JPH0480377A - 表面処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は表面処理装置、特に電子ビームを使用する表
面処理装置に関する。

（従来の技術） 電子ビームを被照射物に照射することによって、その表
面の硬度、耐摩耗、耐腐食、耐熱などの特性を改良する
ことは、すでによく知られている。

従来ではこのような表面処理に使用する電子ビームとし
て、連続電子ビームを使用するのを普通としている。

（発明が解決しようとする課題） しかし従来のような電子ビームによる表面処理は、処理
される被照射物の面が平坦であることが多く、たとえば
筒状の被照射物の内面あるいは外面への照射による表面
処理は大きな困難が伴っていた。特に内面の処理は極め
て困難であり、また外面の処理も、被照射物を回転させ
るなどの必要があった。

この発明は、筒状の被照射物の内外面の表面処理を容易
に可能とすることを目的とする。

（課題を解決するための手段） この発明は、パルス電圧を真空中のカソード、アノード
間へ印加することにより、カソードより発生するパルス
電子ビームを被照射物に照射し。

表面処理を行なう装置において、カソード、アノードお
よび被照射物を筒状とするとともに、そのそれぞれを同
軸に配置することを特徴とする特（作用） パルス電子ビームはカソードから面状に発生させること
ができるので、そのカソードを筒状とし、またアノード
もカソードと同軸の筒状とすることによって、カソード
の内面または外面からパルス電子ビームを発生すること
ができるようになる。

したがって被照射物をアノード、カソードとともに同軸
に配置しておけば、カソードからのパルス電子ビームを
、被照射物の内面または外面に照射することができるよ
うになる。

たとえば被照射物の内側にカソードを配置しておけば、
被照射物の内面を表面処理することができ、また被照射
物の外側にカソードを配置しておけば、被照射物の外面
を表面処理することができるようになる。

（実施例） この発明の詳細な説明する。第５図はパルス電子ビーム
を発生するための基本的構成の一例を示し、これはエネ
ルギー蓄積コンデンサ１に蓄えられた電気エネルギーを
、スイッチ２を用いてパルス放電させる。

放電エネルギーは、パルス成形部３．出力スイッチ４に
より、高電圧、短パルスへと波形成形される。そしてア
ノード５、カソード６からなる電子ビームダイオード部
７（真空）に印加する。

なおりソード６はコールドカソードで、その材料として
は、高融点金属フォイルのエツジ、チーズブレータ、カ
ーボンフェルト、ベルベットなどからなり、カソード基
板の全面に一様に取り付けられている。

またアノード５は、パルス電子ビーム８が透過可能な金
属薄膜、金属メツシュ、金属多孔体などによって構成さ
れである。

カソード６とアノード５との間に前記のようにして発生
されたパルス電圧を印加すると、カソード６からの電界
放出、並びにそれに伴って発生するカソード表面プラズ
マより、面状（シャワー状）のパルス電子ビーム８が均
一に発生する。これを台９の上にある被照射物１０の表
面に照射して、所要の表面処理を行なう。

この発明にしたがい、アノード５、カソード６および被
照射物１０を筒（たとえば円筒）状とし、これらを同軸
に配置する。第１図に示す例は、被照射物１０の内面を
処理する場合の構成を示し。

アノード５の内側にカソード６を配置する。そして被照
射物１０をアノード５の内面に直接取り付けるか、また
は被照射物１０をアノードとして使用する。

このようにすれば、カソード６からのパルス電子ビーム
８が被照射物１０の内面を照射し、これによってその内
面が表面処理されるようになる。

この場合第２図に示すようにアノード５として、電子ビ
ームが透過可能の金属薄膜または金属メツシュ、金属多
孔体を用い、これをカソード６の外側に配置し、その外
側に被照射物１０を配置するようにしてもよい。

第３図に示す例は、被照射物１０の外面を処理する場合
の構成を示し、アノード５の外側にカソード６を配置す
る。そして被照射物１０をアノード５の表面に直接取り
付けるか、または被照射物１０をアノードとして使用す
る。

このようにすれば、カソード６からのパルス電子ビーム
８が被照射物１０の外面を照射し、これによってその外
面が表面処理されるようになる。

この場合第４図に示すようにアノード５として、電子ビ
ームが透過可能の金属薄膜または金属メツシュ、金属多
孔体を用い、これを被照射物１０の外側に配置するとと
もに、その外側にカソード６を配置するようにしてもよ
い。

なおこれらの各構成において、被照射物１０をその軸方
向に移動させる機構を設ければ、長尺状の被照射物をよ
り早く処理することができるようになる。

（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、パルス電子ビー
ムを利用し、かつアノード、カソードおよび被照射物を
筒状にして同軸に配置することによって、被照射物の内
面または外面に電子ビームを照射することができ、した
がってその内面または外面の表面処理を容易に実施する
ことができるようになるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図はこの発明の実施例を示す断面図、第
５図はこの発明の実施にあたって使用するパルス電子ビ
ーム発生装置の断面図である。 ５・・・アノード、６・・・カソード、８・・・パルス
電子ビ１０・・・被照射物、 第７図 兜２図 第５ｍ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 パルス電圧を真空中のカソード、アノード間へ印加する
   ことにより、前記カソードより発生するパルス電子ビー
   ムを被照射物に照射し、表面処理を行なう表面処理装置
   において、前記カソード、アノードおよび被照射物を筒
   状とするとともに、そのそれぞれを同軸に配置してなる 表面処理装置。