JPH0477511B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はイメージセンサ中に欠陥画素があるか
否かを検査するイメージセンサ検査方法及び装置
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an image sensor testing method and apparatus for testing whether or not there are defective pixels in an image sensor.

（従来の技術） イメージセンサ中に欠陥画素があるか否かを検
査するために隣接する画素の信号振幅差を求める
隣接差分処理が提案されている。この隣接差分処
理を第２図、第３図を用いて説明する。画面１上
の例えば水平ライン方向に並んだある画素列２を
検査する場合を例として説明する。この画素列２
中には第２図に示すように出力信号が小さすぎる
黒欠陥画素３と出力信号が大きすぎる白欠陥画素
４があるものとする。(Prior Art) Adjacent difference processing for determining signal amplitude differences between adjacent pixels has been proposed in order to test whether there is a defective pixel in an image sensor. This adjacent difference processing will be explained using FIGS. 2 and 3. An example will be described in which a certain pixel row 2 arranged in the horizontal line direction on the screen 1 is to be inspected. This pixel row 2
As shown in FIG. 2, there are black defective pixels 3 whose output signals are too small and white defective pixels 4 whose output signals are too large.

これら黒欠陥画素３と白欠陥画素４を含む画素
列２の一部の画素An、画素An＋１、画素An＋
２、…（第３図ａ）について考える。画素An、
画素An＋１、画素An＋２、…の出力信号振幅は
第３図ｂに示すような信号振幅Pn、信号振幅Pn
＋１、信号振幅Pn＋２、…となる。即ち、信号
振幅Pn、信号振幅Pn＋３、信号振幅Pn＋５、信
号振幅Pn＋６の値に比較し、画素An＋１の信号
振幅Pn＋１は小さい値を示し、画素An＋４の信
号振幅Pn＋４は大きい値を示している。これら
信号振幅Pn、信号振幅Pn＋１、信号振幅Pn＋
２、…についての隣接差分処理を施すと第３図ｃ
に示すような信号振幅差Qn、信号振幅差Qn＋
１、信号振幅差Qn＋２、…が求まる。 Some pixels An, pixel An+1, and pixel An+ of pixel row 2 including these black defective pixel 3 and white defective pixel 4
2. Consider (Figure 3a). Pixel An,
The output signal amplitudes of pixel An+1, pixel An+2, ... are signal amplitude Pn, signal amplitude Pn as shown in Figure 3b.
+1, signal amplitude Pn+2, and so on. That is, compared to the values of signal amplitude Pn, signal amplitude Pn+3, signal amplitude Pn+5, and signal amplitude Pn+6, signal amplitude Pn+1 of pixel An+1 shows a small value, and signal amplitude Pn+4 of pixel An+4 shows a large value. These signal amplitude Pn, signal amplitude Pn+1, signal amplitude Pn+
Figure 3c is obtained by applying adjacent difference processing for 2,...
Signal amplitude difference Qn, signal amplitude difference Qn+ as shown in
1. The signal amplitude difference Qn+2,... is determined.

Qn ＝信号振幅Pn −信号振幅Pn＋１ Qn＋１＝信号振幅Pn＋１−信号振幅Pn＋２ Qn＋２＝信号振幅Pn＋２−信号振幅Pn＋３ Qn＋３＝信号振幅Pn＋３−信号振幅Pn＋４ Qn＋４＝信号振幅Pn＋４−信号振幅Pn＋５ Qn＋５＝信号振幅Pn＋５−信号振幅Pn＋６ Qn＋６＝信号振幅Pn＋６−信号振幅Pn＋７ 〓 これら差分処理を画面１中の全ての画素につい
て行なう。これら隣接差分処理結果は、信号振幅
差Qn、信号振幅幅差Qn＋１、信号振幅幅差Qn＋
２、…を各要素とする差分画像として記憶してお
く。 Qn = Signal amplitude Pn - Signal amplitude Pn+1 Qn+1 = Signal amplitude Pn+1 - Signal amplitude Pn+2 Qn+2 = Signal amplitude Pn+2 - Signal amplitude Pn+3 Qn+3 = Signal amplitude Pn+3 - Signal amplitude Pn+4 Qn+4 = Signal amplitude Pn+4 - Signal amplitude Pn+5 Qn+5 = Signal amplitude Pn+5 −Signal amplitude Pn+6 Qn+6=Signal amplitude Pn+6−Signal amplitude Pn+7 〓 These difference processes are performed for all pixels in the screen 1. These adjacent difference processing results are: signal amplitude difference Qn, signal amplitude width difference Qn+1, signal amplitude width difference Qn+
2, . . . are stored as a difference image having each element.

次にこのようにして得られた差分画像の各要素
である信号振幅差の絶対値が所定の閾値をこえた
か否か判断する。即ち、閾値をこえた画素は欠陥
画素と、閾値をこえなかつた画素は正常画素と判
断する。そしてこのようにして得られた欠陥画素
の合計個数によりイメージセンサの良／不良を判
断する。 Next, it is determined whether the absolute value of the signal amplitude difference, which is each element of the difference image obtained in this manner, exceeds a predetermined threshold value. That is, pixels that exceed the threshold are determined to be defective pixels, and pixels that do not exceed the threshold are determined to be normal pixels. Then, based on the total number of defective pixels thus obtained, it is determined whether the image sensor is good or bad.

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような隣接差分処理によつ
ては欠陥画素を正確に検出できないという問題点
があつた。例えばイメージセンサ中のある領域に
欠陥があるような場合、その欠陥領域の周縁部で
は偽欠陥画素を含む２つの欠陥画素が検出されて
しまい、それが白欠陥画素か黒欠陥画素かの区別
もつかない。また、白欠陥画素か黒欠陥画素かを
判断するための閾値は通常異なるほうが判断が正
確であるのにもかかわらず、異なる閾値を用いる
ことはできず、欠陥画素であるのに検出できなか
つたり、正常画素であるのに欠陥として検出され
たりしてしまつた。(Problems to be Solved by the Invention) However, such adjacent difference processing has a problem in that defective pixels cannot be detected accurately. For example, if there is a defect in a certain area in an image sensor, two defective pixels including a false defective pixel will be detected at the periphery of the defective area, and it will be difficult to distinguish whether it is a white defective pixel or a black defective pixel. It's fleeting. In addition, although it is usually more accurate to use different threshold values for determining whether a pixel is a white defect or a black defect pixel, it is not possible to use different threshold values, and the pixel may not be detected even though it is a defective pixel. In some cases, the pixel was detected as defective even though it was a normal pixel.

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
精度よくイメージセンサ中の欠陥画素を検査する
ことができるイメージセンサ検査装置及び方法を
提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of the above circumstances, and
An object of the present invention is to provide an image sensor inspection device and method that can accurately inspect defective pixels in an image sensor.

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記目的は、複数の画素を有するイメージセン
サ中に欠陥画素があるか否かを検査するイメージ
センサ検査方法において、イメージセンサの各画
素の出力振幅を記憶する第１の過程と、近接する
２つの画素中の一方の画素の信号振幅を被減数と
し他方の画素の信号振幅を減数とする減算をして
信号振幅差を求める第１の差分処理を、イメージ
センサの各画素に対して行ない、各画素に対する
信号振幅差を各要素とする第１の差分画像を形成
する第２の過程と、近接する２つの画素中の他方
の画素の信号振幅を被減数とし一方の画素の信号
振幅を減数とする減算をして信号振幅差を求める
第２の差分処理を、イメージセンサの各画素に対
して行ない、各画素の信号振幅差を各要素とする
第２の差分画像を形成する第３の過程と、第１の
差分画像及び第２の差分画像に基づいて、イメー
ジセンサ中の欠陥画素を検出する第４の過程とを
有することを特徴とするイメージセンサ検査方法
によつて達成される。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The above object is to provide an image sensor testing method for testing whether or not there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels. A first process of storing the output amplitude, and a first difference in which the signal amplitude difference is obtained by subtracting the signal amplitude of one pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of the other pixel as the subtrahend. A second step in which the processing is performed on each pixel of the image sensor to form a first difference image in which each element is a signal amplitude difference for each pixel, and a signal of the other pixel among two adjacent pixels. A second difference process is performed on each pixel of the image sensor to obtain a signal amplitude difference by subtraction with the amplitude as the minuend and the signal amplitude of one pixel as the subtractive, and the signal amplitude difference of each pixel is calculated for each element. and a fourth step of detecting a defective pixel in the image sensor based on the first difference image and the second difference image. This is achieved by an image sensor inspection method.

また上記目的は、複数の画素を有するイメージ
センサ中に欠陥画素があるか否かを検査するイメ
ージセンサ検査装置において、イメージセンサの
各画素の出力信号読出す読出手段と、読出手段に
より読出された各画素の出力信号振幅を記憶する
画素記憶手段と、近接する２つの画素中の一方の
画素の信号振幅を被減数とし他方の画素の信号振
幅を減数とする減算をして信号振幅差を求める第
１の差分処理を、前記イメージセンサの各画素に
対して行なう第１の差分処理手段と、第１の差分
処理手段により求められた信号振幅差を各要素と
して記憶する第１の差分画像記憶手段と、近接す
る２つの画素中の他方の画素の信号振幅を被減数
とし一方の画素の信号振幅を減数とする減算をし
て信号振幅差を求める第２の差分処理を、イメー
ジセンサの各画素に対して行う第２の差分処理手
段と、第２の差分処理手段により求められた信号
振幅差を各要素として記憶する第２の差分画像記
憶手段と、第１の差分画像及び第２の差分画像に
基づいて、イメージセンサ中の欠陥画素を検出す
る欠陥画素検出手段とを備えたことを特徴とする
イメージセンサ検査装置によつて達成される。 The above object also provides an image sensor inspection device for inspecting whether or not there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels, including a readout means for reading out an output signal of each pixel of the image sensor, and a readout means for reading an output signal of each pixel of the image sensor. pixel storage means for storing the output signal amplitude of each pixel; a first difference processing means that performs the first difference processing on each pixel of the image sensor; and a first difference image storage means that stores the signal amplitude difference obtained by the first difference processing means as each element. Then, a second difference process is applied to each pixel of the image sensor to obtain a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of the other pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of one pixel as the subtrahend. a second difference processing means for storing the signal amplitude difference obtained by the second difference processing means as each element; and a first difference image and a second difference image. Based on the above, the present invention is achieved by an image sensor inspection apparatus characterized by comprising: defective pixel detection means for detecting defective pixels in an image sensor.

（作用） 本発明は以上のように構成されているので、イ
メージセンサ中のある方向に並んだ画素列の各画
素いついての差分処理を被減数と減数を逆にして
少なくとも２回行なつているので、少なくとも２
つの差分画像が得られ、これら２つの差分画像か
ら欠陥画素か否かを判断するようにしている。(Function) Since the present invention is configured as described above, the difference processing for each pixel in the pixel row arranged in a certain direction in the image sensor is performed at least twice with the minuend and subtrahend reversed. So at least 2
Two difference images are obtained, and it is determined from these two difference images whether the pixel is a defective pixel or not.

（実施例） 本発明の一実施例によるイメージセンサ検査装
置を第１図に示す。(Embodiment) FIG. 1 shows an image sensor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

検査すべきイメージセンサ１０上には、均一な
光によりこのイメージセンサ１０に照射するため
の光源１１が設けられている。CCD駆動部１２
は光源１１を駆動するためのものである。アナロ
グ信号処理部１３は、イメージセンサ１０の各画
素の検出信号である出力信号振幅Pnを読出して
増幅するとともに次の段のＡ／Ｄ変換部１４に適
した電圧にするためのものである。Ａ／Ｄ変換部
１４はアナログ信号処理部１３からアナログ信号
を量子化して所定のビツト数のデジタル信号に変
換する。Ａ／Ｄ変換部１４により変換されたデジ
タル信号である各画素の信号振幅Pnは各要素毎
に原画像メモリ１５に格納される。従つて、原画
像メモリ１５にはイメージセンサ１０の各画素の
信号振幅値が格納されることになる。これら
CCD駆動部１２、アナログ信号処理部１３、
Ａ／Ｄ変換部１４、原画像メモリ１５は、この装
置全体を制御する制御部３０により、信号出力タ
イミング等が制御される。 A light source 11 is provided on the image sensor 10 to be inspected to irradiate the image sensor 10 with uniform light. CCD drive section 12
is for driving the light source 11. The analog signal processing section 13 is for reading out and amplifying the output signal amplitude Pn, which is a detection signal of each pixel of the image sensor 10, and making it a voltage suitable for the A/D conversion section 14 at the next stage. The A/D converter 14 quantizes the analog signal from the analog signal processor 13 and converts it into a digital signal with a predetermined number of bits. The signal amplitude Pn of each pixel, which is a digital signal converted by the A/D converter 14, is stored in the original image memory 15 for each element. Therefore, the signal amplitude value of each pixel of the image sensor 10 is stored in the original image memory 15. these
CCD drive section 12, analog signal processing section 13,
The signal output timing and the like of the A/D converter 14 and the original image memory 15 are controlled by a controller 30 that controls the entire device.

第１の隣接差分処理部１６及び第２の隣接差分
処理部１８は、原画像メモリ１５に格納された各
画素の信号振幅Pnを用いて隣接差分処理を行う。
第１の隣接差分処理部１６は、信号振幅Pnから
次の一般式で示される隣接差分処理を行ない、信
号振幅差Qnを求める。 The first adjacent difference processing section 16 and the second adjacent difference processing section 18 perform adjacent difference processing using the signal amplitude Pn of each pixel stored in the original image memory 15.
The first adjacent difference processing unit 16 performs adjacent difference processing expressed by the following general formula from the signal amplitude Pn to obtain a signal amplitude difference Qn.

信号振幅差Qn＝信号振幅Pn−信号振幅Pn＋１ また第２の隣接差分処理部１８は、信号振幅
Pnから次の一般式で示される隣接差分処理を行
ない、信号振幅差Rnを求める 信号振幅差Rn＝信号振幅Pn−信号振幅Pn−１ このように、第１の隣接差分処理部１６と第２
の隣接差分処理部１８とは互いに逆方向の隣接差
分処理を行なうことになる。即ち、第１の隣接差
分処理部１６の隣接差分処理では画素列２で画素
Anの信号振幅Pnが被減数となると、この画素An
の右側に隣接している画素An＋１の信号振幅Pn
＋１が減数となる。第２の隣接差分処理部１８の
隣接差分処理では画素列２で画素Anの信号振幅
Pnが被減数となると、この画素Anの左側に隣接
している画素An−１の信号振幅Pn−１が減数と
なる。従つて、信号振幅Pnが第３図ｂに示すよ
うであると、信号振幅差Qnは第３図ｃのように
なり、信号振幅差Rnは第３図ｄのようになる。
第１の隣接差分処理部１６により求められた信号
振幅差Qnは各画素毎に第１の差分画像メモリ１
７に格納され、第２の隣接差分処理部１８により
求められた信号振幅差Rnは各画素毎に第２の差
分画像メモリ１９に格納される。 Signal amplitude difference Qn=signal amplitude Pn−signal amplitude Pn+1 In addition, the second adjacent difference processing unit 18
Adjacent difference processing shown by the following general formula is performed from Pn to obtain the signal amplitude difference Rn. Signal amplitude difference Rn=signal amplitude Pn−signal amplitude Pn−1 In this way, the first adjacent difference processing unit 16 and the second
The adjacent difference processing unit 18 performs adjacent difference processing in opposite directions. That is, in the adjacent difference processing of the first adjacent difference processing section 16, the pixel in pixel column 2 is
If the signal amplitude Pn of An is the minuend, then this pixel An
The signal amplitude Pn of the pixel An+1 adjacent to the right side of
+1 is the subtraction. In the adjacent difference processing of the second adjacent difference processing unit 18, the signal amplitude of the pixel An in the pixel column 2 is
When Pn becomes the subtractive number, the signal amplitude Pn-1 of the pixel An-1 adjacent to the left side of this pixel An becomes the subtractive number. Therefore, when the signal amplitude Pn is as shown in FIG. 3b, the signal amplitude difference Qn is as shown in FIG. 3c, and the signal amplitude difference Rn is as shown in FIG. 3d.
The signal amplitude difference Qn obtained by the first adjacent difference processing unit 16 is stored in the first difference image memory 1 for each pixel.
The signal amplitude difference Rn obtained by the second adjacent difference processing unit 18 is stored in the second difference image memory 19 for each pixel.

黒欠陥検出部２０は第１の差分画像メモリ１７
及び第２の差分画像メモリ１９の信号振幅差から
黒欠陥画素を検出する。黒欠陥閾値設定部２１に
はこの黒欠陥検出ための閾値を予め格納してお
く。黒欠陥検出部２０による黒欠陥画素の検出
は、第１の差分画像メモリ１７及び第２の差分画
像メモリ１９の信号振幅差Qn、信号振幅差Rnに
符号を反対にしたものが閾値Sbより大きいか否
かで判断する。即ち、−信号振幅差Qn≧閾値Sbで
あれば黒欠陥画素とし、−信号振幅差Rn≧閾値Sb
であれば黒欠陥画素とする。黒欠陥検出部２０の
検出結果は第１黒欠陥画像メモリ２２及び第２黒
欠陥画像メモリ２３に格納される。本実施例で
は、黒欠陥画素と判断された画素の対応する第１
黒欠陥画像メモリ２２及び第２黒欠陥画像メモリ
２３の記憶位置に「１」を格納し、正常画素と判
断された画素の対応する第１黒欠陥画像メモリ２
２及び第２黒欠陥画像メモリ２３の記憶位置に
「０」を格納する。 The black defect detection section 20 includes the first difference image memory 17
A black defective pixel is detected from the signal amplitude difference in the second difference image memory 19. The black defect threshold setting unit 21 stores a threshold value for detecting this black defect in advance. The black defect detection unit 20 detects a black defect pixel when the signal amplitude difference Qn and the signal amplitude difference Rn of the first differential image memory 17 and the second differential image memory 19 with opposite signs are larger than the threshold value Sb. Judge whether or not. That is, if -signal amplitude difference Qn≧threshold Sb, it is considered a black defective pixel; -signal amplitude difference Rn≧threshold Sb
If so, it is considered a black defective pixel. The detection results of the black defect detection section 20 are stored in the first black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23. In this example, the first pixel corresponding to the pixel determined to be a black defective pixel is
"1" is stored in the storage positions of the black defect image memory 22 and the second black defect image memory 23, and the first black defect image memory 2 corresponding to the pixel determined to be a normal pixel is stored.
"0" is stored in the memory location of the second black defect image memory 23 and the second black defect image memory 23.

従つて、本実施例では第３図ｅ，ｆに示すよう
に、第１黒欠陥画像メモリ２２には画素An〜画
素An＋６に対応して「０、１、０、１、０、０、
０」が格納され、第２黒欠陥画像メモリ２３には
画素An〜画素An＋６に対応して「０、１、０、
０、０、１、０」が格納される。 Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 3e and f, the first black defect image memory 22 stores "0, 1, 0, 1, 0, 0,
0" is stored in the second black defect image memory 23, and "0, 1, 0,
0, 0, 1, 0" are stored.

白欠陥検出部２４は第１の差分画像メモリ１７
及び第２の差分画像メモリ１９の信号振幅差から
白欠陥画素を検出する。白欠陥閾値設定部２５に
はこの白欠陥検出ための閾値Swを予め格納して
おく。白欠陥検出部２４による白欠陥画素の検出
は、第１の差分画像メモリ１７及び第２の差分画
像メモリ１９の信号振幅差Qn、信号振幅差Rnが
閾値Swより大きいか否かで判断する。即ち、信
号振幅差Qn≧閾値Swであれば白欠陥画素とし、
信号振幅差Rn≧閾値Swであれば白欠陥画素とす
る。白欠陥検出部２４の検出結果は第１白欠陥画
像メモリ２６及び第２白欠陥画像メモリ２７に格
納される。本実施例では、白欠陥画素と判断され
た画素の対応する第１白欠陥画像メモリ２６及び
第２白欠陥画像メモリ２７の記憶位置に「１」を
格納し、正常画素と判断された画素の対応する第
１白欠陥画像メモリ２６及び第２白欠陥画像メモ
リ２７の記憶位置に「０」を格納する。 The white defect detection unit 24 uses the first difference image memory 17
A white defective pixel is detected from the signal amplitude difference in the second differential image memory 19. The white defect threshold setting unit 25 stores in advance a threshold value Sw for detecting this white defect. Detection of a white defect pixel by the white defect detection unit 24 is determined based on whether the signal amplitude difference Qn and the signal amplitude difference Rn between the first difference image memory 17 and the second difference image memory 19 are larger than a threshold value Sw. That is, if the signal amplitude difference Qn≧threshold value Sw, it is considered a white defect pixel,
If the signal amplitude difference Rn≧threshold value Sw, the pixel is determined to be a white defective pixel. The detection results of the white defect detection section 24 are stored in the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27. In this embodiment, "1" is stored in the storage location of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27 corresponding to the pixel determined to be a white defect pixel, and "1" is stored in the storage location of the pixel determined to be a normal pixel. "0" is stored in the corresponding storage locations of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27.

従つて、本実施例では第３図ｈ，ｉに示すよう
に、第１白欠陥画像メモリ２６には画素An〜画
素An＋６に対応して「１、０、０、０、１、０、
０」が格納され、第２白欠陥画像メモリ２７には
画素An〜画素An＋６に対応して「０、０、１、
０、１、０、０」が格納される。 Therefore, in this embodiment, as shown in FIG.
0" is stored, and the second white defect image memory 27 stores "0, 0, 1,
0, 1, 0, 0" are stored.

ANDゲート２８は第１黒欠陥画像メモリ２２
と第２黒欠陥画像メモリ２３から真の欠陥画素を
求めるためのものである。第１黒欠陥画像メモリ
２２と第１黒欠陥画像メモリ２２の内容をそれぞ
れ対応する画素の検出結果をANDゲート２８に
より論理積して真の欠陥画素を求め、その結果を
再び第１黒欠陥画像メモリ２２に格納する。本実
施例では、第３図ｅとｆの論理積は第３図ｇのよ
うに「０、１、０、０、０、０、０」となり、画
素An＋１が黒欠陥画素であることがわかる。 AND gate 28 is the first black defect image memory 22
This is for finding a true defective pixel from the second black defect image memory 23. The detection results of the pixels corresponding to the contents of the first black defect image memory 22 and the first black defect image memory 22 are logically ANDed by the AND gate 28 to obtain the true defective pixel, and the result is used again as the first black defect image. The data is stored in the memory 22. In this example, the logical product of e and f in FIG. 3 is "0, 1, 0, 0, 0, 0, 0" as shown in g in FIG. 3, and it can be seen that pixel An+1 is a black defective pixel. .

ANDゲート２９は第１白欠陥画像メモリ２６
と第２白欠陥画像メモリ２７から真の欠陥画素を
求めるためのものである。第１白欠陥画像メモリ
２６と第２白欠陥画像メモリ２７の内容をそれぞ
れ対応する画素の検出結果をANDゲート２９に
より論論理積して真の欠陥画素を求め、その結果
を再び第１白欠陥画像メモリ２６に格納する。本
実施例では、第３図ｈとｉの論理積は第３図ｊの
ように「０、０、０、０、１、０、０」となり、
画素An＋４が白欠陥画素であることがわかる。 AND gate 29 is the first white defect image memory 26
This is for finding true defective pixels from the second white defect image memory 27. The detection results of the pixels corresponding to the contents of the first white defect image memory 26 and the second white defect image memory 27 are logically ANDed by the AND gate 29 to obtain the true defective pixel, and the result is used again for the first white defect. The image is stored in the image memory 26. In this embodiment, the logical product of h and i in FIG. 3 is "0, 0, 0, 0, 1, 0, 0" as shown in j in FIG.
It can be seen that pixel An+4 is a white defective pixel.

次に本発明の動作について第４図のフローチヤ
ートを用いて説明する。 Next, the operation of the present invention will be explained using the flowchart shown in FIG.

先ず検査すべきイメージセンサ１０を設置し、
光源１１からこのイメージセンサ１０に均一な光
を照射する。次にイメージセンサ１０をCCD駆
動部１２により駆動し（ステツプ51）、アナログ
信号処理１３によりイメージセンサ１０から信号
振幅Pnを読出す（ステツプ51）。アナログ信号処
理部１３から出力されるアナログ信号の信号振幅
PnをＡ／Ｄ変換部１４によりＡ／Ｄ変換し（ス
テツプ52）、Ａ／Ｄ変換されたデジタル信号の信
号振幅Pnは順次原画像メモリ１５に格納される
（ステツプ53）。 First, the image sensor 10 to be inspected is installed,
A light source 11 irradiates the image sensor 10 with uniform light. Next, the image sensor 10 is driven by the CCD drive section 12 (step 51), and the signal amplitude Pn is read out from the image sensor 10 by the analog signal processing 13 (step 51). Signal amplitude of the analog signal output from the analog signal processing section 13
Pn is A/D converted by the A/D converter 14 (step 52), and the signal amplitude Pn of the A/D converted digital signal is sequentially stored in the original image memory 15 (step 53).

次に原画像メモリ１５に格納された各画素の信
号振幅Pnに対して第１の隣接差分処理部１６に
より上述の隣接差分処理が行なわれる。（ステツ
プ54）。第１の隣接差分処理部１６による隣接差
分処理の結果である信号振幅差Qnは第１の差分
画像メモリ１７に格納される（ステツプ55）。こ
の隣接差分処理は原画像メモリ１５に格納された
全ての画素について終了するまで繰返し行われる
（ステツプ56）。同様にして、原画像メモリ１５に
格納された各画素の信号振幅Pnに対して第２の
隣接差分処理部１８により上述の隣接差分処理が
行なわれる（ステツプ57）。第２の隣接差分処理
部１８による隣接差分処理の結果である信号振幅
差Rnは第２の差分画像メモリ１９に格納される
（ステツプ58）。この隣接差分処理は原画像メモリ
１５に格納された全ての画素について終了するま
で繰り返し行われる（ステツプ59）。 Next, the first adjacent difference processing section 16 performs the above-described adjacent difference processing on the signal amplitude Pn of each pixel stored in the original image memory 15. (Step 54). The signal amplitude difference Qn, which is the result of the adjacent difference processing by the first adjacent difference processing section 16, is stored in the first difference image memory 17 (step 55). This adjacent difference processing is repeated until it is completed for all pixels stored in the original image memory 15 (step 56). Similarly, the second adjacent difference processing unit 18 performs the above-described adjacent difference processing on the signal amplitude Pn of each pixel stored in the original image memory 15 (step 57). The signal amplitude difference Rn, which is the result of the adjacent difference processing by the second adjacent difference processing unit 18, is stored in the second difference image memory 19 (step 58). This adjacent difference processing is repeated until it is completed for all pixels stored in the original image memory 15 (step 59).

次に黒欠陥検出部２０が第１の差分画像メモリ
１７に格納された信号振幅差Qnに対して、黒欠
陥閾値設定部２１に設定された閾値Sbを用いて
黒欠陥検出を行なう（ステツプ60）。各画素に対
する黒検出結果は第１黒欠陥画像メモリ２２に格
納される。全ての画素に対する黒欠陥検出が終了
すると、黒欠陥検出部２０は第２の差分画像メモ
リ１９に格納された信号振幅差Rnに対して、黒
欠陥閾値設定部２１に設定された閾値Sbを用い
て黒欠陥検出を行なう（ステツプ61）。各画素に
対する黒検出結果は第２黒欠陥画像メモリ２３に
格納される。全ての画素に対する黒欠陥検出が終
了すると、真の黒欠陥画素を検出するために、
ANDゲート２８により、第１黒欠陥画像メモリ
２２に格納された黒欠陥検出結果と、第２黒欠陥
画像メモリ２３に格納された黒欠陥検出結果との
論理積をとり、その結果を第１黒欠陥画像メモリ
２２に格納する（ステツプ62）。全ての画素に対
してこの処理が終了すると、第１黒欠陥画像メモ
リ２２には真の黒欠陥画素か否かの情報が格納さ
れていることになる。 Next, the black defect detection section 20 performs black defect detection on the signal amplitude difference Qn stored in the first differential image memory 17 using the threshold value Sb set in the black defect threshold setting section 21 (step 60). ). The black detection result for each pixel is stored in the first black defect image memory 22. When the black defect detection for all pixels is completed, the black defect detection section 20 uses the threshold value Sb set in the black defect threshold setting section 21 for the signal amplitude difference Rn stored in the second difference image memory 19. Then, black defects are detected (step 61). The black detection result for each pixel is stored in the second black defect image memory 23. When black defect detection for all pixels is completed, in order to detect true black defective pixels,
The AND gate 28 performs the logical product of the black defect detection result stored in the first black defect image memory 22 and the black defect detection result stored in the second black defect image memory 23, and uses the result as the first black defect detection result. The defect image is stored in the defect image memory 22 (step 62). When this process is completed for all pixels, the first black defect image memory 22 will have stored information as to whether the pixel is a true black defect pixel or not.

次に白欠陥検出部２４が第１の差分画像メモリ
１７に格納された信号振幅差Qnに対して、白欠
陥閾値設定部２５に設定された閾値Swを用いて
白欠陥検出を行なう（ステツプ63）。各画素に対
する白検出結果は第１白欠陥画像メモリ２６に格
納される。全ての画素に対する白欠陥検出が終了
すると、白欠陥検出部２４は第２の差分画像メモ
リ１９に格納された信号振幅差Rnに対して、白
欠陥閾値設定部２５に設定された閾値Swを用い
て白欠陥検出を行なう（ステツプ64）。各画素に
対する白検出結果は第２白欠陥画像メモリ２７に
格納される。全ての画素に対する白欠陥検出が終
了すると、真の白欠陥画素を検出するために、
ANDゲート２９により、第１白欠陥画像メモリ
２６に格納された白欠陥検出結果と、第２白欠陥
画像メモリ２７に格納された白欠陥検出結果との
論理積をとり、その結果を第１白欠陥画像メモリ
２６に格納する（ステツプ65）。全ての画素に対
してこの処理が終了すると、第２白欠陥画像メモ
リ２７には真の白欠陥画素か否かの情報が格納さ
れていることになる。 Next, the white defect detection section 24 performs white defect detection on the signal amplitude difference Qn stored in the first differential image memory 17 using the threshold value Sw set in the white defect threshold setting section 25 (step 63). ). The white detection result for each pixel is stored in the first white defect image memory 26. When the white defect detection for all pixels is completed, the white defect detection unit 24 uses the threshold value Sw set in the white defect threshold setting unit 25 for the signal amplitude difference Rn stored in the second difference image memory 19. Then, white defects are detected (step 64). The white detection result for each pixel is stored in the second white defect image memory 27. When white defect detection for all pixels is completed, in order to detect true white defect pixels,
The AND gate 29 performs the logical product of the white defect detection result stored in the first white defect image memory 26 and the white defect detection result stored in the second white defect image memory 27, and uses the result as the first white defect detection result. The defect image is stored in the defect image memory 26 (step 65). When this process is completed for all pixels, the second white defect image memory 27 will have stored information as to whether the pixel is a true white defect pixel or not.

最後に第１黒欠陥画像メモリ２２に格納された
真の黒欠陥画素に関する情報と第１白欠陥画像メ
モリ２６に格納された真の白欠陥画素に関する情
報から、検査しているイメージセンサ１０が良品
か否かを決定する（ステツプ66）。例えば、黒欠
陥画素と白欠陥画素の合計値が所定の値に達しな
ければ良品であるとする。欠陥画素の分布状態を
考慮してもよい。 Finally, based on the information regarding the true black defect pixels stored in the first black defect image memory 22 and the information regarding the true white defect pixels stored in the first white defect image memory 26, it is determined that the image sensor 10 being inspected is a non-defective one. (Step 66). For example, it is assumed that if the total value of the black defective pixel and the white defective pixel does not reach a predetermined value, it is a good product. The distribution state of defective pixels may also be considered.

このように本実施例によれば、隣接差分処理で
あるため正確に欠陥が検出できる、例えば従来、
画素の信号振幅Pnの平均値を求め、各画素の信
号振幅Pnがこの平均値からどの位ずれているか
により欠陥の有無を判断する方法があつたが、こ
の方法では平均値を求める際に欠陥画素の信号振
幅Pnが影響を及ぼしてしまうとしう問題があつ
たが、本実施例では隣接差分処理であるためかか
る問題はない。また本実施例では方向が反対の２
種の隣接差分処理を行なつているため、正常な画
素を欠陥画素と誤ることがない。また黒欠陥画素
検出のための閾値と白欠陥画素検出ための閾値と
を異ならせることができ、より正確な欠陥画素検
出が可能である。 In this way, according to this embodiment, defects can be detected accurately because of adjacent difference processing.
There is a method that determines the average value of the signal amplitude Pn of each pixel and determines the presence or absence of a defect based on how much the signal amplitude Pn of each pixel deviates from this average value. There was a problem that the signal amplitude Pn of the pixel would have an influence, but this example does not have this problem because it uses adjacent difference processing. In addition, in this embodiment, the two directions are opposite.
Since a type of adjacent difference processing is performed, a normal pixel is never mistaken as a defective pixel. Further, the threshold value for detecting black defective pixels and the threshold value for detecting white defective pixels can be made different, and more accurate defective pixel detection is possible.

本発明は上記実施例に限らず種々の変形が可能
である。例えば、上記実施例では差分処理におい
て隣接する画素の信号振幅Pnの信号振幅差Qn、
Rnから欠陥を検出していたが、直接隣接してい
なくとも、１つおいて隣の画素と差分処理を行な
うとか、２つおいて隣の差分処理を行なうとか、
必ずしも直接隣でなくとも近接した画素同士につ
いて差分処理を行なうものであればよい。また、
真の欠陥画素についてのメモリを黒欠陥画素メモ
リと別に設けてもよい。逆に欠陥画素を計数する
カウンタを設け真の欠陥画素についてはあらため
てメモリに記憶することなくこのカウンタにより
計算するようにしてもよい。更に検査されるイメ
ージセンサは２次元イメージセンサに限らず１次
元イメージセンサでもよく、カラーイメージセン
サでもよい。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible. For example, in the above embodiment, in the differential processing, the signal amplitude difference Qn between the signal amplitudes Pn of adjacent pixels,
Defects were detected from Rn, but even if they are not directly adjacent, you can use one pixel and perform difference processing with the next pixel, or two pixels and perform difference processing with the next pixel, even if they are not directly adjacent.
It is sufficient that differential processing is performed on adjacent pixels, not necessarily directly adjacent pixels. Also,
A memory for true defective pixels may be provided separately from the black defective pixel memory. Conversely, a counter for counting defective pixels may be provided, and true defective pixels may be calculated by this counter without being stored in the memory again. Furthermore, the image sensor to be inspected is not limited to a two-dimensional image sensor, but may be a one-dimensional image sensor or a color image sensor.

［発明の効果］ 以上のとうり本発明によれば、精度よく欠陥画
素を検出することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, defective pixels can be detected with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例によるイメージセン
サ検査装置のブロツク図、第２図、第３図は同イ
メージセンサ検査装置の検査原理を説明するため
の図、第４図は同イメージセンサ検査装置の動作
を示すフローチヤートである。 １０……イメージセンサ、１１……光源、１２
……CCD駆動部、１３……アナログ信号処理部、
１４……Ａ／Ｄ変換部、１５……原画像メモリ、
１６……第１の隣接差分処理部、１７……第１の
差分画像メモリ、１８……第２の隣接差分処理
部、１９……第２の差分画像メモリ、２０……黒
欠陥検出部、２１……黒欠陥閾値設定部、２２…
…第１黒欠陥画像メモリ、２３……第２黒欠陥画
像メモリ、２４……白欠陥検出部、２５……白欠
陥閾値設定部、２６……第１白欠陥画像メモリ、
２７……第２白欠陥画像メモリ、２８……AND
ゲート、２９……ANDゲート、３０……制御部。 FIG. 1 is a block diagram of an image sensor inspection device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are diagrams for explaining the inspection principle of the image sensor inspection device, and FIG. 4 is a block diagram of the image sensor inspection device according to an embodiment of the present invention. 3 is a flowchart showing the operation of the device. 10... Image sensor, 11... Light source, 12
... CCD drive section, 13 ... Analog signal processing section,
14...A/D conversion section, 15...Original image memory,
16...First adjacent difference processing unit, 17...First difference image memory, 18...Second adjacent difference processing unit, 19...Second difference image memory, 20...Black defect detection unit, 21... Black defect threshold setting section, 22...
...First black defect image memory, 23... Second black defect image memory, 24... White defect detection section, 25... White defect threshold setting section, 26... First white defect image memory,
27...Second white defect image memory, 28...AND
Gate, 29...AND gate, 30...control unit.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 複数の画素を有するイメージセンサ中に欠陥
画素があるか否かを検査するイメージセンサ検査
方法において、 前記イメージセンサの各画素の出力信号振幅を
記憶する第１の過程と、 近接する２つの画素中の一方の画素の信号振幅
を被減数とし他方の画素の信号振幅を減数とする
減算をして信号振幅差を求める第１の差分処理
を、前記イメージセンサの各画素に対して行な
い、各画素に対する信号振幅差を各要素とする第
１の差分画像を形成する第２の過程と、 近接する２つの画素中の前記他方の画素の信号
振幅を被減数とし前記一方の画素の信号振幅を減
数とする減算をして信号振幅差を求める第２の差
分処理を、前記イメージセンサの各画素に対して
行ない、各画素の信号振幅差を各要素とする第２
の差分画像を形成する第３の過程と、 前記第１の差分画像及び第２の差分画像に基づ
いて、前記イメージセンサ中の欠陥画素を検出す
る第４の過程と を有することを特徴とするイメージセンサ検査
方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のイメージセンサ
検査方法において、 前記第４の過程は、 前記第１の差分画像の要素である各信号振幅差
を第１の閾値と比較して第１の欠陥画素を求め、
前記第２の差分画像の要素である各信号振幅差を
第１の閾値と比較して第２の欠陥画素を求め、前
記第１の欠陥画素と前記第２の欠陥画素の共通部
分を真の欠陥画素として検出し、 前記第１の差分画像の要素である各信号振幅差
を第２の閾値と比較して第３の欠陥画素を求め、
前記第２の差分画像の要素である各信号振幅差を
第２の閾値と比較して第４の欠陥画素を求め、前
記第３の欠陥画素と前記第４の欠陥画素の共通部
分を真の欠陥画素として検出する ことを特徴とするイメージセンサ検査方法。 ３ 複数の画素を有するイメージセンサ中に欠陥
画素があるか否かを検査するイメージセンサ検査
装置において、 前記イメージセンサの各画素の出力信号を読出
す読出手段と、 前記読出手段により読出された各画素の出力信
号振幅を記憶する画素記憶手段と、 近接する２つの画素中の一方の画素の信号振幅
を被減数とし他方の画素の信号振幅を減数とする
減算をして信号振幅差を求める第１の差分処理
を、前記イメージセンサの各画素に対して行なう
第１の差分処理手段と、 前記第１の差分処理手段により求められた信号
振幅差を各要素として記憶する第１の差分画像記
憶手段と、 近接する２つの画素中の前記他方の画素の信号
振幅を被減数とし前記一方の画素の信号振幅を減
数とする減算をして信号振幅差を求める第２の差
分処理を、前記イメージセンサの各画素に対して
行う第２の差分処理手段と、 前記第２の差分処理手段により求められた信号
振幅差を各要素として記憶する第２の差分画像記
憶手段と、 前記第１の差分画像及び第２の差分画像に基づ
いて、前記イメージセンサ中の欠陥画素を検出す
る欠陥画素検出手段と を備えたことを特徴とするイメージセンサ検査
装置。 ４ 特許請求の範囲第３項記載のイメージセンサ
検査装置において、 前記欠陥画素検出手段は、 前記第１の差分画像の要素である各信号振幅差
を第１の閾値と比較して第１の欠陥画素を検出
し、前記第２の差分画像の要素である各信号振幅
差を第１の閾値と比較して第２の欠陥画素を検出
する第１の比較手段と、前記第１の欠陥画素と前
記第２の欠陥画素の共通部分を真の欠陥画素とし
て検出する第１の欠陥検出手段と、 前記第１の差分画像の要素である各信号振幅差
を第２の閾値と比較して第３の欠陥画素を検出
し、前記第２の差分画像の要素である各信号振幅
差を第２の閾値と比較して第４の欠陥画素を検出
する第２の比較手段と、前記第３の欠陥画素と前
記第４の欠陥画素の共通部分を真の欠陥画素とし
て検出する第２の欠陥検出手段とを有する ことを特徴とするイメージセンサ検査装置。[Claims] 1. An image sensor testing method for testing whether there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels, comprising: a first step of storing the output signal amplitude of each pixel of the image sensor; , A first difference process is applied to each pixel of the image sensor to obtain a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of one pixel among two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of the other pixel as the subtractive number. a second step of forming a first difference image in which each element is the signal amplitude difference for each pixel; A second difference process is performed on each pixel of the image sensor to obtain a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of
and a fourth step of detecting a defective pixel in the image sensor based on the first difference image and the second difference image. Image sensor inspection method. 2. In the image sensor inspection method according to claim 1, the fourth step includes comparing each signal amplitude difference that is an element of the first difference image with a first threshold value to detect a first defect. Find the pixel,
A second defective pixel is obtained by comparing each signal amplitude difference, which is an element of the second difference image, with a first threshold value, and a common part of the first defective pixel and the second defective pixel is determined as a true detecting the pixel as a defective pixel and comparing each signal amplitude difference that is an element of the first difference image with a second threshold value to obtain a third defective pixel;
A fourth defective pixel is obtained by comparing each signal amplitude difference, which is an element of the second difference image, with a second threshold value, and a common part of the third defective pixel and the fourth defective pixel is calculated as a true one. An image sensor inspection method characterized by detecting defective pixels. 3. An image sensor inspection device for inspecting whether or not there is a defective pixel in an image sensor having a plurality of pixels, comprising: reading means for reading out an output signal of each pixel of the image sensor; and each signal read out by the reading means. a pixel storage means for storing the output signal amplitude of a pixel; a first difference processing means for performing difference processing on each pixel of the image sensor; and a first difference image storage means for storing the signal amplitude difference obtained by the first difference processing means as each element. and a second difference process for calculating a signal amplitude difference by subtracting the signal amplitude of the other pixel among the two adjacent pixels as the minuend and the signal amplitude of the one pixel as the subtrahend. a second difference processing means for each pixel; a second difference image storage means for storing the signal amplitude difference obtained by the second difference processing means as each element; the first difference image; and An image sensor inspection apparatus comprising: defective pixel detection means for detecting defective pixels in the image sensor based on a second difference image. 4. In the image sensor inspection apparatus according to claim 3, the defective pixel detection means compares each signal amplitude difference that is an element of the first difference image with a first threshold value to detect the first defect. a first comparing means that detects a pixel and compares each signal amplitude difference that is an element of the second difference image with a first threshold value to detect a second defective pixel; a first defect detection means for detecting a common part of the second defective pixels as a true defective pixel; a second comparison means for detecting a fourth defective pixel by detecting a fourth defective pixel by comparing each signal amplitude difference that is an element of the second difference image with a second threshold; An image sensor inspection device comprising: second defect detection means for detecting a common portion between a pixel and the fourth defective pixel as a true defective pixel.