JPH0441096A - Laser beam machine - Google Patents
Laser beam machineInfo
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- JPH0441096A JPH0441096A JP2147945A JP14794590A JPH0441096A JP H0441096 A JPH0441096 A JP H0441096A JP 2147945 A JP2147945 A JP 2147945A JP 14794590 A JP14794590 A JP 14794590A JP H0441096 A JPH0441096 A JP H0441096A
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- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ光を用いて焼入れなどの加工を行なう
レーザ加工装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a laser processing device that performs processing such as hardening using laser light.
第６図は例えば特開昭６１−１５３２３３号公報に示さ
れた従来のレーザ加工装置の正面図で、一部を破断して
表わしており、エンジン用シリンダを焼入れするレーザ
焼入装置の場合を示す０図において、（１）は被加工物
であるシリンダ、（２）はシリンダ（１）の内面、（３
）は図示しないレーザ発振器から発せられたレーザ光、
（２）はレーザ光（３）を反射してシリンダ（１）の方
へ導くベントミラー、（６）はレーザ光Ｂ）を集光する
加工レンズ、（７）は加工レンズ（６）を通過したレー
ザ光Ｂ）をシリンダ（月の内面（２）へ向けて直角方向
に反射する銅製ミラー、（８）は銅製ミラー（７）を収
納、支持する銅製ミラー支持ノスルで、その側面にはシ
リンダ（１）の内面（２）ヘレーザ光（３）を照射する
ための開口（９）を有すると共に、図において上下方向
に延びる中心軸のまわりに回転可能になっている。（１
１）は第１のモータ、（１２）は第１のモータ（１１）
の回転を銅製ミラー支持ノズル（８）へ伝達するベルト
、（１３）は第２のモータ、（１４）は第２のモータの
回転により、銅製ミラー支持ノズル（８）などを、図に
おいて上下方向に移動させる上下駆動ボールねじ、（１
６）は上下駆動ボールねじ（１４）による上記移動を案
内するガイド棒である。FIG. 6 is a front view of a conventional laser processing device disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-153233, with a part cut away, showing the case of a laser hardening device for hardening engine cylinders. In Figure 0, (1) is the cylinder that is the workpiece, (2) is the inner surface of the cylinder (1), and (3 is
) is a laser beam emitted from a laser oscillator (not shown),
(2) is a bent mirror that reflects laser beam (3) and guides it toward cylinder (1), (6) is a processing lens that focuses laser beam B), and (7) passes through processing lens (6). (8) is a copper mirror support nostle that stores and supports the copper mirror (7). The inner surface of (1) (2) has an opening (9) for irradiating the laser beam (3), and is rotatable around a central axis extending vertically in the figure. (1)
1) is the first motor, (12) is the first motor (11)
(13) is a second motor, and (14) is a belt that transmits the rotation of the copper mirror support nozzle (8) to the copper mirror support nozzle (8). Vertical drive ball screw, (1
6) is a guide rod that guides the movement by the vertically driven ball screw (14).
次に動作について説明する。右方図示外のレーザ発振器
から、図において左向きに発せられたレーザ光（３）は
ベントミラー（２）で下方へ反射し、加工レンズ（６）
へ導かれる。そして、加工レンズ（６）で集光されて銅
製ミラー口へ入射し、図において水平方向へ反射する。Next, the operation will be explained. A laser beam (3) emitted to the left in the figure from a laser oscillator (not shown) on the right is reflected downward by a bent mirror (2) and then passes through a processing lens (6).
be led to. The light is then focused by a processing lens (6), enters the copper mirror opening, and is reflected in the horizontal direction in the figure.
レーザ光（３）は銅製ミラー支持ノズルｔｓ＋に設けら
れた開口（９）を通してシリンダ（１）の内面（２）に
照射される。The laser beam (3) is irradiated onto the inner surface (2) of the cylinder (1) through an opening (9) provided in the copper mirror support nozzle ts+.
一方、第１および第２のモータで駆動されて、銅製ミラ
ー支持ノズル６が回転および上下移動し、中に収納され
た銅製ミラー（至）も同様に移動するので、シリンダ（
１）の内面（２）がスパイラル状に焼入れされる。On the other hand, driven by the first and second motors, the copper mirror support nozzle 6 rotates and moves up and down, and the copper mirror housed therein also moves in the same way, so the cylinder (
The inner surface (2) of 1) is hardened in a spiral shape.
従来のレーザ加工装置は以上のように構成されているの
で、加工時に被加工物の表面から発生するヒユームや塵
がミラーを汚し、長時間の使用に耐えられない。例えば
銅製ミラーの場合、塵などが付着するとその部分でレー
ザ光吸収率が高くなり、過熱状態となって銅製ミラー表
面を酸化させ、その結果、さらにレーザ光吸収率が高く
なって焼入れなどの加工品質を不安定にするなどの問題
点があった。Since the conventional laser processing apparatus is constructed as described above, fumes and dust generated from the surface of the workpiece during processing contaminate the mirror, making it difficult to withstand long-term use. For example, in the case of a copper mirror, if dust or the like adheres to it, the laser light absorption rate will increase in that area, resulting in overheating and oxidizing the copper mirror surface.As a result, the laser light absorption rate will further increase, causing processing such as hardening. There were problems such as unstable quality.
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、長時間安定した加工を行なうことができるレ
ーザ加工装置を得ることを目的とする。This invention was made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a laser processing apparatus that can perform stable processing for a long period of time.
この発明に係るレーザ加工装置は、レーザ光を反射して
被加工物に照射するミラーを容器状のミラー支持ノズル
に収納すると共に、ミラーへ気体を吹き付けるようにし
たものである。In the laser processing apparatus according to the present invention, a mirror that reflects laser light and irradiates it onto a workpiece is housed in a container-shaped mirror support nozzle, and a gas is blown onto the mirror.
この発明におけるレーザ加工装置は、ミラーへ吹き付け
られた気体によりミラー支持ノズル内を大気に対して正
圧に保ってヒユームや塵がミラー支持ノズル内に侵入す
るのを抑制すると共に、僅かに侵入した塵などがミラー
へ付着するのを防止する。The laser processing device according to the present invention maintains a positive pressure inside the mirror support nozzle with respect to the atmosphere by using gas blown onto the mirror, thereby suppressing the intrusion of fume and dust into the mirror support nozzle, and suppressing the intrusion of fumes and dust into the mirror support nozzle. Prevents dust from adhering to the mirror.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置の正面図
で、一部を破断して表わしており、レーザ焼入装置の場
合を示す０図において（１）〜口、（＋１）〜（１６）
は第６図の場合と同様であるので説明を省略する。（２
１）は円筒容器状の銅製ミラー支持ノズルで、第２図に
その断面図を示す。内部に銅製ミラー口が収納、支持さ
れ側面には開口（９）が設けられている。（２２）は回
転リングで、第１のモータ（１１）によりベルト（１２
）を介し５て駆動され、銅製ミラー支持ノズル（２１）
と一体になって回転するようになっている。（２３）は
回転リング（２２）の外周側にはゾ密着して設けられた
固定リングで、回転リング（２２）がこれと摺動して回
転するようになっており、また、その内面には円周状に
溝（２４）が形成されている。 （２６）は固定リング
（２３）の溝（２４）に気体を供給する第１のガス導入
パイプ、（２７）は溝（２４）から回転リング（２２）
を経て銅製ミラー支持ノズル（２１）内へ気体を導入す
る第２ガス導入パイプで、その先端は銅製ミラー口の表
面に向いて設けられている。 （２８）は加工レンズ（
６）の下方に気体を供給する第３のガス導入パイプであ
る。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
The figure is a front view of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention, with a part cut away. )
Since this is the same as the case shown in FIG. 6, the explanation will be omitted. (2
1) is a cylindrical container-shaped copper mirror support nozzle, whose cross-sectional view is shown in FIG. A copper mirror opening is housed and supported inside, and an opening (9) is provided on the side. (22) is a rotating ring, which is driven by the belt (12) by the first motor (11).
) through the copper mirror support nozzle (21)
It is designed to rotate in unison with the (23) is a fixed ring that is provided in close contact with the outer circumferential side of the rotating ring (22), and the rotating ring (22) is designed to rotate by sliding on this ring. A groove (24) is formed circumferentially. (26) is the first gas introduction pipe that supplies gas to the groove (24) of the fixed ring (23), and (27) is the first gas introduction pipe that supplies gas from the groove (24) to the rotating ring (22).
This is a second gas introduction pipe that introduces gas into the copper mirror support nozzle (21) through the pipe, and its tip is provided facing the surface of the copper mirror opening. (28) is a processed lens (
6) is a third gas introduction pipe that supplies gas below.
次に動作について説明する。第１および第３のガス導入
パイプ（２６）、（２８）から空気または窒素などの気
体を供給する。すると、銅製ミラー支持ノズル（２１）
内が大気に対して正圧になる。この状態で、従来例と同
様にしてレーザ光（３）をシリンダ（１）の内面（２）
へ照射する。なお、第２のガス導入パイプ（２７）の先
端部がレーザ光（３）の照射の妨げにならないように設
置しておく。照射箇所からはヒユームや塵（２９）が発
生するが、開口（９）からの気流（３１）によりヒユー
ムや塵（２９）の銅製ミラー支持ノズル（２１）内への
侵入が抑制される。また、僅かに侵入しても、第２のガ
ス導ロバイブ（２７）から気体か銅製ミラー（７）の表
面へ吹き付けられており、その気流（３２）によって銅
製ミラーロ表面への付着が防止される。従って、銅製ミ
ラー（至）のレーザ光吸収率が高くならず、過熱状態に
ならない。なお、この実施例では第３のガス導入パイプ
（２８）により、加工レンズ（６）の下方へ気体を供給
しているので、加工レンズ（６）への塵などの付着が防
止され、加工レンズ（６）の変形や割れが防止されてい
る。Next, the operation will be explained. Gas such as air or nitrogen is supplied from the first and third gas introduction pipes (26) and (28). Then, the copper mirror support nozzle (21)
The inside has positive pressure relative to the atmosphere. In this state, the laser beam (3) is directed to the inner surface (2) of the cylinder (1) in the same way as in the conventional example.
irradiate to. Note that the second gas introduction pipe (27) is installed so that the tip thereof does not interfere with the irradiation of the laser beam (3). Although fume and dust (29) are generated from the irradiated area, the airflow (31) from the opening (9) prevents the fume and dust (29) from entering the copper mirror support nozzle (21). Furthermore, even if a small amount of gas intrudes, the gas is blown onto the surface of the copper mirror (7) from the second gas guiding vibe (27), and the air flow (32) prevents it from adhering to the surface of the copper mirror. . Therefore, the laser light absorption rate of the copper mirror does not increase and overheating does not occur. In addition, in this embodiment, the third gas introduction pipe (28) supplies gas to the lower part of the processing lens (6), so that dust etc. are prevented from adhering to the processing lens (6), and the processing lens (6) Deformation and cracking are prevented.
第３図、第４図はこの発明の他の実施例によるレーザ加
工装置の正面図で、銅製ミラー支持ノズル（２１）とそ
の周囲の部分のみを示している。 （３３）は開口（９
）を閉じるシャッタ、（３４）は駆動棒（３６）を介し
てシャッタ（３３）を駆動する第３のモータである。装
置停止中はシャッタ（３３）を、第４図のように上方へ
移動させて開口（９）を閉じておく、第５図は動作手順
図であり、使用開始時は、まず、第１、第３のガス導入
パイプ（２６）、 （２８）から気体を供給し、銅製ミ
ラー支持ノズル（２１）内を正圧にする。FIGS. 3 and 4 are front views of a laser processing apparatus according to another embodiment of the present invention, showing only the copper mirror support nozzle (21) and its surrounding area. (33) is the opening (9
), (34) is a third motor that drives the shutter (33) via a drive rod (36). When the device is stopped, the shutter (33) is moved upward as shown in Fig. 4 to close the opening (9). Fig. 5 shows the operating procedure. Gas is supplied from the third gas introduction pipes (26) and (28) to create a positive pressure inside the copper mirror support nozzle (21).
次に、第３図のようにシャッタ（３３）を下し、開口（
９）を開く。しかる後にレーザ光Ｇ）を照射してシリン
ダ（１）の内面（２）の焼入れを行なう。終了時は上記
動作と逆の順に、まずレーザ光（３）を止めて、次にシ
ャッタ（３３）を閉じ、最後に気体の供給を止める。Next, as shown in Figure 3, lower the shutter (33) and open the opening (
9) Open. Thereafter, the inner surface (2) of the cylinder (1) is hardened by irradiation with laser light G). At the end of the process, the laser beam (3) is first stopped, then the shutter (33) is closed, and finally the gas supply is stopped in the reverse order of the above operations.
このようにすることにより、特に、装置停止中における
銅製ミラー支持ノズル（２１）への塵などの侵入を防止
する効果が大きくなる。By doing so, the effect of preventing dust and the like from entering the copper mirror support nozzle (21) is particularly enhanced when the apparatus is stopped.
以上のようにこの発明によれば、ミラーを容器状のミラ
ー支持ノズルに収納すると共に、ミラーへ気体を吹き付
けるように構成したので、ミラー支持ノズル内が正圧に
なって内部への塵などの侵入が抑制されると共に、僅か
に侵入した塵などもミラーへ付着しない、そのため、ミ
ラーが過熱されることがなく、従って、長時間安定した
加工を行なうことができる。As described above, according to the present invention, the mirror is housed in the container-shaped mirror support nozzle and the gas is blown onto the mirror, so that the inside of the mirror support nozzle becomes positive pressure and dust etc. Intrusion is suppressed, and even the slightest amount of intruded dust does not adhere to the mirror.Therefore, the mirror is not overheated, and stable machining can be performed for a long period of time.
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置の正
面図、第２図は第１図のレーザ加工装置の銅製ミラー支
持ノズルを示す断面図、第３図、第４図はこの発明の他
の実施例によるレーザ加工装置の銅製ミラー支持ノズル
を示す正面図、第５図は第３図、第４図の銅製ミラー支
持ノズルを備えたレーザ加工装置の動作手順図、第６図
は従来のレーザ加工装置の正面図である。
図において、（１）はシリンダ、（３）はレーザ光、（
７）は銅製ミラー、（２１）は銅製ミラー支持ノズル、
（２６）、（２７）は第１、第２のガス導入パイプ、（
３２）は気流である。
なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
第
１ シリンダ゛
３°レーサ“光
７：４１丁にミラー
２１、鋼製ミラー支すひノス゛Ｉし
２６１１の力“ス４：Ｘハ０イフ９
２７：第２のガス耳１人パイフ゛
３２：九５肥
手続補正書（自発）
】事件の表示
２発明の名称
３補正をする者
事件との関係
住 所
名 称（６０１）
４代理人
住
所
平成 ２年特許願第１４７９４５号
し−ザ加工装置FIG. 1 is a front view of a laser processing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing a copper mirror support nozzle of the laser processing device of FIG. 1, and FIGS. A front view showing a copper mirror support nozzle of a laser processing device according to another embodiment, FIG. 5 is an operating procedure diagram of the laser processing device equipped with the copper mirror support nozzle shown in FIGS. FIG. 2 is a front view of the laser processing device of FIG. In the figure, (1) is a cylinder, (3) is a laser beam, (
7) is a copper mirror, (21) is a copper mirror support nozzle,
(26) and (27) are the first and second gas introduction pipes, (
32) is the airflow. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. 1st cylinder 3° laser light 7:41 mirror 21, steel mirror support no. 2611 force 4: 95 Fertilizer Procedural Amendment (Spontaneous)] Indication of the case 2 Name of the invention 3 Person making the amendment Address related to the case Name (601) 4 Address of the agent Patent Application No. 147945 of 1990 - The Processing Equipment
Claims (1)
によりこの被加工物を加工するものにおいて、上記ミラ
ーを容器状のミラー支持ノズルに収納すると共に、上記
ミラーの表面へ気体を吹き付けるようにしたことを特徴
とするレーザ加工装置。In a device that processes a workpiece by reflecting a laser beam on a mirror and irradiating the workpiece, the mirror is housed in a container-shaped mirror support nozzle, and a gas is blown onto the surface of the mirror. Laser processing equipment that is characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147945A JPH0441096A (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Laser beam machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2147945A JPH0441096A (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Laser beam machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0441096A true JPH0441096A (en) | 1992-02-12 |
Family
ID=15441619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2147945A Pending JPH0441096A (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Laser beam machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0441096A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08206863A (en) * | 1995-02-06 | 1996-08-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Laser cutting nozzle |
| US6538232B2 (en) * | 2000-08-05 | 2003-03-25 | Trumpf Gmbh & Company | Laser processor with scavenging of optical element |
| JP2017124437A (en) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 株式会社ディスコ | Laser processing apparatus |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP2147945A patent/JPH0441096A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08206863A (en) * | 1995-02-06 | 1996-08-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Laser cutting nozzle |
| US6538232B2 (en) * | 2000-08-05 | 2003-03-25 | Trumpf Gmbh & Company | Laser processor with scavenging of optical element |
| JP2017124437A (en) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 株式会社ディスコ | Laser processing apparatus |
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