JPH0498163A - Probe drive device - Google Patents
Probe drive deviceInfo
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- JPH0498163A JPH0498163A JP2215531A JP21553190A JPH0498163A JP H0498163 A JPH0498163 A JP H0498163A JP 2215531 A JP2215531 A JP 2215531A JP 21553190 A JP21553190 A JP 21553190A JP H0498163 A JPH0498163 A JP H0498163A
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプローブ駆動装置、特にプリント配線板(以下
PWB)の導通絶縁検査において使用されるフライング
プローブ装置において使用されるプローブ駆動装置に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a probe driving device, and particularly to a probe driving device used in a flying probe device used in continuity and insulation testing of printed wiring boards (hereinafter referred to as PWBs).
近年の電子機器の高性能化、小型化、多機能化の進展に
伴い、PWBの高密度化、高精度化が著しい。このため
、PwBの品質を保証するために、PWBにおける微細
回路、スルーホールの導通、絶縁を検査し、確実にその
欠陥を検出することが大きな課題となってきている。In recent years, as electronic devices have become more sophisticated, more compact, and more multifunctional, PWBs have become significantly more dense and accurate. Therefore, in order to guarantee the quality of PWBs, it has become a major issue to inspect the conductivity and insulation of fine circuits and through holes in PWBs and to reliably detect defects therein.
一般にPWHの検査では多数のプローブピンを同時に被
検査PWBに接触させ、プローブピン相互の導通絶縁を
測定するユニバーサル検査方式が使われている。この場
合多数のプローブピンは2.54mmなどの定ピツチの
間隔を持った格子の上に配置されているが、前述したP
WBO高密度化、高精度化のため、ユニバーサル方式で
は検査出来ないPWBが出現してきている。Generally, when testing a PWH, a universal testing method is used in which a large number of probe pins are brought into contact with the PWB to be tested at the same time, and continuity and insulation between the probe pins is measured. In this case, a large number of probe pins are arranged on a grid with regular pitches such as 2.54 mm, but the
Due to the increasing density and precision of WBOs, PWBs that cannot be tested using the universal method are emerging.
従って個別のPWB毎に各々の回路パターンの検査ポイ
ントにプローブピンが接触できるようにプローブピンを
配置した検査治具が必要になる。Therefore, a test jig is required in which probe pins are arranged so that the probe pins can contact the test points of each circuit pattern for each individual PWB.
しかし、PWBの種類は増えるばかりであり、ユニバー
サル方式における検査治具の費用、さらにはその準備に
要する時間はますます増大しており、その解決策か望ま
れている。However, as the types of PWBs continue to increase, the cost of inspection jigs in the universal system and the time required to prepare them are increasing, and a solution to this problem is desired.
前述の状況に対応するためにフライングプローブ方式と
呼ばれる布線検査検査方式が注目されている。この方式
は被検査PWBO上にX方向及びY方向、さらにはZ軸
方向に移動できるプローブを配置し、PWB毎の各々の
回路パターンにプローブを接触させ、回路パターン毎に
導通、絶縁を検査するものである。In order to cope with the above-mentioned situation, a wiring inspection inspection method called a flying probe method is attracting attention. In this method, a probe that can move in the X direction, Y direction, and Z axis direction is placed on the PWBO to be tested, and the probe is brought into contact with each circuit pattern of each PWB to test continuity and insulation for each circuit pattern. It is something.
PWB毎に治具の準備をする必要がなく、格子以外への
ブロービングも可能となるなど優れた特徴を持つ。しか
しながらユニバーサル方式と比較して検査ポイント毎に
プローブの移動を必要とするため、検査時間がかかると
いう本質的な欠点がある。It has excellent features such as there is no need to prepare a jig for each PWB, and it is also possible to blow into areas other than the grid. However, compared to the universal method, this method requires the probe to be moved for each inspection point, so it has an essential drawback in that it takes longer to inspect.
よって、フライングプローブ機の特徴を生がし、欠点を
補うためには、安定した高速、高精度な位置決め、さら
には検査ポイント毎に確実なプローブの接触を可能とす
るプローブ駆動が必要である。Therefore, in order to take advantage of the characteristics of the flying probe machine and compensate for its shortcomings, it is necessary to have stable, high-speed, and highly accurate positioning, as well as a probe drive that enables reliable contact of the probe at each inspection point.
従来のブロービング駆動装置は、プローブ先端の連続し
た空間位置を発生するシーケンス制御部と、前記プロー
ビングシーケンス制御部より出力されるX軸位置指令信
号を入力し、X軸制御信号を出力するX軸サーボ制御部
と、X軸制御信号を入力してZ軸駆動信号を出力するZ
軸駆動部と、前記Z軸駆動信号によりプローブ先端のZ
方向の位置を定め、Z軸のサーボ制御部へZ軸フィード
バック信号を入力するプロービングヘッドと、前記プロ
ービングシーケンス制御部より出力されるX軸位置指令
信号を入力しY軸制御信号を出力するX軸サーボ制御部
と、前記Y軸制御信号を入力しX軸駆動信号を出力する
X軸駆動部と、前記プロービングシーケンス制御部より
出力されるX軸位置指令信号を入力しX軸制御信号を出
力するX軸サーボ制御部と、前記X軸制御信号を入力し
X軸駆動信号を出力するX軸駆動部と、前記X軸駆動信
号及び前記X軸駆動信号を入力しプローブのY軸及びY
軸方向の位置決めを行い、Y軸フィード、バック信号と
X軸フィードバック信号とを出力しそれぞれをX軸サー
ボ制御部とX軸サーボ制御部へ入力するXY子テーブル
を含んで構成されている。A conventional probing drive device includes a sequence control section that generates continuous spatial positions of the probe tip, and an X-axis control section that inputs an X-axis position command signal output from the probing sequence control section and outputs an X-axis control signal. The servo control section and the Z section that inputs the X-axis control signal and outputs the Z-axis drive signal.
The Z axis of the probe tip is controlled by the axis drive unit and the Z axis drive signal.
a probing head that determines the position in the direction and inputs a Z-axis feedback signal to the Z-axis servo control section; and an X-axis that inputs the X-axis position command signal output from the probing sequence control section and outputs a Y-axis control signal. a servo control section, an X-axis drive section that inputs the Y-axis control signal and outputs an X-axis drive signal, and inputs an X-axis position command signal output from the probing sequence control section and outputs an X-axis control signal. an X-axis servo control section, an X-axis drive section that inputs the X-axis control signal and outputs an X-axis drive signal, and an X-axis drive section that inputs the X-axis drive signal and the X-axis drive signal and controls the Y-axis and Y-axis of the probe.
It is configured to include an XY child table that performs positioning in the axial direction, outputs Y-axis feed and back signals, and X-axis feedback signals, and inputs them to the X-axis servo control section and the X-axis servo control section, respectively.
次に従来のプローブ駆動装置について図面を参照して詳
細に説明する。Next, a conventional probe driving device will be described in detail with reference to the drawings.
第2図は従来の一例を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a conventional example.
シーケンス制御部1では検査ポイントの座標を発生する
とX軸サーボ制御部3へX軸位置指令信号すを入力する
。X軸サーボ制御部3ではXY子テーブルより出力され
るY軸フィードバック信号k(具体的にはXY子テーブ
ルY軸方向の位置、速度、加速度)と前述のX軸位置指
令信号すとの間で予め定めてあったサーボパラメータに
従って、サーボ演算処理を行い、Y軸制御信号eを出力
する。When the sequence control section 1 generates the coordinates of the inspection point, it inputs an X-axis position command signal to the X-axis servo control section 3. The X-axis servo control unit 3 outputs a signal between the Y-axis feedback signal k output from the XY child table (specifically, the position, velocity, and acceleration of the XY child table in the Y-axis direction) and the aforementioned X-axis position command signal. Servo calculation processing is performed according to predetermined servo parameters, and a Y-axis control signal e is output.
Y軸制御信号eを入力したX軸駆動部6はY・軸制御信
号eを増幅し、X軸駆動信号りを出力し、XY子テーブ
ルのY軸を駆動する。XYテーブル9は駆動されるとそ
れに応じたY軸フィードバック信号kを出力する。The X-axis drive unit 6 which receives the Y-axis control signal e amplifies the Y-axis control signal e, outputs an X-axis drive signal, and drives the Y-axis of the XY child table. When the XY table 9 is driven, it outputs a Y-axis feedback signal k corresponding to the drive.
また、同様にシーケンス制御部1はX軸サーボ制御部4
へもX軸位置指令信号Cを出力する。X軸サーボ制御部
4ではXY子テーブルより出力されるX軸フィードバッ
ク信号■(具体的にはXYテーブルのX軸方向の位置、
速度、加速度)と前述のX軸位置指令信号Cとの間で予
め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算処理
を行い、X軸制御信号fを出力する。Similarly, the sequence control section 1 includes the X-axis servo control section 4.
The X-axis position command signal C is also output to the The X-axis servo control unit 4 outputs an X-axis feedback signal from the XY child table (specifically, the position of the XY table in the X-axis direction,
Servo calculation processing is performed using predetermined servo parameters between the speed, acceleration) and the above-mentioned X-axis position command signal C, and an X-axis control signal f is output.
X軸制御信号Cを入力したX軸駆動部7はX軸制御信号
fを増幅し、X軸駆動信号iを出力し、XY子テーブル
のY軸を駆動する。XY子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたX軸フィードバック信号1を出力する。The X-axis drive unit 7 which receives the X-axis control signal C amplifies the X-axis control signal f, outputs the X-axis drive signal i, and drives the Y-axis of the XY child table. When the XY child table is driven, it outputs an X-axis feedback signal 1 corresponding to the drive.
一方、Z軸についてもシーケンス制御部1はX軸サーボ
制御部2へZ軸位置指令信号aを入力する。X軸サーボ
制御部2ではプローブヘッド8より出力されるZ軸フィ
ードバック信号j (具体的にはプローブヘット8の位
置、速度、加速度)と前述のZ軸位置指令信号aとの間
で予め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算
処理を行い、Z軸制御信号dを出力する。On the other hand, regarding the Z-axis as well, the sequence control section 1 inputs a Z-axis position command signal a to the X-axis servo control section 2. The X-axis servo control unit 2 predetermines the Z-axis feedback signal j output from the probe head 8 (specifically, the position, velocity, and acceleration of the probe head 8) and the Z-axis position command signal a. Servo calculation processing is performed using the existing servo parameters, and a Z-axis control signal d is output.
Z軸制御信号dを入力したZ軸駆動部5はZ軸制御信号
dを増幅し、Zil!lII騨動信号gを出力し、プロ
ーブヘッド8を駆動する。プローブヘッド8は駆動され
るとそれに応じたZ軸フィードバック信号jを出力する
ことになる。The Z-axis drive section 5 which has input the Z-axis control signal d amplifies the Z-axis control signal d and outputs Zil! The probe head 8 is driven by outputting the lII driving signal g. When the probe head 8 is driven, it outputs a corresponding Z-axis feedback signal j.
このようにしてXYテーブルに配置されたプローブヘッ
ドのXY座標に対する位置決めとプローブヘッドの上昇
と下降、つまりコンタクトの制御を行っている。In this way, the positioning of the probe head placed on the XY table with respect to the XY coordinates and the raising and lowering of the probe head, that is, contact control are performed.
ところが近年のPWBパターンの微細化が進展するに従
い、より高い精度でプローブヘッドの位置決めが必要と
なり、その位置が安定するまでの時間が増える傾向が生
じる。つまり、より高い測定精度で停止できるサーボパ
ラメータでY軸及びY軸のサーボパラメータで常に動作
させているため、粗い停止精度でよい検査ポイントに対
しても同様の時間を必要としている。However, as the PWB pattern becomes finer in recent years, it becomes necessary to position the probe head with higher precision, and the time required to stabilize the position tends to increase. In other words, since the Y-axis and Y-axis servo parameters are always operated using servo parameters that allow stopping with higher measurement accuracy, the same amount of time is required even for inspection points that require rough stopping accuracy.
また、酸化が激しい銅のパターンに確実にブロービング
するためには、酸化膜を破れる程の強い力でコンタクト
させる必要がある。一方、脆弱なパターンにはコンタク
トで生ずる傷を最小にするため弱い力でコンタクトを行
う必要がある。In addition, in order to reliably blow into a heavily oxidized copper pattern, it is necessary to contact the oxide film with a force strong enough to break the oxide film. On the other hand, weak patterns require contact with weak force to minimize damage caused by contact.
しかし従来のブロービング駆動装置では予め定められて
いるサーボ特性により一定のコンタクト圧でしか接触さ
せることができないので接触抵抗でバラツキが生じ、十
分な検査精度を保証できない。However, in the conventional blowing drive device, contact can only be made with a constant contact pressure due to predetermined servo characteristics, which causes variations in contact resistance and cannot guarantee sufficient inspection accuracy.
上述した従来のプローブ駆動装置はそのY軸及びY軸の
サーボ制御部があらかじめ調整されたサーボパラメータ
で動作するため粗い位置決め精度でよい検査ポイントも
、高い位置決め精度が必要な検査ポイントと同じ精度で
一律に位置決めを行うため位置決め時間を浪費し、検査
時間が長くなるという欠点がある。また、Z軸のサーボ
制御部も予め調整されたサーボパラメータで動作するた
め一定のコンタクト圧でしかパターンに接触できないの
で、脆弱なパターンでは損傷を与え、銅などの酸化が激
しいパターンでは酸化膜が破れない等の現象が生じ確実
な検査が出来ない欠点がある。In the conventional probe drive device mentioned above, the Y-axis and Y-axis servo control units operate with pre-adjusted servo parameters, so inspection points that require coarse positioning accuracy can be inspected with the same accuracy as inspection points that require high positioning accuracy. Since positioning is performed uniformly, positioning time is wasted and inspection time becomes longer. Additionally, since the Z-axis servo control unit operates with pre-adjusted servo parameters, it can only contact the pattern with a certain contact pressure, which can cause damage to weak patterns, and can cause oxide film to form on heavily oxidized patterns such as copper. It has the drawback that it cannot be inspected reliably due to phenomena such as failure to tear.
本発明のプローブ駆動装置はプローブ先端の連続した空
間位置を発生ずるシーケンス制御部と、前記シーケンス
制御部より出力されるZ軸位置指令信号を入力しZ軸制
御信号を出力するX軸サーボ制御部と、Z軸制御信号を
入力してZ軸駆動信号を出力するZ軸駆動部と、前記Z
軸駆動信号によりプローブ先端のZ方向の位置を定めZ
軸のサーボ制御部へZ軸フィードバック信号を入力する
プロービングヘッドと、前記プロービングシーケンス制
御部よりj」」力されるY軸位置指令信号を入力しY軸
制御信号を出力するX軸サーボ制御部と、前記Y軸制御
信号を入力しY軸駆動信号を出力するY軸駆動部と、前
記プロービングシーケンス制御部より出力されるX軸位
置指令信号を入力しX軸制御信号を出力するX軸サーボ
制御部と、前記1〇−
X軸制御信号を入力しX軸駆動信号を出力するX軸駆動
部と、前記X軸駆動信号及び前記X軸駆動信号を入力し
プローブのY軸及びY軸方向の位置決めを行い、Y軸フ
ィードバック信号とX軸フィードバック信号とを出力し
それぞれをX軸サーボ制御部とX軸サーボ制御部へ入力
するXY子テーブルプロービングシーケンス制御部より
出力するタイミング信号を入力しX軸サーボ制御部へは
Z軸パラメータ信号をY軸制御部へはY軸パラメータ信
号をXサーボ制御部へはX軸パラメータ信号を入力する
パラメータ制御部とを含んで構成される。The probe driving device of the present invention includes a sequence control section that generates continuous spatial positions of the tip of the probe, and an X-axis servo control section that inputs a Z-axis position command signal output from the sequence control section and outputs a Z-axis control signal. , a Z-axis drive section that inputs a Z-axis control signal and outputs a Z-axis drive signal;
The position of the probe tip in the Z direction is determined by the axis drive signal.
a probing head that inputs a Z-axis feedback signal to a servo control section of the axis; and an X-axis servo control section that inputs a Y-axis position command signal inputted from the probing sequence control section and outputs a Y-axis control signal. , a Y-axis drive section that inputs the Y-axis control signal and outputs a Y-axis drive signal, and an X-axis servo control that inputs the X-axis position command signal output from the probing sequence control section and outputs an X-axis control signal. 10 - An X-axis drive section that inputs the X-axis control signal and outputs the X-axis drive signal; and an X-axis drive section that inputs the X-axis drive signal and the X-axis drive signal and controls the Y-axis and Y-axis direction of the probe. Performs positioning, outputs a Y-axis feedback signal and an X-axis feedback signal, and inputs each to the X-axis servo control unit and the The apparatus includes a parameter control section which inputs a Z-axis parameter signal to the servo control section, a Y-axis parameter signal to the Y-axis control section, and an X-axis parameter signal to the X servo control section.
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention.
シーケンス制御部1では検査ポイントの座標を発生する
とX軸サーボ制御部3へY軸位置指令信号すを入力する
。X軸サーボ制御部3ではXY子テーブルより出力され
るY軸フィードバック信号k(具体的にはXY子テーブ
ルY軸方向の位置、速度、加速度)と前述のY軸位置指
令信号すとの間でパラメータ制御部10より出力された
Y軸パラメータ信号nに従って、サーボ演算処理を行い
、Y軸制御信号eを出力する。When the sequence control section 1 generates the coordinates of the inspection point, it inputs a Y-axis position command signal to the X-axis servo control section 3. The X-axis servo control unit 3 outputs a signal between the Y-axis feedback signal k output from the XY child table (specifically, the position, velocity, and acceleration of the XY child table in the Y-axis direction) and the aforementioned Y-axis position command signal. Servo calculation processing is performed according to the Y-axis parameter signal n output from the parameter control section 10, and a Y-axis control signal e is output.
Y軸制御信号eを入力したX軸駆動部6はY軸制御信号
eを増幅し、X軸駆動信号りを出力し、XY子テーブル
のY軸を駆動する。XY子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたY軸フィードバック信号kを出力する。The X-axis drive unit 6 which receives the Y-axis control signal e amplifies the Y-axis control signal e, outputs an X-axis drive signal, and drives the Y-axis of the XY child table. When the XY child table is driven, it outputs a corresponding Y-axis feedback signal k.
また、同様にシーケンス制御部1はX軸サーボ制御部4
へもX軸位置指令信号Cを入力する。X軸サーボ制御部
4ではXY子テーブルより出力されるX軸フィードバッ
ク信号1(具体的にはXY子テーブルX軸方向の位置、
速度、加速度)と前述のX軸位置指令信号Cとの間でパ
ラメータ制御部10より出力されたX軸パラメータ信号
0によりサーボ演算処理を行い、X軸制御信号fを出力
する。Similarly, the sequence control section 1 includes the X-axis servo control section 4.
Also input the X-axis position command signal C to In the X-axis servo control unit 4, the X-axis feedback signal 1 output from the XY child table (specifically, the position of the XY child table in the X-axis direction,
Servo calculation processing is performed using the X-axis parameter signal 0 output from the parameter control section 10 between the X-axis position command signal C (velocity, acceleration) and the above-mentioned X-axis position command signal C, and the X-axis control signal f is output.
X軸制御信号Cを入力したX軸駆動部7はX軸制御信号
fを増幅し、X軸駆動信号iを出力し、XY子テーブル
のY軸を駆動する。XY子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたX軸フィードバック信号1を出力する。一方、
Z軸についてもシーケンス制御部1はX軸サーボ制御部
2へZ軸位置指令信号aを入力する。The X-axis drive unit 7 which receives the X-axis control signal C amplifies the X-axis control signal f, outputs the X-axis drive signal i, and drives the Y-axis of the XY child table. When the XY child table is driven, it outputs an X-axis feedback signal 1 corresponding to the drive. on the other hand,
Regarding the Z-axis as well, the sequence control section 1 inputs a Z-axis position command signal a to the X-axis servo control section 2.
2軸サ一ボ制御部2ではプローブヘッド8より出力され
るZ軸フィードバック信号j(具体的にはプローブヘッ
ド8の位置、速度、加速度)と前述のZ軸位置指令信号
aとの間でパラメータ制御部10より出力された2軸パ
ラメ一タ信号mによりサーボ演算処理を行い、Z軸制御
信号dを出力する。The two-axis servo control unit 2 sets parameters between the Z-axis feedback signal j (specifically, the position, velocity, and acceleration of the probe head 8) output from the probe head 8 and the aforementioned Z-axis position command signal a. Servo calculation processing is performed using the two-axis parameter signal m output from the control unit 10, and a Z-axis control signal d is output.
Z軸制御信号dを入力したZ軸駆動部5はZ軸制御信号
dを増幅し、Z軸駆動信号gを出力し、プローブヘッド
8を駆動する。The Z-axis drive unit 5, which receives the Z-axis control signal d, amplifies the Z-axis control signal d, outputs the Z-axis drive signal g, and drives the probe head 8.
プローブヘッド8は駆動されるとそれに応じたZ軸フィ
ードバック信号jを出力することになる。このようにし
てXY子テーブル配置されたプローブヘッドのXY座標
に対する位置決めとプローブヘッドの−に昇と下降、つ
まりコンタクトの制御を行っているが、シーケンス制御
部1は新しい検査ポイントの位置指令信号をX軸サーボ
制御部2、X軸サーボ制御部3、X軸サーボ制御部4に
送出すると同時にパラメータタイミング信号pを出力す
る。When the probe head 8 is driven, it outputs a corresponding Z-axis feedback signal j. In this way, the positioning of the probe head placed on the XY child table with respect to the XY coordinates and the raising and lowering of the probe head (in other words, contact control) are carried out, but the sequence control unit 1 sends a position command signal for a new inspection point. The parameter timing signal p is output at the same time as being sent to the X-axis servo control section 2, X-axis servo control section 3, and X-axis servo control section 4.
このパラメータタイミング信号pは次の検査ポイントに
応じて出力されるものでX軸サーボ制御部3、X軸サー
ボ制御部4にその検査ポイントで必要とされる停止精度
に応じたY軸パラメータ信号n、、X軸パラメータ信号
0を出力するようにパラメータ制御部10に指示する−
ものである。This parameter timing signal p is output according to the next inspection point, and is sent to the X-axis servo control unit 3 and the X-axis servo control unit 4 as a Y-axis parameter signal n corresponding to the stopping accuracy required at that inspection point. ,, instructs the parameter control unit 10 to output the X-axis parameter signal 0.
It is something.
このためX軸サーボ制御部3とX軸サーボ制御部4は検
査ポイントに応じた最適なサーボ特性でXY子テーブル
を駆動することが可能となり、停止のための時間を浪費
することもない。Therefore, the X-axis servo control section 3 and the X-axis servo control section 4 can drive the XY child table with optimal servo characteristics according to the inspection point, and no time is wasted for stopping.
・また、2軸サ一ボ制御部2もシーケンス制御部1より
出力されるパラメータタイミング信号pによりパラメー
タ制御部10よりその検査ポイントに最適なコンタクト
圧を発生させるZ軸パラメータ信号mをパラメータ制御
部10より入力する。・Furthermore, the two-axis servo control unit 2 also uses the parameter timing signal p output from the sequence control unit 1 to send the Z-axis parameter signal m to the parameter control unit 10 to generate the optimum contact pressure for that inspection point. Enter from 10.
よって各検査ポイントに応じて、例えば酸化が激しい銅
のパターンに確実にブロービングするためには、酸化膜
を破れる程の強い力でコンタクト圧で、脆弱なパターン
にはコンタクトで生ずる傷を最小にするため弱い力でコ
ンタクトを行うことが可能となり、従来の一定のコンタ
クト圧でしか接触させることができない場合に比較して
安定した接触抵抗でコンタクトが可能となり、十分な検
査精度を保証できる。Therefore, depending on each inspection point, for example, in order to reliably blow into a heavily oxidized copper pattern, the contact pressure must be applied with enough force to break the oxide film, and with weak patterns, the contact pressure must be applied to minimize the damage caused by the contact. Therefore, it is possible to make contact with a weak force, and compared to the conventional case where contact can only be made with a constant contact pressure, contact can be made with stable contact resistance, and sufficient inspection accuracy can be guaranteed.
本発明のプローブ駆動装置は、パラメータ制御部を設け
ることにより、そのY軸及びY軸のサーボ制御部のサー
ボパラメータを自由にで調整できるため粗い位置決め精
度でよい大きな検査ポイントは粗い精度で、高い位置決
め精度が必要な微小な検査ポイントでは高い精度で位置
決めできるため位置決め時間を浪費することなく、結果
として検査時間を短縮できるという効果がある。また、
Z軸のサーボ制御部もサーボパラメータ制御部を設ける
ことによりZ軸のサーボ制御部のサーボパラメータを自
由に調整できるので、脆弱なパターンでは低い接触圧で
、銅などの酸化が激しいパターンでは強い接触圧で接触
することが可能となり、常に確実な接触が保証され精度
の高い検査が可能となる効果がある。The probe drive device of the present invention is provided with a parameter control section, so that the servo parameters of the Y-axis and Y-axis servo control section can be freely adjusted. Since minute inspection points that require positioning accuracy can be positioned with high precision, positioning time is not wasted, and as a result, inspection time can be shortened. Also,
By providing a servo parameter control unit for the Z-axis servo control unit, the servo parameters of the Z-axis servo control unit can be adjusted freely, so low contact pressure is required for weak patterns, and strong contact is applied to patterns that are heavily oxidized, such as copper. It is possible to make contact with pressure, which has the effect of always guaranteeing reliable contact and enabling highly accurate inspection.
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
従来の一例を示すブロック図である。
■・・・シーケンス制御部、2・・・X軸サーボ制御部
、3・・・Y軸サーボ制御部、4・・・X軸サーボ制御
部、5・・・Z軸駆動部、6・・・Y軸駆動部、7・・
・2軸駆動部、8・・・プロービングヘッド、9・・・
XYテーブル、10・・・パラメータ制御部、
a・・・Z軸位置指令信号、b・・・X軸位置指令信号
、C・・・X軸位置指令信号、d・・・X軸制御信号、
e・・・Y軸制御信号、f・・・X軸制御信号、g・・
・Z軸駆動信号、h・・・Y軸駆動信号、i・・・Z軸
駆動信号、j・・・Z軸フィードバック信号、k・・・
Y軸フィードバック信号、■・・・X軸フィードバック
信号、m・・・Z軸パラメータ信号、O・・・X軸パラ
メータ信号、p・・・パラメータタイミング信号。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a conventional example. ■...Sequence control unit, 2...X-axis servo control unit, 3...Y-axis servo control unit, 4...X-axis servo control unit, 5...Z-axis drive unit, 6...・Y-axis drive unit, 7...
・Two-axis drive unit, 8... Probing head, 9...
XY table, 10...Parameter control unit, a...Z-axis position command signal, b...X-axis position command signal, C...X-axis position command signal, d...X-axis control signal,
e...Y-axis control signal, f...X-axis control signal, g...
・Z-axis drive signal, h...Y-axis drive signal, i...Z-axis drive signal, j...Z-axis feedback signal, k...
Y-axis feedback signal, ■...X-axis feedback signal, m...Z-axis parameter signal, O...X-axis parameter signal, p...parameter timing signal.
Claims (1)
ス制御部と、前記シーケンス制御部より出力されるZ軸
位置指令信号を入力しZ軸制御信号を出力するZ軸サー
ボ制御部と、Z軸制御信号を入力してZ軸駆動信号を出
力するZ軸駆動部と、前記Z軸駆動信号によりプローブ
先端のZ方向の位置を定めZ軸のサーボ制御部へZ軸フ
ィードバック信号を入力するプロービングヘッドと、前
記プロービングシーケンス制御部より出力されるY軸位
置指令信号を入力しY軸制御信号を出力するY軸サーボ
制御部と、前記Y軸制御信号を入力しY軸駆動信号を出
力するY軸駆動部と、前記プロービングシーケンス制御
部より出力されるX軸位置指令信号を入力しX軸制御信
号を出力するX軸サーボ制御部と、前記X軸制御信号を
入力しX軸駆動信号を出力するX軸駆動部と、前記Y軸
駆動信号及び前記X軸駆動信号を入力しプローブのX軸
及びY軸方向の位置決めを行い、Y軸フィードバック信
号とX軸フィードバック信号とを出力しそれぞれをY軸
サーボ制御部とX軸サーボ制御部へ入力するXYテーブ
ルとプロービングシーケンス制御部より出力するタイミ
ング信号を入力しZ軸サーボ制御部へはZ軸パラメータ
信号をY軸制御部へはY軸パラメータ信号をXサーボ制
御部へはX軸パラメータ信号を入力するパラメータ制御
部とを含むことを特徴とするプローブ駆動装置。a sequence control unit that generates continuous spatial positions of the probe tip; a Z-axis servo control unit that inputs a Z-axis position command signal output from the sequence control unit and outputs a Z-axis control signal; and a Z-axis servo control unit that outputs a Z-axis control signal. a Z-axis drive unit that inputs and outputs a Z-axis drive signal; a probing head that determines the position of the probe tip in the Z direction based on the Z-axis drive signal and inputs a Z-axis feedback signal to the Z-axis servo control unit; a Y-axis servo control section that inputs the Y-axis position command signal output from the probing sequence control section and outputs a Y-axis control signal; and a Y-axis drive section that inputs the Y-axis control signal and outputs a Y-axis drive signal. , an X-axis servo control unit that inputs the X-axis position command signal output from the probing sequence control unit and outputs an X-axis control signal; and an X-axis drive that inputs the X-axis control signal and outputs an X-axis drive signal. and a Y-axis servo control section which inputs the Y-axis drive signal and the X-axis drive signal to position the probe in the X-axis and Y-axis directions, and outputs a Y-axis feedback signal and an X-axis feedback signal, respectively. Inputs the XY table to the X-axis servo control unit and the timing signal output from the probing sequence control unit, and inputs the Z-axis parameter signal to the Z-axis servo control unit and the Y-axis parameter signal to the Y-axis control unit for X servo control. A probe driving device comprising: a parameter control section into which an X-axis parameter signal is input.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2215531A JPH0498163A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Probe drive device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2215531A JPH0498163A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Probe drive device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0498163A true JPH0498163A (en) | 1992-03-30 |
Family
ID=16673972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2215531A Pending JPH0498163A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Probe drive device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0498163A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020034283A (en) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社日本マイクロニクス | Inspection device and inspection method |
CN111498537A (en) * | 2020-05-27 | 2020-08-07 | 东莞市冠菱精密设备有限公司 | Receiving-free feeder |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP2215531A patent/JPH0498163A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020034283A (en) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社日本マイクロニクス | Inspection device and inspection method |
CN111498537A (en) * | 2020-05-27 | 2020-08-07 | 东莞市冠菱精密设备有限公司 | Receiving-free feeder |
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