JPH0478198B2 - - Google Patents
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- JPH0478198B2 JPH0478198B2 JP62092907A JP9290787A JPH0478198B2 JP H0478198 B2 JPH0478198 B2 JP H0478198B2 JP 62092907 A JP62092907 A JP 62092907A JP 9290787 A JP9290787 A JP 9290787A JP H0478198 B2 JPH0478198 B2 JP H0478198B2
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 38
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 30
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 19
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 3
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、角度位相整合型の光パラメトリツク
発振器と、この光パラメトリツク発振器の発振光
を入射光とし、その高調波を出射光として出力す
る角度位相整合型の高調波発生器とからなる波長
可変レーザ装置に関するものである。
発振器と、この光パラメトリツク発振器の発振光
を入射光とし、その高調波を出射光として出力す
る角度位相整合型の高調波発生器とからなる波長
可変レーザ装置に関するものである。
[従来の技術]
従来、この種の波長可変レーザ装置は、第5図
に示すように構成されていた。この図において1
は光パラメトリツク発振器、2は第2高調波発生
器である。前記光パラメトリツク発振器1は、励
起光(例えば波長が355nm)3を集光するコリメ
ーテイングレンズ4と、入射ミラー5と、出射ミ
ラー6と、これらのミラー5,6間に配設された
容器7と、この容器7内に封入された尿素単結晶
などからなる非線形光学結晶8とからなり、手動
によつて非線形光学結晶8を回動軸9の回りに容
器7と一体に矢印方向に回動制御し、発振光10
の波長を一定範囲(例えば500〜1230nm)で連続
的に変えるように構成されている(いわゆる角度
位相整合型)。
に示すように構成されていた。この図において1
は光パラメトリツク発振器、2は第2高調波発生
器である。前記光パラメトリツク発振器1は、励
起光(例えば波長が355nm)3を集光するコリメ
ーテイングレンズ4と、入射ミラー5と、出射ミ
ラー6と、これらのミラー5,6間に配設された
容器7と、この容器7内に封入された尿素単結晶
などからなる非線形光学結晶8とからなり、手動
によつて非線形光学結晶8を回動軸9の回りに容
器7と一体に矢印方向に回動制御し、発振光10
の波長を一定範囲(例えば500〜1230nm)で連続
的に変えるように構成されている(いわゆる角度
位相整合型)。
前記第2高調波発生器2は、光パラメトリツク
発振器1の発振光10を入射光とし、レンズ1
1,12間に配設された非線形光学結晶13を手
動によつて回動軸14の回りに矢印方向に回動制
御し、入射光(=発振光10)の第2高調波(波
長は1/2になる)を出射光15として出力するよ
うに構成されている。
発振器1の発振光10を入射光とし、レンズ1
1,12間に配設された非線形光学結晶13を手
動によつて回動軸14の回りに矢印方向に回動制
御し、入射光(=発振光10)の第2高調波(波
長は1/2になる)を出射光15として出力するよ
うに構成されている。
[発明が解決しようとする問題点]
第5図に示す従来例では、手動で非線形光学結
晶8,13の回動を制御して発振光10および出
射光15の波長を変えるようにしていたので、波
長を所望値に設定する操作が煩雑であるととも
に、正確に設定することが困難であるという問題
点があつた。とくに、波長の時間的変化を一定に
したい場合には、入射角と発振波長が線形の関係
になつていないので、手動では極めて困難であつ
た。
晶8,13の回動を制御して発振光10および出
射光15の波長を変えるようにしていたので、波
長を所望値に設定する操作が煩雑であるととも
に、正確に設定することが困難であるという問題
点があつた。とくに、波長の時間的変化を一定に
したい場合には、入射角と発振波長が線形の関係
になつていないので、手動では極めて困難であつ
た。
本発明は、上述の問題点に鑑みなされたもの
で、正確かつ簡単に波長の設定および設定変更を
行うことのできる波長可変レーザ装置を提供する
ことを目的とするものである。
で、正確かつ簡単に波長の設定および設定変更を
行うことのできる波長可変レーザ装置を提供する
ことを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
本発明による波長可変レーザ装置は、角度位相
整合型の光パラメトリツク発振器と、この光パラ
メトリツク発振器の発振光を入射光とし、その高
調波を出射光として出力する角度位相整合型の高
調波発生器と、前記光パラメトリツク発振器の非
線形光学結晶に入射する励起光の入射角を変化さ
せる第1の駆動手段と、前記高調波発生器の非線
形光学結晶に入射する発振光の入射角を変化させ
る第2の駆動手段と、前記励起光の入射角を検出
する第1の角度検出回路と、前記発振光の入射角
を検出する第2の角度検出回路と、前記出射光の
波長可変範囲内の複数個の波長のそれぞれに対応
した前記励起光の入射角と前記発振光の入射角と
を設定値として記憶するメモリと、前記出射光の
波長可変範囲内の複数個の波長のうちの1つを選
択する波長選択回路と、この波長選択回路の選択
信号に基づいて選択波長に対応した設定入射角を
前記メモリから読み出し、これらを前記第1、第
2角度検出回路の検出入射角とそれぞれ比較演算
し、その演算出力に基づいて前記第1、第2駆動
手段を制御する演算制御手段とを具備してなるこ
とを特徴とするものである。
整合型の光パラメトリツク発振器と、この光パラ
メトリツク発振器の発振光を入射光とし、その高
調波を出射光として出力する角度位相整合型の高
調波発生器と、前記光パラメトリツク発振器の非
線形光学結晶に入射する励起光の入射角を変化さ
せる第1の駆動手段と、前記高調波発生器の非線
形光学結晶に入射する発振光の入射角を変化させ
る第2の駆動手段と、前記励起光の入射角を検出
する第1の角度検出回路と、前記発振光の入射角
を検出する第2の角度検出回路と、前記出射光の
波長可変範囲内の複数個の波長のそれぞれに対応
した前記励起光の入射角と前記発振光の入射角と
を設定値として記憶するメモリと、前記出射光の
波長可変範囲内の複数個の波長のうちの1つを選
択する波長選択回路と、この波長選択回路の選択
信号に基づいて選択波長に対応した設定入射角を
前記メモリから読み出し、これらを前記第1、第
2角度検出回路の検出入射角とそれぞれ比較演算
し、その演算出力に基づいて前記第1、第2駆動
手段を制御する演算制御手段とを具備してなるこ
とを特徴とするものである。
[作用]
予め、メモリには、出射光の波長可変範囲内の
複数個の波長のそれぞれに対応した、光パラメト
リツク発振器における励起光の入射角と高調波発
生器における発振光の入射角とを設定値として記
憶しておく。
複数個の波長のそれぞれに対応した、光パラメト
リツク発振器における励起光の入射角と高調波発
生器における発振光の入射角とを設定値として記
憶しておく。
波長選択回路から所定波長を選択するための選
択信号が出力すると、演算・制御手段は、メモリ
から光パラメトリツク発振器用と高調波発生器用
の設定入射角θ1s,θ2sを読み出し、これらの設
定入射角θ1s,θ2sを第1、第2角度検出回路か
らの検出入射角θ1d,θ2dとそれぞれ比較演算
し、その演算出力に基づいて第1、第2駆動手段
を制御する。この制御によつて検出入射角θ1d,
θ2dがそれぞれ設定入射角θ1s,θ2sに一致し、
光パラメトリツク発振器は設定入射角θ1sに対応
した発振光を出力し、高調波発生器は、この発振
光を入射光とし、その高調波を出射光として出力
する位相整合条件(設定入射角θ2sに対応)を満
足している。したがつて、所定波長の出射光を得
ることができる。
択信号が出力すると、演算・制御手段は、メモリ
から光パラメトリツク発振器用と高調波発生器用
の設定入射角θ1s,θ2sを読み出し、これらの設
定入射角θ1s,θ2sを第1、第2角度検出回路か
らの検出入射角θ1d,θ2dとそれぞれ比較演算
し、その演算出力に基づいて第1、第2駆動手段
を制御する。この制御によつて検出入射角θ1d,
θ2dがそれぞれ設定入射角θ1s,θ2sに一致し、
光パラメトリツク発振器は設定入射角θ1sに対応
した発振光を出力し、高調波発生器は、この発振
光を入射光とし、その高調波を出射光として出力
する位相整合条件(設定入射角θ2sに対応)を満
足している。したがつて、所定波長の出射光を得
ることができる。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例を示すもので、この
図において21は光パラメトリツク発振器、22
は高調波発生器としての第2高調波発生器であ
る。前記光パラメトリツク発振器21は、例えば
Nd−YAGレーザの第3高調波(波長355nm)な
どからなる励起光23を集光するコリメーテイン
グレンズ24と、入射ミラー25と、出射ミラー
26と、これらのミラー25,26間に配設され
た容器27と、この容器27内にマツチングオイ
ルとともに封入された尿素単結晶からなる非線形
光学結晶28と、前記容器27および結晶28を
回動軸29の回りに一体に矢印方向に回動する第
1のステツピングモータ30とからなり、この第
1のステツピングモータ30の回動角を制御する
ことによつて(すなわち結晶28の回動角を制御
することによつて)、第2図の実線Oで示すよう
に、発振光31の波長を一定範囲(例えば500〜
1230nm)で連続的に変えるように構成されてい
る。
図において21は光パラメトリツク発振器、22
は高調波発生器としての第2高調波発生器であ
る。前記光パラメトリツク発振器21は、例えば
Nd−YAGレーザの第3高調波(波長355nm)な
どからなる励起光23を集光するコリメーテイン
グレンズ24と、入射ミラー25と、出射ミラー
26と、これらのミラー25,26間に配設され
た容器27と、この容器27内にマツチングオイ
ルとともに封入された尿素単結晶からなる非線形
光学結晶28と、前記容器27および結晶28を
回動軸29の回りに一体に矢印方向に回動する第
1のステツピングモータ30とからなり、この第
1のステツピングモータ30の回動角を制御する
ことによつて(すなわち結晶28の回動角を制御
することによつて)、第2図の実線Oで示すよう
に、発振光31の波長を一定範囲(例えば500〜
1230nm)で連続的に変えるように構成されてい
る。
前記第1ステツピングモータ30は、前記非線
形光学結晶28に入射する励起光23の入射角θ1
dを変化させる第1の駆動手段を形成している。
形光学結晶28に入射する励起光23の入射角θ1
dを変化させる第1の駆動手段を形成している。
前記第2高調波発生器22は、前記光パラメト
リツク発振器21の発振光31を入射光とし、レ
ンズ32,33と、これらのレンズ32,33間
に配設された非線形光学結晶34と、この結晶3
4を回動軸35の回りに矢印方向に回動する第2
のステツピングモータ36とからなり、この第2
ステツピングモータ36の回動角を制御すること
によつて(すなわち結晶34の回動角を制御する
ことによつて)、第2図の実線Sで示すように、
入射光(=発振光31)の第2高調波を出射光3
7として出力するように構成されている。前記第
2ステツピングモータ36は前記非線形光学結晶
34に入射する発振光31の入射角θ2dを変化さ
せる第2の駆動手段を形成している。41,42
は、それぞれ前記第1、第2ステツピングモータ
30,36の回動軸29,35の回動角(例えば
前記入射角θ1dとθ2dに等しい)を検出する第
1、第2角度検出回路である。43はメモリで、
このメモリ43には、予め、第2図に実線Oおよ
びSで示すような光パラメトリツク発振器21の
発振光31の波長と、励起光23の結晶28の光
学軸c軸に対する入射角θ(度)との関係、およ
び発振光31を入射光とした第2高調波発生器2
2の出射光37の波長と、発振光31の結晶34
の光学軸c軸に対する入射角θ(度)との関係を
基にして、出射光37の波長可変範囲(例えば
250〜1230nm)内の波長λの複数個λa,λb、…
(例えば250nmから10nm間隔の99個)のそれぞれ
に対応した前記第1、第2ステツピングモータ3
0,36の回動軸29,35の回動角θ1saとθ2
sa、θ1sbとθ2sb、θ1scとθ2sc、…が設定回動角
(設定入射角に対応)として記憶されている。4
4は前記出射光37の波長可変範囲内の波長λの
複数個λa,λb、…の中の1つを選択するための
波長選択回路である。
リツク発振器21の発振光31を入射光とし、レ
ンズ32,33と、これらのレンズ32,33間
に配設された非線形光学結晶34と、この結晶3
4を回動軸35の回りに矢印方向に回動する第2
のステツピングモータ36とからなり、この第2
ステツピングモータ36の回動角を制御すること
によつて(すなわち結晶34の回動角を制御する
ことによつて)、第2図の実線Sで示すように、
入射光(=発振光31)の第2高調波を出射光3
7として出力するように構成されている。前記第
2ステツピングモータ36は前記非線形光学結晶
34に入射する発振光31の入射角θ2dを変化さ
せる第2の駆動手段を形成している。41,42
は、それぞれ前記第1、第2ステツピングモータ
30,36の回動軸29,35の回動角(例えば
前記入射角θ1dとθ2dに等しい)を検出する第
1、第2角度検出回路である。43はメモリで、
このメモリ43には、予め、第2図に実線Oおよ
びSで示すような光パラメトリツク発振器21の
発振光31の波長と、励起光23の結晶28の光
学軸c軸に対する入射角θ(度)との関係、およ
び発振光31を入射光とした第2高調波発生器2
2の出射光37の波長と、発振光31の結晶34
の光学軸c軸に対する入射角θ(度)との関係を
基にして、出射光37の波長可変範囲(例えば
250〜1230nm)内の波長λの複数個λa,λb、…
(例えば250nmから10nm間隔の99個)のそれぞれ
に対応した前記第1、第2ステツピングモータ3
0,36の回動軸29,35の回動角θ1saとθ2
sa、θ1sbとθ2sb、θ1scとθ2sc、…が設定回動角
(設定入射角に対応)として記憶されている。4
4は前記出射光37の波長可変範囲内の波長λの
複数個λa,λb、…の中の1つを選択するための
波長選択回路である。
45は演算・制御手段としてのCPU(中央処理
装置)で、このCPU45は、前記波長選択回路
44からの選択信号に基づいて、前記メモリ43
から選択波長(例えばλa=250nm)に対応した
設定回動角(例えばθ1saとθ2sa)を読み出し、こ
れら(θ1saとθ2sa)を前記第1、第2角度検出回
路41,42の検出回動角(θ1dとθ2d)と比較
演算し、その演算出力に基づいて駆動回路46,
47を制御し、前記第1、第2ステツピングモー
タ30,36の回動軸29,35の回動角を制御
し、検出回動角(θ1dとθ2d)を設定回動角(θ1
saとθ2sa)に一致せしめるように構成されてい
る。
装置)で、このCPU45は、前記波長選択回路
44からの選択信号に基づいて、前記メモリ43
から選択波長(例えばλa=250nm)に対応した
設定回動角(例えばθ1saとθ2sa)を読み出し、こ
れら(θ1saとθ2sa)を前記第1、第2角度検出回
路41,42の検出回動角(θ1dとθ2d)と比較
演算し、その演算出力に基づいて駆動回路46,
47を制御し、前記第1、第2ステツピングモー
タ30,36の回動軸29,35の回動角を制御
し、検出回動角(θ1dとθ2d)を設定回動角(θ1
saとθ2sa)に一致せしめるように構成されてい
る。
つぎに前記実施例の作用について説明する。
(イ) 波長選択回路44から所定波長λa(例えば
250nm)を選択するための選択信号が出力する
と、CPU45は、メモリ43からλaをアドレ
スとし、このλaに対応した設定回動角θ1saとθ2
saを読み出し、これらを第1、第2角度検出回
路41,42の検出回動角θ1dとθ2dとそれぞ
れ比較演算し、その演算出力に基づいて駆動回
路46,47を制御し、第1、第2ステツピン
グモータ30,36の回動軸29,35の回動
角をそれぞれ設定回動角θ1saとθ2saとに一致せ
しめる。これによつて光パラメトリツク発振器
21はθ1saに対応した入射角(例えば90度)に
基づく波長2λa(例えば500nm)の発振光31
を出力し、第2高調波発生器22はθ2saに対応
した入射角(例えば90度)に制御され、発振光
31の第2高調波(波長はλa(例えば250nm))
を出射光37として出力する。
250nm)を選択するための選択信号が出力する
と、CPU45は、メモリ43からλaをアドレ
スとし、このλaに対応した設定回動角θ1saとθ2
saを読み出し、これらを第1、第2角度検出回
路41,42の検出回動角θ1dとθ2dとそれぞ
れ比較演算し、その演算出力に基づいて駆動回
路46,47を制御し、第1、第2ステツピン
グモータ30,36の回動軸29,35の回動
角をそれぞれ設定回動角θ1saとθ2saとに一致せ
しめる。これによつて光パラメトリツク発振器
21はθ1saに対応した入射角(例えば90度)に
基づく波長2λa(例えば500nm)の発振光31
を出力し、第2高調波発生器22はθ2saに対応
した入射角(例えば90度)に制御され、発振光
31の第2高調波(波長はλa(例えば250nm))
を出射光37として出力する。
(ロ) 波長選択回路44からλb(例えば260nm)を
選択するための選択信号が出力したときにも、
前記(イ)と同様にして、第1、第2ステツピング
モータ30,36の回動軸29,35の回動角
はそれぞれ設定回動角θ1sbとθ2sbとに制御され
るので光パラメトリツク発振器21の発振光3
1の波長は2λbとなり、第2高調波発生器22
の出射光37の波長はλbとなる。
選択するための選択信号が出力したときにも、
前記(イ)と同様にして、第1、第2ステツピング
モータ30,36の回動軸29,35の回動角
はそれぞれ設定回動角θ1sbとθ2sbとに制御され
るので光パラメトリツク発振器21の発振光3
1の波長は2λbとなり、第2高調波発生器22
の出射光37の波長はλbとなる。
(ハ) 以下、同様に作用するので、波長選択回路4
4から、一定時間間隔で波長λa,λb,λc、…
を選択するための選択信号が出力すると、第
1、第2ステツピングモータ30,36の回動
軸29,35の回動角は、それぞれ一定時間間
隔でθ1saとθ2sa、θ1sbとθ2sb、θ1scとθ2sc、…
に制御される。このため出射光37の波長の時
間的変化を一定にした波長の自動スキヤンが可
能になる。
4から、一定時間間隔で波長λa,λb,λc、…
を選択するための選択信号が出力すると、第
1、第2ステツピングモータ30,36の回動
軸29,35の回動角は、それぞれ一定時間間
隔でθ1saとθ2sa、θ1sbとθ2sb、θ1scとθ2sc、…
に制御される。このため出射光37の波長の時
間的変化を一定にした波長の自動スキヤンが可
能になる。
前記実施例では、光パラメトリツク発振器の発
振光をそのまま第2高調波発生器へ入射するよう
にしたが、本発明はこれに限るものでなく、第3
図に示すように、光パラメトリツク発振器21の
発振光31を光軸補正器50を介して第2高調波
発生器22に入射し、光軸補正を行うようにして
もよい。
振光をそのまま第2高調波発生器へ入射するよう
にしたが、本発明はこれに限るものでなく、第3
図に示すように、光パラメトリツク発振器21の
発振光31を光軸補正器50を介して第2高調波
発生器22に入射し、光軸補正を行うようにして
もよい。
前記実施例では、光パラメトリツク発振器にお
ける非線形光学結晶を封入する容器は角型形状に
したが、本発明はこれに限るものでなく、例えば
第4図に示すように、容器27aを円筒型形状に
し、ミラー25,26間距離を短かくできるよう
にしてもよい。
ける非線形光学結晶を封入する容器は角型形状に
したが、本発明はこれに限るものでなく、例えば
第4図に示すように、容器27aを円筒型形状に
し、ミラー25,26間距離を短かくできるよう
にしてもよい。
前記実施例では、光パラメトリツク発振器の非
線形光学結晶は潮解性を有する尿素単結晶とした
ため、マツチングオイルとともに容器に封入する
ようにしたが、本発明はこれに限るものでなく、
潮解性のない非線形光学結晶の場合は容器が不要
になる。
線形光学結晶は潮解性を有する尿素単結晶とした
ため、マツチングオイルとともに容器に封入する
ようにしたが、本発明はこれに限るものでなく、
潮解性のない非線形光学結晶の場合は容器が不要
になる。
前記実施例では、第1と第2の駆動手段は、そ
れぞれ光パラメトリツク発振器の非線形光学結晶
と高調波発生器の非線形光学結晶とを回動する第
1と第2のステツピングモータで形成したが、本
発明はこれに限るものでなく、光パラメトリツク
発振器の非線形光学結晶に入射する励起光の入射
角と、高調波発生器の非線形光学結晶に入射する
発振光の入射角とをそれぞれ変化させるものであ
ればよい。例えば光パラメトリツク発振器の非線
形光学結晶を固定しておき、励起光源からの励起
光をコリメーテイングレンズで集光した後、回動
可能な反射ミラーおよび凹面鏡を経、入射ミラー
を介して結晶に入射し、この回動可能な反射ミラ
ーを回動することによつて結晶に入射する励起光
の入射角を変化させるようにしてもよく、また
は、励起光源およびコリメーテイングレンズを一
体として結晶の回りに回動することによつて、結
晶に入射する励起光の入射角を変化させるように
してもよい。また、高調波発生器の非線形光学結
晶を固定しておき、前記と同様な回動可能な反射
ミラーと凹面鏡の組み合わせにより、または光パ
ラメトリツク発振器自体を高調波発生器の回りに
回動することにより、光パラメトリツク発振器か
ら出力する発振光の結晶への入射角を変えるよう
にしてもよい。
れぞれ光パラメトリツク発振器の非線形光学結晶
と高調波発生器の非線形光学結晶とを回動する第
1と第2のステツピングモータで形成したが、本
発明はこれに限るものでなく、光パラメトリツク
発振器の非線形光学結晶に入射する励起光の入射
角と、高調波発生器の非線形光学結晶に入射する
発振光の入射角とをそれぞれ変化させるものであ
ればよい。例えば光パラメトリツク発振器の非線
形光学結晶を固定しておき、励起光源からの励起
光をコリメーテイングレンズで集光した後、回動
可能な反射ミラーおよび凹面鏡を経、入射ミラー
を介して結晶に入射し、この回動可能な反射ミラ
ーを回動することによつて結晶に入射する励起光
の入射角を変化させるようにしてもよく、また
は、励起光源およびコリメーテイングレンズを一
体として結晶の回りに回動することによつて、結
晶に入射する励起光の入射角を変化させるように
してもよい。また、高調波発生器の非線形光学結
晶を固定しておき、前記と同様な回動可能な反射
ミラーと凹面鏡の組み合わせにより、または光パ
ラメトリツク発振器自体を高調波発生器の回りに
回動することにより、光パラメトリツク発振器か
ら出力する発振光の結晶への入射角を変えるよう
にしてもよい。
前記実施例では、第1と第2の角度検出回路
は、それぞれ第1と第2のステツピングモータの
回動角を検出するようにしたが、本発明はこれに
限るものでなく、光パラメトリツク発振器の非線
形光学結晶に入射する励起光の入射角と、高調波
発生器の非線形光学結晶に入射する発振光の入射
角とを検出するものであればよい。
は、それぞれ第1と第2のステツピングモータの
回動角を検出するようにしたが、本発明はこれに
限るものでなく、光パラメトリツク発振器の非線
形光学結晶に入射する励起光の入射角と、高調波
発生器の非線形光学結晶に入射する発振光の入射
角とを検出するものであればよい。
[発明の効果]
本発明による波長可変レーザ装置は、上記のよ
うに、波長選択回路で予め設定された複数個の波
長の中の1つを選択すると、演算制御手段は、第
1と第2の角度検出回路で検出した光パラメトリ
ツク発振器における励起光の入射角と高調波発生
器における発振光の入射角とをそれぞれメモリに
記憶された対応する設定入射角に一致せしめるよ
うに第1、第2駆動手段を制御して所定波長の出
射光を得るようにしたので、手動で波長を設定
し、また設定変更をしていた従来と比べて、正確
かつ簡単に出射光の波長の設定および設定変更を
行うことができる。また、この波長設定変更の時
間的変化を一定にした波長の自動スキヤンも可能
になる。
うに、波長選択回路で予め設定された複数個の波
長の中の1つを選択すると、演算制御手段は、第
1と第2の角度検出回路で検出した光パラメトリ
ツク発振器における励起光の入射角と高調波発生
器における発振光の入射角とをそれぞれメモリに
記憶された対応する設定入射角に一致せしめるよ
うに第1、第2駆動手段を制御して所定波長の出
射光を得るようにしたので、手動で波長を設定
し、また設定変更をしていた従来と比べて、正確
かつ簡単に出射光の波長の設定および設定変更を
行うことができる。また、この波長設定変更の時
間的変化を一定にした波長の自動スキヤンも可能
になる。
第1図は本発明による波長可変レーザ装置の一
実施例を示す構成図、第2図は第1図における発
振光および出射光の波長と入射角との関係を示す
特性図、第3図は他の実施例における部分構成
図、第4図はさらに他の実施例における部分構成
図、第5図は従来例を示す構成図である。 21……光パラメトリツク発振器、22……第
2高調波発生器、23……励起光、25,26…
…ミラー、28,34……非線形光学結晶、2
9,35……回動軸、30……第1ステツピング
モータ(第1駆動手段)、31……発振光、36
……第2ステツピングモータ(第2駆動手段)、
37……出射光、41……第1角度検出回路、4
2……第2角度検出回路、43……メモリ、44
……波長選択回路、45……CPU(演算・制御手
段)。
実施例を示す構成図、第2図は第1図における発
振光および出射光の波長と入射角との関係を示す
特性図、第3図は他の実施例における部分構成
図、第4図はさらに他の実施例における部分構成
図、第5図は従来例を示す構成図である。 21……光パラメトリツク発振器、22……第
2高調波発生器、23……励起光、25,26…
…ミラー、28,34……非線形光学結晶、2
9,35……回動軸、30……第1ステツピング
モータ(第1駆動手段)、31……発振光、36
……第2ステツピングモータ(第2駆動手段)、
37……出射光、41……第1角度検出回路、4
2……第2角度検出回路、43……メモリ、44
……波長選択回路、45……CPU(演算・制御手
段)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 角度位相整合型の光パラメトリツク発振器
と、この光パラメトリツク発振器の発振光を入射
光とし、その高調波を出射光として出力する角度
位相整合型の高調波発生器と、前記光パラメトリ
ツク発振器の非線形光学結晶に入射する励起光の
入射角を変化させる第1の駆動手段と、前記高調
波発生器の非線形光学結晶に入射する発振光の入
射角を変化させる第2の駆動手段と、前記励起光
の入射角を検出する第1の角度検出回路と、前記
発振光の入射角を検出する第2の角度検出回路
と、前記出射光の波長可変範囲内の複数個の波長
のそれぞれに対応した前記励起光の入射角と前記
発振光の入射角とを設定値として記憶するメモリ
と、前記出射光の波長可変範囲内の複数個の波長
のうちの1つを選択する波長選択回路と、この波
長選択回路の選択信号に基づいて選択波長に対応
した設定入射角を前記メモリから読み出し、これ
らを前記第1、第2角度検出回路の検出入射角と
それぞれ比較演算し、その演算出力に基づいて前
記第1、第2駆動手段を制御する演算制御手段と
を具備してなることを特徴とする波長可変レーザ
装置。 2 第1と第2の駆動手段は、それぞれ光パラメ
トリツク発振器の非線形光学結晶と高調波発生器
の非線形光学結晶を回動する第1と第2のステツ
ピングモータからなり、第1と第2の角度検出回
路はそれぞれ前記第1と第2のステツピングモー
タの回動角を検出してなり、メモリは、出射光の
波長可変範囲内の複数個の波長のそれぞれに対応
した前記第1、第2ステツピングモータの回動角
を設定値として記憶してなる特許請求の範囲第1
項記載の波長可変レーザ装置。 3 高調波発生器は第2高調波発生器としてなる
特許請求の範囲第1項または第2項記載の波長可
変レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9290787A JPS63258087A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 波長可変レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9290787A JPS63258087A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 波長可変レ−ザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63258087A JPS63258087A (ja) | 1988-10-25 |
JPH0478198B2 true JPH0478198B2 (ja) | 1992-12-10 |
Family
ID=14067553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9290787A Granted JPS63258087A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 波長可変レ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63258087A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4914666A (en) * | 1989-05-04 | 1990-04-03 | At&T Bell Laboratories | Random-access digitally -tuned optical frequency synthesizer |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5844784A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | レ−ザ装置 |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP9290787A patent/JPS63258087A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5844784A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | レ−ザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63258087A (ja) | 1988-10-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |