JPH0449883B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜利用分野＞ 本発明は、例えば大型の被測定物（ワーク）の
表面とか板状体の表面などの粗さを測定するとき
に、これらのワーク上に載置して測定できるよう
に、いわゆる携帯可能に小型軽量化した表面粗さ
測定機に関するものである。[Detailed Description of the Invention] <Field of Application> The present invention is applicable to, for example, when measuring the roughness of the surface of a large object to be measured (workpiece) or the surface of a plate-shaped object. The present invention relates to a surface roughness measuring device that is small and lightweight so that it can be carried around.

＜従来技術＞ ワーク表面の微細な凹凸、いわゆる表面粗さを
測定する機器として表面粗さ測定機が提供されて
いる。この種測定機は、ワーク表面のミクロンレ
ベルの凹凸を測定・検出するために非常に高精密
に構成され、その使用環境も制約されているのが
現状である。しかして構成的には、概略、ワーク
を安定載置するテーブルと、該テーブルに立設さ
れたコラムと、該コラムに上下移動可能に取り付
けられた駆動本体部と、該駆動本体部から延設支
持されてワーク表面をトレースする触針からなる
測定子とを備えてなり、これを防振台上に設置す
ると共に、駆動本体内駆動機構及び測定子とは機
外の電源・測定量演算表示機構を備えた外部表示
器と信号ケーブルを介して接続し利用するように
している。<Prior Art> A surface roughness measuring machine is provided as a device for measuring minute irregularities on the surface of a workpiece, so-called surface roughness. This type of measuring machine is constructed with extremely high precision in order to measure and detect micron-level irregularities on the surface of a workpiece, and the environment in which it can be used is currently restricted. In general, the structure consists of a table on which a workpiece is stably placed, a column erected on the table, a drive body attached to the column so as to be movable up and down, and a drive body extending from the drive body. It is equipped with a probe consisting of a stylus that is supported and traces the surface of the workpiece, and is installed on a vibration isolation table. It is used by connecting to an external display device equipped with a mechanism via a signal cable.

上記のような従来測定機では、ワークに接触す
るのは測定子の触針部のみである為、ワークのう
ねりや真直度等の測定時に触針のトレースする方
向をワークのトレース面と合致させるように該駆
動本体部内に測定子の移動方向を案内する基準ガ
イドを設け、これによりワーク表面の傾斜度合と
トレース方向を合わせるようにもしている。 In conventional measuring machines such as those mentioned above, only the stylus part of the probe comes into contact with the workpiece, so when measuring the waviness or straightness of the workpiece, the direction in which the stylus traces must match the tracing surface of the workpiece. In this way, a reference guide for guiding the moving direction of the probe is provided in the drive main body, thereby matching the degree of inclination of the workpiece surface with the tracing direction.

また、ワークがテーブルに載置できる大きさの
場合は該ワークを直接テーブルに載置して測定し
ているが、大形物等テーブルに直接載置できない
ワークにおいては、該ワークの一部を切り取つて
載置したり、あるいは測定に必要な部分を転写し
て間接的に測定することが利用されている。 In addition, if the workpiece is large enough to be placed on the table, the workpiece is placed directly on the table for measurement, but if the workpiece is large or cannot be placed directly on the table, a part of the workpiece is It is used to cut out and place it, or to transfer the part necessary for measurement and measure it indirectly.

＜本発明が解決しようとする問題点＞ 上記従来の測定機においては、装置の精度上か
らはいわゆる測定室、検査室のように環境が管理
された場所での利用となり、生産ライン現場での
簡便な利用には甚だ不具合なものであつた。これ
は各種の測定値抽出を可能とする機構としている
為、その精度維持とも相まつて機構が複雑化し、
測定機自体の寸法が大きくなつて現場での迅速簡
単な利用に不向きな大きさであることも一因であ
る。<Problems to be solved by the present invention> In view of the accuracy of the device, the above-mentioned conventional measuring device is used in a place with a controlled environment such as a so-called measurement room or inspection room, and it is difficult to use it in a production line site. It was extremely inconvenient for simple use. Since this is a mechanism that enables the extraction of various measured values, the mechanism becomes complicated in order to maintain its accuracy.
Another reason is that the size of the measuring device itself is large, making it unsuitable for quick and easy use in the field.

また、測定機のテーブルに載置できない大形ワ
ーク品等の場合は、前述の通り測定の為の準備に
手数を要し、特別の寸法対応治具等も必要とする
など、測定の為の準備・調整等に関し、その実用
性には未が改良が望まれている点も多々存してい
るものであつた。 In addition, in the case of large workpieces that cannot be placed on the table of the measuring machine, it takes time to prepare for measurement as mentioned above, and special dimensional jigs are also required. Regarding preparations, adjustments, etc., there were many points that needed improvement in terms of practicality.

＜問題点を解決するための手段＞ 上記の如き従来問題点に鑑みて本発明が提供さ
れたもので、角筒状に形成され、前後端が前面板
と後面板とで閉成されたケーシングと、 ケーシング内に設けられたモータによつてケー
シング内で回転駆動されるねじ軸と、 ねじ軸に螺合しねじ軸が回転されることにより
移動する送りナツトと、 ねじ軸と平行にケーシングに摺動自在に支持さ
れ、送りナツトに後方に向けて固着されたスライ
ド軸と、 ワーク測定面に向けた付勢力を有する第１の板
ばねを介してスライド軸の後端と連結されたコネ
クタ兼取付部と、 ケーシング内に配置されるピツクアツプケース
と、 一端がピツクアツプケースに固着され他端がケ
ーシングの前面板の開口から前方に突出するスキ
ツドと、 ピツクアツプケースに揺動可能に支持されると
共に第２の板ばねを介してワーク測定面に向けて
付勢され、スキツド内を挿通された触針レバー
と、 ピツクアツプケース内に設けられ、触針レバー
の変位を検出するインダクタンス型検出器と、 インダクタンス型検出器と電気的に接続され、
ピツクアツプケースから突設されると共にコネク
タ兼取付部に着脱可能に連結されるコネクタピン
兼取付ロツドと、 触針レバーの先端に固着されスキツドの先端の
開口から露出してワークの測定面に接触する触針
と、 一端がケーシング内のコネクタ兼取付部と接続
され、他端がケーシングの後端面を通つてケーシ
ング外の表示器に接続される外部端子接続用信号
ケーブルと、から成り、 前記前面板及び後面板の底部はケーシング底面
より突出せしめ、その底辺両側に平坦部を形成す
ると共にその底辺中央部にＶ形切欠きを形成し、
該底部をワークへの載置当接部としたことを特徴
とする。<Means for Solving the Problems> The present invention has been provided in view of the above-mentioned conventional problems, and includes a casing formed in the shape of a rectangular tube, whose front and rear ends are closed by a front plate and a rear plate. a screw shaft that is rotated within the casing by a motor installed in the casing; a feed nut that is threaded onto the screw shaft and moves as the screw shaft is rotated; A slide shaft that is slidably supported and fixed to the feed nut toward the rear, and a connector that also serves as a connector that is connected to the rear end of the slide shaft via a first leaf spring that has a biasing force toward the workpiece measurement surface. a mounting portion; a pick-up case disposed within the casing; a skid having one end fixed to the pick-up case and the other end protruding forward from an opening in the front plate of the casing; a stylus lever that is biased toward the workpiece measurement surface via the leaf spring No. 2 and inserted through the skid; an inductance-type detector that is installed in the pick-up case and detects displacement of the stylus lever; electrically connected to the type detector,
A connector pin/mounting rod protrudes from the pick-up case and is removably connected to the connector/mounting part, and a connector pin/mounting rod is fixed to the tip of the stylus lever and exposed through the opening at the tip of the skid to make contact with the measurement surface of the workpiece. It consists of a stylus, and a signal cable for connecting an external terminal, one end of which is connected to a connector and mounting part inside the casing, and the other end of which is connected to an indicator outside the casing through the rear end surface of the casing, and the front plate and the bottom of the rear plate projects from the bottom of the casing, and has flat parts on both sides of the bottom and a V-shaped notch in the center of the bottom;
It is characterized in that the bottom portion is used as a placement abutting portion for the workpiece.

＜作用＞ ワークの測定部位に測定機の触針が接触するよ
うに測定機本体底部を該ワークに当接載置せし
め、次いで信号ケーブルで連絡した駆動制御源側
で駆動スイツチをON投入してやれば、該本体内
の駆動機構により触針を連結しているピツクアツ
プがその軸方向に所定距離だけスライドし、この
とき触針がワーク表面をトレースしてその凹凸に
追従した変位動作を行なう。<Function> Place the bottom of the measuring machine on the workpiece so that the stylus of the measuring machine contacts the measuring part of the workpiece, and then turn on the drive switch on the drive control source side connected via the signal cable. A pick-up connecting the stylus is slid by a predetermined distance in its axial direction by a drive mechanism within the main body, and at this time, the stylus traces the surface of the workpiece and performs a displacement operation that follows the irregularities of the surface.

この変位動作によつて内蔵する変換器が所定の
電気信号を創成し、信号ケーブルを介して連絡さ
れた外部表示部へ出力し、もつて測定粗さを表示
する。 This displacement action causes a built-in transducer to generate a predetermined electrical signal and output it to an external display connected via a signal cable, thereby displaying the measured roughness.

この測定作業時において、ワークの測定機当接
面が平坦部である場合は測定機本体の前面板及び
後面板の底部平坦部が該ワーク平坦部に当接し、
安定した載置状態として、触針部及び本体がふら
つくことなく測定作業を行なうことができる。ま
た、ワークの測定機当接面が円柱形である場合
は、前記前面板及び後面板の底部Ｖ形切欠きによ
り該円柱面に当接し、安定した載置姿勢をとるこ
とができる。 During this measurement work, if the surface of the workpiece that comes into contact with the measuring machine is a flat part, the flat bottom parts of the front plate and rear plate of the measuring machine body come into contact with the flat part of the workpiece,
In a stable mounting state, measurement work can be performed without the stylus and main body wobbling. Further, when the measuring machine contact surface of the workpiece is cylindrical, the V-shaped notches at the bottoms of the front plate and the rear plate allow the workpiece to abut the cylindrical surface and take a stable mounting posture.

＜実施例＞ 以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて
説明する。第１図ないし第３図において、１は測
定機本内Ａのケーシングであり、角柱状に形成し
てその両端部を前面板２、後面板３で閉成してい
る。しかして前面板２側には、後述するケーシン
グ内部の駆動機構と着脱自在に連結され、前面板
２に対し、揺動自在に該板２を遊挿して触針４と
スキツド５からなる測定部がケーシング外部に突
出するピツクアツプ６と、該測定部を保護するノ
ーズピース７を設けている。８は、前記後面板３
側からケーシング外部に延長された信号ケーブル
であり、一端側はケーシング内部の前記ピツクア
ツプ６からの信号ロツド６ａ，６ａ及び駆動機構
のモータ部等に接続され、他端側には、該ピツク
アツプ信号を処理し、所要の粗さデータ等を表示
する演算表示機構と共に測定機本内Ａの前記駆動
モータ等へ電流を供給する電源機構等を備えた表
示器（図示せず）の接続端子（図示せず）に連結
されるコネクタ９を接続している。<Example> Hereinafter, preferred examples of the present invention will be described based on the drawings. In FIGS. 1 to 3, reference numeral 1 denotes a casing of the main body A of the measuring machine, which is formed into a prismatic shape and whose both ends are closed with a front plate 2 and a rear plate 3. The front plate 2 side is removably connected to a drive mechanism inside the casing, which will be described later. A pick-up 6 that projects outside the casing and a nose piece 7 that protects the measuring section are provided. 8 is the rear plate 3
It is a signal cable extending from the side to the outside of the casing, and one end is connected to the signal rods 6a, 6a from the pick-up 6 inside the casing and the motor part of the drive mechanism, and the other end is connected to the pick-up signal. A connection terminal (not shown) of a display device (not shown) equipped with a power supply mechanism etc. that supplies current to the drive motor etc. in the main body A of the measuring machine as well as a calculation display mechanism that processes and displays required roughness data etc. The connector 9 connected to the

また、前記前面板２及び後面板３はその側辺と
なる側の寸法をケーシング１の断面側辺長（第２
図上で上下方向の寸法）よりは若干大きくして、
その底辺２ａ，３ａ側がケーシング底面から若干
突出するように配置して該ケーシング端部を閉成
するようにしている。２ｂ，３ｂは前面板２と後
面板３の前記底辺２ａ，３ａの中央部に形成した
Ｖ形切欠きであり、従つて、該底辺は平坦部とＶ
形切欠き部が形成されているものである。 In addition, the front plate 2 and the rear plate 3 have the side dimensions of the casing 1 cross-sectional side length (second
Slightly larger than the vertical dimension (in the diagram),
The bottom sides 2a and 3a are arranged so as to slightly protrude from the bottom surface of the casing, thereby closing the ends of the casing. 2b and 3b are V-shaped notches formed at the center of the bottom sides 2a and 3a of the front plate 2 and rear plate 3, and therefore, the bottom sides are connected to the flat part and the V-shaped notch.
A shaped notch is formed.

しかして上記前面板２と後面板３は、その底辺
２ａ，３ａがケーシング１より突出しているの
で、第２図に示すように測定作業時にワークＷへ
当接させることにより、該底辺部をワークへの測
定機載置当接部として利用し、ワーク表面が平坦
な場合は前記底辺部２ａ，３ａの平坦部を、また
ワーク表面が円弧状あるいは円柱状等ワークの場
合は前記Ｖ形切欠き２ｂ，３ｂをそれぞれ測定機
載置当接部として安定的に該測定機を設定できる
ようにしている。 Since the bottom sides 2a and 3a of the front plate 2 and rear plate 3 protrude from the casing 1, the bottom sides can be brought into contact with the workpiece W during measurement work as shown in FIG. If the work surface is flat, use the flat parts of the base parts 2a and 3a as a contact part for placing the measuring machine on the workpiece, or use the V-shaped notch if the workpiece surface is arcuate or cylindrical. 2b and 3b are respectively used as measuring machine mounting abutting parts, so that the measuring machine can be set stably.

第２図にはケーシング１内の構造を示してい
る。 FIG. 2 shows the structure inside the casing 1.

図において、１０は駆動モータであり、減速器
１１及び取り付け誤差等による多少の偏心を吸収
して駆動伝達をするフレキシブルカツプリング１
２を介して同軸的に送りねじ軸１３を接続してい
る。１４は、送りねじ軸１３に螺合してねじ軸方
向に移動可能な送りナツトであり、該ナツトには
該ねじ軸と平行方向に移動するスライド軸１５を
その軸受け１５ａによりケーシング内壁に支持し
て一体的に固定しており、該スライド軸１５の一
端にはジヨイントブロツク１６、板バネ１７を介
して、ピツクアツプ６の非連結時には該スライド
軸１５と略平行で同方向に延長したピツクアツプ
連結ロツド１８を揺動可能に取り付けている。上
記スライド軸１５は、ケーシング底面、具体的に
は前面板２と後面板３の底辺２ａ，３ａ間で形成
する仮想平面と略平行に移動できるように配置し
ている。ピツクアツプ連結ロツド１８は、その先
端側に前述ピツクアツプ６の信号ロツド６ａ，６
ａが着脱自在に嵌入される取り付け孔を形成して
いるものであり、該孔部に前記信号ケーブル８と
信号ロツド６ａ，６ａの接点（図示せず）６が設
けられている。 In the figure, 10 is a drive motor, and a decelerator 11 and a flexible coupling 1 that absorbs some eccentricity due to installation errors and transmits drive.
A feed screw shaft 13 is coaxially connected via 2. Reference numeral 14 denotes a feed nut that is screwed onto the feed screw shaft 13 and is movable in the direction of the screw axis, and the nut has a slide shaft 15 that moves in a direction parallel to the screw shaft and is supported on the inner wall of the casing by its bearing 15a. At one end of the slide shaft 15, a joint block 16 and a leaf spring 17 are used to connect a pick-up that is substantially parallel to and extends in the same direction as the slide shaft 15 when the pick-up 6 is not connected. A rod 18 is swingably attached. The slide shaft 15 is arranged so as to be movable substantially parallel to the bottom surface of the casing, specifically, to a virtual plane formed between the bottom sides 2a and 3a of the front plate 2 and the rear plate 3. The pick-up connecting rod 18 has the signal rods 6a, 6 of the pick-up 6 on its tip side.
A is formed into a mounting hole into which the signal cable 8 is removably inserted, and a contact point (not shown) 6 between the signal cable 8 and the signal rods 6a, 6a is provided in the hole.

スライド軸１５のピツクアツプ連結ロツド１８
は、上述及び第２図から明らかなように、一体的
形状をＵ字形としているもので、これにより、モ
ータ等も含めた駆動機構部寸法が長くなり、従つ
て本体が長尺化するのを防ぐようにしている。ま
た、前記連結ロツド１８は板バネ１７により揺動
可能であるから、上記Ｕ字形一体形状として一部
材で形成する場合は、その反転曲折部（Ｕ字底
部）等を薄肉部として板バネ機能を持たせ、前記
ロツド１８側が揺動するようにできることは明ら
かである。 Pickup connection rod 18 of slide shaft 15
As is clear from the above and Fig. 2, the integrated shape is U-shaped, which increases the length of the drive mechanism including the motor etc., and therefore prevents the main body from becoming longer. I'm trying to prevent it. In addition, since the connecting rod 18 can be swung by the leaf spring 17, when the connecting rod 18 is formed of one piece as the U-shaped integral shape, the reverse bending part (bottom part of the U-shape) etc. is made into a thin wall part to perform the leaf spring function. It is clear that the rod 18 side can be made to swing.

ピツクアツプ６は、測定機本体Ａのピツクアツ
プ連結ロツド１８により揺動自在に支持されてい
るものであり、その内部には、ピツクアツプ本体
内壁面に固定されたインダクタンス型変位検出器
６１に対向してフエライト板６２を一端に取り付
けた触針レバー６３がその中間部をピツクアツプ
本体前端部で板バネ６４により支持されて設けら
れており、該レバー６３の先端には下向きの触針
４が取り付けられ、さらに該触針レバー６３及び
触針４を適宜間隔で挿通するスキツド５を該ピツ
クアツプ本体前端部に固定して構成している。し
かして触針４がワークＷへ当接していないときは
スキツド５の先端面より僅かに突出すべく、触針
レバー６３は前記板バネ６４により設定されて該
スキツド（ピツクアツプ本体）に対し揺動可能に
支持されているものである。また、インダクタン
ス型検出器６１はそのコイル線端（図示せず）を
前述の信号ロツド６ａ，６ａに接続しているもの
であり、これにより測定時の触針レバー６３の揺
動、即ちフエライト板６２の揺動変位が前記検出
器６１の電流を変化させ、この変化の最終的にワ
ークの表面粗さ等として表示器に表示されるので
ある。 The pick-up 6 is swingably supported by a pick-up connecting rod 18 of the measuring instrument main body A, and inside thereof there is a ferrite plate facing an inductance-type displacement detector 61 fixed to the inner wall of the pick-up main body. A stylus lever 63 with a plate 62 attached to one end is provided with its intermediate portion supported by a plate spring 64 at the front end of the pickup body, and a downwardly directed stylus 4 is attached to the tip of the lever 63. A skid 5 through which the stylus lever 63 and stylus 4 are inserted at appropriate intervals is fixed to the front end of the pickup main body. When the stylus 4 is not in contact with the workpiece W, the stylus lever 63 is set by the leaf spring 64 and swings relative to the skid (pickup body) so that it slightly protrudes from the tip surface of the skid 5. It is supported as possible. Further, the inductance type detector 61 has its coil wire ends (not shown) connected to the signal rods 6a, 6a described above, and this allows the swinging of the stylus lever 63 during measurement, that is, the ferrite plate. The oscillating displacement of the detector 62 changes the current of the detector 61, and this change is ultimately displayed on the display as the surface roughness of the workpiece.

上記のようなピツクアツプ機構は、モータ１０
の駆動によりその軸方向に進退移動するので、測
定精度あるいは使用操作の便宜性からは駆動方向
の基準となるスライド軸１５と平行移動するのが
好ましい。そのため該ピツクアツプ６はワークＷ
への当接時にスライド軸１５、換言すれば該軸と
平行面を形成する、前面板２と後面板３間の前述
仮想平面と平行になるべく、またスキツド５先端
面が該仮想平面と同様のレベル位置に存するべ
く、駆動機構及びピツクアツプ等の寸法、配置が
設定されている。 The above-mentioned pick-up mechanism is powered by a motor 10.
Since it moves forward and backward in the axial direction by driving, it is preferable to move parallel to the slide shaft 15, which serves as a reference in the driving direction, from the viewpoint of measurement accuracy or convenience of operation. Therefore, the pick-up 6 is the workpiece W.
When in contact with the slide shaft 15, in other words, the sliding shaft 15 should be parallel to the virtual plane between the front plate 2 and the rear plate 3, which forms a plane parallel to the axis, and the tip surface of the skid 5 should be parallel to the virtual plane similar to the virtual plane. The dimensions and arrangement of the drive mechanism, pick-up, etc. are set so that the drive mechanism and pickup are located at a level position.

ノーズピース７は、前述の通りピツクアツプ６
の特に外部に突出するスキツド等の保護機能を主
として奏するので、後述のような載置測定は取り
外しての利用もできるが、その下面側を平坦にし
て前述の前面板２と後面板３の底辺で形成する仮
想平面と略同レベルに位置させることにより、小
寸法ワーク測定時にノーズピース部分のみをワー
ク表面に当接させて利用できるようにしている。 The nosepiece 7 is the pick-up 6 as mentioned above.
In particular, the skids that protrude to the outside mainly play a protective function, so they can be removed and used for mounted measurements as described below. By positioning it approximately at the same level as the virtual plane formed by , only the nosepiece portion can be brought into contact with the workpiece surface and used when measuring small-sized workpieces.

以上のような構成によりワークＷの表面粗さを
測定する場合、第４図ａのような平面板形状の場
合には測定機本体Ａを該ワークＷ上に載置し、図
示しない表示器側より駆動信号を与えれば、モー
タ１０の作動によりピツクアツプ６が進退してそ
の触針４がワーク表面をトレースし、表面粗さを
検出する。このトレースは、測定機本体の底面、
即ち前述仮想平面と略平行にピツクアツプ６が進
退するので、ワークＷ表面に接触している触針４
も略平行に移動し、もつて誤差の生じにくい粗さ
測定ができることになる。この場合、スキツド５
もワークＷ表面をトレースするので、該スキツド
と関連しながら独立して変位する触針４の変位量
はいわゆる「うねり」成分をスキツド５により除
去された成分、即ち表面粗さとして得ることにな
る。 When measuring the surface roughness of a workpiece W with the above configuration, if the workpiece W has a flat plate shape as shown in FIG. When more drive signals are applied, the pick-up 6 moves forward and backward due to the operation of the motor 10, and its stylus 4 traces the surface of the workpiece to detect the surface roughness. This trace is located on the bottom of the measuring device,
That is, since the pick-up 6 advances and retreats approximately parallel to the virtual plane, the stylus 4 in contact with the surface of the work W
Also, the roughness can be measured almost in parallel, making it possible to measure roughness with less error. In this case, skid 5
Since the stylus 4 traces the surface of the workpiece W, the amount of displacement of the stylus 4, which is displaced independently in relation to the skid, is obtained by removing the so-called "waviness" component by the skid 5, that is, the surface roughness. .

上記測定において、測定機の載置表面が必ずし
もいわゆる平坦面である場合とは限らないが、若
干の波打ち面（凹凸面）、換言すれば測定機本体
Ａの前面板２と後面板３のケーシング１に対する
底部突出量よりも小さい程度の波打ち面であれ
ば、該前面板２と後面板３の突出により測定機本
体を二点支持とするので、安定した載置が可能で
あつて、測定中に本体Ａがふらつくこともなく、
結局精度のよい測定を行なえることになる。 In the above measurement, the mounting surface of the measuring device is not necessarily a so-called flat surface, but a slightly corrugated surface (uneven surface), in other words, the casing of the front plate 2 and rear plate 3 of the measuring device main body A. If the surface is corrugated to a degree that is smaller than the amount of protrusion of the bottom part relative to 1, the measuring instrument body is supported at two points by the protrusion of the front plate 2 and rear plate 3, so that it can be placed stably during measurement. The main body A does not wobble,
In the end, accurate measurements can be made.

第４図ｂは測定位置がワークのコーナ部平坦面
である場合を示している。このような位置であつ
ても測定機本体底面が平坦であるから、第４図ａ
と同要領で測定作業ができることはいうまでもな
い。 FIG. 4b shows a case where the measurement position is a flat corner surface of the workpiece. Even in this position, the bottom surface of the measuring machine body is flat, so Figure 4a
It goes without saying that measurement work can be carried out in the same manner.

次に、第５図は円柱形状ワークの測定例を示し
ているもので、この場合は上述の前面板２と後面
板３の平坦な底辺２ａ，３ａを利用することがで
きない。しかしながら、本発明の場合は該底辺中
央にＶ形切欠き部２ｂ，３ｂを形成しているの
で、第４図例と同様の要領で、ワークＷの上面に
単に載置するだけで該切欠き部がワーク上面に跨
がり収束する如く当接して、測定機本体Ａを安定
載置することができ、その測定作業に何ら異なる
ところは生じない。 Next, FIG. 5 shows an example of measurement of a cylindrical workpiece, and in this case, the flat bottom sides 2a and 3a of the above-mentioned front plate 2 and rear plate 3 cannot be used. However, in the case of the present invention, since the V-shaped notches 2b and 3b are formed at the center of the base, the notches can be removed by simply placing the workpiece W on the upper surface in the same manner as in the example in FIG. The measuring instrument main body A can be stably placed by contacting the upper surface of the workpiece so as to straddle and converge, and there is no difference in the measuring operation.

尚、この場合、触針４部は円柱の頂部をトレー
スするので、前述の如く測定時の触針レベルを測
定機本体の仮想底面と同レベルに設定すれば、円
柱ワークの場合は前記前面板２と後面板３のＶ形
切欠き部２ｂ，３ｂの切欠き深さ分だけ触針４及
びピツクアツプ本体等が上方に傾斜変位すること
になる。しかしながら、触針４はスキツド５と共
にピツクアツプ本体に応動し、しかもワーク表面
のうねり成分を除去するスキツド５が固定された
ピツクアツプ本体とは独立して変位しトレースす
るように設けられている。そして触針のワーク当
接点はスキツド５の先端から貫通した位置であ
り、スキツド先端（ワーク当接面）は一般に孤面
を形成しているので、上述程度の傾斜変位では前
記平坦ワークの場合と同じであつて精度的誤差は
生ぜず、従つて測定機能には何らの影響も与えな
いことになる。 In this case, the stylus 4 traces the top of the cylinder, so if the stylus level at the time of measurement is set to the same level as the virtual bottom of the measuring machine body as described above, in the case of a cylindrical workpiece, the front plate The stylus 4, the pick-up body, etc. are tilted upward by the depth of the V-shaped notches 2b and 3b of the rear plate 3. However, the stylus 4 responds to the pick-up body together with the skid 5, and is disposed so as to be displaced and traced independently of the pick-up body to which the skid 5, which removes the waviness component on the work surface, is fixed. The workpiece contact point of the stylus is a position penetrating from the tip of the skid 5, and since the skid tip (workpiece contact surface) generally forms an arcuate surface, the above-mentioned degree of inclination displacement is different from that for the flat workpiece. They are the same and do not cause any accuracy errors, so they do not affect the measurement function in any way.

＜効果＞ 以上述べてきたように、本発明によれば次のよ
うな種々の効果を奏する、実用性に極めて優れた
載置型の表面粗さ測定機を提供することができ
る。<Effects> As described above, according to the present invention, it is possible to provide a highly practical mounted surface roughness measuring instrument that exhibits the following various effects.

本願発明は、ケーシングの前面板と後面板と
にＶ形切欠き部を形成したので、ケーシングを
ワーク上に安定して載置することが出来る。 In the present invention, since the V-shaped notch is formed in the front plate and the rear plate of the casing, the casing can be stably placed on the workpiece.

本願発明は、スキツドを第１の板ばねを介し
て支持し、触針レバーを第２の板ばねを介して
支持しているので、うねり表面形状に対しては
スキツドが第１の板ばねを介して追従移動して
吸収するのでうねり表面のワークでも正確に表
面粗さ測定が出来る。 In the present invention, the skid is supported via the first leaf spring, and the stylus lever is supported via the second leaf spring. The surface roughness can be measured accurately even on workpieces with undulating surfaces.

本願発明は、第２の板ばねを介して触針レバ
ーの揺動支点としているので、揺動支点の軸と
ばねを別個に設けた場合と比較して部品点数が
減少し、ピツクアツプがコンパクトになる効果
がある。 Since the present invention uses the second leaf spring as the swinging fulcrum of the stylus lever, the number of parts is reduced compared to the case where the shaft and spring of the swinging fulcrum are provided separately, making the pick-up more compact. There is a certain effect.

本願発明はスライド軸をガイド軸としてピツ
クアツプケースを移動するので、ねじ棒と送り
ナツトとの間にガタ等があつてもピツクアツプ
の送りには影響されない。 In the present invention, the pick-up case is moved using the slide shaft as a guide shaft, so even if there is play between the threaded rod and the feed nut, the feed of the pick-up is not affected.

また、ねじ軸と平行に配置したスライド軸を
基準軸とするので、従来の基準面にブロツクを
押し付けて移動させ、これによつてピツクアツ
プ部分を駆動する方式に比べて軽量、小型化す
ることが可能である。 In addition, since the slide shaft placed parallel to the screw shaft is used as the reference axis, the block can be moved by pressing it against the reference surface, making it lighter and more compact than the conventional method of driving the pick-up part. It is possible.

本願発明は送りナツトにスライド軸を後方に
向けて取付け、このスライド軸に第１の板ばね
を介してピツクアツプを支持したので、ねじ軸
とスライド軸を直列に配置する場合に比べ、測
定器の長さを短くすることが出来る。 In the present invention, the slide shaft is attached to the feed nut with the slide shaft facing backward, and the pick-up is supported on the slide shaft via the first leaf spring. The length can be shortened.

本願発明は、ピツクアツプ側のコネクタピン
兼取付ロツドをケーシング側のコネクタ兼取付
部に装着するようにしたので、ピツクアツプの
脱着が簡単になると共に装置がコンパクトにな
る。 In the present invention, since the connector pin/attachment rod on the pickup side is attached to the connector/attachment portion on the casing side, the pickup can be easily attached/detached and the device becomes compact.

本願発明は、インダクタンス型検出器を用い
たので、従来の作動変圧器型検出器を用いたピ
ツクアツプと比べ、ピツクアツプがコンパクト
になる。 Since the present invention uses an inductance type detector, the pickup is more compact than a conventional pickup using a transformer type detector.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図は本発明実施例を示すもので、第１図は表面
粗さ測定機の主要構成部の分解斜視図、第２図は
内部構造を示す測定機の断面図、第３図は第２図
の右側面図、第４図ａ，ｂは平坦面形ワークの測
定例図、第５図は円柱体形ワークの測定例図であ
る。 １：ケーシング、２：前面板、３：後面板、２
ａ，３ａ：底辺、２ｂ，３ｂ：Ｖ形切欠き、４：
触針、５：スキツド、６：ピツクアツプ、６ａ：
信号ロツド、７：ノーズピース、８：信号ケーブ
ル、９：コネクタ、１０：モータ、１１：減速
機、１２：カツプリング、１３：送りねじ軸、１
４：送りナツト、１５：スライド軸、１７：板バ
ネ、１８：ピツクアツプ連結ロツド、６１：イン
ダクタンス型変位検出器、６２：フエライト板、
６３：触針レバー、６４：板バネ、Ｗ：ワーク。 The figures show an embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is an exploded perspective view of the main components of the surface roughness measuring machine, Fig. 2 is a sectional view of the measuring machine showing the internal structure, and Fig. 3 is Fig. 2. 4a and 4b are illustrations of an example of measurement of a flat workpiece, and FIG. 5 is an illustration of an example of measurement of a cylindrical workpiece. 1: Casing, 2: Front plate, 3: Rear plate, 2
a, 3a: bottom, 2b, 3b: V-shaped notch, 4:
Stylus, 5: Skid, 6: Pickup, 6a:
Signal rod, 7: Nose piece, 8: Signal cable, 9: Connector, 10: Motor, 11: Reducer, 12: Coupling, 13: Feed screw shaft, 1
4: Feed nut, 15: Slide shaft, 17: Leaf spring, 18: Pick-up connection rod, 61: Inductance type displacement detector, 62: Ferrite plate,
63: Stylus lever, 64: Leaf spring, W: Work.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 角筒状に形成され、前後端が前面板と後面板
とで閉成されたケーシングと、 ケーシング内に設けられたモータによつてケー
シング内で回転駆動されるねじ軸と、 ねじ軸に螺合しねじ軸が回転されることにより
移動する送りナツトと、 ねじ軸と平行にケーシングに摺動自在に支持さ
れ、送りナツトに後方に向けて固着されたスライ
ド軸と、 ワーク測定面に向けた付勢力を有する第１の板
ばねを介してスライド軸の後端と連結されたコネ
クタ兼取付部と、 ケーシング内に配置されるピツクアツプケース
と、 一端がピツクアツプケースに固着され他端がケ
ーシングの前面板の開口から前方に突出するスキ
ツドと、 ピツクアツプケースに揺動可能に支持されると
共に第２の板ばねを介してワーク測定面に向けて
付勢され、スキツド内を挿通された触針レバー
と、 ピツクアツプケース内に設けられ、触針レバー
の変位を検出するインダクタンス型検出器と、 インダクタンス型検出器と電気的に接続され、
ピツクアツプケースから突設されると共にコネク
タ兼取付部に着脱可能に連結されるコネクタピン
兼取付ロツドと、 触針レバーの先端に固着されスキツドの先端の
開口から露出してワークの測定面に接触する触針
と、 一端がケーシング内のコネクタ兼取付部と接続
され、他端がケーシングの後端面を通つてケーシ
ング外の表示器に接続される外部端子接続用信号
ケーブルと、から成り、 前記前面板及び後面板の底部はケーシング底面
より突出せしめ、その底辺両側に平坦部を形成す
ると共にその底辺中央部にＶ形切欠きを形成し、
該底部をワークへの載置当接部としたことを特徴
とする載置型表面粗さ測定機。[Claims] 1. A casing formed into a rectangular tube shape, whose front and rear ends are closed by a front plate and a rear plate, and a screw shaft that is rotationally driven within the casing by a motor provided within the casing. a feed nut that is threaded onto the screw shaft and moves as the screw shaft is rotated; a slide shaft that is slidably supported by the casing parallel to the screw shaft and fixed to the feed nut toward the rear; A connector/mounting part connected to the rear end of the slide shaft via a first leaf spring having a biasing force toward the workpiece measurement surface, a pick-up case disposed within the casing, and one end fixed to the pick-up case. A skid whose other end protrudes forward from the opening in the front plate of the casing, and a skid that is swingably supported by the pick-up case and is biased toward the workpiece measurement surface via a second leaf spring, and is inserted through the skid. the stylus lever, which is electrically connected to the inductance type detector, and an inductance type detector provided in the pick-up case to detect the displacement of the stylus lever;
A connector pin/mounting rod protrudes from the pick-up case and is removably connected to the connector/mounting part, and a connector pin/mounting rod is fixed to the tip of the stylus lever and exposed through the opening at the tip of the skid to make contact with the measurement surface of the workpiece. It consists of a stylus, and a signal cable for connecting an external terminal, one end of which is connected to a connector/mounting part inside the casing, and the other end of which is connected to an indicator outside the casing through the rear end surface of the casing, and the front plate and the bottom of the rear plate projects from the bottom of the casing, and has flat parts on both sides of the bottom and a V-shaped notch in the center of the bottom;
A mounting type surface roughness measuring device characterized in that the bottom portion serves as a mounting contact portion for a workpiece.