JPH05154473A - 流体の光化学反応処理方法 - Google Patents
流体の光化学反応処理方法Info
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- JPH05154473A JPH05154473A JP3348505A JP34850591A JPH05154473A JP H05154473 A JPH05154473 A JP H05154473A JP 3348505 A JP3348505 A JP 3348505A JP 34850591 A JP34850591 A JP 34850591A JP H05154473 A JPH05154473 A JP H05154473A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
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- Physical Water Treatments (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光触媒の存在下において光照射による流体の
光化学反応処理を効率よく行い、有機物、細菌、有害物
質等を含まない高品質の処理流体を得る。 【構成】 アナタース型チタン等の接触面積が大きく、
かつ流体の通過性のよい形状にした光触媒の存在下にお
いて、紫外線、太陽光線等の光照射によって、流体に含
まれている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の
分解等の光化学反応処理を行うについて、流体にＢｒＯ
3 等の酸化剤を添加して光化学反応処理を促進する。
光化学反応処理を効率よく行い、有機物、細菌、有害物
質等を含まない高品質の処理流体を得る。 【構成】 アナタース型チタン等の接触面積が大きく、
かつ流体の通過性のよい形状にした光触媒の存在下にお
いて、紫外線、太陽光線等の光照射によって、流体に含
まれている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の
分解等の光化学反応処理を行うについて、流体にＢｒＯ
3 等の酸化剤を添加して光化学反応処理を促進する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光触媒の存在下におい
て紫外線、太陽光線等の光照射によって、流体に含まれ
ている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解
等の光化学反応処理を行い、有機物、細菌、有害物質等
を除去する流体の光化学反応処理方法に関するものであ
る。
て紫外線、太陽光線等の光照射によって、流体に含まれ
ている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解
等の光化学反応処理を行い、有機物、細菌、有害物質等
を除去する流体の光化学反応処理方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】最近、半導体または液晶製造工程、医薬
品製造工程において、超純水やクリーンガス等の高純度
の流体が使用されている。例えば、ＬＳＩ等の半導体を
製造する際には、半導体の洗浄水として超純水が使用さ
れているが、通常の場合、この分野で用いられる超純水
は、紫外線照射、イオン交換、超濾過、逆浸透膜等を適
宜組み合わせた超純水製造システムによって製造されて
いる。この種の超純水製造システムにおいては、光化学
反応処理の一つである紫外線照射によって超純水の原水
である一次純水に含まれている有機物を酢酸等の有機
酸、二酸化炭素等に酸化分解し、次いでこの処理水に含
まれている有機酸、二酸化炭素等を、イオン交換樹脂、
超濾過膜、逆浸透膜等で除去して超純水を製造してい
る。
品製造工程において、超純水やクリーンガス等の高純度
の流体が使用されている。例えば、ＬＳＩ等の半導体を
製造する際には、半導体の洗浄水として超純水が使用さ
れているが、通常の場合、この分野で用いられる超純水
は、紫外線照射、イオン交換、超濾過、逆浸透膜等を適
宜組み合わせた超純水製造システムによって製造されて
いる。この種の超純水製造システムにおいては、光化学
反応処理の一つである紫外線照射によって超純水の原水
である一次純水に含まれている有機物を酢酸等の有機
酸、二酸化炭素等に酸化分解し、次いでこの処理水に含
まれている有機酸、二酸化炭素等を、イオン交換樹脂、
超濾過膜、逆浸透膜等で除去して超純水を製造してい
る。
【０００３】また、原水中に細菌が含まれている場合に
は、紫外線照射によって原水中の細菌の殺菌をし、超純
水を製造する後段のイオン交換樹脂、超濾過膜、逆浸透
膜等が細菌で汚染されるのを防止している。さらに、製
造した超純水が細菌で汚染された場合には、ＬＳＩ等の
半導体が細菌で汚染されるのを防止するために、最終処
理として、紫外線照射によって超純水中の細菌を殺菌を
している。そして、いずれの場合においても、近年の技
術の高度化に伴って、超純水の純度、特に従来より除去
が難しいといわれている微量の有機物や細菌、有害物質
等の除去が技術課題になっており、紫外線照射効率、す
なわち光化学反応処理効率を向上させることによって超
純水の純度を一段と高めることか求めれている。
は、紫外線照射によって原水中の細菌の殺菌をし、超純
水を製造する後段のイオン交換樹脂、超濾過膜、逆浸透
膜等が細菌で汚染されるのを防止している。さらに、製
造した超純水が細菌で汚染された場合には、ＬＳＩ等の
半導体が細菌で汚染されるのを防止するために、最終処
理として、紫外線照射によって超純水中の細菌を殺菌を
している。そして、いずれの場合においても、近年の技
術の高度化に伴って、超純水の純度、特に従来より除去
が難しいといわれている微量の有機物や細菌、有害物質
等の除去が技術課題になっており、紫外線照射効率、す
なわち光化学反応処理効率を向上させることによって超
純水の純度を一段と高めることか求めれている。
【０００４】近年、紫外線照射による水の光化学反応処
理を行う場合に、酸化チタン（ＴｉＯ2）等の微粒子に
白金（Ｐｔ）等の金属の微粒子を担持した光触媒粒子、
すなわち白金担持酸化チタン等の光触媒粒子を用いるこ
とにより、紫外線照射効率を高めて超純水の純度を一段
と高める工夫や改善が提案（特開昭６２−１９３６９６
号）がなされている。しかし、この白金担持酸化チタン
等の光触媒粒子を用いた水の光化学反応処理は、処理水
である超純水より白金担持酸化チタン等の光触媒粒子を
分離することが非常に面倒であり、例えば光触媒粒子の
沈殿分離を行うについては、沈殿に長時間を要するとと
もに分離性が悪くて実用的でなく、また光触媒粒子を濾
過機やストレーナーで濾別して分離するについては、光
触媒粒子によって濾過機やストレーナーが目詰まりし易
く、かつ別途に分離装置を付設する必要があるために、
装置設置費用が増大する欠点がある等の種々の不都合が
あった。
理を行う場合に、酸化チタン（ＴｉＯ2）等の微粒子に
白金（Ｐｔ）等の金属の微粒子を担持した光触媒粒子、
すなわち白金担持酸化チタン等の光触媒粒子を用いるこ
とにより、紫外線照射効率を高めて超純水の純度を一段
と高める工夫や改善が提案（特開昭６２−１９３６９６
号）がなされている。しかし、この白金担持酸化チタン
等の光触媒粒子を用いた水の光化学反応処理は、処理水
である超純水より白金担持酸化チタン等の光触媒粒子を
分離することが非常に面倒であり、例えば光触媒粒子の
沈殿分離を行うについては、沈殿に長時間を要するとと
もに分離性が悪くて実用的でなく、また光触媒粒子を濾
過機やストレーナーで濾別して分離するについては、光
触媒粒子によって濾過機やストレーナーが目詰まりし易
く、かつ別途に分離装置を付設する必要があるために、
装置設置費用が増大する欠点がある等の種々の不都合が
あった。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】本発明は、光触媒の存
在下において光照射による流体の有機物の酸化分解、細
菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処理を行うに
ついて、酸化剤の添加により反応効率を改善し、また流
体と光触媒との接触面積を大きく保つことによって、光
化学反応処理効率を高め、有機物、細菌、有害物質等を
含まない純度の高い処理流体を得ることにある。
在下において光照射による流体の有機物の酸化分解、細
菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処理を行うに
ついて、酸化剤の添加により反応効率を改善し、また流
体と光触媒との接触面積を大きく保つことによって、光
化学反応処理効率を高め、有機物、細菌、有害物質等を
含まない純度の高い処理流体を得ることにある。
【０００６】
（１）本発明は、光触媒の存在下において紫外線、太陽
光線等の光照射によって、流体に含まれている有機物の
酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応
処理を行うについて、流体にＢｒＯ3 、Ｈ2 Ｏ2 、Ｏ
2 、Ｏ3 の酸化剤の一種または二種以上を添加して反応
処理を促進することを特徴とするものである。 （２）また本発明は、前述の（１）の流体の光化学反応
処理を行うについて、光触媒をアナタース型チタンまた
はアナタース型チタンに白金等の金属を担持させた光触
媒を用いることに特徴がある。 （３）さらに本発明は、前述の（１）の流体の光化学反
応処理を行うについて、光触媒を網状やラシリング状等
の接触面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状にし
たことに特徴がある。 （４）さらに本発明は、前述の（１）の流体の光化学反
応処理を行うについて、光触媒を石英ガラスや硬質ガラ
ス製の粒子状の担体にコーティンするか、または担体を
網状やラシリング状等の接触面積が大きく、かつ流体の
通過性のよい形状にして石英ガラスや硬質ガラスを被覆
し、これに光触媒をコーティングしたことに特徴があ
る。
光線等の光照射によって、流体に含まれている有機物の
酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応
処理を行うについて、流体にＢｒＯ3 、Ｈ2 Ｏ2 、Ｏ
2 、Ｏ3 の酸化剤の一種または二種以上を添加して反応
処理を促進することを特徴とするものである。 （２）また本発明は、前述の（１）の流体の光化学反応
処理を行うについて、光触媒をアナタース型チタンまた
はアナタース型チタンに白金等の金属を担持させた光触
媒を用いることに特徴がある。 （３）さらに本発明は、前述の（１）の流体の光化学反
応処理を行うについて、光触媒を網状やラシリング状等
の接触面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状にし
たことに特徴がある。 （４）さらに本発明は、前述の（１）の流体の光化学反
応処理を行うについて、光触媒を石英ガラスや硬質ガラ
ス製の粒子状の担体にコーティンするか、または担体を
網状やラシリング状等の接触面積が大きく、かつ流体の
通過性のよい形状にして石英ガラスや硬質ガラスを被覆
し、これに光触媒をコーティングしたことに特徴があ
る。
【０００７】本発明の光化学反応処理に使用する光触媒
としては、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）があるが、酸化チタ
ンのなかでもアナタース型が一般的に使用されることが
多く、アナタース型以外にも、ルチル型、ブルカイト型
も使用できる。また酸化チタン以外には、酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2０3）、カドミウム（Ｃｄ
Ｓ）等の金属が使用できる。さらに酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）に白金（Ｐｔ）を担持させたもの（ＴｉＯ2／Ｐ
ｔ）も光触媒として使用することができ、この場合にお
いては、白金以外にも、ニッケル（Ｎｉ）、ロジュム
（Ｒｈ）の半導体が使用できるし、また酸化チタン以外
に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2０3）、カ
ドミウム（ＣｄＳ）の金属も使用できることはいうまで
もない。
としては、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）があるが、酸化チタ
ンのなかでもアナタース型が一般的に使用されることが
多く、アナタース型以外にも、ルチル型、ブルカイト型
も使用できる。また酸化チタン以外には、酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2０3）、カドミウム（Ｃｄ
Ｓ）等の金属が使用できる。さらに酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）に白金（Ｐｔ）を担持させたもの（ＴｉＯ2／Ｐ
ｔ）も光触媒として使用することができ、この場合にお
いては、白金以外にも、ニッケル（Ｎｉ）、ロジュム
（Ｒｈ）の半導体が使用できるし、また酸化チタン以外
に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化第二鉄（Ｆｅ2０3）、カ
ドミウム（ＣｄＳ）の金属も使用できることはいうまで
もない。
【０００８】酸化チタン等の金属と白金等の半導体の混
合割合は、１：0.002〜１５％にすることが望ましく、
また酸化チタン等の金属と白金等の半導体のの担持法と
しては、公知の含浸法、混練法による他、光析出法（光
電析法）、コロイド混合法を採用できる。以上述べたよ
うな光触媒を光化学反応処理条件に応じて、適宜組み合
わせて使用すればよく、光触媒を被覆する際の厚さは、
１００〜１０００オングストロームあればよい。光照射
の代表例としては紫外線照射があるが、この場合に使用
される紫外線ランプとしては、主波長２５４ｎｍの低圧
殺菌ランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの低圧オゾ
ンランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ、３６５ｎｍ
の中・高圧ランプがあり、紫外線照射以外にも、光化学
反応処理の目的に応じて、太陽光ランプ、ケミカルラン
プ、ブラックライトランプ、メタルハライドランプ、ナ
トリウムランプ、その他７００ｎｍ以下の波長を発する
各種のランプによる光照射を行う。
合割合は、１：0.002〜１５％にすることが望ましく、
また酸化チタン等の金属と白金等の半導体のの担持法と
しては、公知の含浸法、混練法による他、光析出法（光
電析法）、コロイド混合法を採用できる。以上述べたよ
うな光触媒を光化学反応処理条件に応じて、適宜組み合
わせて使用すればよく、光触媒を被覆する際の厚さは、
１００〜１０００オングストロームあればよい。光照射
の代表例としては紫外線照射があるが、この場合に使用
される紫外線ランプとしては、主波長２５４ｎｍの低圧
殺菌ランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの低圧オゾ
ンランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ、３６５ｎｍ
の中・高圧ランプがあり、紫外線照射以外にも、光化学
反応処理の目的に応じて、太陽光ランプ、ケミカルラン
プ、ブラックライトランプ、メタルハライドランプ、ナ
トリウムランプ、その他７００ｎｍ以下の波長を発する
各種のランプによる光照射を行う。
【０００９】光化学反応処理を促進するために流体に添
加する酸化剤としては、ＢｒＯ3 、Ｈ2 Ｏ2 、Ｏ2 、Ｏ
3 等があり、これらの一種または二種以上を光触媒の種
類や処理目的に応じて適宜選択して使用する。酸化剤の
添加量は、対象となる被反応物の内容によって異なる
が、酸化剤に含まれる酸素量を、被反応物を完全酸化す
るのに必要な最低量の１．０〜１００程度あればよい。
なお酸化剤を併用する場合には、酸化剤の濃度により紫
外線等の光吸収係数が異なるために、酸化剤の濃度と光
吸収係数との関係を考慮して流体の光化学反応処理を行
う必要がある。
加する酸化剤としては、ＢｒＯ3 、Ｈ2 Ｏ2 、Ｏ2 、Ｏ
3 等があり、これらの一種または二種以上を光触媒の種
類や処理目的に応じて適宜選択して使用する。酸化剤の
添加量は、対象となる被反応物の内容によって異なる
が、酸化剤に含まれる酸素量を、被反応物を完全酸化す
るのに必要な最低量の１．０〜１００程度あればよい。
なお酸化剤を併用する場合には、酸化剤の濃度により紫
外線等の光吸収係数が異なるために、酸化剤の濃度と光
吸収係数との関係を考慮して流体の光化学反応処理を行
う必要がある。
【００１０】光触媒の形状は、ネット状に重ねものやラ
シリング状にしたものが望ましいが、これ以外にも接触
面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状であれば、
どのような形状であってもよい。または光触媒を、処理
筒に充填した金属製またはプラスチック製のネット状に
重ねたものに石英ガラスや硬質ガラス等を被覆した担体
に、１００オングストローム〜１ｍｍ程度にコーティン
グしてもよく、さらに光触媒を、金属製またはプラスチ
ック製のラシリング状のものに石英ガラスや硬質ガラス
等を被覆した担体に、１００オングストローム〜１ｍｍ
程度コーティングしてもよい。前述したように、光触媒
をコーティングする担体の形状は、ネット状に重ねも
の、ラシリング状にしてもの以外、接触面積が大きく、
かつ流体の通過性のよい形状であれば、どのような形状
であってもよい。
シリング状にしたものが望ましいが、これ以外にも接触
面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状であれば、
どのような形状であってもよい。または光触媒を、処理
筒に充填した金属製またはプラスチック製のネット状に
重ねたものに石英ガラスや硬質ガラス等を被覆した担体
に、１００オングストローム〜１ｍｍ程度にコーティン
グしてもよく、さらに光触媒を、金属製またはプラスチ
ック製のラシリング状のものに石英ガラスや硬質ガラス
等を被覆した担体に、１００オングストローム〜１ｍｍ
程度コーティングしてもよい。前述したように、光触媒
をコーティングする担体の形状は、ネット状に重ねも
の、ラシリング状にしてもの以外、接触面積が大きく、
かつ流体の通過性のよい形状であれば、どのような形状
であってもよい。
【００１１】
【実施例】イオン交換装置で製造した純水に、有機物と
してメタノールを１００ｐｐｂ溶解し、また細菌として
大腸菌を５．６×１０2 個／ｍｌ添加し、さらに有害物
質としてペンタクロロフェノールを１５０ｐｐｂ溶解し
た原水を調整した。また光化学反応処理装置として、通
常使用している紫外線照射装置、すなわちステンレス製
の処理筒（直径９０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ）の内部
に、４００ｎｍ以下の波長を有する紫外線ランプを内臓
した石英ガラス製の透過筒を１本配置した実験筒を、下
記のように処理筒１〜処理筒４の４セットを用意し、各
処理筒の内面と透過筒の外側面によって構成される空間
に、以下に示す各種の光触媒を充填した。 ＊処理筒１ アナタース型チタンを網状に重ねた光触媒を充填し、 （従来例） 酸化剤を注入しないもの ＊処理筒２ アナタース型チタンを網状に重ねた光触媒を充填し、 （発明例） 酸化剤としてＢｒＯ3 を２ｐｐｍを注入したもの ＊処理筒３ アナタース型チタンに白金を担持した光触媒を網状に重ね （発明例） て充填し、酸化剤しとてＨ2 Ｏ2 を２．５ｐｐｍを注入した もの ＊処理筒４ カドミウムにニッケルを担持したものを石英ガラス製の粒 （発明例） 子状の担体にコーティングした光触媒を充填し、酸化剤とし てＯ3 を２ｐｐｍを注入したもの
してメタノールを１００ｐｐｂ溶解し、また細菌として
大腸菌を５．６×１０2 個／ｍｌ添加し、さらに有害物
質としてペンタクロロフェノールを１５０ｐｐｂ溶解し
た原水を調整した。また光化学反応処理装置として、通
常使用している紫外線照射装置、すなわちステンレス製
の処理筒（直径９０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ）の内部
に、４００ｎｍ以下の波長を有する紫外線ランプを内臓
した石英ガラス製の透過筒を１本配置した実験筒を、下
記のように処理筒１〜処理筒４の４セットを用意し、各
処理筒の内面と透過筒の外側面によって構成される空間
に、以下に示す各種の光触媒を充填した。 ＊処理筒１ アナタース型チタンを網状に重ねた光触媒を充填し、 （従来例） 酸化剤を注入しないもの ＊処理筒２ アナタース型チタンを網状に重ねた光触媒を充填し、 （発明例） 酸化剤としてＢｒＯ3 を２ｐｐｍを注入したもの ＊処理筒３ アナタース型チタンに白金を担持した光触媒を網状に重ね （発明例） て充填し、酸化剤しとてＨ2 Ｏ2 を２．５ｐｐｍを注入した もの ＊処理筒４ カドミウムにニッケルを担持したものを石英ガラス製の粒 （発明例） 子状の担体にコーティングした光触媒を充填し、酸化剤とし てＯ3 を２ｐｐｍを注入したもの
【００１２】そして、処理筒の流入管より上記の各種の
酸化剤を原水に注入し（処理筒１には酸化剤を注入しな
い）、本発明の光化学反応処理を行ったところ、第１表
のような処理結果を得た。
酸化剤を原水に注入し（処理筒１には酸化剤を注入しな
い）、本発明の光化学反応処理を行ったところ、第１表
のような処理結果を得た。
【表１】 以上の処理結果で明らかなように、従来例の酸化剤を注
入しない処理筒１より発明例の処理筒２〜４のほうが、
メタノールの除去率がよく、また大腸菌数も少なく、さ
らに有害物質であるペンタクロロフェノールの除去率が
よいことが分かる。特に、発明例の処理筒２の場合に
は、酸化剤がＢｒＯ3 であるためにペンタクロロフェノ
ールの除去効率は一段と向上する。
入しない処理筒１より発明例の処理筒２〜４のほうが、
メタノールの除去率がよく、また大腸菌数も少なく、さ
らに有害物質であるペンタクロロフェノールの除去率が
よいことが分かる。特に、発明例の処理筒２の場合に
は、酸化剤がＢｒＯ3 であるためにペンタクロロフェノ
ールの除去効率は一段と向上する。
【００１３】
【発明の効果】本発明の光化学反応処理方法によると、
光触媒の存在下において光照射による流体の有機物の酸
化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処
理を、酸化剤の添加により反応効率を改善し、また流体
と光触媒との接触面積を大きく保つために、光化学反応
処理効率は飛躍的に向上し、有機物、細菌、有害物質等
を含まない高品質の処理流体（ TOC値 1〜１０ ppb、菌
数 ０個／ｍｌ、有害物質値 ０〜５ppb ）を得ること
ができる。特に、光触媒を粒状物にコーテイングする
と、接触面積は急激に増加し、光触媒の被覆量は格段に
増加するために、光化学反応処理効率は画期的に向上
し、極めて高品質の処理流体を得ることができる。さら
に、本発明の光化学反応処理を行う紫外線照射装置にお
いては、白金担持酸化チタン等の光触媒粒子の剥離、流
出がなく、光触媒を処理流体より分離する必要がなくな
り、従来、時間がかかって面倒な沈殿分離処理装置や濾
過機、ストレーナーの設置も不要になり、装置コストを
安価にできるメリットもある。本発明の光化学反応処理
を行う紫外線照射装置によって得られる超純水やクリー
ンエアーの流体は、半導体、医薬品、原子力等において
使用することができる他に、トリハロメタン等の塩素有
機化合物やその前駆物質の分解除去、地下水や工業用水
中のトリクレン等の汚染水の処理、下水処理水のＣＯＤ
の低減、飲料水の浄化、医薬品用水よりのパイロジェン
の除去、冷却水のスライム発生の防止、湖沼水中のアオ
コや赤潮の発生防止、水中の機器や構成物への海生生物
の付着防止、プールや浴場用水の浄化、各種用水中の毒
性物質、難分解性物質の分解除去等にも活用することが
できる。
光触媒の存在下において光照射による流体の有機物の酸
化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処
理を、酸化剤の添加により反応効率を改善し、また流体
と光触媒との接触面積を大きく保つために、光化学反応
処理効率は飛躍的に向上し、有機物、細菌、有害物質等
を含まない高品質の処理流体（ TOC値 1〜１０ ppb、菌
数 ０個／ｍｌ、有害物質値 ０〜５ppb ）を得ること
ができる。特に、光触媒を粒状物にコーテイングする
と、接触面積は急激に増加し、光触媒の被覆量は格段に
増加するために、光化学反応処理効率は画期的に向上
し、極めて高品質の処理流体を得ることができる。さら
に、本発明の光化学反応処理を行う紫外線照射装置にお
いては、白金担持酸化チタン等の光触媒粒子の剥離、流
出がなく、光触媒を処理流体より分離する必要がなくな
り、従来、時間がかかって面倒な沈殿分離処理装置や濾
過機、ストレーナーの設置も不要になり、装置コストを
安価にできるメリットもある。本発明の光化学反応処理
を行う紫外線照射装置によって得られる超純水やクリー
ンエアーの流体は、半導体、医薬品、原子力等において
使用することができる他に、トリハロメタン等の塩素有
機化合物やその前駆物質の分解除去、地下水や工業用水
中のトリクレン等の汚染水の処理、下水処理水のＣＯＤ
の低減、飲料水の浄化、医薬品用水よりのパイロジェン
の除去、冷却水のスライム発生の防止、湖沼水中のアオ
コや赤潮の発生防止、水中の機器や構成物への海生生物
の付着防止、プールや浴場用水の浄化、各種用水中の毒
性物質、難分解性物質の分解除去等にも活用することが
できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/30 9262−4Ｄ 1/72 １０１ 9045−4Ｄ
Claims (4)
- 【請求項１】光触媒の存在下において紫外線、太陽光線
等の光照射によって、流体に含まれている有機物の酸化
分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処理
を行うについて、流体にＢｒＯ3 、Ｈ2 Ｏ2、Ｏ2 、Ｏ3
の酸化剤の一種または二種以上を添加して反応処理を
促進することを特徴とする流体の光化学反応処理方法。 - 【請求項２】請求項１の光触媒として、アナタース型チ
タンまたはアナタース型チタンに白金等の金属を担持さ
せたものを使用することを特徴とする流体の光化学反応
処理方法。 - 【請求項３】請求項１の光触媒を、網状やラシリング状
等の接触面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状に
したことを特徴とする流体の光化学反応処理方法。 - 【請求項４】請求項１の光触媒を、石英ガラスや硬質ガ
ラス製の粒子状の担体に、または網状やラシリング状等
の接触面積が大きく、かつ流体の通過性のよい形状にし
たものに石英ガラスや硬質ガラスを被覆した担体に、コ
ーティングしたことを特徴とする流体の光化学反応処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348505A JPH05154473A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 流体の光化学反応処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348505A JPH05154473A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 流体の光化学反応処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05154473A true JPH05154473A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18397470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3348505A Pending JPH05154473A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 流体の光化学反応処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05154473A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760132A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-03-07 | Matsushita Seiko Co Ltd | 光触媒体および光触媒体の担持方法 |
| WO1996000190A1 (en) * | 1994-06-27 | 1996-01-04 | Ronald William Arthur | Method and apparatus for photocatalytic oxidation of water-borne chemical species |
| WO1996013327A1 (fr) * | 1994-10-31 | 1996-05-09 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Structure de photocatalyseur a l'oxyde de titane et procede pour sa fabrication |
| JPH0975959A (ja) * | 1995-09-14 | 1997-03-25 | Agency Of Ind Science & Technol | オゾンと光触媒による排水の処理方法 |
| JPH09291232A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Suzuki Sogyo Co Ltd | 水生生物の付着防止材料 |
| JPH09314137A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-09 | Daikin Ind Ltd | 被処理流体処理装置 |
| FR2760445A1 (fr) * | 1997-03-04 | 1998-09-11 | Lyonnaise Eaux Eclairage | Procede de traitement d'eau contenant des impuretes organiques et des microorganismes |
| EP0824040A4 (en) * | 1996-03-04 | 2000-01-19 | Tao Inc | MOLDED BODY WITH PHOTOCATALYTIC FUNCTION |
| WO2000078680A1 (fr) * | 1999-06-21 | 2000-12-28 | Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. | Procede et appareil de purification d'eau |
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| WO2017051537A1 (en) * | 2015-09-22 | 2017-03-30 | Nitto Denko Corporation | Reticulated polymer photocatalytic air filter element |
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-
1991
- 1991-12-06 JP JP3348505A patent/JPH05154473A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010626 |