JPH048436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048436U JPH048436U JP4769290U JP4769290U JPH048436U JP H048436 U JPH048436 U JP H048436U JP 4769290 U JP4769290 U JP 4769290U JP 4769290 U JP4769290 U JP 4769290U JP H048436 U JPH048436 U JP H048436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- transport arm
- transport
- utility
- scope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例を示す側面図、第２
図はその要部の詳細側面図である。 １……搬送アーム、２……搬送用ころ、３……
カセツト、４……試料、６……ベアリング、７…
…試料載台。
図はその要部の詳細側面図である。 １……搬送アーム、２……搬送用ころ、３……
カセツト、４……試料、６……ベアリング、７…
…試料載台。
Claims (1)
- 試料載台と搬送アームより成る試料搬送装置に
おいて、搬送アームにアース金具を設けたことを
特徴とする試料搬送装置の帯電防止機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4769290U JPH048436U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4769290U JPH048436U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048436U true JPH048436U (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=31563848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4769290U Pending JPH048436U (ja) | 1990-05-09 | 1990-05-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048436U (ja) |
-
1990
- 1990-05-09 JP JP4769290U patent/JPH048436U/ja active Pending
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