JPH0471371A - Ultrasonic motor - Google Patents
Ultrasonic motorInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、進行波によって、駆動される超音波モータに
関し、特にその移動子の構造に係わる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an ultrasonic motor driven by traveling waves, and particularly to the structure of its mover.
〔発明の概要]
固定子に対向して移動可能な移動子は、位相差をもった
周波電圧が印加される電気−機械変換手段を具備すると
共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧授
受手段を設ける事により、結線を簡単にすると共に、移
動子の回転ムラを低減した超音波モータを提供する。[Summary of the Invention] A movable element movable opposite to a stator is provided with an electro-mechanical conversion means to which a frequency voltage with a phase difference is applied, and also supplies voltage to the electro-mechanical conversion means. To provide an ultrasonic motor that simplifies wiring and reduces uneven rotation of a moving element by providing a voltage transfer means.
ある種の結晶に力学的応力をかけたとき電気的分極が生
じたり、その逆に結晶の両端に電圧をかけたとき力学的
な歪を生じさせる材料として、圧電体が知られている。Piezoelectric materials are known as materials that produce electrical polarization when mechanical stress is applied to a certain type of crystal, or mechanical strain when a voltage is applied across the crystal.
超音波モータはこの圧電体の歪を利用したモータで、こ
の圧電体の両端に電極を設けた電気−機械変換手段を備
えている。そして、この電気−機械変換手段の電極に位
相差をもった周波電圧を印加したときに生ずる進行波に
より発生する駆動力によって、回転力を得る。このモー
タは従来の電磁モータに比べて巻線を必要としないため
、構造が簡単となり、小型で、しかも低速回転時に、特
に高トルクが得られるという利点があり、近年注目され
ている。The ultrasonic motor is a motor that utilizes the distortion of this piezoelectric material, and is equipped with electro-mechanical conversion means having electrodes provided at both ends of the piezoelectric material. Then, a rotational force is obtained by a driving force generated by a traveling wave generated when a frequency voltage having a phase difference is applied to the electrodes of this electro-mechanical conversion means. Compared to conventional electromagnetic motors, this motor does not require windings, so it has a simpler structure, is smaller, and has the advantage of being able to provide especially high torque when rotating at low speeds, and has attracted attention in recent years.
そして、このような超音波モータとしては、特開昭59
−122385号及び特開昭59−201685号、特
開昭63−28279号等々に、種々の構造のモータが
提案されている。As such an ultrasonic motor, Japanese Patent Application Laid-open No. 59
Motors with various structures have been proposed in Japanese Patent Application Laid-open No. 122385, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-201685, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-28279, and so on.
一般の電磁モータであれば、固定子と移動子とに関し、
固定子とは、固定、即ち動かないもの、移動子とは、移
動、即ち動くものと言う意味があり、固定子と移動子と
の関係は不変である。しかし、−次側と二次側と言う意
味では、互いに可逆性がある。例えば、インダクション
モータを例に取ると、固定子には一次側として巻線を施
し、移動子としては二次側に誘導導体を配する場合があ
る。しかし、巻線をした一次側を移動子とし、二次側の
誘導導体を固定子とする事は容易である。For a general electromagnetic motor, regarding the stator and mover,
A stator means something that is fixed, that is, does not move, and a movable element means something that moves, that is, something that moves, and the relationship between the stator and the mover is unchanged. However, the negative side and the secondary side are mutually reversible. For example, in the case of an induction motor, the stator may have a winding on its primary side, and the movable element may have an induction conductor on its secondary side. However, it is easy to use the wound primary side as the mover and the secondary side induction conductor as the stator.
所が、従来、超音波モータでは、移動子に一次側に相当
する圧電体から成る電気−機械変換手段を配して、その
作用、効果を積極的に強調したものはあまり見られない
。However, in the past, few ultrasonic motors have been seen in which electro-mechanical conversion means made of a piezoelectric material corresponding to the primary side is disposed in the mover to actively emphasize its functions and effects.
[発明が解決しようとする課題〕
本発明は、従来のこのような点を積極的に解決するため
になされたものであって、
移動子に、電気−機械変換手段を配すると共に、この電
気−機械変換手段に電圧を供給する電圧授受手段を設け
る事により、
結線を簡単にすると共に、移動子の回転ムラを低減した
超音波モータを提供する事を課題とする。[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in order to actively solve the above-mentioned problems in the conventional art, and includes disposing an electro-mechanical conversion means on the mover and converting the electrical - It is an object of the present invention to provide an ultrasonic motor that simplifies wiring and reduces uneven rotation of a moving element by providing a voltage transfer means for supplying voltage to a mechanical conversion means.
〔課題を解決するための手段]
本発明の超音波モータは、固定子と、この固定子に対向
して移動可能な移動子とから成り、前記移動子は位相差
をもった周波電圧が印加される電気−機械変換手段を具
備すると共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給す
ための電圧授受手段を設ける。[Means for Solving the Problems] The ultrasonic motor of the present invention includes a stator and a movable element movable in opposition to the stator, and a frequency voltage having a phase difference is applied to the movable element. The electromechanical conversion means is provided with a voltage transfer means for supplying voltage to the electromechanical conversion means.
前記電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧授受手段
をスリップリングとブラシとで構成する。A voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is composed of a slip ring and a brush.
前記電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧授受手段
をロータリトランスとする。The voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is a rotary transformer.
以上のように、移動子に、電気−機械変換手段を配する
と共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧
授受手段を設ける事により、移動子に配される他の電気
部品からの電気信号を逆に前記電圧授受手段を介して、
固定子側に送る事が可能で、全体としての結線が簡単に
なる。As described above, by disposing the electro-mechanical conversion means on the movable element and providing the voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means, it is possible to prevent interference from other electrical components disposed on the movable element. Reverse the electric signal through the voltage transfer means,
It can be sent to the stator side, making the overall wiring easier.
しかも、固定子が簡単な構造なので、この固定子の移動
子との対向面を理想的な面に形成する事が可能で、この
固定子の理想的な面に、移動子が摺動して倣いながら平
滑に移動するため、移動子の回転ムラを低減できる。Furthermore, since the stator has a simple structure, the surface of the stator that faces the mover can be formed into an ideal surface, and the mover slides on this ideal surface of the stator. Since it moves smoothly while tracing, uneven rotation of the slider can be reduced.
以下、本発明の一実施例を第1図乃至第4図を参照して
説明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
第1図は本発明の超音波モータの一実施例の断面図であ
る。第2図は第1図の一実施例の移動子の電気−機械変
換手段の9λ電極パタ一ン図である。第3図は同じく第
1図の一実施例の駆動回路図である。そして、第4図(
A)乃至(E)は第3図に示した駆動回路図の各部の波
形図であり、同図(A)は(a)−(b)−(C)の波
形、同図(B)は(C)(di) 〜(d4)の波形、
同図(C)は(el) 〜(e4)の正/逆転時の波形
、同図(D)は(fl)〜(f4) −A相、B相の波
形、そして同図(E)は((イ)−(社)の波形を示す
。FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the ultrasonic motor of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a 9λ electrode pattern of the electro-mechanical conversion means of the mover of the embodiment shown in FIG. 1. FIG. 3 is a driving circuit diagram of the embodiment shown in FIG. 1. And Figure 4 (
A) to (E) are waveform diagrams of each part of the drive circuit diagram shown in FIG. (C) Waveforms of (di) to (d4),
The same figure (C) shows the waveforms of (el) to (e4) during normal/reverse operation, the same figure (D) shows the waveforms of (fl) to (f4) -A phase and B phase, and the same figure (E) shows the waveforms of (fl) to (f4) -A phase and B phase. ((a) - (sha) waveform is shown.
まず、本発明に使用される超音波モータは、第1図に示
すように、固定子旦と、この固定子Uに対向して移動可
能な移動子力2とから成る。First, the ultrasonic motor used in the present invention, as shown in FIG.
固定子旦は、摺接材12と、この摺接材12が貼着され
た摺接材支持板13と、この摺接材支持板13を支持す
る支持リング14と、この支持リング14がボス15を
介して固着される固定軸16から成る。17はダンパ部
材であり、そして、14aは支持リング14をその間に
挟んで、この支持リング14をボス15に固着する保持
板である。30はボールベアリング等の軸受で、図示し
ていないボールヘアリングの内輪が、ワッシャ18を挟
んでネジ19により固定軸16に固着されている。The stator plate includes a sliding material 12, a sliding material support plate 13 to which the sliding material 12 is attached, a support ring 14 that supports the sliding material support plate 13, and a boss. It consists of a fixed shaft 16 fixed via a shaft 15. 17 is a damper member, and 14a is a holding plate that secures the support ring 14 to the boss 15 with the support ring 14 sandwiched therebetween. 30 is a bearing such as a ball bearing, and the inner ring of a ball hair ring (not shown) is fixed to the fixed shaft 16 with a screw 19 with a washer 18 in between.
以上のように固定子旦を構成した事により、固定子旦の
構造は略円板又はリング状の非常に単純な形状となり、
固定子■の摺接材12の移動子針との対向面を例えば研
磨により理想的な面にする事が可能である。By configuring the stator plate as described above, the structure of the stator plate has a very simple shape, approximately a disk or ring shape.
It is possible to make the surface of the sliding contact material 12 of the stator (2) facing the slider needle into an ideal surface by, for example, polishing.
一方、移動子針は、ボールベアリング(この場合外輪か
固着される)等の軸受30により、固定子旦に対して移
動(回転)可能に支持されたロータハウジング22と、
このロータハウジング22にその内周部が固着された弾
性体23と、この弾性体23の外周部周囲の一端面に貼
着された電気−機械変換手段24とから成る。On the other hand, the slider needle includes a rotor housing 22 that is movably (rotatably) supported relative to the stator arm by a bearing 30 such as a ball bearing (in this case, the outer ring is fixed).
It consists of an elastic body 23 whose inner circumference is fixed to the rotor housing 22, and an electro-mechanical conversion means 24 stuck to one end surface around the outer circumference of the elastic body 23.
弾性体23は、一端面は前述のように電気−機械変換手
段24が貼着されているが、他端面ば前記固定子Uの摺
接材12に接触する凹凸部が形成されている。The elastic body 23 has the electro-mechanical conversion means 24 adhered to one end surface as described above, and has a concavo-convex portion that contacts the sliding contact member 12 of the stator U on the other end surface.
電気−機械変換手段24に例えば1/4λ(λは波長を
示す)の位相差をもった周波電圧を印加したときに生ず
る進行波により発生する駆動力によって、弾性体23を
介して、摺接材12に駆動力が伝わり、移動子■を移動
させる。For example, when a frequency voltage having a phase difference of 1/4 λ (λ indicates the wavelength) is applied to the electro-mechanical conversion means 24, a driving force generated by a traveling wave causes sliding contact via the elastic body 23. The driving force is transmitted to the material 12, and the moving element (■) is moved.
ロータハウジング22には、スリップリング等の電圧授
受手段25が設けられている。固定子耳側に配された図
示していないブラシが電圧授受手段25の例えばスリッ
プリングに摺接し、超音波電圧を前記電気−機械変換手
段24に供給、又はこの電気機械変換手段24からの電
気信号や他の電気部品からの電気信号を固定子側に提供
する。26a、 b、Cはスリップリングから電気−機
械変換手段24に超音波電圧を供給、又は電気信号を提
供するリード線を示す。The rotor housing 22 is provided with voltage transfer means 25 such as a slip ring. A brush (not shown) arranged on the stator ear side slides into contact with, for example, a slip ring of the voltage transfer means 25, and supplies ultrasonic voltage to the electro-mechanical conversion means 24, or converts electricity from the electro-mechanical conversion means 24. Provide signals and electrical signals from other electrical components to the stator side. 26a, b, and C represent lead wires that supply ultrasonic voltage or provide electrical signals from the slip ring to the electro-mechanical conversion means 24.
電気−機械変換手段24は、第2図及び第3図に示すよ
うに、圧電体24a、 A相電極24b、 B相電極2
4c、共通電極24d、そしてフィードバック電極24
eを有する。尚、第2図は、A相電極24b、B相電極
24c、フィードバック電極24eを示した図面で、こ
れらの電極24b、 c、 eに第1図で示したリード
線26a、、b、 cが接続されている。また、第2図
には圧電体24aと共通電極24dを図示していない。As shown in FIGS. 2 and 3, the electro-mechanical conversion means 24 includes a piezoelectric body 24a, an A-phase electrode 24b, and a B-phase electrode 2.
4c, common electrode 24d, and feedback electrode 24
It has e. Note that FIG. 2 shows the A-phase electrode 24b, B-phase electrode 24c, and feedback electrode 24e, and the lead wires 26a, b, and c shown in FIG. 1 are connected to these electrodes 24b, c, and e. It is connected. Furthermore, the piezoelectric body 24a and the common electrode 24d are not shown in FIG.
共通電極24dは、弾性体23や軸受30等を介して、
電気的に固定軸16に接続されている。The common electrode 24d is connected via the elastic body 23, bearing 30, etc.
It is electrically connected to the fixed shaft 16.
第1図の電圧授受手段25のスリップリングの図示は、
3本の例であるが、3本に限定されるものではない。例
えば更に2本設け、交流電圧をスリップリングを介して
移動子■に供給する事も可能である。この交流電圧を移
動子釘止に設けた図示しないプリント基板上のダイオー
ド等により整流し、直流電圧を得て、移動子針2側に配
した超音波モータの駆動回路の電源とする事もできる。The illustration of the slip ring of the voltage transfer means 25 in FIG.
Although this is an example of three, the number is not limited to three. For example, it is also possible to provide two more wires and supply alternating current voltage to the mover (2) via a slip ring. This AC voltage can be rectified by a diode or the like on a printed circuit board (not shown) installed on the slider nail, to obtain a DC voltage, which can be used as a power source for the drive circuit of the ultrasonic motor placed on the side of the slider needle 2. .
第3図において、41はモータ回転数設定及び設定値制
御器、42は電圧リミッタ−143は電圧制御発振器、
44はシフトレジスター、45は正逆転切換器、46は
正逆転信号入力端子、47はオン/オフ切換器、48は
オン/オフ信号入力端子、49Aと49Bは電力増幅器
AとB、50Aと50Bは昇圧トランスAとB、そして
51は電圧検出及び検波器を示す。In FIG. 3, 41 is a motor rotation speed setting and set value controller, 42 is a voltage limiter, 143 is a voltage controlled oscillator,
44 is a shift register, 45 is a forward/reverse switch, 46 is a forward/reverse signal input terminal, 47 is an on/off switch, 48 is an on/off signal input terminal, 49A and 49B are power amplifiers A and B, 50A and 50B. denotes step-up transformers A and B, and 51 denotes a voltage detection and wave detector.
尚、LA 、LBはA相、B相電極24c、 bと共通
電極24dとの間の浮遊容量となるコンデンサーと並列
共振回路を構成し、このコンデンサーに流れる無駄な電
流を防止するためのインダクタンスである。Incidentally, LA and LB are inductances that form a parallel resonant circuit with a capacitor that becomes a stray capacitance between the A-phase and B-phase electrodes 24c and b and the common electrode 24d, and prevent unnecessary current flowing through the capacitor. be.
第3図及び第4図(A)乃至(E)において、フィード
バック電極24eにより検出された超音波モーフ(移動
子21)の回転速度に比例した電圧(局は、電圧検出及
び検波器51にフィードバックされ、第4図(E)に示
すように、この電圧検出及び検波器51により検波され
電圧(h)となる。この電圧(h)がモータ回転数設定
及び設定値制御器41の設定電圧と比較される。In FIGS. 3 and 4 (A) to (E), a voltage proportional to the rotational speed of the ultrasonic morph (mover 21) detected by the feedback electrode 24e (the station feeds back the voltage to the voltage detection and detector 51) is shown. As shown in FIG. 4(E), the voltage is detected by the voltage detector 51 and becomes a voltage (h). This voltage (h) is the set voltage of the motor rotation speed setting and set value controller 41. be compared.
この比較された差の電圧(a)が電圧リミッタ−42に
より、第4図(A)に示すように、所定の電圧ELIM
より高い電圧にならないように制限され、電圧(b)と
して電圧制御発振器43に供給される。電圧制御発振器
43により、電圧(b)に比例した周波数のパルス4t
号(C)となり、シフトレジスター44に供給される
。This compared difference voltage (a) is set to a predetermined voltage ELIM by the voltage limiter 42 as shown in FIG. 4(A).
It is limited so that it does not become a higher voltage and is supplied to the voltage controlled oscillator 43 as voltage (b). The voltage controlled oscillator 43 generates a pulse 4t with a frequency proportional to the voltage (b).
(C) and is supplied to the shift register 44.
シフトレジスター44にて、第4図(B)に示すように
、パルス信号(C)は4相のパルス信号(dl)〜(d
4)に変換される。このパルス信号(dl)〜(d4)
は正逆転切換器45に供給される。In the shift register 44, as shown in FIG. 4(B), the pulse signal (C) is converted into four-phase pulse signals (dl) to (d
4). This pulse signal (dl) ~ (d4)
is supplied to the forward/reverse switch 45.
正/逆転信号が正/逆転信号入力端子46より、この正
逆転切換器45に供給され、第4図(C)に示すような
正転時と逆転時のパルス信号(el)〜(e4)が形成
される。これらのパルス信号(el)〜(e4)はオン
/オフ切換器47に供給される。A forward/reverse signal is supplied from the forward/reverse signal input terminal 46 to the forward/reverse switch 45, and pulse signals (el) to (e4) during forward and reverse rotation as shown in FIG. 4(C) are generated. is formed. These pulse signals (el) to (e4) are supplied to an on/off switch 47.
オン/オフ信号がオン/オフ信号入力端子48より、こ
のオン/オフ切換器47に供給され、このオン/オフ切
換器47により、第4図(D)に示す4相のパルス信号
(fl)〜(f4)がオン/オフされる。An on/off signal is supplied from the on/off signal input terminal 48 to the on/off switch 47, and the on/off switch 47 generates a four-phase pulse signal (fl) shown in FIG. 4(D). ~(f4) is turned on/off.
4相のパルス信号(fl)〜(f4)により、この図面
に示したように、Aλ(90°)位相差のある2相(A
相、B相)の信号が得られる。As shown in this drawing, the four-phase pulse signals (fl) to (f4) generate two phases (A
phase, B phase) signals are obtained.
A相、B相の2相の信号は電力増幅器AとB(49Aと
49B)で増幅され、昇圧トランスAとB(50Aと5
0B)で昇圧され、超音波モータの電気−機械変換手段
24のA相電極24b、及びB相電極24cに第1図に
示したように、リード線26a、 bを介して、A相及
びB相の超音波電圧を供給する。The two-phase signals of phase A and phase B are amplified by power amplifiers A and B (49A and 49B), and step-up transformers A and B (50A and 50B) are amplified.
As shown in FIG. Supply phase ultrasonic voltage.
前述の正/逆転信号により、A相又はB相の超音波電圧
それぞれ互いにXλだけ早くするか、又は遅くするかに
よって、超音波モータの正逆両方向の回転を容易に得る
事が可能である。更に、オン/オフ信号により、急激に
停止、回転を繰り返す事も可能であり、超音波モータの
正方向回転、停止、逆方向回転、そして停止を繰り返す
事ができる。By using the above-mentioned forward/reverse signals, it is possible to easily rotate the ultrasonic motor in both forward and reverse directions by making the A-phase or B-phase ultrasonic voltages faster or slower by Xλ relative to each other. Furthermore, it is possible to repeatedly stop and rotate rapidly using an on/off signal, and the ultrasonic motor can repeatedly rotate in the forward direction, stop, rotate in the reverse direction, and then stop.
第1図に戻る。図面に示すように、移動子21のロータ
ハウジング22には取付ネジ22aを有する。Return to Figure 1. As shown in the drawings, the rotor housing 22 of the mover 21 has mounting screws 22a.
この図面には図示していないが、ロータハウジング22
には、種々の部材を取付け、その取付けられた部材を回
転させる事ができる。例えばビデオテープレコーダであ
れば、回転ドラムを取付ける事ができる。この回転ドラ
ムにはビデオヘッドが取付けられていて、このビデオヘ
ッドの入出力信号が、前記電圧授受手段25としてのス
リップリングを介して、固定子U側から入出力される。Although not shown in this drawing, the rotor housing 22
Various members can be attached to the , and the attached members can be rotated. For example, a video tape recorder can be equipped with a rotating drum. A video head is attached to this rotating drum, and input/output signals of this video head are input/output from the stator U side via a slip ring serving as the voltage transfer means 25.
ここでは、他の電気部品として、ビデオヘッドの例を説
明したが、限定されるものではない。Here, an example of a video head has been described as another electrical component, but the present invention is not limited thereto.
即ち、電気−機械変換手段24や他の電気部品への電圧
の授受のリード線処理が移動子■内で集中的にできるの
で、結線が簡単になる。That is, the lead wire processing for supplying and receiving voltage to and from the electro-mechanical conversion means 24 and other electrical components can be done centrally within the mover (2), making the wiring connections simple.
固定子連2の摺接材12の移動子釘との対向面を理想的
な面にする事ができる事を説明したが、この固定子旦の
理想的な面に、弾性体23を含む移動子幻、が摺動して
倣いながら平滑に移動するため、移動子U、即ち超音波
モータのワウ・フラッタ−やジッター等の回転ムラを低
減できる。It has been explained that the surface of the sliding member 12 of the stator chain 2 facing the slider nail can be made into an ideal surface. Since the moving element U moves smoothly while sliding and tracing, rotational irregularities such as wow and flutter and jitter of the moving element U, that is, the ultrasonic motor can be reduced.
電圧授受手段25として、スリップリングの例で説明し
たが、ロータリトランスでも可能である。Although the slip ring has been described as an example of the voltage transfer means 25, a rotary transformer may also be used.
更に、移動子■は回転して移動する例で説明したが、直
線運動するりニアモータの場合もあり得る。Further, although the moving element (2) has been described as rotating and moving, it may move linearly or may be a near motor.
〔発明の効果]
本発明の超音波モータは、固定子と、この固定子に対向
して移動可能な移動子とから成り、前記移動子は位相差
をもった周波電圧が印加される電気−機械変換手段を具
備すると共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給す
ための電圧授受手段を設ける。[Effects of the Invention] The ultrasonic motor of the present invention includes a stator and a movable element movable opposite to the stator, and the movable element is an electric motor to which a frequency voltage having a phase difference is applied. A mechanical conversion means is provided, and a voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is provided.
及び、前記電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧授
受手段をスリップリングとブラシとで構成する。A voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is composed of a slip ring and a brush.
更には、前記電気−機械変換手段に電圧を供給する授受
供給手段をロータリトランスとする。Furthermore, a rotary transformer is used as the transfer and supply means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means.
以上のように、移動子に、電気−機械変換手段を配する
と共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給する電圧
授受手段を設ける事により、移動子に配される他の電気
部品からの電気信号を逆に前記電圧授受手段を介して、
固定子側に送る事が可能で、全体としての結線が簡単に
なる。As described above, by disposing the electro-mechanical conversion means on the movable element and providing the voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means, it is possible to prevent interference from other electrical components disposed on the movable element. Reverse the electric signal through the voltage transfer means,
It can be sent to the stator side, making the overall wiring easier.
しかも、固定子が簡単な構造なので、この固定子の移動
子との対向面を理想的な面に形成する事が可能で、この
固定子の理想的な面に、移動子が摺動して倣いながら平
滑に移動するため、移動子の回転ムラを低減できる。Furthermore, since the stator has a simple structure, the surface of the stator that faces the mover can be formed into an ideal surface, and the mover slides on this ideal surface of the stator. Since it moves smoothly while tracing, uneven rotation of the slider can be reduced.
第1図は本発明の超音波モータの一実施例の断面図であ
る。第2図は第1図の一実施例の移動子の電気−機械変
換手段の9λ電極パタ一ン図である。第3図は第1図の
一実施例の駆動回路図である。そして、第4図(A)乃
至(E)は第3図に示した駆動回路図の各部の波形図で
あり、同図(A)は(a) −(b) −(C)の波形
、同図(B)は(C)(dl)〜(d4)の波形、同図
(C)は(el) 〜(e4)の正/逆転時の波形、同
図(D)は(fl)〜(f4) −A相、B相の波形、
そして同図(E)は(g)−011の波形を示す。
旦−−−−−−一固定子
21−−−−−−移動子
24−−−=−−−−一電気−機械変換手段25−−−
−−−−−−−−一−電圧授受手段幅着
南孟
工〕FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the ultrasonic motor of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a 9λ electrode pattern of the electro-mechanical conversion means of the mover of the embodiment shown in FIG. 1. FIG. 3 is a driving circuit diagram of one embodiment of FIG. 1. 4(A) to (E) are waveform diagrams of each part of the drive circuit diagram shown in FIG. 3, and FIG. 4(A) shows the waveforms of (a) - (b) - (C), The figure (B) shows the waveforms of (C) (dl) to (d4), the figure (C) shows the waveforms of (el) to (e4) during forward/reverse operation, and the figure (D) shows the waveforms of (fl) to (e4). (f4) - Waveforms of A phase and B phase,
And (E) in the same figure shows the waveform of (g)-011. Once-----One stator 21-----Movers 24--=----One electric-mechanical conversion means 25--
−−−−−−−−1− Voltage transfer means width arrival Minami Meng Kong]
Claims (3)
とから成る超音波モータにおいて、前記移動子は位相差
をもった周波電圧が印加される電気−機械変換手段を具
備すると共に、この電気−機械変換手段に電圧を供給す
るための電圧授受手段を設けた事を特徴とする超音波モ
ータ。1. In an ultrasonic motor consisting of a stator and a movable element movable in opposition to the stator, the movable element is equipped with an electro-mechanical conversion means to which a frequency voltage having a phase difference is applied, and this An ultrasonic motor characterized by being provided with voltage transfer means for supplying voltage to an electro-mechanical conversion means.
手段をスリップリングとブラシとで構成した事を特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の超音波モータ。2. 2. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is comprised of a slip ring and a brush.
手段をロータリトランスとした事を特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の超音波モータ。3. 2. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the voltage transfer means for supplying voltage to the electro-mechanical conversion means is a rotary transformer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2181655A JPH0471371A (en) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2181655A JPH0471371A (en) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | Ultrasonic motor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0471371A true JPH0471371A (en) | 1992-03-05 |
Family
ID=16104547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2181655A Pending JPH0471371A (en) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | Ultrasonic motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0471371A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999044279A1 (en) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Star Micronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
WO1999063653A1 (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Star Micronics Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting position, ultrasonic motor, and method of driving ultrasonic motor |
EP2175501A2 (en) | 2008-10-07 | 2010-04-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor and conveying apparatus having the same |
-
1990
- 1990-07-11 JP JP2181655A patent/JPH0471371A/en active Pending
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CN101714833A (en) * | 2008-10-07 | 2010-05-26 | 三星电子株式会社 | Ultrasonic motor and conveying apparatus having the same |
EP2175501A3 (en) * | 2008-10-07 | 2012-04-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor and conveying apparatus having the same |
US8274198B2 (en) | 2008-10-07 | 2012-09-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor and conveying apparatus having the same |
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