JPH0441286B2

JPH0441286B2 -

Info

Publication number: JPH0441286B2
Application number: JP58070600A
Authority: JP
Inventors: Chuji Akyama
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1983-04-21
Filing date: 1983-04-21
Publication date: 1992-07-07
Also published as: JPS59195126A; DE3414988C2; US4557148A; DE3414988A1

Description

【発明の詳細な説明】この発明は超音波流量計に関し、特に簡単な構
成により精度が高い流量測定を行なうことができ
る超音波流量計を提供しようとするものである。

超音波流量計には各種の方式が提案されている
が、大別するとシングアラウンド方式と、フエイ
ズロツクループを利用した方式とが考えられてい
る。

＜シングアラウンド方式の欠点＞シングアラウンド方式は周知のように流路に対
して斜めに対向して取付けた一対の超音波トラン
スジユーサ間を一方から他方に及び他方から一方
への超音波伝播時間周期で発振させ、その発振周
波数の差から被測定流体の流速を求める方式であ
る。

この方式によると一対の超音波トランジユーサ
間に超音波を遮弊する例えばアワ或はゴミ等が通
過するとシングアラウンド発振が停止してしま
い、測定が不能におちいる欠点がある。

またシングアラウンド発振周波数は＝Ｃ±vsinθ／Ｄ／cosθ……(1) Ｃ：流体中の音速、Ｖ：被測定流体の流速、
Ｄ：流路の口経、θ：流路に対する超音波の入射
角。

ここでＣ＝1450ｍ／秒、Ｖ＝１cm／秒、Ｄ＝50
mm、θ＝22°とすると、流れに対して順方向に超
音波を伝播させた場合のシングアラウンド発振周
波数と、逆方向に超音波を伝播させた場合のシン
グアランド発振周波数の差ΔはΔ＝0.14Hzとな
る。流速測定の分解能を１cm／秒とするには、そ
の周波数差Δを得るまでに約14秒以上の計測時
間を必要とする。従つて応答が悪い欠点もある。

＜フエイズロツクループを用いた方式の説明及び
その欠点＞フエイズロツクループを利用した超音波流量計
は例えば特願昭53−38942号等で提案しているよ
うに流れに対して斜めに対向して設けた一対の超
音波トランスジユーサで構成される超音波伝播路
を含むフエイズロツクループを二組設け、一方の
フエイズロツクループでは流れに対して順方向に
超音波を伝播させた状態で電圧制御発振器を発振
させ、他方のフエイズロツクループでは流れに対
して逆方向に超音波を伝播させた状態で電圧制御
発振器を発振させ、この二つの電圧制御発振器の
発振周波数の差により流速を求める方式である。

このフエイズロツクループを利用した方式によ
れば電圧制御発振器の前段にサンプルホールド回
路を設けておくことにより超音波の伝播が一時的
に遮断されても電圧制御発振器にはサンプルホー
ルド回路にホールドされた電圧に対応した周波数
で発振を持続するため測定不能におちいるおそれ
はない。

然し乍ら二つの電圧制御発振器の発振周波数の
差は被測定流体の流速が遅くなる程に発振周波数
の差が小さくなる傾向にある。このように同一装
置内に発振周波数が近い発振器が複数存在する
と、電源回路或は電磁的な結合を介して相互に干
渉をおこし、いわゆる周波数引き込み現象が発生
する。この周波数引き込み現象により流量が遅い
領域において不感帯が発生し、低流量に対する測
定精度を悪くする欠点がある。この欠点を解消す
るには発振器相互の干渉を除去しなければならな
いが、この相互干渉を除去するには回路の設計及
び実装がむずかしくなる。

また部品の劣化等により相互干渉の度合も変化
する可能性があるから不感帯の幅も変動するおそ
れがある。よつて長期にわたつて測定精度を一定
値に維持することがむずかしくなる欠点もある。
更に又部品点数も多くなるのでコスト高になり、
信頼性が低下する。しかも、この回路構成はアナ
ログ回路が多いのでドリフトをおこしやすいとい
う欠点がある。加えて、回路には応答時間がある
ために、電源投入直後や流量突変時には誤差を生
じる（特に回路は２系統を有するので、両者の応
答時間のバラツキも誤差の要因となる）という欠
点がある。

＜発明の目的＞この発明は超音波の伝播時間を用いた超音波流
量計の改良に関するものであり、上記超音波の伝
播時間を用いた方式の欠点を一掃することができ
る超音波流量計を提供しようとするものである。

＜発明の概要＞このために、この発明の構成は、 (1) スタート信号と出力周波数との同期を取り
超音波送受波器３２，３３を駆動させるための
同期信号及び該同期信号に同期する分周信号を
出力する変換回路２と、前記超音波送受波器が
被測定流体の流れる管３１上に取付けられて前
記変換回路からの同期信号に基づいて超音波を
前記被測定流体を介して送受波した上でこの送
受波した超音波に基づく受信信号を出力する構
成の超音波伝播路３と、前記変換回路からの分
周信号と前記超音波伝播路からの受信信号とを
入力してこれ等信号の時間差を検出する時間差
検出回路４と、該時間差検出回路の出力信号に
基づいて前記分周信号を得るための制御信号Ｎ
及び前記出力周波数を得るための制御信号Ｗ
を前記変換回路に出力し更に前記被測定流体に
ついて求めた出力値Ｚを出力する逐次近似実現
手段１とより成り、該逐次近似実現手段におい
て、前記制御信号Ｎ及び前記制御信号Ｗの予測
値から逐次的に前記時間差を小さくする方向に
前記制御信号Ｎ及び前記制御信号Ｗを修正して
いき、前記時間差検出回路において時間差が最
小となつたときの前記制御信号Ｎ及び前記制御
信号Ｗから超音波伝播時間を求めて前記被測定
流体の流量を求めることを特徴とするものであ
る。

＜発明の実施例＞この発明の実施例を第１図に示す。この第１図
は、逐次近似実現手段１と変換回路２と超音波伝
播路３と時間差検出回路４という要素より成つて
いる。

((上記各要素の個々の構成について)) 逐次近似実現手段１は公知の技術的手段でよ
く、例えば第２図ａに示すようなシーケンスコ
ントローラ１１と演算回路１２で構成される。

変換回路２は、上記逐次実現手段１により制
御信号Ｗ及びＮとスタート信号Ｂとを入力し、
超音波伝播路３と時間差検出回路４にそれぞれ
信号Ａ及びＳを出力する。そのため、 (イ) 制御信号Ｗを受け、周波数＝_p＋KW ……(2) （但し_p及びＫは定数）を出力するシンセサ
イザ２１と、 (ロ) このシンセサイザ２１の出力周波数とス
タート信号Ｂを受け、このとＢの同期をと
り、同期信号Ａを超音波伝播路３に出力する
同期回路２２と、 (ハ) 同期信号Ａに同期した信号Ｄと逐次近似実
現手段１の制御信号Ｎとを受け、上記信号Ｄ
を分周し、この分周が終了した時点で信号
（以下「分周信号」という）Ｓを出力する分
周器２４と、で構成する。

超音波伝播路３は、 (イ) 被測定流体Ｑの流れる管３１と、 (ロ) この管３１に取り付けられ、被測定流体Ｑ
の流量を測定するための超音波を送受波する
送受波器３２，３３と、 (ハ) この送受波器３２，３３を送波器又は受波
器として切換て使用するための切換要素３４
と、 (ニ) 変換回路２よりの同期信号Ａを入力端３６
を介して受けて増幅し切換要素３４を介して
送受波器３２又は３３に出力する増幅器３５
と、 (ホ) 送受波器３３又は３２で受渡した信号を切
換要素３４を介して受けて増幅し、出力端３
８を介して時間差検出回路４に出力する増幅
器３７とで構成される。尚超音波伝播路３は
これに特定されるものではない。例えば専用
の送波器及び受波器をそれぞれ単独に設ける
ようにして、切換要素を不要としているもの
等の構成でもよい。

時間差検出回路４は、超音波伝播路３よりの
受信信号Ｖと、変換回路２よりの分周信号Ｓと
の発生順序を調べ出力信号Ｐを逐次実現手段１
に出力する。この時間差検出回路４の構成例
は、第３図のようになつている。即ち、
NANDゲート４１には受信信号Ｖとリセツト
信号Ｒとフリツプフロツプ４４の出力端４４
より反転出力が導かれ、NANDゲート４２に
は分周信号Ｓとリセツト信号Ｒとフリツプフロ
ツプ４３の反転出力端４３より反転出力が導
かれ、NANDゲート４１の出力はフリツプフ
ロツプ４３の入力端４３ｅに導かれて出力端４
３Ｑより出力信号Ｐを出力し、NANDゲート
４２の出力はフリツプフロツプ４４の入力端４
４ｈに導かれ、リセツト信号は上記NANDゲ
ート４１及び４２の他に上記フリツプフロツプ
４３及び４４のリセツト入力端４３及び４４
ｇにそれぞれ導かれる。このようにすれば、リ
セツト信号Ｒで初期化され、受信信号Ｖ又は分
周信号Ｓの立上り順序によつて出力信号Ｐが決
定できる。即ち、超音波の伝播時間Ｔと変換回
路２内のシンセサイザ２１及び分周器２４で作
られる時間Ｎ／ｆ ……(3) の長さが、この時間差検出回路４で比較される
ことになる。

((実施例の動作について)) 以上のように構成されたこの発明の実施例を第
２図を用いて説明する。尚第１図と同一部分は同
一番号を付けて表わす。第２図ａは第１図を系統
的にまとめたものであり、同図ｂはその動作を示
すフローチヤートであり、同図ｃは逐次近似実現
手段１の動作説明図である。

上述したように、時間差検出回路４で超音波の
伝播時間Ｔと分周時間Ｎ／ｆの長さとが比較され
るが、このＮ／ｆは制御信号Ｗ及びＮに関しては
それぞれ単調なので、例えば逐次近似アルゴリズ
ムを用いることができる。同図ａの逐次近似実現
手段１として、シーケンスコントローラ１１と演
算回路１２で構成されるものが用いられる（この
構成のものは公知の技術を使用することができ
る）。

逐次近似アルゴリズムを同図ｂとｃとで説明す
ると、最初の条件が設定され分周信号Ｓが出力され
る。

この時の時間をT_Sとすると（イ、）、この
時間T_Sは、 T_S＝（N1／f1） ……(4) となる。

測定回路より受信信号Ｖが得られる。この時
の時間をT_Vとする。（ロ、） T_SとT_Vとの時間差が比較される。即ち、 P1＝sgn［T_V−T_S］＝１ ……(5) が得られる。(ハ) P11を「０」にするために同図ａのシーケン
スコントローラが動作して修正動作が行なわれ
る。(ニ) 修正動作の結果がＰ⇒０になるまで上述の
乃至が繰り返される。〔(ハ)〜(ニ)、（〜）〕この結果、 T_V＝T_S ……(6) となり、出力信号Ｐが“Ｐ＝０”となることか
ら、(3)〜(5)式の関係から、(6)式は、 T_V＝T_S＝Ｔ＝Ｎ／ｆ ……(7) となり（但し、Ｔは超音波伝播時間）、最終的
に演算回路１２でこの演算式に基づいて演算し
た値（測定流量）が求める出力値Ｚとして得ら
れることとなる。［Ｖ］となる。

そして、第１図及び第２図の逐次近似実現手段
１及び変換回路２の、制御信号Ｎ及びＷの関係に
おいて、前記超音波伝播時間Ｔは、次のように表
わすことができる。

ＮをＷの上位値として扱い、例えばＷ＝０と
仮定してＰ＝１となる最小のＮの値をまず求め
る。

Ｎをその値に固定して、Ｐ＝１となる最大の
Ｗの値（又はＰ＝０）となる最小のＷの値）を
求める。

この得られたＮとＷを基に、超音波伝播時間
Ｔは、Ｔ＝Ｎ／（f_p＋NW） ……(7) となり、これにより求めることができる。

尚、∂T／∂Wを小さくすれば測定の分解能を
あげることが可能である。

((実施例の効果)) このような実施例の効果としては、従来技術のような電圧制御発振器を２つ用い
たための相互干渉による問題点がなくなるの
で、超音波伝播時間Ｔが高精度で測定できる。

第２図ｂの修正回数は10〜20回程度であるか
ら、１回の修正時間を１ｍＳとすると10〜20ｍ
Ｓを要する程度でよい。又、前回の測定時の超
音波伝播時間を概略値とするならば、上記修正
回路は更に短くできるので、より高速応答が可
能になる。

回路構成を簡単にすることができるので低価
格で製作でき、しかも従来に比較してより信頼
性の高い超音波流量計を実現することができ
る。

アナログ回路がないのでドリフトがない。

＜発明のその他の実施例＞ () 第４図にこの発明の第１のその他の実施例
を表わす。第１図と異なるところは、異常検出
回路５を設けた点と、逐次近似実現手段より同
期回路２２にスタート信号Ｅを与えるようにし
た点である。（尚このスタート信号Ｅは第１図
のような与え方をしてもよいことは勿論であ
る）第４図における異常検出回路５の場合は、同
期回路２２から出力される信号Ｄと、超音波伝
播路３から出力される受信信号との時間差を監
視し、その時間差が規定の時間より大きくなつ
たことを検出して超音波伝播路３より得られる
受信信号の正常・異常を検出し、この判定信号
Ｕを逐次近似手段に導くようにしている。尚こ
の異常検出回路５は従来公知の回路技術を用い
て容易に実現できる。

このようにすれば、異常値例えばゴミや泡等
の影響によつて生ずる異常な測定値を除去する
ことができる。

() 第５図にこの発明の第２のその他の実施例
を表わす。第１図と異なるところは、変換回路
２″の構成である。変換器２″の構成は、周波数
シンセサイザ２１′をデジタルアナログ変換器
（以下「DAC」という）２１′ａと電圧制御発
振器（以下「Vco」という）２１′ｂで構成し
た点である。ところで、このようにしたことで
（∂f／∂W＝一定）にならない場合（即ち出力周波数と制御信号Ｗとが非線形の場合）は、点線
で示すようなカウンタ２５を設け、出力周波数
或いは制御信号Ｗ、又はこの２つを自己校正
するようにしてもよい。そしてこのカウンタ２
５で自己校正を行う頻度は余り高くなくとも良
い。例えば10秒に１回の割合で、100ｍＳだけ
測定時間を休止して、制御信号Ｗを一定にして
出力周波数を測定する方法がある。このよう
にすれば、測定に悪影響を及ぼすことはない。

() 第６図にこの発明の第３のその他の実施例
を表わす。第１図と異なるところは、超音波伝
播路３と時間差検出回路４との間に自己学習機
能を有する受信信号検知回路６を設けた点にあ
る。この自己学習機能に関しては、本件出願人
が別に出願した機能であるが、以下にその機能
を本発明の回路に添って説明する。

受信信号検知回路６の構成は、超音波伝播路
３より受信信号Ｖを入力し、比較器６１でトリ
ガレベルｌ（以下、「基準レベル信号lo」又は
「所定レベル信号ｌ１〜ln」という。尚この
「基準レベル信号lo」又は「所定レベル信号ｌ
１〜ln」については、以下の説明において述べ
る。）と比較し、その比較値Ｙを時間差検出回
路４に出力すると共に、カウンタ６２に導く。
カウンタ６２で比較値Ｙを計数した計数値Ｍは
自己学習機能を有する基準自己設定手段「以下
「制御回路」という）６３に導かれる。６４は
デジタルアナログ変換器（以下「DAC」とい
う）である。制御回路６３の出力はこのDAC
６４を介して比較器６１に導かれる。

この受信信号検知回路６の機能を第７図乃至
第９図を用いて説明する。第７図は制御回路６
３において、基準値を自ら学習して設定するた
めの第１の自己学習機能を表し、第８図は第１
の自己学習機能で設定された基準値に基づいて
測定を行う場合を表わし、第９図は受信信号検
知回路の全体の動作を表わすブロツク図であ
る。この第９図においてＤ−Ｄ以下が制御回路
６３を表わし、この内１点鎖線（）が第１の
自己学習機能を表わし、２点鎖線（）が測定
時を表わし、３点鎖線（）が第２の自己学習
機能を表わす。

((第１の自己学習機能について)) 基準レベル信号ｌ＝loを求めるための複数のト
リガレベル（以下「所定レベル信号」という）を
ｌ１〜lnとすると、この所定レベル信号におい
て、ｌ１＝一定で入力信号Ｖを複数回測定し、次
にl2＝一定で同様に測定し、以下順次l3.l4.l5…ln
と測定し、これ等の測定結果を統計処理して上記
基準レベル信号loと、カウンタ６２で計数された
計数値に対する判断基準となるべき基準値（以下
「計数基準値」という）Moとを決定する機能が
この第１の自己学習機能である。尚ｌ１，ｌ２
…，lnをそれぞれ一定にして測定する以外にｌ
１，ｌ２…，lnを順次変化させながら、上記と同
様の結果を得る等の方法もあり、この基準値を求
める方法等についてはここでは特に限定するもの
ではない。

以下図面に記載した一例をもとに説明を行な
う。

(1) 電源が投入され○イ、超音波伝播路３より受信
信号Ｖが比較器６１に導かれる。○ロ (2) 制御回路６３より、所定レベル信号ｌ１が比
較器６１に導かれる。○ヘ (3) 比較器６１よりは、受信信号Ｖと所定レベル
信号ｌ１とが比較され、比較値Ｙがカウンタ６
２に導かれ、カウンタ６２より計数値Ｍが制御
回路６３に出力される。○ハ (4) 制御回路６３では、所定レベル信号ｌ１に対
して所定回数計測したかどうか確認し、所定回
数に達したら所定レベル信号ｌ１からｌ２にし
て再び計測を行い、○ニ (5) 全ての所定レベル信号ｌ１〜lnについて所定
回数を計数したことを確認し、○ホ (6) 第１の学習を終了すると（得られた値は統計
処理されている）、その結果より基準レベル信
号loと計数基準値Moとが選定される。○ト ((測定について)) 選定された各基準値において測定が開始され
る。即ち、基準レベル信号loを今ｌ３とすれば、
このｌ３が比較器６１に導かれ、比較器６１で受
信信号Ｖと比較される今この比較値Ｙを入力とし
たカウンタ６２の統計値Ｍ＝３とする。計数基準
値Mo＝３が選定されていればＭ＝Moとなり、
従つて、制御回路６３よりは、正常の判定信号Ｕ
（例えばＵ＝１）が時間差検出回路４に出力され
る。

従つて、例えば受信信号Ｖが変化し、この結果
Ｍ＝２となればＭ≠Moで、制御回路６３よりは
異常の判定信号Ｕ（例えばＵ＝０）が時間差検出
回路４に出力される。

時間差検出回路４では、比較値Ｙが正しいかど
うかを確認し、正しい場合は分周信号Ｓと時間的
前後関係を調べその結果を逐次近似実現手段１に
出力信号Ｐとして導く。異常の場合は比較値Ｙ
（又は演算結果）を棄却する。

((第２の自己学習機能について)) 第２の自己学習機能は、第９図３点鎖線（）
で表わした部分であり、第１の自己学習機能で設
定された基準レベル信号lo及び計数値Noが適当
であるかどうかを再度学習する機能である。その
方法は、第１に、一定時間毎に確認する方法○ル、
第２に判定信号Ｕより正常／異常の比率を確認す
る方法○ル、第３に第１と第２を組合せた方法○ル、
第４に強制的に現在の設定値である基準レベル信
号lo及び計数値Noを変更し、その結果に基づい
て現在の設定値を判定する方法○ヌ、第５にこれら
すべての方法を適宜組合せて行う○オ。

((受信信号検知回路の応用)) 受信信号検知回路を第６図のようにする以外
に、受信信号検知回路６の制御回路６３より超音
波伝播路３内の増幅器３７の利得を制御するよう
にして、カウンタ６２よりの計数値Ｍを一定にす
るようにすることもできる。この一定にする方法
については、さらに受信信号Ｖを比較器であらか
じめ設定した基準値と比較し、この結果をフリツ
プフロツプを介して制御回路６３を制御する、と
いうようにすることもできる。

((第３のその他の実施例の効果)) このように自己学習機能を有する受信信号検知
回路６を設けたことによる新たな効果としては、
その設置された装置の状態に対応して適宜調整で
き、一切作業者の手をわずらわせることなく、し
かもその調整は更に高精度・高信頼性で行なうこ
とが可能となる。

又、制御回路６３はマイクロプロセツサで構成
でき、第６図一点鎖線７として表わしたように、
逐次近似実現手段１と一体にしたマイクロプロセ
ツサで構成できるので、装置の部分点数を大幅に
増す必要はない。精度向上の上からみればかえつ
て部品点数は削減されたことになる（コストパフ
オーマンスが向上した）等、きわめて工業上有益
に超音波流量計を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例であり、第２図及び第
３図は第１図の詳細図及び動作を示すブロツク図
等であり、第４図乃至第９図はその他の実施例で
ある。１：逐次近似実現手段、２：変換器、３：超音
波伝播路、４：時間差検出回路、５：異常検出回
路、６：受信信号検知回路。

Claims

【特許請求の範囲】

１スタート信号と出力周波数との同期を取り
超音波送受波器３２，３３を駆動させるための同
期信号及び該同期信号に同期する分周信号を出力
する変換回路２と、前記超音波送受波器が被測定
流体の流れる管３１上に取付けられて前記変換回
路からの同期信号に基づいて超音波を前記被測定
流体を介して送受波した上でこの送受波した超音
波に基づく受信信号を出力する構成の超音波伝播
路３と、前記変換回路からの分周信号と前記超音
波伝播路からの受信信号とを入力してこれ等信号
の時間差を検出する時間差検出回路４と、該時間
差検出回路の出力信号に基づいて前記分周信号を
得るための制御信号Ｎ及び前記出力周波数を得
るための制御信号Ｗを前記変換回路に出力し更に
前記被測定流体について求めた出力値Ｚを出力す
る逐次近似実現手段１とより成り、該逐次近似実
現手段において、前記制御信号Ｎ及び前記制御信
号Ｗの予測値から逐次的に前記時間差を小さくす
る方向に前記制御信号Ｎ及び前記制御信号Ｗを修
正していき、前記時間差検出回路において時間差
が最小となつたときの前記制御信号Ｎ及び前記制
御信号Ｗから超音波伝播時間を求めて前記被測定
流体の流量を求めることを特徴とする超音波流量
計。