172716 A JPH05172716 A JP H05172716A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、環境内の雰囲気ガスを
主管を介してガスセンサーに導入し、該雰囲気ガス中の
被分析ガスの濃度を測定する漏洩ガス検出装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak gas detector for introducing atmospheric gas in the environment into a gas sensor through a main pipe and measuring the concentration of a gas to be analyzed in the atmospheric gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時の半導体産業の発達はめざましいと
ころであるが、皮肉なことに、半導体産業で用いられる
ガスは、シラン，アルシン，ホスフィン等有毒なものが
多いのが実情である。2. Description of the Related Art The recent development of the semiconductor industry is remarkable, but ironically, most of the gases used in the semiconductor industry are toxic gases such as silane, arsine, and phosphine.
【０００３】そこで、半導体製造工場内に漏洩ガス検出
装置を設置して常時環境中の前記有毒ガスの濃度を測定
し、該有毒ガスが異常な濃度に達したら警報を出し、あ
るいは、工場の操業を一時停止する等の処置を行ってい
る。Therefore, a leak gas detecting device is installed in a semiconductor manufacturing factory to constantly measure the concentration of the toxic gas in the environment, and when the toxic gas reaches an abnormal concentration, an alarm is issued or the factory is operated. We are taking measures such as temporarily stopping.
【０００４】図５は従来の漏洩ガス検出装置の一例を示
すもので、半導体製造用ガス充填容器を収納する容器収
納箱Ｙ内の雰囲気を監視する例である。FIG. 5 shows an example of a conventional leak gas detecting apparatus, which is an example of monitoring the atmosphere in a container storage box Y for storing a semiconductor manufacturing gas filling container.
【０００５】図において、１はガスセンサーで、気密な
箱１ａ内に収納されている。容器収納箱Ｙ内の雰囲気ガ
スは主管２を介して前記箱１ａ内に導入されてガスセン
サー１に接触した後、常時運転する排気ポンプ３を通
り、更に除害装置４で安全化処理された後大気放出され
るようになっている。従って、容器収納箱Ｙ内でガス漏
洩が発生するとガスセンサー１で検出される。In the figure, reference numeral 1 denotes a gas sensor, which is housed in an airtight box 1a. The atmospheric gas in the container storage box Y was introduced into the box 1a through the main pipe 2 and contacted with the gas sensor 1, then passed through the exhaust pump 3 which is constantly operating, and further safety-treated by the abatement device 4. It will be released into the atmosphere later. Therefore, when a gas leak occurs in the container storage box Y, it is detected by the gas sensor 1.
【０００６】上記例では、被分析ガスが１種類なので、
１つのガスセンサーで検出しているが、容器収納箱Ｙ内
で複数のガスが漏洩する可能性がある場合は、複数のガ
スセンサーを用いる。In the above example, since there is one kind of gas to be analyzed,
Although one gas sensor is used for detection, a plurality of gas sensors are used when there is a possibility that a plurality of gases may leak inside the container storage box Y.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の漏
洩ガス検出装置では、誤動作を起こすことが大きな問題
であった。この誤動作の原因としては、ガスセンサーに
供給する電源の変動、ガスセンサーに機械的な振動が伝
わる等種々考えられるが、最大の要因は被分析ガス以外
のガスで前記ガスセンサーが反応してしまうことであ
る。However, in the above-mentioned conventional leaked gas detection device, malfunction has been a serious problem. There are various possible causes of this malfunction, such as fluctuations in the power supply to the gas sensor and transmission of mechanical vibrations to the gas sensor, but the biggest cause is that the gas sensor reacts with a gas other than the gas to be analyzed. That is.
【０００８】例えば、前記容器収納箱内でのシランの漏
洩を、試験紙光電光度法式ガスセンサーで検出する場
合、外部から容器収納箱内にアルコールが侵入すると、
アルコールに対しても前記ガスセンサーは反応してしま
うため、ガスセンサーが反応してもシランによるもの
か、アルコールによるものか判別できない。特に、半導
体の製造では、洗浄工程で用いる溶剤からアルコールが
発生するケースが多く、ガスセンサーが誤報を発し易い
という不都合があった。[0008] For example, in the case of detecting a leak of silane in the container storage box with a test paper photoelectric photometric gas sensor, if alcohol enters the container storage box from the outside,
Since the gas sensor also reacts to alcohol, it is impossible to determine whether the gas sensor reacts with silane or alcohol. In particular, in the manufacture of semiconductors, alcohol is often generated from the solvent used in the cleaning step, and the gas sensor is liable to give false alarms.
【０００９】上記不都合は、被分析ガスが１種類であっ
ても、それ以上であっても発生するが、複数の被分析ガ
スを測定する場合、特に、複数の被分析ガスのうちのい
くつかを、１つのガスセンサーで検出する場合には、漏
洩したガスを特定できないという不都合も生ずる。The above-mentioned inconvenience occurs even if the number of analyzed gases is one or more, but when measuring a plurality of analyzed gases, in particular, some of the plurality of analyzed gases are detected. However, if one gas sensor is used to detect the leaked gas, there is a disadvantage that the leaked gas cannot be specified.
【００１０】例えば、容器収納箱内に、シラン充填容器
とホスフィン充填容器とを収納し、シラン及びホスフィ
ンの漏洩を、１台のガスセンサーで共通に検出した場
合、該ガスセンサーは、シラン、ホスフィンの両方に反
応するので、仮に一方だけが漏れたとしても、常に警報
を発生する。このため、警報に伴って容器の元弁を自動
的に閉止する安全装置を付加した場合には、漏洩した側
の安全装置が作動すれば十分な場合でも、常に両方の安
全装置が作動してしまうことになる。For example, when a silane-filled container and a phosphine-filled container are housed in a container housing box and leakage of silane and phosphine is commonly detected by a single gas sensor, the gas sensor will detect silane and phosphine. Since it responds to both, even if only one leaks, an alarm is always issued. Therefore, if a safety device that automatically closes the main valve of the container in response to an alarm is added, both safety devices will always operate even if the safety device on the leaking side is sufficient. Will end up.
【００１１】本発明は上記に鑑み、妨害ガスによる誤動
作を防止することができる漏洩ガス検出装置を提供する
ことを目的とする。In view of the above, it is an object of the present invention to provide a leak gas detecting device capable of preventing malfunction due to interfering gas.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明の漏洩ガス検出装置は、環境内の雰囲気ガ
スを、主管を介してガスセンサーに導入し、該雰囲気ガ
ス中の被分析ガスの濃度を測定する漏洩ガス検出装置に
おいて、前記主管に、主管弁と該主管弁をバイパスする
バイパス管とを設け、該バイパス管に、バイパス弁と前
記被分析ガスを測定する際に妨害となる妨害ガスの影響
を排除する妨害ガス抑制手段を設けたことを特徴として
いる。In order to achieve the above-mentioned object, the leak gas detecting apparatus of the present invention introduces an atmospheric gas in the environment into a gas sensor through a main pipe, and analyzes the gas in the atmospheric gas. In the leakage gas detection device for measuring the gas concentration, the main pipe is provided with a main pipe valve and a bypass pipe bypassing the main pipe valve, and the bypass pipe interferes with the measurement of the bypass valve and the analyzed gas. It is characterized in that an interfering gas suppressing means for eliminating the influence of the interfering gas is provided.
【００１３】なお、上記妨害ガスとは、前記アルコール
のように、被分析ガスでないにもかかわらず、ガスセン
サーを反応させるガスや、ガスセンサーで特定の被分析
ガスを測定する際に、該ガスセンサーを反応させる他の
被分析ガスを意味する。即ち、アルコールは、それ自体
は有毒ではないが、外部から侵入してガスセンサーを誤
動作させる点で妨害ガスとなる。また一方、前記シラ
ン，ホスフィンを一つのガスセンサーで検知する場合、
一方のみの漏洩を検知しようとすると，他方はガスセン
サーを誤動作させる点で妨害ガスとなる。The interfering gas is a gas such as alcohol, which is not a gas to be analyzed but which reacts with a gas sensor, or a gas to be measured when a specific gas to be analyzed is measured by the gas sensor. Refers to another analyte gas that causes the sensor to react. That is, alcohol is not a poison in itself, but becomes an interfering gas in that it invades from the outside and malfunctions the gas sensor. On the other hand, when detecting the silane and phosphine with a single gas sensor,
If only one leak is detected, the other becomes an interfering gas in that the gas sensor malfunctions.
【００１４】また、妨害ガス抑制手段は、例えば、ガス
を化学反応により別物質に変化させてガスセンサーで検
知できないものに変化させる手段、低温トラップ、吸着
筒のようにガスをトラップあるいは吸着させてガスセン
サーで検知できない程度に濃度を低減もしくは除去する
手段を意味する。Further, the interfering gas suppressing means is, for example, a means for changing a gas to another substance by a chemical reaction so that it cannot be detected by a gas sensor, a low temperature trap, a trapping or adsorbing gas such as an adsorption cylinder. It means a means for reducing or removing the concentration to the extent that it cannot be detected by a gas sensor.
【００１５】[0015]
【作 用】上記構成によれば、妨害ガスは、妨害ガス抑
制手段で抑止されガスセンサーで検知されないので、目
的とする被分析ガスのみが測定でき、これによってガス
センサーの誤動作及び複数の被分析ガスを共通のガスセ
ンサーで検知する際の漏洩ガスの特定を行うことができ
る。[Operation] According to the above configuration, the interfering gas is suppressed by the interfering gas suppressing means and is not detected by the gas sensor. Therefore, only the target analyte gas can be measured, which causes malfunction of the gas sensor and a plurality of analytes to be analyzed. It is possible to identify the leaked gas when the gas is detected by the common gas sensor.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明を、図面に示す実施例に基づい
て、さらに詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in more detail based on the embodiments shown in the drawings.
【００１７】まず、図１は本発明の第１実施例を示すも
ので、被分析ガスがホスフィン、妨害ガスが外部から侵
入するアルコールの場合の要部を示すものである。First, FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention, and shows a main part in the case where the gas to be analyzed is phosphine and the interfering gas is alcohol invading from the outside.
【００１８】本実施例装置は、前記同様に、容器収納箱
（図示せず）とガスセンサー１を収納した箱１ａとを接
続する主管２に、主管弁１１と該主管弁１１をバイパス
するバイパス管１２を設け、該バイパス管１２にバイパ
ス弁１２ａと妨害ガス抑制手段の一つである低温トラッ
プ１２ｂを設けたものである。In the apparatus of this embodiment, similarly to the above, a main pipe valve 11 and a bypass for bypassing the main pipe valve 11 are connected to a main pipe 2 which connects a container storage box (not shown) and a box 1a storing the gas sensor 1. A pipe 12 is provided, and the bypass pipe 12 is provided with a bypass valve 12a and a low temperature trap 12b which is one of interfering gas suppressing means.
【００１９】上記構成において、常時は主管弁１１を
開、バイパス弁１２ａを閉として容器収納箱内の雰囲気
ガスを、主管２を介してガスセンサー１に供給するよう
にしておく。この状態で、ガスセンサー１が反応したと
きは、直ちに主管弁１１を閉、バイパス弁１２ａを開と
して容器収納箱内の雰囲気ガスをバイパス管１２側に切
換え、低温トラップ１２ｂを介してガスセンサー１に供
給する。このとき、雰囲気ガス中にアルコールがある
と、アルコールは低温トラップ１２ｂでトラップされて
ガスセンサー１が反応しない程度の低濃度になり、一
方、ホスフィンは低温トラップ１２ｂをそのまま通過す
るのでガスセンサー１は反応する。In the above structure, the main pipe valve 11 is normally opened and the bypass valve 12a is closed to supply the atmospheric gas in the container storage box to the gas sensor 1 through the main pipe 2. When the gas sensor 1 reacts in this state, the main pipe valve 11 is immediately closed and the bypass valve 12a is opened to switch the atmosphere gas in the container storage box to the bypass pipe 12 side, and the gas sensor 1 is passed through the low temperature trap 12b. Supply to. At this time, if alcohol is present in the atmospheric gas, the alcohol is trapped by the low temperature trap 12b and has a low concentration such that the gas sensor 1 does not react. On the other hand, phosphine passes through the low temperature trap 12b as it is. react.
【００２０】従って、主管２側でガスセンサー１が反応
した後、バイパス管１２側に切換えて警報が停止すれば
アルコールによるガスセンサー１の誤動作、警報が継続
すればホスフィンの漏洩と判定することができる。Therefore, after the gas sensor 1 reacts on the main pipe 2 side, if the alarm is stopped by switching to the bypass pipe 12 side, malfunction of the gas sensor 1 due to alcohol can be judged, and if the alarm continues, it can be judged that phosphine has leaked. it can.
【００２１】なお、上記実施例では、妨害ガスであるア
ルコールを、アルコールと被分析ガスとの沸点差を利用
して抑制したが、妨害ガスがアンモニアの場合は、雰囲
気ガスを酸性溶液にバブリングしてアンモニアを除去す
ればよく、妨害ガスの種類に応じて適宜の妨害ガス抑制
手段を用いれば良い。In the above embodiment, the interfering gas alcohol was suppressed by utilizing the difference in boiling point between the alcohol and the gas to be analyzed. However, when the interfering gas is ammonia, the atmosphere gas is bubbled into the acidic solution. Ammonia may be removed by using an appropriate interfering gas suppressing means depending on the type of interfering gas.
【００２２】図２は第２実施例を示すもので、外部から
妨害ガスが侵入しないという条件で、シラン充填容器と
ホスフィン充填容器を収納した容器収納箱内の雰囲気を
１台のガスセンサー１で共通に測定する場合である。構
成としては、前記図１に比べ、妨害ガス抑制手段を酸化
剤充填容器１３とした点だけが異なる。FIG. 2 shows a second embodiment. One gas sensor 1 is used for the atmosphere in the container housing box containing the silane-filled container and the phosphine-filled container under the condition that no interfering gas enters from the outside. This is a common measurement. The configuration is different from that of FIG. 1 in that the interfering gas suppressing means is an oxidant filling container 13.
【００２３】上記構成において、シラン及びホスフィン
を含む雰囲気ガスがバイパス管１２を介して酸化剤充填
容器１３側に流れると、シランは酸化剤で酸化されずに
そのまま導出し、一方のホスフィンは酸化されて燐酸と
水になり、ガスセンサー１で反応しなくなる。従って、
主管２側で警報が出た後、バイパス管１２側に切換えて
警報が停止すればホスフィンのみの漏洩、警報が継続す
ればシランのみ、あるいはシランとホスフィンの同時漏
洩と判断することができる。In the above structure, when the atmospheric gas containing silane and phosphine flows to the oxidant filling container 13 side through the bypass pipe 12, the silane is not oxidized by the oxidant and is discharged as it is, and one phosphine is oxidized. Becomes phosphoric acid and water, and the gas sensor 1 stops reacting. Therefore,
After the alarm is issued on the main pipe 2 side, if the alarm is stopped by switching to the bypass pipe 12 side, it can be determined that only the phosphine leaks, and if the alarm continues, only silane or the simultaneous leak of silane and phosphine.
【００２４】本実施例装置によれば、警報が出たときに
シランとホスフィンのうち、ホスフィンのみの場合が判
断できるので、シランとホスフィンのうちどちらが洩れ
ているのかが全く判定できない従来装置より優れている
ことは明らかである。According to the apparatus of the present embodiment, it is possible to determine the case where only phosphine is selected from silane and phosphine when an alarm is issued, which is superior to the conventional apparatus in which it is impossible to determine which of silane and phosphine is leaking. It is clear that
【００２５】なお、上記酸化剤充填容器１３に代えてア
ルカリ水溶液を担体に含浸させた処理剤を充填した容器
を設けることもできる。この場合、ホスフィンはアルカ
リ水溶液による加水分解作用を受けないのでそのまま通
過し、一方シランは加水分解されて水素になりガスセン
サー１で反応しなくなる。従って、主管２側で警報が出
た後、バイパス管１２側に切換えて警報が停止すればシ
ランのみの漏洩、警報が継続する場合はホスフィンの
み、あるいはホスフィンとシランの同時漏洩と判定する
ことができる。Instead of the oxidant-filled container 13, a container filled with a treatment agent having a carrier impregnated with an alkaline aqueous solution may be provided. In this case, the phosphine is not hydrolyzed by the alkaline aqueous solution and therefore passes through as it is, while the silane is hydrolyzed to hydrogen and does not react in the gas sensor 1. Therefore, after the alarm is issued on the main pipe 2 side, if the alarm is stopped by switching to the bypass pipe 12 side, it can be determined that only silane is leaked, and if the alarm is continued, only phosphine or simultaneous leakage of phosphine and silane is determined. it can.
【００２６】図３は第３実施例を示すもので、前記第２
実施例におけるバイパス管（以下、第１バイパス管とい
う）１２に加えて第２バイパス管１４を設け、該第２バ
イパス管１４に第２バイパス弁１４ａとアルカリ水溶液
充填容器１４ｂを設けたものである。FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention.
The second bypass pipe 14 is provided in addition to the bypass pipe (hereinafter, referred to as the first bypass pipe) 12 in the embodiment, and the second bypass pipe 14 is provided with the second bypass valve 14a and the alkaline aqueous solution filling container 14b. ..
【００２７】上記構成において、条件が第２実施例と同
一である場合、主管２側でガスセンサー１が反応して警
報が発生したとき、第１バイパス管１２に切換えて警報
が停止すればホスフィンだけの漏洩、第２バイパス管１
４に切換えて警報が停止すればシランのみの漏洩、両バ
イパス管に切換えても依然として警報が継続する場合
は、シランとホスフィンの同時漏洩と判断することがで
きる。In the above construction, if the conditions are the same as those in the second embodiment, when the gas sensor 1 reacts on the main pipe 2 side and an alarm is generated, the phosphine is switched to the first bypass pipe 12 to stop the alarm. Only leakage, second bypass pipe 1
If the alarm is stopped by switching to 4 and only the silane leaks, and if the alarm continues even after switching to both bypass pipes, it can be determined that the silane and phosphine are leaking simultaneously.
【００２８】図４は第４実施例を示すもので、シランと
ホスフィンの他、外部から妨害成分としてアルコールが
侵入する場合を考慮したものである。FIG. 4 shows a fourth embodiment in consideration of silane and phosphine, and the case where alcohol invades from the outside as an interfering component.
【００２９】本実施例では、上記第３実施例装置に、更
に第３バイパス管１５を設け、該第３バイパス管１５に
第３バイパス弁１５ａと低温トラップ１５ｂを設けたも
のである。In the present embodiment, the apparatus of the third embodiment is further provided with a third bypass pipe 15, and the third bypass pipe 15 is provided with a third bypass valve 15a and a low temperature trap 15b.
【００３０】本実施例装置では、主管２側でガスセンサ
ー１が反応して警報が出たときに、第３、第１、第２バ
イパス管の順に切り換える。即ち、第３バイパス管１５
に切換えて警報が停止すればアルコールによる誤動作で
あり、警報が継続すればシランとホスフィンの一方もし
くは両方の漏洩である。In the apparatus of this embodiment, when the gas sensor 1 reacts on the main pipe 2 side and an alarm is issued, the third, first and second bypass pipes are switched in this order. That is, the third bypass pipe 15
If the alarm stops after switching to, the malfunction is caused by alcohol. If the alarm continues, one or both of silane and phosphine is leaking.
【００３１】第３バイパス管１５側で警報が継続したと
きに、第１バイパス管１２に切換えて警報が停止すれば
シランのみの漏洩、依然として警報が継続するときは、
第２バイパス管１４に切換えて警報が停止すればホスフ
ィンのみの漏洩、依然として警報が継続するときは、シ
ランとホスフィンの同時漏洩である。When the alarm continues on the side of the third bypass pipe 15, if the alarm is stopped by switching to the first bypass pipe 12, only silane leaks. If the alarm still continues,
If the alarm is stopped by switching to the second bypass pipe 14, only phosphine leaks. If the alarm still continues, silane and phosphine simultaneously leak.
【００３２】なお上記実施例では、被分析ガスが２種
類、外部からの妨害ガスが１種類の場合で説明したが、
更に多種類の被分析ガス、妨害ガスがある場合には、前
記実施例に準じてバイパス管を増設するとともに、妨害
ガスに対応した妨害ガス抑制手段を設けれれば良い。In the above embodiment, the case where there are two kinds of gas to be analyzed and one kind of interfering gas from the outside has been explained.
If there are more kinds of analyzed gas and interfering gas, it is sufficient to add a bypass pipe in accordance with the above embodiment and provide interfering gas suppressing means corresponding to the interfering gas.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
妨害ガスによる誤動作を防止できるので、誤報に基づく
緊急避難や操業の一時停止がほとんど発生せず、従来よ
り生産性を大幅に向上でき実用的である。As described above, according to the present invention,
Since it is possible to prevent malfunction due to interfering gas, there is almost no emergency evacuation or temporary suspension of operations due to false alarms, and productivity can be greatly improved compared to conventional products, which is practical.
【００３４】また、複数のガスを共通のガスセンサーで
検知する場合、漏洩したガスを明確に特定でき、的確な
処置を行えるとともに、無駄に安全装置が作動すること
がない。Further, when a plurality of gases are detected by a common gas sensor, the leaked gas can be clearly specified, an appropriate measure can be taken, and the safety device does not operate unnecessarily.
【００３５】なお、本発明の漏洩ガス検出装置は、容器
収納箱の内部だけでなく、半導体製造工場内の任意の環
境中の雰囲気の監視にも適用でき、更に半導体製造工場
以外の環境中の雰囲気の監視にも適用できる。また、被
分析ガスとしては、ガスセンサーで検出できるものであ
れば前記有毒ガスの他、水素等の可燃性ガス等、任意の
ガスに適用でき、応用範囲が広い。The leaked gas detection apparatus of the present invention can be applied not only to the inside of a container storage box but also to the monitoring of the atmosphere in an arbitrary environment in a semiconductor manufacturing factory. It can also be applied to atmosphere monitoring. Further, the gas to be analyzed can be applied to any gas such as combustible gas such as hydrogen as well as the above-mentioned toxic gas as long as it can be detected by a gas sensor, and its application range is wide.
【図１】 本発明の第１実施例を示す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図２】 同じく第２実施例を示す系統図である。FIG. 2 is a system diagram showing a second embodiment of the same.
【図３】 同じく第３実施例を示す系統図である。FIG. 3 is a system diagram showing a third embodiment of the same.
【図４】 同じく第４実施例を示す系統図である。FIG. 4 is a system diagram showing a fourth embodiment of the same.
【図５】 従来の漏洩ガス検出装置の一例を示す系統図
である。FIG. 5 is a system diagram showing an example of a conventional leaked gas detection device.
１…ガスセンサー １ａ…箱 ２…主管 １１…
主管弁 １２，１４，１５…バイパス管 １２ａ，１４ａ，１
５ａ…バイパス弁 １２ｂ，１５ｂ…低温トラップ １３…酸化剤充填容
器 １４ｂ…アルカリ水溶液充填容器1 ... Gas sensor 1a ... Box 2 ... Main pipe 11 ...
Main pipe valve 12, 14, 15 ... Bypass pipe 12a, 14a, 1
5a ... Bypass valve 12b, 15b ... Low temperature trap 13 ... Oxidizing agent filling container 14b ... Alkaline aqueous solution filling container
Claims (1)
スセンサーに導入し、該雰囲気ガス中の被分析ガスの濃
度を測定する漏洩ガス検出装置において、前記主管に、
主管弁と該主管弁をバイパスするバイパス管とを設け、
該バイパス管に、バイパス弁と前記被分析ガスを測定す
る際に妨害となる妨害ガスの影響を排除する妨害ガス抑
制手段を設けたことを特徴とする漏洩ガス検出装置。1. A leak gas detection device for introducing atmospheric gas in an environment into a gas sensor through a main pipe to measure the concentration of a gas to be analyzed in the atmospheric gas, wherein
A main pipe valve and a bypass pipe that bypasses the main pipe valve are provided,
A leak gas detecting device, characterized in that the bypass pipe is provided with a bypass valve and an interfering gas suppressing means for eliminating an influence of interfering gas which becomes an obstacle when measuring the gas to be analyzed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34526491A JPH05172716A (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Detecting device of leakage gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34526491A JPH05172716A (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Detecting device of leakage gas |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172716A true JPH05172716A (en) | 1993-07-09 |
Family
ID=18375425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34526491A Pending JPH05172716A (en) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | Detecting device of leakage gas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172716A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063273A (en) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Ihi Corp | Leak gas detection device and method |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34526491A patent/JPH05172716A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063273A (en) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Ihi Corp | Leak gas detection device and method |
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