JPH0481907A - 微小位置決め装置 - Google Patents
微小位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0481907A JPH0481907A JP19581890A JP19581890A JPH0481907A JP H0481907 A JPH0481907 A JP H0481907A JP 19581890 A JP19581890 A JP 19581890A JP 19581890 A JP19581890 A JP 19581890A JP H0481907 A JPH0481907 A JP H0481907A
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- piezo element
- piezo
- driven
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Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸ軸ステージなどの駆動装置に関し、更に詳し
くは、精度良く位置決めを行うことの可能な微小位置決
め装置に関するものである。
くは、精度良く位置決めを行うことの可能な微小位置決
め装置に関するものである。
〔従来の技術および解決しようとする課題〕近年、ピエ
ゾ素子を利用した各種のアクチュエータが提案されてい
る。そこで、本発明の課題は、このピエゾ素子を利用し
て精度良く被駆動部材の位置決めを行うことの可能な微
小位置決め装置を実現することにある。
ゾ素子を利用した各種のアクチュエータが提案されてい
る。そこで、本発明の課題は、このピエゾ素子を利用し
て精度良く被駆動部材の位置決めを行うことの可能な微
小位置決め装置を実現することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の微小位置決め装
置においては、少なくとも一方向に直線移動可能に支持
された被駆動部材を挟み、この直線移動方向の上流側に
第１のピエゾ素子を配置し、下流側に第２のピエゾ素子
を配置すると共に、少なくとも第１のピエゾ素子に電圧
を印加する電圧印加手段および、少なくとも第２のピエ
ゾ素子に発生した電圧を検知する電圧検知手段とを備え
ている。そして、上記の第１および第２のピエゾ素子を
、直線移動方向に変位可能に配列すると共に、一方の端
を被駆動部材の側に当接させ、他方の端を拘束状態に支
持した状態にしである。
置においては、少なくとも一方向に直線移動可能に支持
された被駆動部材を挟み、この直線移動方向の上流側に
第１のピエゾ素子を配置し、下流側に第２のピエゾ素子
を配置すると共に、少なくとも第１のピエゾ素子に電圧
を印加する電圧印加手段および、少なくとも第２のピエ
ゾ素子に発生した電圧を検知する電圧検知手段とを備え
ている。そして、上記の第１および第２のピエゾ素子を
、直線移動方向に変位可能に配列すると共に、一方の端
を被駆動部材の側に当接させ、他方の端を拘束状態に支
持した状態にしである。
上記の第１のピエゾ素子に対して電圧印加手段によって
一定の方向に電圧を印加すると、このピエゾ素子が伸張
する方向に変位して被駆動部材が押されて移動する。従
って、この第１のピエゾ素子は、被駆動部材を微小送り
するための手段として機能する。一方、他方の第２のピ
エゾ素子の側は、この微小移動した被駆動部材によって
圧縮され、圧縮量に対応した電圧が発生する。この電圧
は、電圧検知手段によって検知される。この検知電圧か
ら第２のピエゾ素子の圧縮量を算出でき、従って、被駆
動部材の移動量あるいは移動位置を求めることができる
。このように、第２のピエゾ素子は、微小移動後の被駆
動部材の位置検知手段としてＩ！能する。
一定の方向に電圧を印加すると、このピエゾ素子が伸張
する方向に変位して被駆動部材が押されて移動する。従
って、この第１のピエゾ素子は、被駆動部材を微小送り
するための手段として機能する。一方、他方の第２のピ
エゾ素子の側は、この微小移動した被駆動部材によって
圧縮され、圧縮量に対応した電圧が発生する。この電圧
は、電圧検知手段によって検知される。この検知電圧か
ら第２のピエゾ素子の圧縮量を算出でき、従って、被駆
動部材の移動量あるいは移動位置を求めることができる
。このように、第２のピエゾ素子は、微小移動後の被駆
動部材の位置検知手段としてＩ！能する。
以下に、第１図を参照して、本発明の一実施例に係るＸ
軸ステージを説明する。
軸ステージを説明する。
図に示すＸ軸ステージ１において、２は架台であり、こ
の架台２の長手方向に向けて２条の直線案内レール３．
３が平行に取付けられており、これらのレールによって
、矩形のステージ板４がレールに沿って直線移動可能に
支持されている。このステージ板４の移動方向の両側に
は、第１および第２の円柱形ピエゾ素子５．６が配置さ
れている。本例ではこれら第１および第２のピエゾ素子
５．６は同一形状であり、同一の電圧−歪み特性を有し
ている。第１のピエゾ素子５は、一方の端５ａがステー
ジ板４の側面４ａに当接し、他方の端５ｂが、側面４ａ
に対向している架台側面２ａに固着されている。同様に
、第２のピエゾ素子６は、一方の側６ａがステージ板の
側面４ｂに当接し、他方の端６ｂが架台側面２ｂに固着
されている。
の架台２の長手方向に向けて２条の直線案内レール３．
３が平行に取付けられており、これらのレールによって
、矩形のステージ板４がレールに沿って直線移動可能に
支持されている。このステージ板４の移動方向の両側に
は、第１および第２の円柱形ピエゾ素子５．６が配置さ
れている。本例ではこれら第１および第２のピエゾ素子
５．６は同一形状であり、同一の電圧−歪み特性を有し
ている。第１のピエゾ素子５は、一方の端５ａがステー
ジ板４の側面４ａに当接し、他方の端５ｂが、側面４ａ
に対向している架台側面２ａに固着されている。同様に
、第２のピエゾ素子６は、一方の側６ａがステージ板の
側面４ｂに当接し、他方の端６ｂが架台側面２ｂに固着
されている。
７は制御回路であり、上記の第１のピエゾ素子５に対し
てはリード線８を介して目標とする微細送り量に対応し
た電圧を印加し、上記の第２のピエゾ素子６からは、リ
ード線９を介してそこに発生した電圧を検知している。
てはリード線８を介して目標とする微細送り量に対応し
た電圧を印加し、上記の第２のピエゾ素子６からは、リ
ード線９を介してそこに発生した電圧を検知している。
この構成のＸ軸ステージｌにおいて、ステージ板４をそ
の送り方向Ｘに向けて微小送りする場合には、制御回路
７の制御の下に、第１のピエゾ素子５に対して、これが
伸張する方向に、所定値の直流電圧を印加する。この電
圧印加により、第１のピエゾ素子５は伸張し、ステージ
板４をＸ方向に押して微小移動させる。これに対して、
他方の側の第２のピエゾ素子６は、このステージ板４が
微小移動した分だけ圧縮される。この圧縮変形に対応し
た電圧が、この第２のピエゾ素子内に発生する。この発
生電圧が制御回路７によって検知される。検知された電
圧値から、ステージ板４の実際の移動量が検知される。
の送り方向Ｘに向けて微小送りする場合には、制御回路
７の制御の下に、第１のピエゾ素子５に対して、これが
伸張する方向に、所定値の直流電圧を印加する。この電
圧印加により、第１のピエゾ素子５は伸張し、ステージ
板４をＸ方向に押して微小移動させる。これに対して、
他方の側の第２のピエゾ素子６は、このステージ板４が
微小移動した分だけ圧縮される。この圧縮変形に対応し
た電圧が、この第２のピエゾ素子内に発生する。この発
生電圧が制御回路７によって検知される。検知された電
圧値から、ステージ板４の実際の移動量が検知される。
すなわち、移動位置が検知される。この後は、第１のピ
エゾ素子への印鑑電圧値が調整され、ステージ板４が目
標とする移動位置に正確に位置決めされるようにフィー
ドバック制御される。
エゾ素子への印鑑電圧値が調整され、ステージ板４が目
標とする移動位置に正確に位置決めされるようにフィー
ドバック制御される。
このように、本例のＸ軸ステージ１においては、第１お
よび第２のピエゾ素子を利用して、ステージ板の微小移
動と、移動量あるいは移動位置の検知を行うようにして
いるので、ステージの送り制御を高精度で行うことがで
きる。
よび第２のピエゾ素子を利用して、ステージ板の微小移
動と、移動量あるいは移動位置の検知を行うようにして
いるので、ステージの送り制御を高精度で行うことがで
きる。
なお、上記の例では、第１のピエゾ素子をテーブルの微
細送り用のみに使用しているが、第２のピエゾ素子に対
して電圧を印加することにより、第２のピエゾ素子もテ
ーブルの微細送りのために利用することができる。同様
に、第１のピエゾ素子の側も、そこに発生する電圧を検
知することにより、テーブルの微細送り量あるいは送り
位置を検知するために利用することができる。
細送り用のみに使用しているが、第２のピエゾ素子に対
して電圧を印加することにより、第２のピエゾ素子もテ
ーブルの微細送りのために利用することができる。同様
に、第１のピエゾ素子の側も、そこに発生する電圧を検
知することにより、テーブルの微細送り量あるいは送り
位置を検知するために利用することができる。
さらに、本発明はＸ−Ｙ軸ステージに対しても適用する
ことができる。この場合には、Ｘ方向およびＹ方向に、
それぞれ第１および第２のピエゾ素子を配置するように
すればよい。
ことができる。この場合には、Ｘ方向およびＹ方向に、
それぞれ第１および第２のピエゾ素子を配置するように
すればよい。
以上説明したように、本発明の微小位置決め装置におい
ては、第１のピエゾ素子によって被駆動部材を微小送り
し、微小送りされた被駆動部材によって第２のピエゾ素
子を変位させ、この変位した第２のピエゾ素子に発生す
る電圧を検知するようにしている。従って、本発明によ
れば、精度良く被駆動部材を微小送りでき、微小送りさ
れた被駆動部材の実際の微小送り量あるいは微小送り位
置を、第２のピエゾ素子の発生電圧に基づき精度良く検
知できるので、被駆動部材の微小位置決めを精度良く行
うことができる。
ては、第１のピエゾ素子によって被駆動部材を微小送り
し、微小送りされた被駆動部材によって第２のピエゾ素
子を変位させ、この変位した第２のピエゾ素子に発生す
る電圧を検知するようにしている。従って、本発明によ
れば、精度良く被駆動部材を微小送りでき、微小送りさ
れた被駆動部材の実際の微小送り量あるいは微小送り位
置を、第２のピエゾ素子の発生電圧に基づき精度良く検
知できるので、被駆動部材の微小位置決めを精度良く行
うことができる。
第１図は本発明の一実施例に係るＸ軸ステージを示す概
略構成図である。 〔符号の説明］ １・・・Ｘ軸ステージ ４・・・ステージ板（被駆動部材） ５・・・第１のピエゾ素子 ６・・・第２のピエゾ素子 ７・・・制御回路（電圧印加手段、電圧検知手段）。 第１図
略構成図である。 〔符号の説明］ １・・・Ｘ軸ステージ ４・・・ステージ板（被駆動部材） ５・・・第１のピエゾ素子 ６・・・第２のピエゾ素子 ７・・・制御回路（電圧印加手段、電圧検知手段）。 第１図
Claims (1)
- 直線移動可能に支持された被駆動部材を挟み、前記直
線移動方向の一方の側に位置する第１のピエゾ素子およ
び他方の側に位置する第２のピエゾ素子と、少なくとも
前記第１のピエゾ素子に電圧を印加する電圧印加手段と
、少なくとも前記第２のピエゾ素子に発生した電圧を検
知する電圧検知手段とを有し、前記第１および第２のピ
エゾ素子は、前記直線移動方向に変位可能に配列され、
一方の端が前記被駆動部材の側に当接し、他方の端が移
動不可の拘束状態に支持されていることを特徴とする微
小位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19581890A JPH0481907A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 微小位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19581890A JPH0481907A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 微小位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481907A true JPH0481907A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16347507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19581890A Pending JPH0481907A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 微小位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0481907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021006169A1 (ja) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | アズビル株式会社 | 補正装置及び補正方法 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP19581890A patent/JPH0481907A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021006169A1 (ja) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | アズビル株式会社 | 補正装置及び補正方法 |
| JP2021014874A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | アズビル株式会社 | 補正装置及び補正方法 |
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