JPH0443210U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0443210U JPH0443210U JP8529590U JP8529590U JPH0443210U JP H0443210 U JPH0443210 U JP H0443210U JP 8529590 U JP8529590 U JP 8529590U JP 8529590 U JP8529590 U JP 8529590U JP H0443210 U JPH0443210 U JP H0443210U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- differential pressure
- measured
- attached
- moving coil
- nozzle
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
図は本考案の一実施例に係る非接触変位測定装
置の構成である。 1……ノズル、6……被測定面、7……ロツド
、8……ムービングコイル、21……差圧計、2
7……増幅器、C……隙間。
置の構成である。 1……ノズル、6……被測定面、7……ロツド
、8……ムービングコイル、21……差圧計、2
7……増幅器、C……隙間。
Claims (1)
- 被測定面に対して略垂直な軸芯方向に移動自在
に支持されたロツドの被測定面に対向する一端に
エアマイクロ式ノズルを取付け、このノズルの背
圧と基準圧力との差圧を検出する差圧計を設け、
ロツドの他端にムービングコイルを取付け、差圧
計からの出力に応じた電流をムービングコイルに
印加する手段を設けたことを特徴とする非接触変
位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8529590U JPH0443210U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8529590U JPH0443210U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0443210U true JPH0443210U (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=31634352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8529590U Pending JPH0443210U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0443210U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006284376A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Aisin Aw Co Ltd | 位置合せ装置、エアマイクロ測定装置及び測定方法 |
US7797985B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-09-21 | Asml Holding N.V. | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP8529590U patent/JPH0443210U/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7797985B2 (en) | 2004-12-15 | 2010-09-21 | Asml Holding N.V. | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff |
JP2006284376A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Aisin Aw Co Ltd | 位置合せ装置、エアマイクロ測定装置及び測定方法 |
JP4713197B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-06-29 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 位置合せ装置及びエアマイクロ測定装置 |