JPH0489579A

JPH0489579A - プリント基板等の検査装置

Info

Publication number: JPH0489579A
Application number: JP2203230A
Authority: JP
Inventors: Katsusato Fujiyoshi; 藤好　克聡; Masasuke Fujiyoshi; 藤好　巨介; Morimichi Fujiyoshi; 藤好　盛道
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1990-07-31
Filing date: 1990-07-31
Publication date: 1992-03-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明はプリント基板等の回路の導通、断線状態等を検
査するプリント基板等の検査装置に関する。

「従来の技術」従来、プリント基板の配線状態を検査する場合、プロー
ブピンを縦、横に所定ピッチ間隔で配置したユニバーサ
ル型プローブピンセンサ一方式が使用されている。

このユニバーサル型プローブビンセンサ一方式で有効１
５インチ（３８１履）の正方形の検査ボードで、ピン間
１本＜２．５４ｍの間にプローブビンが１本）の場合、
１５インチ（３８１ｍｓ＋＞　／　０．１インチ（２，
５４ｗｘ　）　＝　１５０となり、この１５０をマトリ
ックスとしたとき、１５０　ｘ１５０　＝２２５００本
のプローブビンが必要である。

また、有効１５インチ（３８１履）の正方形の検査ボー
ドで、ビン間２本（２，５４ｍの間にプローブビンが２
本）の場合、１５インチ（３８１ａｍ＞　／　０．１イ
ンチＸ　１　／　２　（１，２７ａｍ）　−３００とな
り、この３００をマトリックスとしたとき、３００　ｘ
　３００　＝　９００００本のブＯ−ブビンが必要であ
る。

さらに有効１５インチ（３８１麿）の正方形の検査ボー
ドで、ビン間３本（２，５４ｍの間にプローブビンが３
本）の場合、１５インチ（３８１ｉｗ＋）　／　０．１
インチＸ　１　／　４　（０，６３５ｍ＋＋）　＝６０
０となり、この６００をマトリックスとしたとき、６０
０　ｘ　６００　＝　３６００００本のプローブビンが
必要である。

このように、検査ボードには膨大な数のプローブビンを
１本１本検査ボードに孔をＮＣ制御リュータで孔明（プ
加工した後、該孔にほとんど手作業でプローブビンを実
装している。

「本発明が解決しようとする課題」従来のユニバーサル型プローブビンセンサ一方式では、
検査ボードに膨大な数のプローブビンをほとんど手作業
で実装しているため、手数がかかり、コスト高になると
いう欠点があった。

また、ビン間２本、３本となるにしたがってプローブビ
ンも細く、超精密形状に加工したものを使用しなければ
ならず、１５０円ｘ　２２，５００＝　３．３７５００
０円、　１５０円ｘ９０，０ＯＯ＝　　１３５，０００
，０００円、　２５０円ｘ　　３６０，０００＝９０．
ＯＯｏ、０００円となり、コスト高になるとともに、使
用するバネも細くなり、金属疲労を起こしやすく、耐久
性に問題があった。

また、ブＯ−ブピンの先端も鋭角で細くなるため剛性が
要求されるが、剛性を大きくすると検査するプリント基
板の配線に傷を付けてしまいやすという欠点があった。

本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、組付けが容易
で、低コストで、故障が少なく、長期間使用できかつプ
リント基板等の配線を傷付けたりするのを防止すること
がで−きるプリント基板等の検査装置を提供することを
目的としている。

［課題を解決するための手段」上記目的を達成するために、本発明は検査するプリント
基板等に接触させることができる検査治具と、この検査
治具に接続された検査機とからなるプリント基板等の検
査装置において、前記検査治具を前記検査するプリント
基板等に接触させることができる厚さ方向に軸心方向が
位置するように数十ミクロン−数ミクロンの間隔で数十
ミクロン−数ミクロンの直径の導電線あるいは数十ミク
ロン−数ミクロンの幅寸法のフィラー状の導電線がほぼ
マトリックス状に配置された異方性導電弾性シートと、
この異方性導電弾性シートに固定された該異方性導電弾
性シートの少なくとも数本の導電線と接触する導通スル
ホールが２．５４ミリピッチ〜０．１４９ミリピッチの
マトリックス状に多数個形成されたスルホール基板と、
このスルホール基板の反異方性導電弾性シート取付は面
に固定された前記異方性導電弾性シートと同構成の異方
性導電弾性シートおよび前記スルホール基板のスルホー
ルと前記異方性導電弾性シートを介して導通される前記
スルホール基板と同構成の第２のスルホール基板とを少
なくとも１層以上積層した積層基板と、この積層基板の
スルホール基板に分割されて配置された外周部寄りの部
位に前記検査機に接続されるターミナルを有するスルホ
ールに接続された多数本の配線とでプリント基板等の検
査装置を構成している。

「作　用」上記のように構成されたプリント基板等の検査装置は、
スルホール基板および積層基板にそれぞれ形成されたマ
トリックス状の多数個の導通スルホールは介装された異
方性導電弾性シートの導電線によってそれぞれ導通状態
となる。

このため、スルホール基板に形成された多数個の導通ス
ルホールに導通され、端部寄りの部位にターミナルが形
成された配線をスルホール基板および積層基板の各スル
ホール基板の一側面あるいは両側面に分割して配置でき
るため、接続作業の容易な間隔の配置のターミナルを形
成することができる。

１本発明の実施例」以下、図面に示す実施例により、本発明の詳細な説明す
る。

第１図ないし第１５図の実施例において、１は本発明の
プリント基板等の検査装置で、このプリント基板等の検
査装置１１は、検査するプリント基板２等に接触させる
ことができる有効センサー範囲が１５インチ（３８１層
）の検査治具３と、この検査治具３に接続された検査機
４とから構成されている。

前記検査治具３は、第２図および第３図に示すように前
記検査するプリント基板２に接触させることのできる異
方性導電弾性シート５と、この異方性導電弾性シート５
の一側面に固定されたスルホール基板６と、このスルホ
ール基板６に取付けられた異方性ｓ１弾性シート７およ
び第２のスルホール基板８とを少なくとも１層以上積層
した積層基板９と、この積層基板９に取付けられた取付
は板１０、この取付は板１０、前記積層基板９および前
記スルホール基板６が一体となるように固定する固定具
１１と、前記検査されるプリント基板２を位置決め状態
で取付けることのできるプリント基板取付は治具１２と
から構成されている。

前記異方性導電弾性シート５は、第４図および第５図に
示すように１６インチの正方形状で厚さがｏ、ｓａｗの
大きさのシリコンゴム等のゴムシートやポリイミド等の
合成樹脂シート等の弾性絶縁シート１３と、この弾性絶
縁シート１３に数ミクロンから数千ミクロンピッチで該
弾性絶縁シート１３の厚さ方向に軸心方向が位置するよ
うにマトリックス状に多数個埋設された数十ミクロン−
数ミクロンの直径の導電線１４あるいは数十ミクロン−
数ミクロンの幅寸法のフィラー状の導電線１４とから構
成されている。

なお、この異方性導電弾性シート５は、第６図に示すよ
うに多数本の導電線１４の両端部に無電解メツキ、また
はイオンスパッタリング等で突起部１５．１５を形成し
たものを用いてもよい。

前記スルホール基板６は、第７図ないし第９図に示すよ
うに絶線材で２４インチの正方形状で厚さが０．５．の
大きさのスルホール基板本体１６と、このスルホール基
板本体１６にビン間が１本と同様のピッチである２、５
４　ｍピッチでマトリックス状になるように形成された
２２．５００個＜３８１　／　２．５４−１５０．１５
０　ｘ１５０　＝２２，５００）の導通スルホール１７
と、前記スルホール基板本体１６の両側面に形成された
該スルホール基板本体１６の両側面の各辺の外周部寄り
の部位に前記検査機４に容易に接続できる１２７縮ピツ
チで形成された２、４００個のターミナル１８および、
これらのターミナル１８と前記所定位置の導電スルホー
ル１７とをそれぞれ結線する２４００個の配線１９とか
ら構成されている。

なお、スルホール基板本体１６に形成するターミナル１
８を有する配線１９は、両面に銅箔張りの両面基板を用
いてエツチング等で形成する。

前記積層基板９は、第１０図ないし第１２図に示すよう
に前述の異方性導電弾性シート５と同様に形成された異
方性導電弾性シート７と、第２のスルホール基板８とを
９個積層したもので、この第２のスルホール基板８は前
述のスルホール基板６と同様に導通スルホール１７が形
成されるとともに、前記スルホール基板６で配線されて
いない部位の１通スルホール１７とそれぞれ結線される
ターミナル１８を有する配線１９が両面にそれぞれ形成
されている。

すなわちスルホール基板６に形成された２２５００個の
導通スルホール１７はスルホール基板６の両面に形成さ
れた配線１９を介したターミナル１８に、および１個あ
るいは複数個の異方性導電弾性シート７を介して導通さ
れる積層基板９の９個の第２のスルホール基板８の両面
に形成された配線１９を介してターミナル１８に結線で
きる。

前記取付は板１０は前記積層基板９の後部の第２のスル
ホール基板８と当接される絶縁材製の取付は板本体２０
と、この取付は板本体２０が取付けられる上下移動′ｌ
Ａ置２１に取付けられたプレート２２とから構成されて
いる。

前記固定具１１は前記スルホール基板６および前記第２
のスルホール基板８の四隅部に形成されたボルト挿入孔
２３に挿入され、前記取付は板１０に形成されたねじ孔
２４にそれぞれ螺合固定される４本のボルト２５で構成
されている。

前記プリント基板取付は治具１２はベース板２６と、こ
のベース板２６上に取付けられた検査するプリント基板
２をＸ、Ｙ軸方向に位置決めできる位置決め機構２７付
き支持台２８と、前記取付は板１０のプレート２２の四
隅部に形成されたガイド孔２９にそれぞれスライド可能
に挿入される前記ベース板２６に固定されたガイドビン
３０とから構成されている。

前記検査治具３のスルホール基板６あるいは第２のスル
ホール基板８のターミナル１８と前記検査機４とは、第
１４図および第１５図に示すようにスルホール基板６の
ターミナル１８部と検査機４のシート状の配線端子３１
との間に前記異方性導電弾性シート５と同様に形成され
たシート状コネクター３２を用いて接ＶＣする。

このため、検査機４のシート状の配線端子３１もスルホ
ール基板６のターミナル１８と同様なピッチで形成され
ている。

上記構成のプリント基板等の検査装置１は、プリント基
板取付は治具１２に検査するプリン１〜基板２をＸ、Ｙ
軸方向の位置決めを行なって支持させる。

しかる後、検査治具３の上下移動装置２１を作動させて
プレート２２を下降させ、異方性導電弾性シート５をプ
リント基板取付は軸１２に支持されたプリント基板２に
接続させる。

この状態で、スルホール基板６に形成された、２２５０
０個の導通スルホール１１の位置間の導通状態を検査す
ることができる。

［本発明の異なる実施例］次に第１６図ないし第３２図に示す本発明の異なる実施
例につき説明する。なお、これらの実施例の説明に当っ
て、前記本発明の実施例と同一構成部分には同一符号を
付して重複する説明を省略する。

第１６図ないし第１９図の実施例において、前記本発明
の実施例と主に異なる点は、スルホール基板６Ａには導
通スルホール１７だけ形成し、積層基板９Ａの複数個の
第２のスルーホール塞板８に前記スルホール基板６Ａの
導通スルホール１７とそれぞれ導通される配線１９を分
割配置した点で、このようにスルホール基板６Ａおよび
積層基板９Ａを用いて構成した検査治具３Ａを使用した
プリント基板等の検査装ＷＩＡにしても前記本発明の実
施例と同様な作用効果が得られる。

第２０図ないし第２３図の実施例において、前記本発明
の実施例と主に異なる点は積層基板９Ｂで、この積層基
板９Ｂに一側面にだけ配線１９を形成した複数個の第２
のスルホール基板８Ａを用いて構成した点で、このよう
に構成された積層基板９Ｂを用いて構成した検査治具３
Ｂを使用したプリント基板等の検査装置１Ｂにしても同
様な作用効果が得られる。

第２４図ないし第２７図の実施例において、スルホール
基板６および積層基板９Ｃを構成する異方性導電弾性シ
ート７ヤ第２のスルホール基板８を接着剤を用いて固定
した点で、このようにスルホール基板６および積層基板
９Ｃを固定した検査治具３Ｃを用いてプリント基板等の
検査装置１Ｃにしても同様な作用効果が得られる。

第２８図ないし第３２図の実施例において、前記本発明
の実施例と主に異なる点は積層基板９Ｄで、この積層基
板９Ｄはスルホール基板６側に位置する一番目の第２の
スルホール基板８Ｂには前記スルホール基板６に形成さ
れた配線１９された部位の導電スルホール１７のないも
のを用い、２番目の第２のスルホール基板８Ｂにはスル
ホール基板６および一番目の第２のスルホール基板８Ｂ
１．：Ｘ形成された配線された部位の導電スルホール１
７のないものを順次用いた点で、このように形成された
複数個の第２のスルホール基板８Ｂを用いることにより
、第２のスルホール基板８Ｂに形成する配線１９を容易
に形成することができる。

このように形成された＠層基板９Ｄを用いて構成した検
査治具３Ｄを使用し、プリント基板等の検査装置１Ｄに
しても同様な作用効果が得られる。

なお、前記本発明の実施例ではプリント基板の配線を検
査するものについて説明したが、本発明はこれに限らず
、平板上に導体が位置する状態で配線されているもので
あればどんなものでも検査することができる。

また、本発明の実施例では有効センリー範囲が１５イン
チのものについて説明したが、使用目的に応じてどんな
大きさのものにでも容易に形成できる。

さらに、本発明の実施例では従来のビン間１本のピッチ
で導通スルホールを形成したものについて説明したが、
本発明は従来のプローブビンのがわりに導通スルホール
を用いるため、ビン間２本、３本は勿論のこと、従来不
可能とされているビン間４本以上、ビン間７本でも０．
３１７ａｅ＋のピッチで導電スルホールを形成すればよ
く、比較的容易に微小ピッチ間隔のマトリックス状の検
査治具を製造することができる。

なお、本発明の実施例では可撓性フィルムプリント基板
でも、あるいは積層プリント基板でも同様に検査するこ
とができる。

また、前記本発明の実施例ではスルホール基板６や第２
のスルホール基板８の外周部を薄肉に形成したものにつ
いて説明したが、本発明はこれに限らず中央部と同じ肉
厚に形成したスルボール基板６や第２のスルホール基板
８を用いてもシート状コネクター３２で配線端子３１に
接続することができる。

「本発明の効果Ｊ以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に
列挙する効果が得られる。

（１）検査するプリント基板等に接触させることができ
る検査治具と、この検査治具に接続された検査機とから
なるプリント基板等の検査装置において、前記検査治具
を前記検査するプリント基板等に接触させることができ
る厚さ方向に軸心方向が位置するように数十ミクロン−
数ミクロンの間隔で数十ミクロン−数ミクロンの直径の
導電線あるいは数十ミクロン−数ミクロンの幅寸法のフ
ィラー状の導電線がほぼマトリックス状に配置された異
方性導電弾性シートと、この異方性導電弾性シートに固
定された該異方性導電弾性シートの少なくとも数本の導
電線と接触する導通スルホールが２５４ミリピッチ〜０
１４９ミリピッチのマトリックス状に多数個形成された
スルホール基板と、このスルホール基板の反異方性導電
弾性シート取付は面に固定された前記異方性導電弾性シ
ートと同構成の異方性導電弾性シートおよび前記スルホ
ール基板のスルホールと前記異方性導電弾性シートを介
して導通される前記スルホール基板と同構成の第２のス
ルホール基板とを少なくとも１層以上積層した積層基板
と、この積層基板のスルホール基板に分割されて配置さ
れた外周部寄りの部位に前記検査機に接続されるターミ
ナルを有するスルホールに接続された多数本の配線とで
構成されているので、従来のようにプローブビンを用い
ないので、多数本のプローブビンの実装作業が不用で、
製造が容易で、短時間に製造することができる。

（２）前記（１）によって、導電スルホールが従来のプ
ローブビンの役目をするため、従来に比べ著しく微小ピ
ッチ間隔の検査治具を製造することができる。

（３）前記（１）によって、検査機に接続する配線のタ
ーミナルは積層基板の複数枚の第２のスルホール基板に
別けて形成できるので、接続が確実で、容易にできるピ
ッチ間隔に形成できる。

（４）前記（１）によって、プリント基板等と接触され
る異方性導電弾性シートの導電線は数ミクロンから数千
ミクロンの径に形成されているため、プリント基板等の
導電部分をＩＩＩさせたりするのを防止できる。

（５）前記（１）によって、微小ピッチにすればする程
＾価で、故障しやすいプローブビンを用いないので、安
価で耐久性の向上を図ることができる。

（６）請求項２．３．４．５も前記（１）〜（５）と同
様な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図および
第３図は検査治具の説明図、第４図および第５図は異方
性導電弾性シートの説明図、第６図は異なる異方性導電
弾性シートの説明図、第７図ないし第９図はスルホール
基板の説明図、第１０図ないし第１３図は積層基板の説
明図、第１４図および第１５図はスルホール基板と検査
機との接続状態を示す説明図、第１６図ないし第１９図
、第２０図ないし第２３図、第２４図ないし第２７図、
第２８図ないし第３２図はそれぞれ本発明の異なる実施
例を示す説明図である。１．１Ａ〜１Ｄニブリント基板等の検査Ｈ置、２ニブリ
ント基板、３．３Ａ〜３Ｄ＝検査治具、４：検査機、５：異方性導電弾性シート、６．６Ａ：スルホール基板、７：異方性導電弾性シート、８．８Ａ、８Ｂ＝第２のスルホール基板、９．９Ａ〜９
Ｄ：積層基板、１０：取付は板、　　　　１１：固定層、１２ニブリン
ト基板取付は治具、１３：弾性絶縁シート、　１４：導電線、１５：突起部
、　　　　　１６：スルホール基板本体、１７：導電ス
ルホール、　１８：ターミナル、１９：配線、　　　　
　　２０：取付は板本体、２１：上下移動装置、　　２
２ニブレート、２３：ボルト挿入孔、２５：ボルト、２７：位置決め機構、２９ニガイド孔、３１：配線端子、特　　許　　出　　願２４：２６：２８：３０＝３２：ねじ孔、ベース板、支持台、ガイドビン、シート状コネクター人藤　　好　　盛　　道第図第図第図一第第図図第１０図第図第１４図第図Ｖ第図／第２８図第２９図

Claims

【特許請求の範囲】１）検査するプリント基板等に接触させることができる
検査治具と、この検査治具に接続された検査機とからな
るプリント基板等の検査装置において、前記検査治具を
前記検査するプリント基板等に接触させることができる
厚さ方向に軸心方向が位置するように数十ミクロン〜数
ミクロンの間隔で数十ミクロン〜数ミクロンの直径の導
電線あるいは数十ミクロン〜数ミクロンの幅寸法のフィ
ラー状の導電線がほぼマトリックス状に配置された異方
性導電弾性シートと、この異方性導電弾性シートに固定
された該異方性導電弾性シートの少なくとも数本の導電
線と接触する導通スルホールが２．５４ミリピッチ〜０
．１４９ミリピッチのマトリックス状に多数個形成され
たスルホール基板と、このスルホール基板の反異方性導
電弾性シート取付け面に固定された前記異方性導電弾性
シートと同構成の異方性導電弾性シートおよび前記スル
ホール基板のスルホールと前記異方性導電弾性シートを
介して導通される前記スルホール基板と同構成の第２の
スルホール基板とを少なくとも１層以上積層した積層基
板と、この積層基板のスルホール基板に分割されて配置
された外周部寄りの部位に前記検査機に接続されるター
ミナルを有するスルホールに接続された多数本の配線と
からなることを特徴とするプリント基板等の検査装置。２）検査するプリント基板等に接触させることができる
検査治具と、この検査治具に接続された検査機とからな
るプリント基板等の検査装置において、前記検査治具を
前記検査するプリント基板等に接触させることができる
厚さ方向に軸心方向が位置するように数十ミクロン〜数
ミクロンの間隔で数十ミクロン〜数ミクロンの直径の導
電線あるいは数十ミクロン〜数ミクロンの幅寸法のフィ
ラー状の導電線がほぼマトリックス状に配置された異方
性導電弾性シートと、この異方性導電弾性シートに固定
された該異方性導電弾性シートの少なくとも数本の導電
線と接触する導通スルホールが２．５４ミリピッチ〜０
．１４９ミリピッチのマトリックス状に多数個形成され
たスルホール基板本体、このスルホール基板本体の少な
くとも一側面に形成された前記所定位置のスルホールと
導通する該スルホール基板本体の外周部寄りの部位に前
記検査機に接続されるターミナルが形成された多数本の
配線とからなるスルホール基板と、このスルホール基板
の反異方性導電弾性シート取付け面に固定された前記異
方性導電弾性シートと同構成の異方性導電弾性シートお
よび前記スルホール基板に形成されなかった部位のスル
ホールと前記異方性導電弾性シートを介して導通される
外周部寄りの部位に前記検査機に接続されるターミナル
が形成された多数個の配線が形成された第２のスルホー
ル基板とを少なくとも１層以上積層した積層基板とから
なることを特徴とするプリント基板等の検査装置。３）検査するプリント基板等に接触させることができる
検査治具と、この検査治具に接続された検査機とからな
るプリント基板等の検査装置において、前記検査治具を
前記検査するプリント基板等に接触させることができる
厚さ方向に軸心方向が位置するように微小間隔で導電線
が配置された異方性導電弾性シートと、この異方性導電
弾性シートに固定された該異方性導電弾性シートの少な
くとも数本の導電線と接触する導通スルホールがマトリ
ックス状に多数個形成されたスルホール基板本体、この
スルホール基板本体の少なくとも一側面に形成された前
記所定位置のスルホールと導通する該スルホール基板本
体の外周部寄りの部位に前記検査機に接続されるターミ
ナルが形成された多数本の配線とからなるスルホール基
板と、このスルホール基板の反異方性導電弾性シート取
付け面に固定された前記異方性導電弾性シートと同構成
の異方性導電弾性シートおよび前記スルホール基板に形
成されなかつた部位のスルホールと前記異方性導電弾性
シートを介して導通される外周部寄りの部位に前記検査
機に接続されるターミナルが形成された多数個の配線が
形成された第２のスルホール基板とを少なくとも１層以
上積層した積層基板とからなることを特徴とするプリン
ト基板等の検査装置。４）検査するプリント基板等に接触させることのできる
検査治具と、この検査治具に接続された検査機とからな
るプリント基板等の検査装置において、前記検査治具を
前記検査するプリント基板等に接触させることができる
厚さ方向に軸心方向が位置するように微小間隔で微小径
の導電線が配置された異方性導電弾性シートと、この異
方性導電弾性シートに固定された該異方性導電弾性シー
トの少なくとも数本の導電線と接触する導通スルホール
がマトリックス状に多数個形成されたスルホール基板本
体、このスルホール基板本体の少なくとも一側面に形成
された前記所定位置のスルホールと導通する該スルホー
ル基板本体の外周部寄りの部位に前記検査機に接続され
るターミナルが形成された多数本の配線とからなるスル
ホール基板と、このスルホール基板の反異方性導電弾性
シート取付け面に接続された前記異方性導電弾性シート
と同構成の異方性導電弾性シートおよび前記スルホール
基板に形成されなかった部位のスルホールと前記異方性
導電弾性シートを介して導通される外周部寄りの部位に
前記検査機に接続されるターミナルが形成された多数個
の配線が形成された第２のスルホール基板とを少なくと
も１層以上積層した積層基板と、この積層基板の他面に
取付けられた取付け板と、この取付け板、前記積層基板
およびスルホール基板とが一体となるように固定する固
定具とからなることを特徴とするプリント基板等の検査
装置。５）検査するプリント基板等に接触させることのできる
検査治具と、この検査治具に接続された検査機とからな
るプリント基板等の検査装置において、前記検査治具を
前記検査するプリント基板等に接触させることができる
厚さ方向に軸心方向が位置するように微小間隔で微小径
の導電線が配置された異方性導電弾性シートと、この異
方性導電弾性シートに固定された該異方性導電弾性シー
トの少なくとも数本の導電線と接触する導通スルホール
がマトリックス状に多数個形成されたスルホール基板本
体、このスルホール基板本体の少なくとも一側面に形成
された前記所定位置のスルホールと導通する該スルホー
ル基板本体の外周部寄りの部位に前記検査機に接続され
るターミナルが形成された多数本の配線とからなるスル
ホール基板と、このスルホール基板の反異方性導電弾性
シート取付け面に接続された前記異方性導電弾性シート
と同構成の異方性導電弾性シートおよび前記スルホール
基板に形成されなかった部位のスルホールと前記異方性
導電弾性シートを介して導通される外周部寄りの部位に
前記検査機に接続されるターミナルが形成された多数個
の配線が形成された第２のスルホール基板とを少なくと
も１層以上積層した積層基板と、この積層基板の他面に
取付けられた取付け板と、この取付け板、前記積層基板
およびスルホール基板とが一体となるように固定する固
定具と、前記取付け板あるいは該取付け板が取付けられ
る上下移動可能なプレートに取付けられた複数本のガイ
ドピンと、このガイドピンが挿入されるガイド孔が形成
された検査するプリント基板等が位置決め状態で取付け
ることのできるプリント基板等の取付け治具とからなる
ことを特徴とするプリント基板等の検査装置。