JPH05116027A

JPH05116027A - 金属を切断する工具

Info

Publication number: JPH05116027A
Application number: JP3095863A
Authority: JP
Inventors: Edward W Haug; エドワード・ダブリユー・ハウ
Original assignee: FUAUTAA M A A G KATSUTEINGU TO; Fuautaa M A A G Katsuteingu Touuruzu Lp; Pfauter MAAG Cutting Tools LP
Current assignee: FUAUTAA M A A G KATSUTEINGU TO; Fuautaa M A A G Katsuteingu Touuruzu Lp; Pfauter MAAG Cutting Tools LP
Priority date: 1990-05-24
Filing date: 1991-04-25
Publication date: 1993-05-14
Also published as: US5062742A; DE4116384A1

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】歯切形削盤カッタにおいて、切刃部分となる
金属ウエハを取付けるに際し、簡単かつ低廉で、ウエハ
に破断を促進する応力を及ぼさない、相互ロック手段を
提供する。【構成】外周に歯１４を有する円錐形鋼本体１３の下
面に通常５゜の截頭円錐面を形成する。この本体１３に
ロックのためのピン４０を設ける。切刃となる金属ウエ
ハ３０の、ピン４０に対向する位置にロック用の孔を設
ける。この孔は水平時にピン４０に係合し得ると共に、
上記截頭円錐面にウエハ３０が密着した時ピン４０の軸
線と平行となる係合直径部も有する如く形成する。組立
に当っては、ウエハ３０のロック孔を本体１３のピン４
０に合せ、心向きフランジ３７を有するクランプリング
を介し、ロックナット１８により締付け固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、形削り盤（シェーパ）
用のカッタ、特に、歯車の歯のような不規則な形状体を
切るカッタに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、かかるカッタは、本体を備え、複
数の歯が該本体の外周に沿って互いに離間し、角度を付
けて配置されている。歯先、歯側面及び歯底は、本体の
表面から内方に傾斜しており、歯の縁部はカッタの切刃
部分を形成する。このカッタは、窒化チタニウムのよう
な薄膜にて表面が被覆されていることが多い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】現在、商業的に最も広
く使用されている形削り盤用カッタの切刃部分の切れ味
が鈍くなったとき、工具の表面、従って、歯の表面を研
磨することにより再鋭利化している。しかし、かかる研
磨は多くの問題点を生じる。本出願人による米国特許第
4,576,527号は、これら問題点を解決する形削り盤用カ
ッタを開示している。該特許に開示されたカッタにおい
て、切刃部分を有する歯は、工具ホルダの歯及び表面に
取り付けられかつこれらに適合する薄い可撓性ウェーハ
上に形成され、該工具ホルダは、従来のカッタの切断本
体と基本的に同一であり、ウェーハの切断歯を保持する
働きをする。切刃部分が切れ味が鈍くなると、薄いウェ
ーハは簡単に取り外され、新しいウェーハと交換するこ
とが出来る。歯及びその表面に適合するようにウェーハ
を本体に取り付けるため、ウェーハの端面に対して位置
決めし得るようにしたクランプリングを使用する。締結
具を締め付けると、このクランプリングは薄いウェーハ
を工具本体に適合するように歪曲させ、ウェーハ及び本
体を組み立てた状態に保持する。

【０００４】ウェーハを本体にクランプした場合でさ
え、ウェーハを正確に所定の角度位置に固定しかつウェ
ーハが本体上にて回転しないようにするための手段を講
じなければならない。本出願人の先の特許において、か
かるウェーハの回転はクランプリングの穴を通って、ウ
ェーハ及び本体の切欠き内に伸長する円筒状の位置決め
ピンによって阻止している。しかし、かかる構成はピン
と屈曲し又は歪曲したウェーハとの間の係合部分が実際
的な目的のため、ピンの外周の最大90°の範囲でのみ線
接触するに過ぎないという欠点がある。ピンと穴の端部
との間のかかる制限された接触のため、ウェーハが接線
方向の切断力を受けたとき、相互に嵌合する領域に変形
が生ずる。かかる変形によりウェーハは本体に対して斜
めに移動し、その動く程度は、通常は、本体の歯によっ
て付与されるところの保持力が失われ、これによってウ
ェーハの早すぎる破断が生じる程度である。

【０００５】上記特許に開示された角度を付けた相互ロ
ック（係止）手段の欠点を解決しようとして、矩形断面
の特別なキーを備える相互ロック手段が利用されてい
る。かかるキーはウェーハ、本体及びクランプリングの
キー溝内に嵌入し、その特殊な形状のため歪曲したウェ
ーハとの接触面積が向上し、殆どの適用例において、ウ
ェーハが角度を付けて滑り出る可能性を最小にする。し
かし、かかる設計は、キーとキー溝との間に極めて厳密
な設計許容公差を必要とし、このため製造コストが増大
する。更に、その他の設計上の配慮事項のため、ウェー
ハのキー溝は鋭角な隅部を備えなければならない。これ
により応力が増大し、この応力によってウェーハが歪曲
したとき、ウェーハが破断する場合がある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の全体的な目的
は、クランプリングにロックする必要がなく、ウェーハ
を工具本体に直接ロックし得る比較的簡単でかつ低廉な
ウェーハの角度付き相互ロック手段であって、相互ロッ
ク手段の斜めの歪曲及びウェーハの斜めの滑り出しを軽
減する比較的大きい接触面積を備え、ウェーハの歯に対
して半径方向に近接した位置に位置決めされて、相互ロ
ック手段の歪曲を更に軽減し、ウェーハの破断を促進す
る高応力領域を解消し、特別な治具を使用することな
く、ウェーハを比較的迅速にかつ容易に組み立てること
を許容する相互ロック手段を提供することである。

【０００７】本発明の更に詳細な目的は、ウェーハのユ
ニークな形状の穴内に嵌まり得るようにした簡単で低廉
かつ取り付けの容易なピンにより形成される相互ロック
手段を提供することによって、上記の目的を実現しよう
とするものである。かかる穴の形状はピンとの表面接触
面積を大きくする一方、穴の半径方向の位置が接触領域
の歪曲を軽減する。

【０００８】更に具体的には、本発明は、相互ロックピ
ンを受け入れ、ウェーハを最初に平らな状態で本体に取
り付けたとき、ウェーハを斜め方向に方向決めし、その
後ウェーハをその最終的な歪曲状態に撓ませたとき、ピ
ンとの比較的大きい接触表面積を提供し得るような形状
としかつ配置された穴を備えるウェーハである。

【０００９】本発明の上記及びその他の目的並びに利点
は、添付図面と共に以下の詳細な説明を参照することに
より明らかになるであろう。

【００１０】

【実施例】本発明は、不規則な形状の各種の加工物を切
る工具に適用可能であるが、図面には説明の目的上、歯
車素材（図示せず）のような加工物に歯を切る形削り盤
カッタとして具体化した状態が図示してある。該カッタ
すなわち工具１０は、複数の歯１４が本体の外周に沿っ
て角度を付けて離間して配設された円錐形鋼本体１３を
備えている。該本体１３は、主軸アダプタ１５に取り付
けかつ加工物が同期化状態にて回転する間、主軸の軸線
ａ及び本体を中心として回転し得るようにしてある。か
かる回転中、工具は加工物に対して長手方向に往復運動
し、その下降行程中、加工物と切断係合し加工物に歯を
切る。

【００１１】工具本体１３は、ハウグ（Haug）の米国特
許第4,576,527号に開示された方法にて、主軸アダプタ
１５に形成された中央穴１６を有している。工具本体は
符号１７で示すようにその他端に端ぐり穴が加工されて
おり、主軸アダプタの下端に螺合し得るようにしたロッ
クナット１８を受け入れる。

【００１２】工具本体１３の歯１４の縁部は工具本体の
１つの面２４が歯の歯先２５及び歯側面２６、並びに歯
底２７と交差することによって形成される。該面２４
は、円錐形本体１３の大端にある。歯１４の端部２５及
び歯底２７は該面２４から内方に傾斜し、通常約４乃至
８°の範囲にあり、一般に８°が適当な角度である後方
又は逃げ角度ｃ（図３）を提供する。各歯１４の歯側面
２６は、上方に進むのに伴って相互に徐々に細くなり、
切断中、加工物を擦る動きをすることがない。

【００１３】図３に明確に示すように、工具本体１３の
面２４は截頭円錐形である。該面２４は凸状にしてもよ
いが凹状であることが望ましく、面の角度ｂは5乃至10
°とし、殆どの適用例において、5°とするのが一般的
である。

【００１４】工具１０の切刃部分が切れ味が鈍くなった
とき、その切刃部分を再鋭利化する必要がないようにす
るため、該切刃部分は薄い金属ウェーハ３０に形成し、
該ウェーハ３０は、ソリッドな工具の本体と基本的に同
一である工具本体１３の面２４に着脱可能に固定しかつ
該面２４の形状に適合するようにする。ウェーハには、
複数の歯３１が設けられており、これら歯３１は本体１
３の歯１４によって剛性に保持され、面２４に対して着
脱可能に保持される。切刃部分が切れ味が鈍くなると、
ウェーハ３０を取り外し、別のウェーハと交換する。ス
ライド３２（図８）及びウェーハの歯３１及びその間の
歯底３４の端部は、ウェーハの面と関係して配置され、
これら端縁は概ねそれぞれスライド２６、本体の歯１４
の歯先２５、及び歯底２７に適合する。ウェーハの歯は
本体の歯より大きくし、ウェーハの歯先、歯側面及び歯
底の幅の狭い（例えば、0.254mm（0.010インチ））加工
代部分が本体の歯の対応する部分を僅かに越えて伸長す
るようにすることが望ましい。ウェーハは薄い（例えば
1.27mm（0.050インチ））工具薄板にて形成し、該薄板
はその後焼入れして薄い窒化チタニウム膜で被覆するこ
とが望ましい。上述の特許にはウェーハを形成する方法
が開示されている。

【００１５】ウェーハ３０は、環状ブッシュ３６及び一
体の心向きフランジ３７により形成されたクランプリン
グ３５（図３）により工具本体１３に固着される。ブッ
シュは、主軸アダプタ１５の端ぐり穴１７に嵌入する一
方、フランジはその歯３１の歯底３４の僅かに手前に達
する。ナット１８を締付けて、クランプリング３５のフ
ランジ３７を引き寄せてウェーハと係合させることによ
り、ウェーハをクランプする。ナットを締付けると、フ
ランジ３７はウェーハを最初の偏平な状態（図３）から
屈曲させて、ウェーハを歪曲させ、ウェーハは図４に示
すように本体１３の截頭円錐形面２４と対面状態に係合
する。フランジの上面は面２４に対して平行に伸長し、
このため、ウェーハはフランジ及び本体との間にその歪
曲状態にて固くクランプされる。

【００１６】ウェーハ３０の歯３１の歯先３３は、ウェ
ーハの加工面に対して角度ｅにて形成され（図３）、こ
れら歯先はウェーハを本体１３の面２４に固着したと
き、後部角度又は逃がし角度を提供する。図示した特別
なカッタ１０において、ウェーハが歪曲して円錐形面２
４に固着された後に歯先３３によって形成される角度
は、本体１３の歯２４によって形成される角度ｃと同一
である。このように角度ｅは面角度ｄ及び外側逃がし角
度ｃの合計に等しくなり、このため、ウェーハが歪曲し
たとき、角度ｃに対応する部分のみが本体１３の軸線ａ
に対して平行な線に対する関係を維持する。例えば、面
角度ｄを5°とし、外側逃がし角度ｃを8°とした場合、
ウェーハの歯３１の歯先３３に形成される角度ｅは13°
となる。歯３１を角度ｅにて形成することにより、ウェ
ーハの歯の側面３２及び歯底３４は又後方角度が付けら
れ、切断中、加工物を擦る動作をすることがない。

【００１７】ウェーハ３０が図３の平坦な状態から図４
に示した屈曲した状態に歪曲することにより本出願人の
上記特許に詳細に記載した利点が得られるが、正確に固
定した角度又は円周位置にウェーハを効果的に固着する
点で困難が伴う。上記特許に開示したカッタにおいて、
ウェーハの斜め方向への保持は、ウェーハの切欠きに嵌
まる比較的簡単で低廉な円筒状ピンにより行われる。し
かし、この配置において、ピンと該ピンの短い周方向長
さに沿った切欠きの端縁との間には、線接触しか行われ
ず、その結果、ウェーハに付与される接線方向の切断力
により角度を付けた相互ロック領域が変形し、ウェーハ
が斜め方向に移動するのを許容する。ピンを使用しない
角度を付けた相互ロック手段が可能であるが、かかる相
互ロック手段は高価であり、その他の欠点もある。

【００１８】本発明は、比較的簡単でかつ低廉な円筒状
ピン４０を使用してユニークな斜め方向への相互ロック
手段を実現すると同時に、ウェーハとピンとの実質的な
面接触実現し、ウェーハの迅速かつ容易な取り付けを可
能にするものである。本発明の相互ロック手段により可
能となる実質的な面接触のため、歪曲したウェーハは所
定の斜め方向の位置に剛性にロックされ、大きい接線方
向の切断力を受けたときに斜め方向に移動しない。

【００１９】本発明のピン４０は円筒状鋼の短い部片に
過ぎず、研磨して焼入れ後、本体１３に形成した穴４１
（図３）内に強固に圧入又はその他の方法にて固着さ
れ、その下面２４外に広がる。好適なピンは、径4.7625
mm（3/16インチ）及び長さ9.525mm（3/8インチ）であ
り、外径101.6mm（4インチ）乃至177.8mm（7インチ）の
ウェーハに使用した場合に効果的である。ピンの軸線ｆ
は、本体１３の軸線ａに対して平行に伸長し、以下に説
明する目的上、ピンの下端４１（図６）は本体の面角度
ｄに適合することが望ましい角度の斜角が付してある。

【００２０】本発明の斜め相互ロック手段の原理を説明
するため、ピン４０と同一径の円筒状穴５０′を有する
ウェーハ３０′を示す図５を参照する。図５の点線は自
然の偏平な状態にあるウェーハを示す一方、実線は完全
に取り付けたときの歪曲した状態のウェーハを示す。

【００２１】図５を参照すると、偏平なウェーハ３０′
の穴５０′の中心線ＣＬ−１は歪曲したウェーハの穴領
域内における歪曲したウェーハの同一の穴の中心線ＣＬ
−２と交差する。換言すれば、ウェーハの歪曲中、中心
線ＣＬ−１の上の１つの特定の点Ａは、工具１０の軸線
ａに対して平行に中心線ＣＬ−１上のＡ′まで動く。ウ
ェーハが歪曲したとき、穴の端部の点Ｂ、Ｃ、Ｄ及びＥ
は横方向並びに軸方向にそれぞれ点Ｂ′、Ｃ′、Ｄ′及
びＥ′まで動く。穴の端部が横方向に動くことにより、
ウェーハが歪曲したとき、円筒状の穴は、同一径の軸方
向に伸長する円筒状ピンを受け入れることが出来ず、ピ
ンを妨害する。

【００２２】本発明によれば、ウェーハ３０は、穴５０
が形成され、その上端及び下端はユニークな形状を備え
ており、ウェーハを取り付けかつ歪曲させたとき、軸方
向に伸長する円筒状ピン４０を妨害することなく、これ
と同時に完全に歪曲したウェーハとピンとの間に相当な
面接触領域を形成し、ウェーハを剛性な角度を付けた位
置に固着する。上述のことは、ウェーハ３０がその最初
の偏平な状態からその完全に歪曲した状態に歪曲したと
きの穴５０の最終的な形状を形成することにより実現さ
れる。

【００２３】より具体的には、穿孔又はレーザ切断のよ
うな従来の技術により偏平なウェーハの軸線に対して平
行にウェーハ３０に適当な径（例えば4.7625mm（3/16イ
ンチ）のピン４０の場合、4.191mm（0.165インチ））の
円筒状の粗加工穴を最初に形成する。その後、ウェーハ
を焼き入れしかつ研磨し、ウェーハを半径方向に位置決
めする中心主軸６１と、ウェーハの１つの歯３１に係合
しかつウェーハを斜めに保持する位置決め手段６２とを
備える治具６０（図９）上に配置する。本体１３の面２
４に対応する形状の截頭円錐形状面６４を有するアンビ
ル６３が主軸を囲繞する。

【００２４】ウェーハ３０が偏平な状態にてアンビル６
３上に着座する間、立方晶窒化硼素から成るホーン６５
（図９）を主軸６６によって回転させ、粗加工の穴５０
を通じて前進させる。該ホーン６５はその下端に僅かな
導入テーパーが付けられた点を除いて円筒状であり、こ
の場合、4.8006mm（0.189インチ）乃至4.8133mm（0.189
5インチ）の範囲の径を有している。該ホーン６５の軸
線は偏平なウェーハ３０の軸線に対して平行である。

【００２５】ホーン６５は、穴５０を通って往復運動し
該穴５０をホーンの径に対応する径まで広げる。ホーン
が穴５０の中にあるとき、圧力板６７（図９）を前進さ
せてウェーハ３０を歪曲させ、アンビル６３の截頭円錐
形面６４に係合させる。ウェーハが歪曲すると、ホーン
６５は穴５０内で上下にゆっくりと往復運動する。

【００２６】ホーン６５が穴５０内で回転する際、ウェ
ーハ３０を歪曲させることにより、不規則でかつ非円筒
状の形状の穴が形成される。具体的には、図６を参照す
ると、穴５０の上端部分には、その外周の約１／２に沿
って円筒状部分７０が形成され、及びその外周の残りの
部分に沿って下方に斜角を付した部分７１が形成され
る。これに対し、穴の下方部分には、円筒状部分７０の
下方になる上方に斜角を付した部分７３と、下方に斜角
を付した部分７１の下方になる円筒状部分７４とが形成
される。要するに、円筒状部分７１、７３は、円筒状部
分７０、７４に対する角度ｄに等しい角度で配置され、
後者の２つの面は同一のシリンダ上にある。

【００２７】上述の形状の穴５０は、ウェーハ３０が偏
平なとき（図６を参照）、ピン４０を受け入れる一方、
ウェーハ３０が歪曲したとき、ピン４０を受け入れるた
めの隙間を提供する。ウェーハ３０が歪曲すると、穴５
０の円筒状部分７０、７４は該ピン４０から横方向に動
いて離反し、穴５０がピン４０を受け入れるのを許容す
ると同時に、斜角を付した部分７１、７３はピン４０の
方向に動いて該ピン４０と最終的に係合する（図７を参
照）。ウェーハ３０が完全に歪曲した位置にあるとき、
穴の上方の斜角を付した部分７１はその外周の約1/2に
沿ってピンにきちっと係合する一方、穴の下方の斜角を
付した部分７３はその外周の他の部分に沿ってピンにき
ちっと係合する。ウェーハが完全に歪曲したとき、上方
円筒状部分７０はピンの一側部に沿って該ピンから離間
され、下方円筒状部分７４はその反対側側部に沿って該
ピンから離間される。

【００２８】ピン４０と歪曲したウェーハ３０の穴５０
の斜角を付した部分７１、７３とがきちっと面対面の関
係で接触するため、ウェーハに接線方向の切断力が付与
されたとき、ウェーハの穴領域の周囲には、比較的僅か
な変形しか生じない。動力学による切断工程中、接線方
向の切断力は、ウェーハをピンに対して後方に移動させ
る傾向となり、その結果、実際の接線方向の切断力はピ
ンの導入側の抵抗を受ける一方、ピンの後端側及び穴の
隣接側には圧力が加わらない。図７Ａは、穴５０の線図
的な断面図であり、実際の切断工程中の穴５０とピン４
０の導入側との間の接触領域を示している。穴５０の斜
角を付した部分７１は、ピンの導入側の外周の約90°に
沿ってピンの上方部分に係合し、図７ＡにＳＣＡ−１と
して斜線を付して示した面接触領域の上方に係合する。
穴の斜角を付した部分７３は導入側の残りの90°に沿っ
てピンの下端部分に係合する。この後者の係合領域は、
図７ＡにＳＣＡ−２として斜線を付して示した領域であ
る。故に、動力学による切断工程中、ピンの導入側の約
180°に沿って、穴とピンとの間には面接触が行われ、
相互ロック領域における変形を少なくし、ウェーハの有
用寿命中、ウェーハを斜め方向の位置に剛性にロックさ
れた状態に維持する。

【００２９】上述のように、ピン４０の下端４１は、概
ねウェーハ３０の歪曲角度ｄに従って斜角が付してあ
る。その結果、ピンは、ピンの下端４１がクランプリン
グ３５に係合したり該リング３５を妨害することなく可
能な限り深く穴５０内に伸長することが出来る。

【００３０】ウェーハ３０の取り付けを簡単にするた
め、ウェーハ３０がクランプリング３５の上に平らに着
座し、リングを締め付けてウェーハを歪曲させる前、ピ
ン４０は穴５０内に伸長することが望ましい。ウェーハ
が偏平である間にピンが穴５０内に伸長する結果、ピン
自体はクランプを締め付ける間、ウェーハを所定の斜め
位置に保持し、取り付け中、ウェーハを斜め方向に保持
する特殊な治具を使用することが不要となる。試験の結
果、ピンの最下方点８０（図７）は、ウェーハが偏平な
とき、少なくとも0.010インチだけ穴５０内に伸長し、
ピンがクランプリング３５を締め付けたとき、ウェーハ
を斜め方向に方向決めされた状態に維持する。

【００３１】５以下の直径方向ピッチを有する殆どのカ
ッタ１０の場合、ウェーハが偏平であるならば、ピン４
０が穴５０内に貫入する最小距離は、0.254mm（0.010イ
ンチ）とし、ウェーハが偏平である場合、穴の軸線はウ
ェーハの歯３１の歯底３４から3/16インチの距離ｘ（図
８）の位置にある。かかる穴の位置により又、穴は歯に
近接し、穴を歯に近接して位置決めし、穴に隣接するウ
ェーハを破断させることなく接線方向の切断力によって
ピンに付与される力を軽減することが可能となる。ウェ
ーハの外径対その内径との比により、該内径から歯の歯
底３４までの距離が9.525mm（3/8インチ）以下である極
端な場合、穴５０は通常、内径と歯の歯底との間の中間
に位置決めし、より小径のピンを使用しなければならな
い。補強の目的上、穴の軸線は、工具３１の中心線に沿
って位置決めすることが望ましい。

【００３２】不規則な形状の穴５０をホーン６５によっ
て形成される穴として具体的に開示したが、放電機械加
工のようなその他の技術を使用することも出来る。又、
ピン４０は必ずしも円筒状である必要はなく、楕円形又
はその他の適当な形状であってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の新規でかつ改良された角度を付けた相
互ロック手段を備える切断工具の部分断面図である。

【図２】図１に示した工具の底面図である。

【図３】ウェーハをその歪曲した状態に屈曲させる直前
におけるウェーハを示す図１に示した工具の一部の拡大
図である。

【図４】ウェーハがその歪曲した状態に完全に屈曲した
後のウェーハを示す図３と同様の図である。

【図５】ウェーハの偏平な状態及び歪曲した状態におけ
る穴の位置の相違を示す従来の円筒状穴を備えるウェー
ハの略図である。

【図６】ウェーハがその偏平な状態にある間に穴内に受
け入れられた相互ロックピンを示す著しい拡大図であ
る。

【図７】ウェーハがその歪曲した状態に屈曲した後のウ
ェーハ内に受け入れられたピンを示す図６と同様の図で
ある。図７Ａは切断工程中の穴とピンとの間の斜め方向
かつ軸方向接触面積を示す略図である。

【図８】ウェーハの穴の好適な位置を示すウェーハの拡
大部分平面図である。

【図９】ウェーハに特殊な形状の穴を形成する配置状態
の断面図である。

【符号の説明】

１０形削り盤（シェーパ）カッタ１３円錐形鋼本
体１５主軸アダプタ２４截頭円錐形
面３０金属ウェーハ３５クランプリ
ング３６環状ブッシュ３７フランジ４０円筒状ピン６０治具６１主軸６３アンビル６４截頭円錐形面６５ホーン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属を切断する工具にして、円形断面及
び前端面を有し、前記前端面が概ね截頭円錐形であり、
更に、前記前端面に隣接して前記本体の外周に形成され
かつ前記本体に沿って角度を成して離間された複数の半
径方向に伸長する歯と、前記本体の前記前端面の前方に
配置されかつその外周に沿って斜め方向に離間された複
数の半径方向に伸長する切断歯を有する薄くかつ可撓性
の薄板金属ウェーハを備え、前記ウェーハの切断歯の数
が前記本体上の歯の数に等しく、前記ウェーハの各切断
歯が前記本体の１つの歯と角度を成して整合され、前記
ウェーハの切断歯が前記本体の対応する歯よりもその歯
先、歯側面及び歯底にて大きく、これにより、ウェーハ
の切断歯が前記本体の歯の歯先、歯側面及び歯底を僅か
に越えて伸長し、更に、前記ウェーハを前記截頭円錐形
前面に対して歪曲状態にかつ剛性な対面状態に保持する
手段を備え、これにより、前記ウェーハの切断歯が前記
本体の歯によって保持され、更に、前記ウェーハが前記
本体に対して回転するのを阻止する回転阻止手段であっ
て、前記本体の穴と、前記ウェーハの整合させた外周方
向に連続的な穴とを有する回転阻止手段と、前記本体の
穴内に固定され、前記ウェーハの穴内に伸長するピンと
を備え、前記ウェーハの穴が第１及び第２の端部分を有
し、前記ウェーハの穴が離間されて前記穴の第１の端部
分がピンの一側部に沿って前記ピンに係合しかつピンの
反対側側部に沿ってピンから離間される一方、前記穴の
第２の端部分がピンの前記反対側側部に沿って前記ピン
に係合しかつピンの前記一側部に沿って離間されるよう
にしたことを特徴とする工具。
【請求項２】請求項１の工具にして、前記ピンが概ね
円筒状でありかつ前記本体の軸線に対して概ね平行に伸
長することを特徴とする工具。
【請求項３】請求項１の工具にして、前記保持手段
が、クランプリングを備え、前記ウェーハが前記本体と
前記クランプリングとの間に挟持され、前記ウェーハの
穴が前記クランプリングにより覆われ、クランプリング
に隣接するピンの端部が斜角を付されて前記端部が前記
クランプリングに係合するのを阻止し得るようにするこ
とを特徴とする工具。
【請求項４】請求項３の工具にして、前記ウェーハが
前記本体の軸線に対して所定の角度にて歪曲され、前記
ピンが前記本体の軸線に対して概ね平行に伸長しかつ前
記ピンの前記端部が概ね前記所定の角度の斜角が付され
ることを特徴とする工具。
【請求項５】請求項１の工具にして、前記ウェーハが
前記本体の軸線に対して所定の角度にて歪曲され、前記
ピンが前記本体の軸線に対して概ね平行に伸長し、前記
ピンの一端が前記ウェーハの穴内に配置されかつ概ね前
記所定の角度の斜角が付され、前記ピンの前記一端が前
記ウェーハの前面の僅か手前に達することを特徴とする
工具。
【請求項６】請求項２の工具にして、前記本体の前端
面が凹状であることを特徴とする工具。
【請求項７】請求項６の工具にして、前記ウェーハの
切断歯の歯先、歯側面及び歯底が前記本体に向けて内方
に傾斜し、後方角度を形成することを特徴とする工具。
【請求項８】請求項２の工具にして、前記ピンが十分
な長さを備え、前記穴が半径方向に位置決めされ、前記
ウェーハを前記本体に最初に取り付けるが、前記ウェー
ハを前記歪曲した位置に向けて歪曲させる前、前記ピン
が前記ウェーハの穴内に伸長するようにしたことを特徴
とする工具。
【請求項９】請求項８の工具にして、前記ウェーハを
最初に前記本体に取り付けるが、前記ウェーハを歪曲さ
せ前記歪曲状態にする前、前記ピンの一部分が前記ウェ
ーハの穴内に少なくとも0.254mm（0.010インチ）の距離
だけ伸長するようにしたことを特徴とする工具。
【請求項１０】請求項２の工具にして、前記穴の第１
の端部分がその外周の約1/2に沿って円筒状部分と、そ
の外周の他の部分に沿って斜角を付した部分とを備え、
前記穴の第２の端部分が前記斜角を付した部分と概ね周
方向に整合させた円筒状部分と、前記穴の第１の端部分
の円筒状部分と概ね周方向に整合させた逆方向に斜角を
付した部分とを備え、前記穴の前記第２の端部分が各々
約180°離間されることを特徴とする工具。