JPH045274U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH045274U JPH045274U JP4562990U JP4562990U JPH045274U JP H045274 U JPH045274 U JP H045274U JP 4562990 U JP4562990 U JP 4562990U JP 4562990 U JP4562990 U JP 4562990U JP H045274 U JPH045274 U JP H045274U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning liquid
- cover
- liquid supply
- supply port
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は一実施例の縦断面説明図、第２図はそ
の上から見た説明図、第３図は使用状態の説明図
、第４図は他の一例を示す説明図、第５図は回転
塗布装置の説明図である。 １……アーム部材、１１……雌螺子、１２……
アーム部、１３……洗浄液供給口、１４……中空
部、１５……洗浄液吐出口、１６……フツク、１
７……蝶番、１８……レジスト供給ノズル、２…
…洗浄部材、３……スピンヘツド、４……回転軸
、５……上カバー、６……下カバー、７……洗浄
液、８……洗浄液供給ノズル。
の上から見た説明図、第３図は使用状態の説明図
、第４図は他の一例を示す説明図、第５図は回転
塗布装置の説明図である。 １……アーム部材、１１……雌螺子、１２……
アーム部、１３……洗浄液供給口、１４……中空
部、１５……洗浄液吐出口、１６……フツク、１
７……蝶番、１８……レジスト供給ノズル、２…
…洗浄部材、３……スピンヘツド、４……回転軸
、５……上カバー、６……下カバー、７……洗浄
液、８……洗浄液供給ノズル。
Claims (1)
- スピンヘツドの回転軸に軸着可能なアーム部材
と、該アーム部材外表面に備える洗浄部材とから
構成され、アーム部材はスピンヘツドの周囲に配
置されたカバー内に進入可能な形状を有すると共
に、回転中心部材に洗浄液供給口と、前記カバー
内面に対峙する部分に前記洗浄液供給口と連通す
る洗浄液吐出口とを有し、前記洗浄部材は前記カ
バー内面に接触可能であることを特徴とする回転
塗布装置のカバー内面洗浄治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4562990U JPH045274U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4562990U JPH045274U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045274U true JPH045274U (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=31559982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4562990U Pending JPH045274U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH045274U (ja) |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP4562990U patent/JPH045274U/ja active Pending