JPH05105206A - Airtight stocker for clean room - Google Patents
Airtight stocker for clean roomInfo
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- JPH05105206A JPH05105206A JP3269781A JP26978191A JPH05105206A JP H05105206 A JPH05105206 A JP H05105206A JP 3269781 A JP3269781 A JP 3269781A JP 26978191 A JP26978191 A JP 26978191A JP H05105206 A JPH05105206 A JP H05105206A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて、半導体ウエハカセット等を一時的に保管するクリ
ーンルーム用気密ストッカーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room airtight stocker for temporarily storing semiconductor wafer cassettes and the like in a clean room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の処理は、従来は、ウエハのパー
ティクル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の
高密度化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面
の自然酸化膜の影響が問題となり始め、この自然酸化膜
の成長を防止するため、ウエハの移動、搬送等を不活性
ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2Ｏの濃度が１０
０ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。2. Description of the Related Art In semiconductor processing, conventionally, the particle contamination of the wafer has been a problem, but as the density of semiconductor integrated circuits has increased, the influence of a natural oxide film on the wafer surface due to oxygen in the air has become a problem. In order to prevent the growth of this natural oxide film, it becomes necessary to move and transfer the wafer in an inert gas (N 2 gas) atmosphere. Currently, the concentration of O 2 is 10 ppm or less and H 2 O concentration is 10
An N 2 gas atmosphere of 0 ppm or less is required.
【０００３】このため、従来、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４６２３号公報に開
示されているような機械的インターフェース装置を設置
して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ2 ガ
ス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。For this reason, semiconductor processing conventionally performed in a specially designed clean room is installed in the clean room by a mechanical interface device as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 60-14623. Then, the inside of the mechanical interface device is set to the N 2 gas atmosphere, and the inside of the device is operated.
【０００４】これに伴い、半導体製造工程間で一時的に
半導体ウエハを保管するストッカーも、その内部を常時
Ｎ2 ガス雰囲気とする必要が生じてきた。Along with this, it has become necessary for a stocker for temporarily storing semiconductor wafers between semiconductor manufacturing processes to always have an N 2 gas atmosphere inside.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のこの
種のストッカーは、周囲雰囲気に対して充分な気密性を
有しておらず、ドア開閉時には、ストッカー内部全体が
周囲雰囲気に連通してまうので、その都度、大量のＮ2
ガスをストッカー内に送り込まなくてはならず、大量の
Ｎ2 ガスをストッカー内に送り込と、ストッカー内に乱
流が生じて、塵埃が浮遊したり、各カセット収納室のＮ
2 ガス濃度が不均一になったりするという問題があり、
また、ストッカーの構造が複雑で、大形化するという問
題があった。However, the conventional stocker of this type does not have sufficient airtightness with respect to the surrounding atmosphere, and the entire interior of the stocker communicates with the surrounding atmosphere when the door is opened and closed. So each time, a large amount of N 2
Gas must be sent into the stocker, and when a large amount of N 2 gas is sent into the stocker, turbulent flow occurs in the stocker, dust is suspended, and N in each cassette storage chamber
2 There is a problem that the gas concentration becomes uneven,
In addition, there is a problem that the structure of the stocker is complicated and becomes large.
【０００６】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、カセット出し入れ時に、出し入れするカセッ
ト収納室を除く他部を外部雰囲気に対して気密に遮断す
ることができ、カセット出し入れ時のＮ2 ガス濃度の変
動や塵埃ま舞い上がり等を防止して、従来に比し、半導
体製造歩留りを高めることができるクリーンルーム用気
密ストッカーを提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve this problem. When the cassette is taken in and out, the other parts except the cassette housing chamber for taking in and out can be hermetically shut off from the external atmosphere, and N when the cassette is taken in and out. (2) An object of the present invention is to provide an airtight stocker for a clean room, which can prevent fluctuations in gas concentration, dust spillage, etc., and increase the semiconductor manufacturing yield as compared with the conventional case.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、上下部に開口を有し内部にＮ
2 ガスパージ空間を有する筒体のストッカーケーシング
と、このストッカーケーシングの上記Ｎ2 ガスパージ空
間を区画する壁内面との間にガス流路を区画して収納さ
れた回転型のストッカー本体と、当該ストッカー本体を
回転駆動する回転機構と、このストッカー本体の回転位
置を検知する位置センサと、上記ストッカーケーシング
の上部開口を覆うフィルターを通して当該ストッカーケ
ーシング内にＮ2 ガスを注入する給気チャンバーと、当
該ストッカーケーシングの下部開口を排気口とする排気
装置とを有し、上記ストッカー本体は、下端が上記排気
口側に向かって開口した上端閉鎖の中空支持軸の周りに
円形に並び各々が上記ガス流路に向かって開口するとと
もに上記中空支持軸に排気孔を通して連通するカセット
収納室を複数段にわたって有し、上記ストッカーケーシ
ングは上記ストッカー本体の各段に対して１つづつ形成
されたカセット出し入れ口と当該カセット出し入れ口を
密閉可能なドアユニットとを有し、上記位置センサは、
上記各カセット収納室が上記カセット出し入れ口と対向
する所定位置まで回転するとドア開許可信号を出力し、
上記ドアユニットは、その開時、上記所定位置にあるカ
セット収納室を上記ストッカーケーシング内の他部と気
密に遮断する構成とした。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides an opening in the upper and lower parts of the present invention, and N in the inside.
A rotary stocker main body having a gas flow path defined between a cylindrical stocker casing having two gas purge spaces and an inner surface of a wall defining the N 2 gas purge space of the stocker casing, and the stocker main body A rotation mechanism for rotating the stocker, a position sensor for detecting the rotation position of the stocker body, an air supply chamber for injecting N 2 gas into the stocker casing through a filter covering the upper opening of the stocker casing, and the stocker casing. Of the stocker body, wherein the stocker body is arranged in a circle around a hollow support shaft of which the lower end is closed toward the exhaust port side and which is closed at the upper end. A plurality of cassette storage chambers that open toward the outside and communicate with the hollow support shaft through exhaust holes are arranged in multiple stages. A I, the stocker casing and a possible door unit sealed one by one formed cassette loading and unloading opening and the cassette loading and unloading opening for each stage of the stocker body, the position sensor,
When each cassette storage chamber rotates to a predetermined position facing the cassette loading / unloading port, a door open permission signal is output,
When the door unit is opened, the cassette storage chamber at the predetermined position is airtightly shielded from other portions inside the stocker casing.
【０００８】カー。Car.
【０００９】請求項２では、カセット収納室の排気孔の
面積が上段より下段にかけて大きくした。In the second aspect, the area of the exhaust hole of the cassette housing chamber is increased from the upper stage to the lower stage.
【００１０】下段側の排気口の面積は上段側の排気口の
面積より大きくなるようにした。The area of the exhaust port on the lower side is made larger than the area of the exhaust port on the upper side.
【００１１】請求項３では、ドアは、可動ドアであっ
て、カセット出し入れ口にケーシング半径方向スライド
可能に嵌合する可動枠と、１方側端が上記可動枠の外面
側端部に係合しストッカーケーシングに回動可能に軸支
されたレバー機能を有するドア本体と、上記カセット出
し入れ口と上記可動枠との間をシールするベローズを有
し、ドア本体の開時、上記可動枠の内端部が上記カセッ
ト収納室の開口端縁に形成されたシール部に気密に係合
する構成とした。According to another aspect of the present invention, the door is a movable door, and the movable frame is slidably fitted in the cassette loading / unloading port in the casing radial direction, and one end thereof is engaged with an outer surface side end of the movable frame. A door main body having a lever function rotatably supported by a stocker casing and a bellows that seals between the cassette loading / unloading opening and the movable frame. The end portion is configured to be hermetically engaged with the seal portion formed at the opening edge of the cassette storage chamber.
【００１２】請求項４では、上記ベローズはばね作用を
有し、可動枠の復帰機構を兼ねる構成とした。According to a fourth aspect of the invention, the bellows has a spring action and also serves as a return mechanism for the movable frame.
【００１３】請求項５では、ストッカー本体の中空支持
軸は中央孔を持つ回転台に同心に立設され、この回転台
は、ストッカーケーシングの底から排気装置を覆って上
記中空支持軸内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支
持され、この固定軸には中空支持軸内に開口する半径方
向排気孔とＮ2 ガスパージ空間内の上記回転台下方に開
口する半径方向孔とが形成されている構成とした。According to a fifth aspect of the present invention, the hollow support shaft of the stocker body is erected concentrically on a rotary base having a central hole, and the rotary base extends from the bottom of the stocker casing to cover the exhaust device and into the hollow support shaft. A hollow fixed shaft is supported through a bearing, and a radial exhaust hole opening in the hollow support shaft and a radial hole opening below the rotary table in the N 2 gas purge space are formed in the fixed shaft. It has a structure.
【００１４】[0014]
【作用】本発明では、カセット出し入れ時、カセットを
出し入れするカセット収納室内は外部雰囲気と置換され
るが、他のカセット収納室等は外部雰囲気と気密に遮断
される。According to the present invention, when the cassette is taken in and out, the inside of the cassette storage chamber for loading and unloading the cassette is replaced with the external atmosphere, but the other cassette storage chambers are air-tightly shut off from the external atmosphere.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】図１、図２および図３において、１０はス
トッカーケーシングであって、円筒体をなし、回転型ス
トッカー本体３０を収納している。ストッカーケーシン
グ１０の上壁１１にはガス給気口１２が、底壁１３には
ガス排気口１４がそれぞれ形成されており、内部は、底
壁１３近くに設けられた仕切り台１５で、上記回転型ス
トッカー本体３０を収納する上部空間（Ｎ2 ガスパージ
空間）Ａと、回転型ストッカー本体３０の駆動機構の一
部を収納する下部空間（機構部用空間）Ｂとに区画され
ている。また、ストッカーケーシング１０の周壁１６に
は、縦１列に並ぶセット出し入れ口１７が形成されてお
り、常時は、ドアユニット２０のドア本体２２で気密に
密閉されている。このドアユニット２０については、図
４〜図６を参照して詳述する。In FIGS. 1, 2 and 3, reference numeral 10 denotes a stocker casing, which is a cylindrical body and accommodates the rotary stocker main body 30. A gas supply port 12 is formed on the upper wall 11 of the stocker casing 10, and a gas exhaust port 14 is formed on the bottom wall 13, and the inside is a partition table 15 provided near the bottom wall 13 for the rotation. It is divided into an upper space (N 2 gas purge space) A for accommodating the die stocker body 30 and a lower space (mechanism portion space) B for accommodating a part of the drive mechanism of the rotary stocker body 30. The stocker casing 10 has a peripheral wall 16 formed with set-in / out ports 17 arranged in a vertical line, and is normally hermetically sealed by a door body 22 of the door unit 20. The door unit 20 will be described in detail with reference to FIGS.
【００１７】ストッカー本体３０は、中央孔３１Ａを持
つ回転台３１を有し、この回転台３１上に当該回転台３
１と同軸に立設された中空の支持筒３２が立設されてい
る。この支持筒３２の内部空間は排気用空間となる。こ
の回転台３１は、ストッカーケーシング１０の底壁１３
に立設され、仕切り台１５を気密に貫通した上、回転台
３１の中央孔３１Ａを遊貫して支持筒３２内に伸びる中
空の固定軸４１に軸受４２を介して支持されており、下
面には、回転力伝達機構を構成する環状の歯車４３が取
着されている。この歯車４３にはピニオン４４が係合し
ており、このピニオン４４は下部空間Ｂに配設されたモ
ータ４５の軸に減速機４６を介し取着されている。固定
軸４１は上端に案内板を兼ねるフランジ４１Ａを有する
とともに下端に取付けフランジ４１Ｂを有し、フランジ
４１Ａの直下に回転台３１上面側に向かって開口する複
数個の排気孔４１Ｃおよび仕切り台１５と回転台３１と
の間に向かって開口する複数個の排気孔孔４１Ｄが形成
されている。The stocker main body 30 has a turntable 31 having a central hole 31A, and the turntable 3 is mounted on the turntable 31.
A hollow support cylinder 32 is provided upright coaxially with the first support 1. The internal space of the support cylinder 32 serves as an exhaust space. The turntable 31 is provided on the bottom wall 13 of the stocker casing 10.
Is supported by a hollow fixed shaft 41 that extends through the center hole 31A of the rotary table 31 and extends into the support cylinder 32 through a bearing 42. An annular gear 43 that constitutes a rotational force transmission mechanism is attached to the. A pinion 44 is engaged with the gear 43, and the pinion 44 is attached to a shaft of a motor 45 arranged in the lower space B via a speed reducer 46. The fixed shaft 41 has a flange 41A that also serves as a guide plate at the upper end and a mounting flange 41B at the lower end, and has a plurality of exhaust holes 41C and a partition 15 which are opened immediately below the flange 41A toward the upper surface side of the rotary table 31. A plurality of exhaust hole holes 41D opening toward the rotary table 31 are formed.
【００１８】ストッカー本体３０の支持筒３２の上端に
は天板３４が嵌着されている。支持筒３２には、この天
板３４と回転台３１との間を一定間隔毎に段々に仕切る
円板の棚台３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが嵌着されており、
天板３４と棚３５Ａ、棚３５Ａと棚３５Ｂ、棚３５Ｂと
棚３５Ｃおよび棚３５Ｃと回転台３１が、各々支持筒３
２との間に環状空間を区画し、これらの環状空間は支持
筒３２から周方向等間隔で放射状に伸びる仕切り壁３６
で複数個のカセット収納室Ｒに区分されている。この仕
切り壁３６の先端縁部の両面はＬ字切欠されたシール部
３６Ａとなっている。天板３４、棚台３５Ａ、３５Ｂ、
３５Ｃおよび回転台は同一外径の円板であって、周縁部
には、シール部３６Ａと連続するシール部３５ａが形成
されている。A top plate 34 is fitted on the upper end of the support cylinder 32 of the stocker body 30. Disc support 35A, 35B, 35C partitioning the space between the top plate 34 and the turntable 31 at regular intervals is fitted to the support cylinder 32.
The top plate 34 and the shelves 35A, the shelves 35A and the shelves 35B, the shelves 35B and the shelves 35C, and the shelves 35C and the turntable 31 are respectively the support cylinders 3.
An annular space is defined between the partition wall 36 and the inner wall 2, and the annular space extends radially from the support cylinder 32 at equal intervals in the circumferential direction.
Is divided into a plurality of cassette storage chambers R. Both surfaces of the tip edge of the partition wall 36 are L-shaped notched seal portions 36A. Top plate 34, shelves 35A, 35B,
35C and the rotary base are disks having the same outer diameter, and a seal portion 35a continuous with the seal portion 36A is formed on the peripheral edge portion.
【００１９】ストッカー本体３０はストッカーケーシン
グ１０の上壁１１、周壁１６および底壁１３との間に、
順次連通するガス通路３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを区画
し、支持筒３２には、各カセット収納室Ｒに向かって開
口するガス排気孔３２Ａが形成されている。このガス通
路３２Ａの開口面積は上段のものから下段のものになる
程、所定の比率で大きくなっている。The stocker body 30 is provided between the upper wall 11, the peripheral wall 16 and the bottom wall 13 of the stocker casing 10,
Gas passages 37A, 37B, and 37C that are sequentially communicated with each other are defined, and a gas exhaust hole 32A that opens toward each cassette storage chamber R is formed in the support cylinder 32. The opening area of the gas passage 32A increases at a predetermined ratio from the upper stage to the lower stage.
【００２０】ドアユニット２０は、図４〜図６に示す如
く、カセット出し入れ口１７に嵌合する正面視方形の可
動枠（スライド枠）２１とドア本体２２を有している。
スライド枠２１はその外端面にフランジ２１ａを有する
とともに、このフランジ２１ａとの間にカセット出し入
れ口１７の端縁部が密に係合するガイド溝２１Ｂを区画
する鍔部２１ｂを有し、この端縁部外面とフランジ２１
ａ内面との間はベローズ２３でシールされている。この
ベローズ２３はばね機能を有している。スライド枠２１
の左右の側枠２１Ａ、２１Ａは、その内側端縁が仕切り
壁３６のシール部３６Ａに係合可能なように、相隣る仕
切り壁３６相互がなす角度とほぼ同じ角度をなしてケー
シグ半径方向に伸び、スライド枠２１の上記内側端縁全
周にはシール部材２４が取着されている。ドア本体２２
はストッカーケーシング１０に固着されたヒンジ軸２５
に支持され、ヒンジ軸２５側の側端部には、端縁がフラ
ンジ２１ａ外面に係合するレバー部２２Ａが延設されて
いる。２６はフランジ２１ａの外面に取着されたシール
部材、２２ａはドア本体２２の把手である。As shown in FIGS. 4 to 6, the door unit 20 has a movable frame (slide frame) 21 having a rectangular shape in a front view and fitted to the cassette loading / unloading port 17, and a door body 22.
The slide frame 21 has a flange 21a on the outer end surface thereof, and a flange portion 21b defining a guide groove 21B with which the end edge portion of the cassette loading / unloading port 17 tightly engages with the flange 21a. Edge outer surface and flange 21
A bellows 23 is sealed between the inner surface a and the inner surface. The bellows 23 has a spring function. Slide frame 21
The left and right side frames 21A, 21A form an angle substantially equal to the angle formed by the adjacent partition walls 36 so that the inner edge thereof can engage with the seal portion 36A of the partition wall 36. The seal member 24 is attached to the entire circumference of the inner edge of the slide frame 21. Door body 22
Is a hinge shaft 25 fixed to the stocker casing 10.
The lever portion 22A is supported on the hinge shaft 25, and a lever portion 22A whose end edge engages with the outer surface of the flange 21a is provided at the side end portion on the hinge shaft 25 side. Reference numeral 26 is a seal member attached to the outer surface of the flange 21a, and 22a is a handle of the door body 22.
【００２１】５０（図１）は位置センサ（本実施例では
近接スイッチ）であって、回転台３１の下面周部に周方
向所定間隔で設けられたドグ５１と、スイッチ５２から
なり、スイッチ５２は各カセット収納室Ｒが所定位置ま
で回動する毎にドグ５１を検知してドア開許可信号を出
力する。この所定位置は、スライド枠２１の左右の側枠
２１Ａ、２１Ａが、相隣る仕切り３６のシール部３６Ａ
にそれぞれケーシング半径方向に対向する図４のカセッ
ト出入れ可能位置である。Reference numeral 50 (FIG. 1) is a position sensor (proximity switch in this embodiment), which is composed of a dog 51 and a switch 52, which are provided on the lower surface of the rotary table 31 at predetermined intervals in the circumferential direction. Detects the dog 51 and outputs a door open permission signal each time each cassette storage chamber R rotates to a predetermined position. At this predetermined position, the left and right side frames 21A and 21A of the slide frame 21 are sealed by the seal portion 36A of the adjacent partition 36.
4 are the positions where the cassettes can be inserted / removed in the radial direction of the casing.
【００２２】６０はストッカーケーシング１０の上壁１
１上に設けられたガス給気チャンバーであって、ガス給
気口１２を塞ぐフィルタ６１を有し、室６２は配管６３
により図示しないＮ2 ガスボンベに連絡されている。７
０は排気装置であって、ガス排気口１４に設けられ、固
定軸４１の下端部に形成された凹所に収納されている。
７１は排気管でる。Reference numeral 60 denotes the upper wall 1 of the stocker casing 10.
1 is a gas supply chamber provided on the upper part 1 and has a filter 61 for closing the gas supply port 12, and the chamber 62 is a pipe 63.
Is connected to an N 2 gas cylinder (not shown). 7
Reference numeral 0 denotes an exhaust device, which is provided in the gas exhaust port 14 and is housed in a recess formed in the lower end of the fixed shaft 41.
71 is an exhaust pipe.
【００２３】８０は半導体ウエハＷを収納したウエハカ
セットである。Reference numeral 80 denotes a wafer cassette which houses the semiconductor wafer W.
【００２４】なお、モータ４５は図７に示すようにモー
タ制御装置１０１が上位の制御装置（ＣＰＵ）１００か
ら指令を受けて回転／停止する。１０２はエンコーダで
ある。た図示しないエンコーダの出力と位置センサ５０
の上記ドア開許可信号はモータ制御装置より上位の制御
装置（ＣＰＵ）に取り込まれる。このＣＰＵは各カセッ
ト収納室Ｒの位置（アドレス）と収納の有無や収納した
ウエハカセット８０の経歴等の情報を記憶しており、位
置センサ５０の上記ドア開許可信号を取込む。本実施例
においては、図示しないＮ2 ガスボンベからＮ2 ガス給
気チャンバー６０へ圧送されてきたＮ2 ガスはフィルタ
６１を通してストッカーケーシング１０内のガス流路３
７Ａに供給され、注入されたＮ2 ガスはガス流路３７Ａ
からガス流路３７Ｂを流下しつつ各カセット収納室Ｒ内
へ分流し、上部空間ＡをＮ2 ガスで充満する。カセット
収納室Ｒ内へ分流したＮ2 ガスははガス排気孔３２Ａか
ら支持筒３２内へ流入して当該支持筒３２内を流下し、
固定軸４１内に引き込まれて当該固定軸４１内を流下
し、ガス排気口１４から排気管７１を通してクリーンル
ーム外に流出する。As shown in FIG. 7, the motor 45 is rotated / stopped when the motor control device 101 receives a command from the host control device (CPU) 100. 102 is an encoder. Output of encoder (not shown) and position sensor 50
The above-mentioned door opening permission signal is taken in by a higher-level control device (CPU) from the motor control device. The CPU stores information such as the position (address) of each cassette storage chamber R, the presence or absence of storage, the history of the stored wafer cassette 80, and the like, and takes in the door opening permission signal of the position sensor 50. In this embodiment, N 2 gas is a gas flow path 3 in the stocker casing 10 through a filter 61 that has been pumped from the N 2 gas cylinder (not shown) to N 2 gas supply chamber 60
The N 2 gas supplied to 7A and injected is in the gas flow path 37A.
To flow into the cassette storage chamber R while flowing down from the gas flow path 37B, and the upper space A is filled with N 2 gas. The N 2 gas that has been split into the cassette storage chamber R flows into the support cylinder 32 from the gas exhaust holes 32A and flows down in the support cylinder 32.
It is drawn into the fixed shaft 41, flows down in the fixed shaft 41, and flows out of the clean room from the gas exhaust port 14 through the exhaust pipe 71.
【００２５】ウエハカセット８０をウエハ収納室Ｒへ出
し入れする時は、指定したウエハ収納室Ｒが例えばカセ
ット出し入れ口１７Ａの前まで、即ち、前記したカセッ
ト出し入れ可能位置まで回動するのを待って、ドア本体
２２を開く。ドア本体２２を手前に引くと、そのレバー
部２２Ａがスライド枠２１を図８に示すようにケーシン
グ半径方向に押すので、スライド枠２１はカセット収納
室Ｒ側へ変位して、このカセット収納室Ｒの開口縁部に
形成されたシール係合部３６Ａ、３５ａに圧接し、この
カセット収納室Ｒをストッカーケーシング１０内から気
密に遮断し、他部から独立したカセット収納室Ｒにす
る。When loading / unloading the wafer cassette 80 into / from the wafer storage chamber R, wait until the designated wafer storage chamber R is rotated, for example, before the cassette loading / unloading port 17A, that is, the cassette loading / unloading position. Open the door body 22. When the door main body 22 is pulled toward you, the lever portion 22A pushes the slide frame 21 in the casing radial direction as shown in FIG. 8, so that the slide frame 21 is displaced to the cassette storage chamber R side and the cassette storage chamber R By making pressure contact with the seal engaging portions 36A, 35a formed at the opening edge portion of the cassette storage chamber R, the cassette storage chamber R is airtightly shielded from the inside of the stocker casing 10 to form a cassette storage chamber R independent from other portions.
【００２６】従って、本実施例では、カセット出し入れ
時、カセットを出し入れするカセット収納室Ｒ内は外部
雰囲気と置換されるが、他のカセット収納室Ｒやガス流
路３７Ａ〜３７Ｃは外部雰囲気と気密に遮断されるの
で、これらは、ドア本体２０を開く前のＮ2 ガス濃度を
維持する。なお、可動枠２１の復帰動作は、本実施例で
は、ベローズ２３に持たせたばね作用により行なわせ
る。Therefore, in this embodiment, when the cassette is taken in and out, the inside of the cassette housing chamber R into which the cassette is taken in and out is replaced with the external atmosphere, but the other cassette housing chambers R and the gas passages 37A to 37C are hermetically sealed with the external atmosphere. Since they are shut off, they maintain the N 2 gas concentration before opening the door body 20. The return operation of the movable frame 21 is performed by the spring action of the bellows 23 in this embodiment.
【００２７】また、本実施例では、支持軸３２の排気孔
３２Ａが下段側になる程、大きくしてあるので、孔開口
面積の比率を適切にすることにより、各カセット収納室
Ｒに流れるＮ2 ガス量を同一にして、各カセット収納室
ＲのＮ2 ガス濃度を一定にすることができる。Further, in this embodiment, since the exhaust hole 32A of the support shaft 32 is made larger toward the lower side, the N flowing in each cassette storage chamber R can be adjusted by adjusting the ratio of the opening area of the hole. By making the two gas amounts the same, the N 2 gas concentration in each cassette storage chamber R can be made constant.
【００２８】また、本実施例の固定軸４１には、軸受４
２の近傍に開口する排気孔４１Ｃを設けてあるので、軸
受４２まわりから発生した塵埃はこの排気孔４１Ｃから
固定軸４１内に吸い込まれて、ガス排気口１４から排出
され、歯車４３とピニオン４４まわりから生じた塵埃
は、固定軸４１の排気孔４１Ｄを通して排出されること
になる。Further, the bearing 4 is attached to the fixed shaft 41 of this embodiment.
Since the exhaust hole 41C opening near 2 is provided, the dust generated around the bearing 42 is sucked into the fixed shaft 41 through the exhaust hole 41C, exhausted from the gas exhaust port 14, and the gear 43 and the pinion 44. The dust generated from the surroundings is discharged through the exhaust hole 41D of the fixed shaft 41.
【００２９】また、本実施例では、位置センサ５０を設
けてあるので、カセット収納室Ｒを確実に前記したカセ
ット出し入れ可能位置に位置決めるすることができる。Further, in this embodiment, since the position sensor 50 is provided, the cassette storage chamber R can be reliably positioned at the above-mentioned cassette loading / unloading position.
【００３０】また、上記実施例では、ドア本体２２を人
手で開閉するよな説明をしたが、実際には、製造工程間
を移動する移載もしくは搬送ロボットがドア本体２２を
開閉する場合が多い。In the above embodiment, the door main body 22 is manually opened and closed. However, in practice, a transfer or transfer robot that moves between manufacturing processes often opens and closes the door main body 22. ..
【００３１】また、前記クリーンルーム外へ排出したＮ
2 ガスは循環して使用することが望ましい。Further, N discharged outside the clean room
It is desirable to circulate and use 2 gases.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ドアユニッ
トは、その開時、カセット出し入れ可能位置にあるカセ
ット収納室を除いた他部を外部雰囲気と気密に遮断する
ので、他のカセット収納室のＮ2 ガス濃度は変化せず、
ストッカーケーシング内に乱流が生じたりする恐れは無
いので、ストッカーに一時的に保管されている半導体ウ
エハの自然酸化膜の成長を防止し、塵埃等の付着を防止
して、従来に比し、製造歩留りを向上することができ
る。As described above, according to the present invention, when the door unit is opened, other parts except the cassette storage chamber at the cassette loading / unloading position are airtightly shielded from the external atmosphere, so that the other cassette storage chambers are closed. The N 2 gas concentration of
Since there is no possibility of turbulence in the stocker casing, it prevents the growth of the natural oxide film on the semiconductor wafers temporarily stored in the stocker and prevents the adhesion of dust, etc. The manufacturing yield can be improved.
【図１】本発明の実施例を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention.
【図２】上記実施例の縦断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view of the above embodiment.
【図３】上記実施例の横断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the above embodiment.
【図４】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure around the door unit of the above embodiment.
【図５】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure around the door unit of the above embodiment.
【図６】上記実施例のドアユニットの可動枠を示す図で
ある。FIG. 6 is a view showing a movable frame of the door unit of the above embodiment.
【図７】上記実施例における信号経路を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a signal path in the above embodiment.
【図８】上記ドアの開時の状態を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a state when the door is opened.
１０ ストッカーケーシング １２ ガス給気口 １４ ガス排気口 ２０ ドアユニット ２１ 可動枠 ２１Ａ 側枠 ２１Ｂ ガイド溝 ２１ａ フランジ ２１ｂ 鍔部 ２２ ドア本体 ２２Ａ レバー部 ２３ ベローズ ２４、２６ シール部材 ２５ ヒンジ軸 ３０ ストッカー本体 ３１ 回転台 ３２ 中空の支持筒 ３２Ａ ガス排気孔 ３４ 天板 ３５Ａ〜３５Ｃ 棚台 ３６ 仕切り壁 ３６Ａ シール部 ３７Ａ〜３７Ｃ ガス流路 ４１ 固定軸 ４１Ａ、４１Ｂ フランジ ４１Ｃ、４１Ｄ 排気孔 ４３ 歯車 ４４ ピニオン ４５ モータ ５０ 位置センサ ５１ ドグ ５２ スイッチ ６０ ガス給気チャンバー ６１ フィルタ ７０ 排気装置 ８０ ウエハカセット Ｒ カセット収納室 10 stocker casing 12 gas inlet port 14 gas exhaust port 20 door unit 21 movable frame 21A side frame 21B guide groove 21a flange 21b flange portion 22 door body 22A lever portion 23 bellows 24, 26 sealing member 25 hinge shaft 30 stocker body 31 rotation Stand 32 Hollow support cylinder 32A Gas exhaust hole 34 Top plate 35A-35C Shelf stand 36 Partition wall 36A Seal part 37A-37C Gas flow path 41 Fixed shaft 41A, 41B Flange 41C, 41D Exhaust hole 43 Gear 44 Pinion 45 Motor 50 Position Sensor 51 Dog 52 Switch 60 Gas air supply chamber 61 Filter 70 Exhaust device 80 Wafer cassette R Cassette storage chamber
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 津田 正徳 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiya Morita 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd.Ise Plant (72) Inventor Kono, 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd. Ise In-house (72) Inventor Atsushi Okuno 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd.In Ise Works (72) Inventor Masanori Tsuda 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd. (72) Invention Mitsuhiro Hayashi 100 Taketakehanamachi, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd.
Claims (5)
ジ空間を有する筒体のストッカーケーシングと、このス
トッカーケーシングの上記Ｎ2 ガスパージ空間を区画す
る壁内面との間にガス流路を区画して収納された回転型
のストッカー本体と、当該ストッカー本体を回転駆動す
る回転機構と、このストッカー本体の回転位置を検知す
る位置センサと、上記ストッカーケーシングの上部開口
を覆うフィルターを通して当該ストッカーケーシング内
にＮ2 ガスを注入する給気チャンバーと、当該ストッカ
ーケーシングの下部開口を排気口とする排気装置とを有
し、 上記ストッカー本体は、下端が上記排気口側に向かって
開口した上端閉鎖の中空支持軸の周りに円形に並び各々
が上記ガス流路に向かって開口するとともに上記中空支
持軸に排気孔を通して連通するカセット収納室を複数段
にわたって有し、 上記ストッカーケーシングは上記ストッカー本体の各段
に対して１つづつ形成されたカセット出し入れ口と当該
カセット出し入れ口を密閉可能なドアユニットとを有
し、 上記位置センサは、上記各カセット収納室が上記カセッ
ト出し入れ口と対向する所定位置まで回転するとドア開
許可信号を出力し、 上記ドアユニットは、その開時、上記所定位置にあるカ
セット収納室を上記ストッカーケーシング内の他部と気
密に遮断することを特徴とするクリーンルーム用気密ス
トッカー。And 1. A stocker casing cylindrical body having a N 2 gas purge space therein has an opening on the upper and lower portions, defining a gas flow path between the wall inner surface to partition the N 2 gas purge space of the stocker casing Inside the stocker casing through a rotary type stocker body housed in a housing, a rotation mechanism that rotationally drives the stocker body, a position sensor that detects the rotational position of the stocker body, and a filter that covers the upper opening of the stocker casing. Has a supply chamber for injecting N 2 gas and an exhaust device having a lower opening of the stocker casing as an exhaust port, and the stocker body has a hollow upper end with a lower end opening toward the exhaust port. Arranged in a circle around the support shaft, each opening toward the gas flow path, and an exhaust hole is formed in the hollow support shaft. A plurality of cassette storage chambers that communicate with each other, and the stocker casing has a cassette loading / unloading opening formed one for each level of the stocker body and a door unit capable of sealing the cassette loading / unloading opening. The position sensor outputs a door open permission signal when each cassette storage chamber rotates to a predetermined position facing the cassette loading / unloading opening, and the door unit opens the cassette storage chamber at the predetermined position. An airtight stocker for a clean room, characterized in that it is airtightly shielded from other parts in the stocker casing.
り下段にかけて大きくしたことを特徴とする請求項１記
載のクリーンルーム用気密ストッカー。2. The airtight stocker for a clean room according to claim 1, wherein the area of the exhaust hole of the cassette storage chamber is increased from the upper stage to the lower stage.
グ半径方向スライド可能に嵌合する可動枠と、１方側端
が上記可動枠の外面側端部に係合しストッカーケーシン
グに回動可能に軸支されたレバー機能を有するドア本体
と、上記カセット出し入れ口と上記可動枠との間をシー
ルするベローズを有し、ドア本体の開時、上記可動枠の
内端部が上記カセット収納室の開口端縁に形成されたシ
ール部に気密に係合することを特徴とする請求項１また
は２記載のクリーンルーム用気密ストッカー。3. The door has a movable frame fitted in a cassette loading / unloading slot so as to be slidable in the casing radial direction, and a shaft rotatably mounted on the stocker casing such that one end thereof engages with an outer end of the movable frame. It has a door body having a supported lever function, and a bellows that seals between the cassette loading / unloading opening and the movable frame, and when the door body is opened, the inner end of the movable frame has an opening in the cassette storage chamber. The airtight stocker for a clean room according to claim 1 or 2, which is airtightly engaged with a seal portion formed on an end edge.
帰機構を兼ねていることを特徴とする請求項３記載のク
リーンルーム用気密ストッカー。4. The airtight stocker for a clean room according to claim 3, wherein the bellows has a spring action and doubles as a return mechanism for the movable frame.
持つ回転台に同心に立設され、この回転台は、ストッカ
ーケーシングの底から排気装置を覆って上記中空支持軸
内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支持され、この
固定軸には中空支持軸内に開口する半径方向孔とＮ2 ガ
スパージ空間内の上記回転台下方に開口する半径方向排
気孔とが形成されていることを特徴とする請求項１〜４
記載のクリーンルーム用気密ストッカー。5. The hollow support shaft of the stocker body is erected concentrically on a rotary table having a central hole, and the rotary table is a hollow fixed shaft extending from the bottom of the stocker casing to cover the exhaust device and into the hollow support shaft. The shaft is supported via a bearing, and the fixed shaft is provided with a radial hole that opens into the hollow support shaft and a radial exhaust hole that opens below the rotary table in the N 2 gas purge space. Claims 1 to 4 characterized
Airtight stocker for the clean room described.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269781A JP3067325B2 (en) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | Airtight stocker for clean room |
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| US07/826,954 US5303482A (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof |
| EP92101358A EP0497281B1 (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit |
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-
1991
- 1991-10-17 JP JP3269781A patent/JP3067325B2/en not_active Expired - Fee Related
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1992
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| US11682572B2 (en) | 2017-11-27 | 2023-06-20 | Asm Ip Holdings B.V. | Storage device for storing wafer cassettes for use with a batch furnace |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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