JPH05107313A - Load condenser connection circuit for ic tester - Google Patents
Load condenser connection circuit for ic testerInfo
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- JPH05107313A JPH05107313A JP3296546A JP29654691A JPH05107313A JP H05107313 A JPH05107313 A JP H05107313A JP 3296546 A JP3296546 A JP 3296546A JP 29654691 A JP29654691 A JP 29654691A JP H05107313 A JPH05107313 A JP H05107313A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】ＩＣ試験器では、測定するＩＣに
コンデンサや抵抗などの負荷を接続して検査する。この
発明は、負荷コンデンサを接続するときの過渡現象を少
なくする回路についてのものである。[Industrial application] In the IC tester, a load such as a capacitor or a resistor is connected to the IC to be measured for inspection. The present invention relates to a circuit that reduces transient phenomena when connecting a load capacitor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＩＣの試験をする場合、その出力端子に
は100 ｐＦ程度の負荷コンデンサを接続し、ＩＣが実際
に使用されるときに近い条件にする。ＩＣは入力端子、
出力端子の他に双方向機能をもつ端子がある。この双方
向機能をもつ端子はＩＣの内部動作または外部からの信
号で入力端子になったり、出力端子になったりする。2. Description of the Related Art When testing an IC, a load capacitor of about 100 pF is connected to the output terminal of the IC to make the conditions close to when the IC is actually used. IC is an input terminal,
In addition to output terminals, there are terminals with bidirectional functions. The terminal having the bidirectional function serves as an input terminal or an output terminal according to an internal operation of the IC or a signal from the outside.
【０００３】双方向機能をもつ端子に常に負荷コンデン
サを接続してＩＣを試験をすると、出力端子として動作
しているときの試験については負荷コンデンサを接続し
ての性能が評価できるが、入力端子として動作している
ときには、検査のためにＩＣに信号を与えるための信号
源の出力インピーダンスと負荷コンデンサによって決ま
る時定数に従って、ＩＣに入力する信号の立上り、立下
がり時間が増大し、タイミング検査精度を悪化させる問
題があり、従来から双方向機能をもった端子に対して
は、その端子が出力端子として動作するときにのみ負荷
コンデンサを接続するように構成される。When a load capacitor is always connected to a terminal having a bidirectional function and an IC is tested, the performance when the load capacitor is connected can be evaluated for the test when operating as an output terminal. , The rise time and fall time of the signal input to the IC increases according to the time constant determined by the output impedance of the signal source and the load capacitor for applying the signal to the IC for the inspection, and the timing inspection accuracy For a terminal having a bidirectional function, a load capacitor is connected only when the terminal operates as an output terminal.
【０００４】次に、従来技術によるＩＣ試験器の負荷コ
ンデンサ接続回路を図３により説明する。図３の１は制
御回路、２は出力インピーダンスの低い増幅器、３は負
荷コンデンサ、４は抵抗、５Ａと５Ｃはスイッチ、５Ｂ
はインバータ、６は同軸ケーブル、７は測定されるＩ
Ｃ、７ａはＩＣ７の双方向機能をもった端子、８は基準
電源、９は比較器である。Next, a load capacitor connection circuit of an IC tester according to the prior art will be described with reference to FIG. In FIG. 3, 1 is a control circuit, 2 is an amplifier having a low output impedance, 3 is a load capacitor, 4 is a resistor, 5A and 5C are switches, and 5B.
Is an inverter, 6 is a coaxial cable, 7 is the measured I
C and 7a are terminals having a bidirectional function of the IC 7, 8 is a reference power supply, and 9 is a comparator.
【０００５】図３の制御回路１は図示を省略したテスト
プログラムに従ってＩＣ７に与えるテストパターン信号
１１とＩ／Ｏ切換信号１２を発生するとともに、電圧判
定信号１３をテストプログラムの期待値と比較し、ＩＣ
７の良否を判定する。The control circuit 1 of FIG. 3 generates a test pattern signal 11 and an I / O switching signal 12 to be given to the IC 7 according to a test program (not shown), compares the voltage judgment signal 13 with an expected value of the test program, IC
The quality of 7 is judged.
【０００６】ＩＣ７の端子７ａが入力端子として動作し
ている場合は、Ｉ／Ｏ切換信号１２によりスイッチ５Ａ
がオン、スイッチ５Ｃがオフ状態に制御され、テストパ
ターン信号１１は増幅器２から抵抗４を通って同軸ケー
ブル６に対してインピーダンス整合をされたのち、ＩＣ
７に供給される。抵抗４は45Ω程度のものを使用する。When the terminal 7a of the IC 7 operates as an input terminal, the switch 5A is activated by the I / O switching signal 12.
Is turned on and the switch 5C is turned off, and the test pattern signal 11 is impedance-matched to the coaxial cable 6 from the amplifier 2 through the resistor 4 and then the IC.
7 is supplied. Resistor 4 is about 45Ω.
【０００７】増幅器２は出力インピーダンスの低い増幅
器であり、同軸ケーブル６の特性インピーダンス値の１
／１０以下程度に出力インピーダンスを下げてある。こ
のとき、スイッチ５Ｃはオフなので、負荷コンデンサ３
はＩＣ７に供給される信号の立上り時間を悪化させるこ
とはない。The amplifier 2 is an amplifier having a low output impedance and has a characteristic impedance value of 1 of the coaxial cable 6.
The output impedance is lowered to about / 10 or less. At this time, since the switch 5C is off, the load capacitor 3
Does not deteriorate the rise time of the signal supplied to the IC 7.
【０００８】一方、ＩＣ７の端子７ａが出力端子として
動作する場合は、Ｉ／Ｏ切換信号１２により、スイッチ
５Ａがオフ、５Ｂがオンとなり、負荷コンデンサがＩＣ
７の端子７ａに接続される。そして、端子７ａの出力電
圧は比較器９で、基準電源８の電圧と比較され、その結
果を制御回路１に電圧判定信号１３として与える。スイ
ッチには、一般には端子７ａの入力と出力を高速に切り
換えるため、ダイオードスイッチやＦＥＴスイッチを用
いる。On the other hand, when the terminal 7a of the IC 7 operates as an output terminal, the switch 5A is turned off and the switch 5B is turned on by the I / O switching signal 12, and the load capacitor is turned on.
7 is connected to the terminal 7a. Then, the output voltage of the terminal 7a is compared with the voltage of the reference power source 8 by the comparator 9, and the result is given to the control circuit 1 as the voltage determination signal 13. Generally, a diode switch or a FET switch is used for the switch in order to switch the input and output of the terminal 7a at high speed.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ＩＣ７の双方向端子７
ａを入力と出力に切り換えるには高速動作が要求される
が、図３では、Ｉ／Ｏ切換信号１２によりスイッチ５Ｃ
をオフからオンにし、負荷コンデンサ３を接続した時、
その直前までに負荷コンデンサ３に蓄えられた電荷が同
軸ケーブル６を経由してＩＣ７に加えられるため、端子
７ａの波形が影響を受け、比較器９の電位判定動作に誤
差を与えるという問題があった。例えば、負荷コンデン
サ３の初期電荷の放電に20〜50ｎｓを要したので、その
期間内は検査の信頼が低かった。この発明は、負荷コン
デンサ３が接続されない状態では、常に放電状態となる
負荷コンデンサ接続回路の提供を目的とする。Bidirectional terminal 7 of IC 7
High-speed operation is required to switch a to input and output, but in FIG. 3, the switch 5C is activated by the I / O switching signal 12.
When the load capacitor 3 is connected from off to on,
Just before that, the charge accumulated in the load capacitor 3 is applied to the IC 7 via the coaxial cable 6, so that there is a problem that the waveform of the terminal 7a is affected and an error occurs in the potential determination operation of the comparator 9. It was For example, since it took 20 to 50 ns to discharge the initial charge of the load capacitor 3, the reliability of the inspection was low during that period. An object of the present invention is to provide a load capacitor connecting circuit which is always in a discharged state when the load capacitor 3 is not connected.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、テストパターン信号１１とＩ／Ｏ切
換信号１２を出力する制御回路１と、制御回路１のテス
トパターン信号１１を入力とする出力インピーダンスの
低い増幅器２と、増幅器２の出力をＩＣ７の双方向端子
７ａに入力し、双方向端子７ａからの出力を入力とし、
基準電源８の出力と比較する比較器９とを備え、比較器
９から出る電圧判定信号１３によりＩＣ７を試験するＩ
Ｃテスタにおいて、増幅器２の出力と直列に接続される
負荷コンデンサ３と、負荷コンデンサ３の出力と双方向
端子７ａの間に直列に接続される抵抗４と、負荷コンデ
ンサ３に並列に接続され、Ｉ／Ｏ切換信号１２によりオ
ン／オフするするスイッチ５Ａと、Ｉ／Ｏ切換信号１２
を反転させるインバータ５Ｂと、抵抗４に並列に接続さ
れ、インバータ５Ｂの出力によりオン／オフするスイッ
チ５Ｃを備え、Ｉ／Ｏ切換信号１２によりスイッチ５Ａ
をオン、スイッチ５ＣをオフにしてＩＣ７に信号を入力
し、Ｉ／Ｏ切換信号１２によりスイッチ５Ａをオフ、ス
イッチ５ＣをオンにしてＩＣ７の出力を比較器９に入力
する。To achieve this object, according to the present invention, a control circuit 1 for outputting a test pattern signal 11 and an I / O switching signal 12, and a test pattern signal 11 for the control circuit 1 are input. The amplifier 2 having a low output impedance and the output of the amplifier 2 are input to the bidirectional terminal 7a of the IC 7, and the output from the bidirectional terminal 7a is input.
A comparator 9 for comparing with the output of the reference power supply 8 is provided, and the IC 7 is tested by the voltage judgment signal 13 output from the comparator 9.
In the C tester, the load capacitor 3 connected in series with the output of the amplifier 2, the resistor 4 connected in series between the output of the load capacitor 3 and the bidirectional terminal 7a, and the load capacitor 3 connected in parallel, A switch 5A which is turned on / off by the I / O switching signal 12 and the I / O switching signal 12
An inverter 5B that inverts the switch and a switch 5C that is connected in parallel to the resistor 4 and that turns on / off according to the output of the inverter 5B.
Is turned on and the switch 5C is turned off to input a signal to the IC 7, and the I / O switching signal 12 turns off the switch 5A and turns on the switch 5C to input the output of the IC 7 to the comparator 9.
【００１１】[0011]
【作用】次に、この発明によるＩＣ試験器の負荷コンデ
ンサ接続回路を図１により説明する。図１では、負荷コ
ンデンサ３と抵抗４を直列にして増幅器２の出力と双方
向端子７ａの間に接続する。負荷コンデンサ３にはスイ
ッチ５Ａを並列に接続し、抵抗４にはスイッチ５Ｃを並
列に接続する。制御回路１からのＩ／Ｏ切換信号１２は
スイッチ５Ａにはそのまま接続され、スイッチ５Ｃには
インバータ５Ｂで反転されて接続される。したがって、
スイッチ５Ａがオンのときは、スイッチ５Ｃはオフにな
り、スイッチ５Ａがオフのときは、スイッチ５Ｃはオン
になる。Next, the load capacitor connection circuit of the IC tester according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, the load capacitor 3 and the resistor 4 are connected in series between the output of the amplifier 2 and the bidirectional terminal 7a. A switch 5A is connected in parallel to the load capacitor 3, and a switch 5C is connected in parallel to the resistor 4. The I / O switching signal 12 from the control circuit 1 is directly connected to the switch 5A and is inverted and connected to the switch 5C by the inverter 5B. Therefore,
When the switch 5A is on, the switch 5C is off, and when the switch 5A is off, the switch 5C is on.
【００１２】ＩＣ７の端子７ａが入力端子として動作す
る場合は、スイッチ５Ａをオン、スイッチ５Ｃをオフに
することにより、増幅器２の出力は抵抗４でインピーダ
ンス整合された後、同軸ケーブル６を経由してＩＣ７の
双方向端子７ａに検査のための信号を与える。この状態
では、負荷コンデンサ３の電荷はスイッチ５Ａで放電さ
れる。When the terminal 7a of the IC 7 operates as an input terminal, by turning on the switch 5A and turning off the switch 5C, the output of the amplifier 2 is impedance-matched by the resistor 4 and then passed through the coaxial cable 6. Then, a signal for inspection is applied to the bidirectional terminal 7a of the IC7. In this state, the charge of the load capacitor 3 is discharged by the switch 5A.
【００１３】端子７ａを出力端子として動作させる場合
は、スイッチ５Ａをオフ、スイッチ５Ｃをオンにする。
負荷コンデンサ３の一方の端子は増幅器２の出力に接続
され、他端はスイッチ５Ｃと同軸ケーブル６を通して、
ＩＣ７に接続される。負荷コンデンサ３を接続する時点
ではテストパターン信号１１の状態は変化させないの
で、増幅器２の出力は接地点と等価になる。When operating the terminal 7a as an output terminal, the switch 5A is turned off and the switch 5C is turned on.
One terminal of the load capacitor 3 is connected to the output of the amplifier 2 and the other end is connected to the switch 5C and the coaxial cable 6,
Connected to IC7. Since the state of the test pattern signal 11 is not changed at the time of connecting the load capacitor 3, the output of the amplifier 2 becomes equivalent to the ground point.
【００１４】次に、図１の動作を図２の波形図を参照し
て説明する。図２アはＩ／Ｏ切換信号１２の波形図であ
り、図２イはテストパターン信号１１の波形図である。
図２ウは双方向端子７ａの波形図である。図２の時刻Ｔ
2 まではドライバモードであり、制御回路１のテストパ
ターン信号１１をＩＣ７に与える。時刻Ｔ2 以降はコン
パレータモードであり、ＩＣ７の出力電圧を比較器９で
判定する。Next, the operation of FIG. 1 will be described with reference to the waveform chart of FIG. FIG. 2A is a waveform diagram of the I / O switching signal 12, and FIG. 2A is a waveform diagram of the test pattern signal 11.
FIG. 2C is a waveform diagram of the bidirectional terminal 7a. Time T in FIG.
Up to 2 is in the driver mode, and the test pattern signal 11 of the control circuit 1 is given to the IC 7. After time T2, the comparator mode is set, and the output voltage of the IC 7 is determined by the comparator 9.
【００１５】ドライバモードでは、テストパターン信号
１１に従って、時刻Ｔ1 でＩＣ７に与える電位がＶILか
らＶIHに変化する。電位ＶILと電位ＶIHはＩＣ７を試験
するための入力レベルであり、例えば電位ＶILを0.8 Ｖ
とし、電位ＶIHを2.4 Ｖとする。コンパレータモードに
切り換わる時刻Ｔ2 の直前までは、スイッチ５Ａはオン
で、負荷コンデンサ３の負荷を放電する。例えば、時刻
Ｔ1 から時刻Ｔ2 は、テストプログラムによるが、最小
値は５ｎｓ程度であり、時刻Ｔ2 から時刻Ｔ3もテスト
プログラムやＩＣ７の回路によるが最小値は５ｎｓ程度
である。In the driver mode, the potential applied to the IC 7 changes from V IL to V IH at time T1 according to the test pattern signal 11. The potential V IL and the potential V IH are input levels for testing the IC7. For example, the potential V IL is 0.8 V.
And the potential V IH is set to 2.4 V. Until immediately before the time T2 when the mode is switched to the comparator mode, the switch 5A is on and the load of the load capacitor 3 is discharged. For example, the minimum value is about 5 ns from time T1 to time T2 depending on the test program, and the minimum value is also about 5 ns from time T2 to time T3 depending on the test program and the circuit of IC7.
【００１６】同軸ケーブル６は電位ＶIHに充電される。
この状態で、コンパレータモードに切り換えるが、テス
トパターン信号１１は変化させないため、同軸ケーブル
６には電荷をもたない負荷コンデンサ３が、同軸ケーブ
ル６の充電電圧と等しい電圧の増幅器２の出力との間に
接続される。The coaxial cable 6 is charged to the potential V IH .
In this state, the mode is switched to the comparator mode, but since the test pattern signal 11 is not changed, the load capacitor 3 having no electric charge in the coaxial cable 6 is connected to the output of the amplifier 2 having a voltage equal to the charging voltage of the coaxial cable 6. Connected in between.
【００１７】時刻Ｔ2 でＩＣ７の端子７ａが出力端子に
なると、ＩＣ７の出力インピーダンスと負荷コンデンサ
３の静電容量値でほぼ決まる時定数に従って端子７ａの
電圧は、その解放電圧をＶOXに近づいていく。点線の波
形は時刻Ｔ3 で端子７ａが出力端子の機能になった場合
を示す。図２では、検査結果が不確かになる時間帯はス
イッチの切換時間、同軸ケーブルの伝播時間で決まる５
ｎｓ以下である。When the terminal 7a of the IC 7 becomes an output terminal at time T2, the voltage of the terminal 7a approaches its release voltage to V OX according to a time constant which is substantially determined by the output impedance of the IC 7 and the capacitance value of the load capacitor 3. Go The dotted waveform shows the case where the terminal 7a functions as an output terminal at time T3. In Fig. 2, the time when the test result is uncertain depends on the switching time of the switch and the propagation time of the coaxial cable.
ns or less.
【００１８】[0018]
【発明の効果】この発明によれば、負荷コンデンサは電
荷が放電された状態で接続され、負荷コンデンサの接続
によるＩＣの出力波形の変動がないので、双方向機能を
もった端子を高速動作で検査することができる。According to the present invention, since the load capacitor is connected in the state where the electric charge is discharged and the output waveform of the IC does not change due to the connection of the load capacitor, the terminal having the bidirectional function can be operated at high speed. Can be inspected.
【図１】この発明によるＩＣ試験器の負荷コンデンサ接
続回路の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a load capacitor connection circuit of an IC tester according to the present invention.
【図２】図１の各部の波形図である。FIG. 2 is a waveform diagram of each part of FIG.
【図３】従来技術によるＩＣ試験器の負荷コンデンサ接
続回路の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a load capacitor connection circuit of an IC tester according to a conventional technique.
１ 制御回路 ２ 増幅器 ３ 負荷コンデンサ ４ 抵抗 ５Ａ スイッチ ５Ｂ インバータ ５Ｃ スイッチ ６ 同軸ケーブル ７ ＩＣ ７ａ 双方向端子 ８ 基準電源 ９ 比較器 １１ テストパターン信号 １２ Ｉ／Ｏ切換信号 １３ 電圧判定信号 1 Control Circuit 2 Amplifier 3 Load Capacitor 4 Resistance 5A Switch 5B Inverter 5C Switch 6 Coaxial Cable 7 IC 7a Bidirectional Terminal 8 Reference Power Supply 9 Comparator 11 Test Pattern Signal 12 I / O Switching Signal 13 Voltage Judgment Signal
Claims (1)
号(12)を出力する制御回路(1) と、制御回路(1) のテス
トパターン信号(11)を入力とする出力インピーダンスの
低い増幅器(2) と、増幅器(2) の出力をＩＣ(7) の双方
向端子(7a)に入力し、双方向端子(7a)からの出力を入力
とし、基準電源(8) の出力と比較する比較器(9) とを備
え、比較器(9) から出る電圧判定信号(13)によりＩＣ
(7) を試験するＩＣ試験器において、 増幅器(2) の出力に直列に接続される負荷コンデンサ
(3) と、 負荷コンデンサ(3) の出力と双方向端子(7a)の間に直列
に接続される抵抗(4)と、 負荷コンデンサ(3) に並列に接続され、Ｉ／Ｏ切換信号
(12)によりオン・オフするする第１のスイッチ(5A)と、 Ｉ／Ｏ切換信号(12)を反転させるインバータ(5B)と、 抵抗(4) に並列に接続され、インバータ(5B)の出力によ
りオン・オフする第２のスイッチ(5C)とを備え、 Ｉ／Ｏ切換信号(12)により第１のスイッチ(5A) をオ
ン、第２のスイッチ(5C)をオフにしてＩＣ(7) に信号を
入力し、Ｉ／Ｏ切換信号(12)により第１のスイッチ(5A)
をオフ、第２のスイッチ(5C)をオンにしてＩＣ(7) の出
力を比較器(9)に入力することを特徴とするＩＣ試験器
の負荷コンデンサ接続回路。1. A control circuit (1) that outputs a test pattern signal (11) and an I / O switching signal (12), and a low output impedance that receives the test pattern signal (11) of the control circuit (1) as an input. Input the output of the amplifier (2) and the amplifier (2) to the bidirectional terminal (7a) of the IC (7), and use the output from the bidirectional terminal (7a) as the input and compare it with the output of the reference power supply (8). And a comparator (9) for operating, and the IC is operated by the voltage judgment signal (13) output from the comparator (9).
In the IC tester that tests (7), a load capacitor connected in series with the output of the amplifier (2).
(3), the resistor (4) connected in series between the output of the load capacitor (3) and the bidirectional terminal (7a), and the resistor (4) connected in parallel with the load capacitor (3), and the I / O switching signal.
It is connected in parallel to the first switch (5A) that turns on / off by (12), the inverter (5B) that inverts the I / O switching signal (12), and the resistor (4). It is equipped with a second switch (5C) that is turned on and off by an output, and turns on the first switch (5A) by the I / O switching signal (12) and turns off the second switch (5C) to turn off the IC (7 ) To the first switch (5A) by the I / O switching signal (12)
Is turned off, the second switch (5C) is turned on, and the output of the IC (7) is input to the comparator (9). A load capacitor connection circuit for an IC tester.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP3296546A JP3049880B2 (en) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | Load capacitor connection circuit of IC tester |
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| JPH05107313A true JPH05107313A (en) | 1993-04-27 |
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|---|---|---|---|---|
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- 1991-10-17 JP JP3296546A patent/JP3049880B2/en not_active Expired - Fee Related
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