JPH05162051A - Method for calibrating rotational angle of rotary table - Google Patents
Method for calibrating rotational angle of rotary tableInfo
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- JPH05162051A JPH05162051A JP3349891A JP34989191A JPH05162051A JP H05162051 A JPH05162051 A JP H05162051A JP 3349891 A JP3349891 A JP 3349891A JP 34989191 A JP34989191 A JP 34989191A JP H05162051 A JPH05162051 A JP H05162051A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ワークの自動供給装
置に使用されるロータリテーブルの角度のズレを較正す
る方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of calibrating an angular deviation of a rotary table used in an automatic work feeding device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば磁気ディスクの検査においては、
ディスク・ワークをワーク・カセット（以下それぞれを
単にワーク、カセットという）に収納し、自動供給装置
によりカセットよりワーク取り出して検査装置に供給
し、検査済みのワークをカセットに収納する方法が行わ
れている。図２(a) はロータリテーブル（以下単にテー
ブルという）によるカセットとワークの自動供給装置の
概略の構成を示す。テーブル４は半径方向に放射状に、
例えば８個のカセット２を載置することができる。テー
ブル４に対するカセット２の供給／排出はパルスモータ
によりテーブルを回転して所定の位置に停止し、ロボッ
ト機構３により行われる。一方、カセット２と検査装置
８に対するワーク１のアクセスはロボット機構５，７に
より行われる。テーブル４の中心Ｏを通るＸ軸を固定側
の基準線とし、例えばこの基準線の位置をロボット機構
５のアクセス位置［Ｈ］とする。図示しない制御回路に
よりパルスモータを制御してテーブル４を回転し、未検
査のワークを収納したカセットをアクセス位置［Ｈ］に
停止する。ロボット機構５のチャック機構５b （図(b)
参照）によりワーク１をチャックして中継台６まで搬送
して載置し、中継台よりロボット機構７により検査装置
８に対して供給される。検査が終了したワークは上記と
逆順に搬送され、テーブルを回転して検査済みワーク用
のカセットをアクセス位置［Ｈ］に停止して収納され
る。(b) によりロボット機構５の構造と動作を説明する
と、そのハンドアーム５a は矢印α，β，γの３軸自由
度を有し、先端部にチャック機構５bが設けられてい
る。テーブル４の回転によりアクセス位置［Ｈ］に停止
したカセットに対して、ハンドアーム６a を動作してチ
ャック機構６b により対象のワークをチャックし、また
は解放してカセットに対してワークがアクセスされる。2. Description of the Related Art For example, in the inspection of a magnetic disk,
There is a method in which the disk work is stored in a work cassette (hereinafter, simply referred to as a work and a cassette), the work is taken out from the cassette by an automatic supply device, supplied to the inspection device, and the inspected work is stored in the cassette. There is. FIG. 2 (a) shows a schematic structure of a cassette and work automatic supply device using a rotary table (hereinafter simply referred to as a table). The table 4 is radial in the radial direction,
For example, eight cassettes 2 can be placed. The supply / discharge of the cassette 2 to / from the table 4 is performed by the robot mechanism 3 by rotating the table with a pulse motor to stop at a predetermined position. On the other hand, the access of the work 1 to the cassette 2 and the inspection device 8 is performed by the robot mechanisms 5 and 7. The X axis passing through the center O of the table 4 is set as a fixed reference line, and the position of this reference line is set as the access position [H] of the robot mechanism 5. A pulse motor is controlled by a control circuit (not shown) to rotate the table 4, and the cassette containing the uninspected work is stopped at the access position [H]. Chuck mechanism 5b of robot mechanism 5 (Figure (b)
The workpiece 1 is chucked by the reference (1), conveyed to the relay table 6 and placed thereon, and supplied from the relay table to the inspection device 8 by the robot mechanism 7. The inspected work is conveyed in the reverse order to the above, and the table is rotated to store the inspected work cassette at the access position [H]. The structure and operation of the robot mechanism 5 will be described with reference to (b). The hand arm 5a has three degrees of freedom of arrows α, β, γ, and the chuck mechanism 5b is provided at the tip. With respect to the cassette stopped at the access position [H] by the rotation of the table 4, the hand arm 6a is operated to chuck or release the target work by the chuck mechanism 6b, and the work is accessed to the cassette.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】さて、上記において
は、メモリに記憶された各カセットの載置位置の角度デ
ータを読出して制御回路によりテーブル４を回転し、対
象とするカセットがアクセス位置［Ｈ］に停止される。
しかし、自動供給装置の製作時点や定期検査などにおい
ては、テーブルは任意の回転角度にあるので、テーブル
の適当な角度を基準角度とし、これが基準線のＸ軸に一
致したときの基準角度データをメモリに記憶し、これよ
り各カセットの載置位置の角度データを求める方法がと
られている。従来はこの基準角度データは、テーブルの
回転角度をノギスなどにより測定して求められている
が、精度が良好でない。もし基準角度データが基準線に
対して角度ズレしているときは、各カセットが位置ズレ
して、ロボット機構５のチャック機構５b が望みのワー
クを正確にチャックできない。従って、ズレ角度を正確
に測定してメモリの角度データを較正することが必要で
ある。この発明は以上に鑑みてなされたもので、テーブ
ルの基準角度を示す手段と、固定側の基準線に対するテ
ーブルの基準角度のズレ角度を正確に測定する手段とを
設け、初期調整などにおいて、メモリに記憶された各角
度データを較正する方法を提供することを目的とするも
のである。In the above description, the angle data of the mounting position of each cassette stored in the memory is read out and the table 4 is rotated by the control circuit to set the target cassette to the access position [H]. ] To stop.
However, at the time of manufacturing the automatic feeder or at the time of periodic inspection, the table is at an arbitrary rotation angle, so the appropriate angle of the table is used as the reference angle, and the reference angle data when this matches the X axis of the reference line is used. A method is used in which the data is stored in a memory and the angle data of the mounting position of each cassette is obtained from this. Conventionally, this reference angle data is obtained by measuring the rotation angle of the table with a caliper or the like, but the accuracy is not good. If the reference angle data is misaligned with respect to the reference line, the cassettes are misaligned and the chuck mechanism 5b of the robot mechanism 5 cannot accurately chuck the desired work. Therefore, it is necessary to accurately measure the misalignment angle and calibrate the angle data in the memory. The present invention has been made in view of the above, and is provided with means for indicating the reference angle of the table and means for accurately measuring the deviation angle of the reference angle of the table with respect to the reference line on the fixed side. It is an object of the present invention to provide a method for calibrating each angle data stored in the.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するロータリテーブルの角度較正方法であって、上
記の自動供給装置において、ロボット機構のハンドアー
ムに光学式の変位センサを、また、テーブルに対してそ
の半径方向に回転角度の基準を示す基準反射板をそれぞ
れ設ける。テーブルの中心Ｏを通るＸ軸を固定側の基準
線とし、メモリに記憶された基準角度データを制御回路
に与えてテーブルを回転し、基準反射板をＸ軸に一致さ
せて停止する。変位センサをＸ方向に移動して基準反射
板の両端のＹ座標値をそれぞれ測定し、両Ｙ座標値の差
と両端間の長さとによりＸ軸に対する基準反射板のズレ
角度を算出し、これをメモリに与えて記憶された各角度
データを較正するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a method for calibrating an angle of a rotary table, which achieves the above object, wherein in the above automatic feeder, an optical displacement sensor is provided on a hand arm of a robot mechanism, A reference reflector that indicates the reference of the rotation angle is provided in the radial direction of the table. The X-axis passing through the center O of the table is used as the fixed reference line, and the reference angle data stored in the memory is given to the control circuit to rotate the table, and the reference reflection plate is aligned with the X-axis and stopped. The displacement sensor is moved in the X direction to measure the Y coordinate values at both ends of the reference reflector, and the deviation angle of the reference reflector with respect to the X axis is calculated from the difference between both Y coordinate values and the length between both ends. To the memory to calibrate each stored angle data.
【０００５】[0005]
【作用】上記の較正方法においては、基準角度データを
制御回路に与えてテーブルを回転し、基準反射板をＸ軸
に一致させて停止する。変位センサにより、基準反射板
の両端のＹ座標値がそれぞれ測定され、両測定値の差と
両端間の長さとによりＸ軸に対する基準反射板の正確な
ズレ角度が算出される。これがメモリに与えられて記憶
された各角度データが較正され、これにより各カセット
が所定の位置に正しく載置され、またそれぞれがアクセ
ス位置に正しく停止されてロボット機構によるワークア
クセスが良好になされる。In the above-mentioned calibration method, the reference angle data is given to the control circuit to rotate the table, and the reference reflector is made to coincide with the X axis and stopped. The displacement sensor measures the Y coordinate values of both ends of the reference reflector, and the accurate deviation angle of the reference reflector with respect to the X-axis is calculated from the difference between the two measured values and the length between the ends. This is given to the memory and each stored angle data is calibrated so that each cassette is correctly placed at a predetermined position, and each cassette is properly stopped at the access position to make the work access by the robot mechanism good. ..
【０００６】[0006]
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す。図１(a)
において、ロータリテーブル４はこれを回転するパルス
モータ１０aと、角度データを記憶するメモリ（ＭＥ
Ｍ）１０c 、およびパルスモータの回転を制御する制御
回路１０b を具備する。図１(a),(b) において、ワーク
アクセス用のロボット機構５のハンドアーム５a の先端
に、チャック機構５b の動作に支障しないように、光学
式の変位センサ９a を取り付ける。変位センサ９a とし
てはレーザによるものが小型で測定精度が優れているの
で適当である。一方、テーブル４の中心Ｏを通る半径Ｏ
Ｒ上に基準反射板９b を固定し、その角度位置をテーブ
ルの基準角度とする。基準反射板９b を基準としてテー
ブルを円周方向に、例えば８等分して各カセット２の載
置位置とし、基準角度と各センサの載置位置の角度デー
タをメモリ１０c に記憶する。(c) において、テーブル
の中心Ｏを通るＸ軸を固定側の基準線とし、メモリ１０
c より基準角度データを制御回路１０b に与えてパルス
モータ１０a によりテーブルを回転して、基準反射板９
b をＸ軸またはその付近に停止する。ハンドアーム５a
の動作により変位センサ９a をＸ方向に移動して基準反
射板９b の両端に対応させ、それぞれにおけるＹ座標値
ｙa,ｙb を測定し、計算式： θ＝ａｒｃｔａｎ［（ｙb −ｙa)／Ｌ］，Ｌ：両端間の
長さ、 により、Ｘ軸に対する基準反射板９b のズレ角度θを求
め、これをメモリ１０cに与えて記憶された基準角度デ
ータと各カセットの角度データとをズレ角度θだけ較正
する。較正された基準角度データによりテーブルを回転
して変位センサにより両座標値を再測定し、これらが等
しいことを確認する。以上により較正された各角度デー
タにより、テーブルは所定の位置に対して正確に停止し
て各カセットがそれぞれの載置位置に正しく載置され、
また各カセットはアクセス位置［Ｈ］に正しく停止して
ロボット機構５によるワークアクセスが良好になされ
る。1 shows an embodiment of the present invention. Figure 1 (a)
At the rotary table 4, the rotary table 4 is rotated by a pulse motor 10a and a memory (ME) for storing angle data.
M) 10c and a control circuit 10b for controlling the rotation of the pulse motor. In FIGS. 1 (a) and 1 (b), an optical displacement sensor 9a is attached to the tip of a hand arm 5a of a robot mechanism 5 for work access so as not to interfere with the operation of the chuck mechanism 5b. As the displacement sensor 9a, a laser sensor is suitable because of its small size and excellent measurement accuracy. On the other hand, the radius O passing through the center O of the table 4
The reference reflector 9b is fixed on the R, and its angular position is used as the reference angle of the table. For example, the table is divided into eight equal parts in the circumferential direction with reference to the reference reflector 9b as the mounting position of each cassette 2, and the reference angle and the angle data of the mounting position of each sensor are stored in the memory 10c. In (c), the X-axis passing through the center O of the table is used as the reference line on the fixed side, and the memory 10
The reference angle data is given to the control circuit 10b from c, and the table is rotated by the pulse motor 10a.
Stop b at or near the X axis. Hand arm 5a
The operation by moving the displacement sensor 9a in the X direction so as to correspond to both ends of the reference reflection plate 9b, Y-coordinate value y a in each, the y b is measured, equation: θ = arctan [(y b -y a ) / L], L: the length between both ends, the deviation angle θ of the reference reflector 9b with respect to the X-axis is obtained, and this is given to the memory 10c to store the reference angle data and the angle data of each cassette. Calibrate only the deviation angle θ. Rotate the table with the calibrated reference angle data and re-measure both coordinate values with the displacement sensor to confirm they are equal. According to the angle data calibrated as described above, the table is accurately stopped at a predetermined position, and each cassette is correctly placed at each mounting position.
Further, each cassette is properly stopped at the access position [H], and the work can be favorably accessed by the robot mechanism 5.
【０００７】[0007]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による回
転角度較正方法においては、ロボット機構のハンドアー
ムに設けられた変位センサにより、ロータリテーブルに
設けられた基準反射板の両端のＹ座標値が測定され、両
測定値の差と両端間の長さとにより基準線のＸ軸に対す
る基準反射板のズレ角度が算出され、メモリに記憶され
た各角度データがこのズレ角度だけ較正されるもので、
これにより各カセットが所定の位置に正しく載置され、
また各カセットがアクセス位置に正しく停止して、ロボ
ット機構によるワークアクセスが良好になされる効果に
は大きいものがある。As described above, in the rotation angle calibration method according to the present invention, the Y-coordinate values at both ends of the reference reflector provided on the rotary table are adjusted by the displacement sensor provided on the hand arm of the robot mechanism. The deviation angle of the reference reflection plate with respect to the X axis of the reference line is calculated by the difference between both measured values and the length between both ends, and each angle data stored in the memory is calibrated by this deviation angle.
This will ensure that each cassette is properly placed in its place,
In addition, each cassette properly stops at the access position, and the work can be favorably accessed by the robot mechanism.
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a),(b) は変位
センサと基準反射板の取り付けと配置を示す図、(c) は
ズレ角度の算出方法の説明図である。1A and 1B show an embodiment of the present invention, FIGS. 1A and 1B are diagrams showing the mounting and arrangement of a displacement sensor and a reference reflector, and FIG. 1C is an explanatory diagram of a method for calculating a deviation angle.
【図２】 ロータリテーブルによるワーク・カセットと
ワークの自動供給装置を示し、(a) は概略の構成図、
(b) はロボット機構のハンドアームと、これに取り付け
たチャック機構を示す外観図である。FIG. 2 shows a workpiece cassette and an automatic workpiece feeder by a rotary table, (a) is a schematic configuration diagram,
(b) is an external view showing a hand arm of the robot mechanism and a chuck mechanism attached to the hand arm.
１…ディスク・ワーク、またはワーク、２…ワーク・カ
セット、またはカセット、３…ロボット機構、４…ロー
タリテーブル、５…ロボット機構、５a …ハンドアー
ム、５b …チャック機構、６…中継台、７…ロボット機
構、８…検査装置、９a …変位センサ、９b …基準反射
板、１０a …パルスモータ、１０b …制御回路、１０c
…メモリ（ＭＥＭ）。1 ... Disk work or work, 2 ... Work cassette or cassette, 3 ... Robot mechanism, 4 ... Rotary table, 5 ... Robot mechanism, 5a ... Hand arm, 5b ... Chuck mechanism, 6 ... Relay stand, 7 ... Robot mechanism, 8 ... Inspection device, 9a ... Displacement sensor, 9b ... Reference reflector, 10a ... Pulse motor, 10b ... Control circuit, 10c
... Memory (MEM).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 29/00 7716−3Ｆ 47/80 Ｚ 8010−3Ｆ Ｇ０１Ｂ 11/26 Ｚ 7625−2Ｆ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI Technical display location B65G 29/00 7716-3F 47/80 Z 8010-3F G01B 11/26 Z 7625-2F
Claims (1)
し、パルスモータにより回転するロータリテーブルと、
該ロータリテーブルの基準角度データと各前記各ワーク
・カセットの角度データを記憶したメモリと、該パルス
モータの回転を制御する制御回路、および一定のアクセ
ス位置における前記各ワーク・カセットに対して、ワー
クをアクセスするロボット機構とを具備した自動供給装
置において、該ロボット機構のハンドアームの先端に光
学式の変位センサを、前記ロータリテーブルに対して、
その半径方向に回転角度の基準を示す基準反射板をそれ
ぞれ設け、前記ロータリテーブルの中心Ｏを通るＸ軸を
固定側の基準線とし、前記記憶された基準角度データを
前記制御回路に与えて前記ロータリテーブルを回転し、
該基準反射板を前記Ｘ軸に一致させて停止し、前記変位
センサをＸ方向に移動して該基準反射板の両端のＹ座標
値をそれぞれ測定し、測定された両Ｙ座標値の差と該両
端間の長さとにより、前記Ｘ軸に対する該基準反射板の
ズレ角度を算出し、該ズレ角度を前記メモリに与えて前
記各角度データを較正することを特徴とする、ロータリ
テーブルの回転角度較正方法。1. A rotary table on which a plurality of work cassettes are radially mounted and which is rotated by a pulse motor,
A memory for storing the reference angle data of the rotary table and the angle data of each work cassette, a control circuit for controlling the rotation of the pulse motor, and a work cassette for each work cassette at a constant access position. In an automatic supply device including a robot mechanism for accessing the robot mechanism, an optical displacement sensor is provided at a tip of a hand arm of the robot mechanism, with respect to the rotary table.
A reference reflector that indicates the reference of the rotation angle is provided in each of the radial directions, the X axis passing through the center O of the rotary table is used as a fixed reference line, and the stored reference angle data is given to the control circuit. Rotate the rotary table,
The reference reflector is stopped in alignment with the X axis, the displacement sensor is moved in the X direction to measure the Y coordinate values at both ends of the reference reflector, and the difference between the two measured Y coordinate values is calculated. A rotation angle of the rotary table, wherein a displacement angle of the reference reflection plate with respect to the X axis is calculated based on the length between the both ends, and the displacement angle is given to the memory to calibrate each angle data. Calibration method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3349891A JPH05162051A (en) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Method for calibrating rotational angle of rotary table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3349891A JPH05162051A (en) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Method for calibrating rotational angle of rotary table |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05162051A true JPH05162051A (en) | 1993-06-29 |
Family
ID=18406811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3349891A Pending JPH05162051A (en) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Method for calibrating rotational angle of rotary table |
Country Status (1)
| Country | Link |
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