JPH0438050U - - Google Patents

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JPH0438050U
JPH0438050U JP8106790U JP8106790U JPH0438050U JP H0438050 U JPH0438050 U JP H0438050U JP 8106790 U JP8106790 U JP 8106790U JP 8106790 U JP8106790 U JP 8106790U JP H0438050 U JPH0438050 U JP H0438050U
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Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案に係る基板の搬出・搬入装置の一
実施例を示し、第１図は装置全体の概略側面図、
第２図はその平面図、第３図は基板搬出・搬入ユ
ニツトを示す平面図、第４図は基板搬出・搬入ユ
ニツトを示す正面図、第５図はアームユニツトの
平面図、第６図はアームユニツトの側面図、第７
図はアームユニツトのベース板移動機構を示す正
面図、第８図はその一部を示す側面図、第９図は
基板整合および載置昇降構造の正面図、第１０図
はプツシヤー板駆動用カム機構の側面図、第１１
図は基板整合および載置昇降構造の側面図、第１
２図はその平面図、第１３図は基板整合作動を示
す平面図である。 Ｃ……カセツト、２……基板搬出・搬入用ユニ
ツト、３ａ……下段カセツトテーブル、３ｂ……
上段カセツトテーブル、１６……螺軸（アムーム
・螺進昇降用）、２０……アームユニツト、２５
……ロードレスシリンダ（アーム・スローク昇降
用）、２８……吸着アーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板をそれぞれ収納する上下２段のカセツトに
    対して基板の出し入れを行う基板の搬出・搬入装
    置であつて、 基板を保持する機構を備えたアームと、 前記アームをカセツトに向けて前進あるいは後
    進させるアーム前後進駆動手段と、 前記アームを１つのカセツトの基板収容高さに
    相当する範囲内で昇降させるとともに、その取り
    付け位置が下段カセツトよりも下方にある螺進昇
    降手段と、 前記螺進昇降手段に付設され、前記アームをカ
    セツトの高さ相当量のストロークで昇降させるア
    ーム基準高さ切り換え用のシリンダと、 を備えたことを特徴とする基板の搬出・搬入装置
    。
JP8106790U 1990-07-30 1990-07-30 基板の搬出・搬入装置 Expired - Fee Related JP2515325Y2 (ja)

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