JPH04356809A - Surface acoustic wave device and manufacture thereof - Google Patents
Surface acoustic wave device and manufacture thereofInfo
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 88
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 6
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、設計自由度の高い、良好な特性を有する弾性
表面波装置およびその製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a surface acoustic wave device having a high degree of design freedom and good characteristics, and a method for manufacturing the same.
［従来の技術］
従来より、帯域外抑圧度向上等、フィルタの周波数特性
の改良のための手段として、特開昭５０−４０２５９号
公報に記載のように、開ロ一定の正規型電極の一部を除
去する等の手段が知られている。[Prior Art] Conventionally, as a means for improving the frequency characteristics of a filter, such as increasing the degree of out-of-band suppression, a regular type electrode with a constant aperture has been proposed as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 50-40259. Methods such as removing the portion are known.
この従来のものは、電極指列を構成する複数の電極指を
有し、各電極指は、２本毎に極性が交互に替わるように
、２群に分けられて、それぞれ共通の電極に接続されて
いる。そして、電極指列から、極性が等しい互いに隣接
する２本の電極指（電極指対）のいずれかを除去する構
成となっている。This conventional device has a plurality of electrode fingers constituting an electrode finger array, and each electrode finger is divided into two groups and connected to a common electrode so that the polarity changes alternately every two electrode fingers. has been done. Then, one of two mutually adjacent electrode fingers (electrode finger pair) having the same polarity is removed from the electrode finger array.
［発明が解決しようとする課題］
しかし、上記従来技術は、電極の除去にのみ着目し、弾
性表面波装置（７）設計に自由度を持たせることへの配
慮がない。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned conventional technology focuses only on removing the electrodes, and does not give consideration to providing flexibility in the design of the surface acoustic wave device (7).
すなわち、極性が等しい互いに隣接する２本の電極指を
１単位として除去するため、それらの電極指と隣接する
他の極性の電極指との間で構成される、弾性表面波の励
根源除去が、１対（異符号の励振源２個）単位でのみ行
なわれ、設計自由度が小さかった。In other words, since two adjacent electrode fingers with the same polarity are removed as a unit, the excitation source of the surface acoustic wave that is formed between these electrode fingers and the adjacent electrode finger of another polarity is removed. , this was carried out only in pairs (two excitation sources with opposite signs), and the degree of freedom in design was small.
本発明の目的は、実質的に弾性表面波の励振源の除去を
０．５対単位で行ない、設計自由度の向上した弾性表面
波装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave device in which excitation sources of surface acoustic waves are substantially removed in units of 0.5 pairs, and the degree of freedom in design is improved.
さらに、本発明の他の目的は、そのような弾性表面波装
置の製造方法を提供することにある。Furthermore, another object of the present invention is to provide a method for manufacturing such a surface acoustic wave device.
［課題を解決するための手段］
上記目的は、０．５対の励振源除去が必要な箇所から発
生する弾性表面波を主伝搬軸とは異なる方向に放射した
り、フィルタの中心周波数近傍での応答を抑圧すること
により達成される。[Means for solving the problem] The above purpose is to radiate the surface acoustic waves generated from the location where 0.5 pairs of excitation sources are required to be removed in a direction different from the main propagation axis, or to radiate the surface acoustic waves generated from the location where 0.5 pairs of excitation sources need to be removed in a direction different from the main propagation axis, or to This is achieved by suppressing the response of
すなわち、本発明の一態様によれば、弾性表面波基板上
に、電気信号と弾性表面波信号の変換を行なう変換器が
少なくとも１個以上配置され、上記変換器のうち少なく
とも１の変換器は、弾性表面波の励振源を複数有すると
共に、隣り合う励振源の極性が弾性表面波の主伝搬軸上
で、変換器の中心周波数近傍において、実質的に同符号
である箇所を有し、かつ、その部分が非周期的に配置さ
れることを特徴とする弾性表面波装置が提供される。That is, according to one aspect of the present invention, at least one or more converters for converting an electric signal and a surface acoustic wave signal are disposed on the surface acoustic wave substrate, and at least one of the converters is , has a plurality of surface acoustic wave excitation sources, and has a portion where the polarities of adjacent excitation sources are substantially the same sign near the center frequency of the transducer on the main propagation axis of the surface acoustic wave, and , there is provided a surface acoustic wave device characterized in that its portions are arranged aperiodically.
上記同極の励振源間には、上記励振源とは異なる表面波
励振開口部を有し、該励振開口部は、その表面波の主放
射軸を、弾性表面波の主伝搬軸に対して傾けて配置され
る構成とすることができる。A surface wave excitation aperture different from the excitation source is provided between the excitation sources of the same polarity, and the excitation aperture has a main radiation axis of the surface wave relative to a main propagation axis of the surface acoustic wave. It can be arranged in an inclined manner.
［作用］
前述のように、表面波の主伝搬軸とは異なる方向に表面
波を放射すれば、主伝搬軸上に配置された変換器への表
面波の変換が行なわれず、実質的に０．５対励振源単位
の除去が可能となる。また、主伝搬軸と同方向への表面
波が放射する場合でも、その箇所の変換周波数特性を、
フィルタ中心周波数近傍で効率を下げた特性とすること
によっても、実質的に０．５対励振源単位の除去が可能
となり、設計自白度を、１対単位の場合に比べて、向上
させることができる。[Effect] As mentioned above, if the surface waves are radiated in a direction different from the main propagation axis of the surface waves, the surface waves will not be converted to the converter placed on the main propagation axis, and the surface wave will be substantially zero. .5 pairs of excitation sources can be removed. In addition, even when surface waves are radiated in the same direction as the main propagation axis, the conversion frequency characteristics at that point are
By reducing the efficiency near the filter center frequency, it is possible to substantially remove 0.5 pairs of excitation sources, and the design clarity can be improved compared to the case of 1 pair. can.
（以下余白）
［実施例］
以下、本発明の実施例について第１図から第１２図を用
いて説明する。(The following is a blank space) [Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described using FIGS. 1 to 12.
第１図は、本発明の第１実施例を模式的に示している。FIG. 1 schematically shows a first embodiment of the invention.
弾性表面波基板１上に、電気信号と弾性表面波信号の変
換を行なう第１、第２の変換器として、正規型の入力電
極２および出力電極３と、入出力の電磁的結合を排除す
るための斜め電極４とが配置されている。また、基板１
の端面には、端面からの反射を抑圧するため、吸音剤５
が塗布されている。A regular type input electrode 2 and an output electrode 3 are provided on the surface acoustic wave substrate 1 as first and second converters that convert an electric signal and a surface acoustic wave signal, and electromagnetic coupling between input and output is eliminated. A diagonal electrode 4 is arranged for this purpose. Also, substrate 1
A sound-absorbing material 5 is placed on the end face to suppress reflection from the end face.
is coated.
入力電極２は、開口が一定の非重み付型の電極である。The input electrode 2 is a non-weighted electrode with a constant aperture.
この入力電極２は、電極指２ａ、２ｂをそれぞれ複数本
有する。これらは電極指列を構成する。また、各電極指
２ａ、２ｂは、２本毎に極性が交互に替わるように、２
群に分けられて、それぞれ共通の電極２ｃ、２ｄに接続
されている。This input electrode 2 has a plurality of electrode fingers 2a and 2b, respectively. These constitute an electrode finger array. Further, each electrode finger 2a, 2b is arranged in two directions so that the polarity is alternately changed every two.
They are divided into groups and connected to common electrodes 2c and 2d, respectively.
電極指２ａ、２ｂは、共に、長手方向の２辺が平行なリ
ボン状の形状を有している。Both electrode fingers 2a and 2b have a ribbon-like shape with two longitudinal sides parallel to each other.
出力電極３は、基本的には、開口が一定の非重み付型の
電極である。そして、この出力電極３は、表面波の放射
方向を主伝搬軸方向Ａと同一とした通常の励振源部６の
他に、放射方向Ｂを主伝搬軸Ａから傾けられた斜め励振
部７が配置される。このため、出力電極３は、長手方向
の２辺が平行なリボン状の電極指３ａ、３ｂと、直角三
角形状の電極指３ｅ、３ｆとを、それぞれ複数本有し、
これらの電極指３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆは、電極指列を
構成する。The output electrode 3 is basically a non-weighted electrode with a constant aperture. This output electrode 3 includes, in addition to a normal excitation source part 6 in which the radiation direction of surface waves is the same as the main propagation axis direction A, an oblique excitation part 7 in which the radiation direction B is tilted from the main propagation axis A. Placed. Therefore, the output electrode 3 has a plurality of ribbon-shaped electrode fingers 3a, 3b whose two longitudinal sides are parallel, and a plurality of right-angled triangular electrode fingers 3e, 3f, respectively.
These electrode fingers 3a, 3b, 3e, and 3f constitute an electrode finger array.
また、電極指３ａ、３ｂは、電極指３ｅ、３ｆと隣接す
る部分以外の部分、すなわち、通常の励振源部６では、
それぞれ２本ずつ交互に替わるように設けられている。Further, the electrode fingers 3a and 3b are located at a portion other than the portion adjacent to the electrode fingers 3e and 3f, that is, in the normal excitation source section 6,
Two of each are provided alternately.
通常の励振源部６は、電極指３ａ、３ｂにより構成され
る。この電極指３ａ、３ｂは、電極指３ｅ、３ｆと隣接
する部分以外の部分では、それぞれ２本ずつ交互に替わ
るように設けられている。The normal excitation source section 6 is composed of electrode fingers 3a and 3b. These electrode fingers 3a, 3b are provided so that two each are alternately provided in the portions other than the portions adjacent to the electrode fingers 3e, 3f.
電極指３ａと３ｅとは、共通電極３ｃに接続され、電極
指３ｂと３ｆとは、共通電極３ｄに接続されている。Electrode fingers 3a and 3e are connected to a common electrode 3c, and electrode fingers 3b and 3f are connected to a common electrode 3d.
斜め励振部７は、電極指３ｅ、３ｆにより構成され、そ
の開口が、主伝搬軸Ａに対して傾いて配置されている。The oblique excitation section 7 is composed of electrode fingers 3e and 3f, and the opening thereof is arranged obliquely with respect to the main propagation axis A.
すなわち、直角三角形状の電極指３ｅ、３ｆの直角をな
す２辺のうち長手方向を主伝搬軸Ａに垂直となるように
、それと直角な辺を主伝搬軸Ａに平行となるように設け
、互いの斜辺が対向するように配置される。That is, the longitudinal direction of the two right-angled sides of the right-angled triangular electrode fingers 3e and 3f is arranged perpendicular to the main propagation axis A, and the side perpendicular to the longitudinal direction is arranged so as to be parallel to the main propagation axis A. They are arranged so that their hypotenuses face each other.
斜め励振部７は、第１図では、２ヵ所設けられている。In FIG. 1, the diagonal excitation section 7 is provided at two locations.
もちろん、これに限られるものではない。Of course, it is not limited to this.
また、これらの斜め励振部７は、主伝搬軸Ａに対する傾
き方向が異なっている。Further, these oblique excitation parts 7 have different inclination directions with respect to the main propagation axis A.
第２図は上記出力すだれ状電極３と励振源位置との関係
を示している。FIG. 2 shows the relationship between the output interdigital electrode 3 and the position of the excitation source.
実線の矢印８は、主伝搬軸Ａ方向で見た励振応答の存在
する箇所、破線の矢印９は、主伝搬軸方向で見た励振応
答がない箇所を示している。励振源の位置は、共通電極
３ｃ、３ｄ間の中心にとっている。実線および破線の矢
印８、９は、通常の励振部６と斜め励振部７に対応して
いる。A solid arrow 8 indicates a location where an excitation response exists when viewed in the direction of the main propagation axis A, and a broken arrow 9 indicates a location where there is no excitation response when viewed in the direction of the main propagation axis. The position of the excitation source is centered between the common electrodes 3c and 3d. Solid line and broken line arrows 8 and 9 correspond to the normal excitation section 6 and the oblique excitation section 7.
同図上側に示す変換器の主伝搬軸方向で見たインパルス
時間応答は、同図の下側に示す励振源の分布に対応する
。ここで、励振源の符号（上下）は、入力側すだれ状電
極から見て、共通電極３ｃに接続される電極指、共通電
極３ｄに接続される電極指の順で電極が存在する箇所を
＋（上）、この逆の順で存在する箇所を−（下）と定義
してある。The impulse time response seen in the main propagation axis direction of the transducer shown in the upper part of the figure corresponds to the distribution of the excitation source shown in the lower part of the figure. Here, the code (upper and lower) of the excitation source indicates the location where the electrode is present in the order of the electrode finger connected to the common electrode 3c and the electrode finger connected to the common electrode 3d, as viewed from the input side interdigital electrode. (top), and the locations that exist in the reverse order are defined as - (bottom).
同図のように、本実施例で形成される励振源の並びは、
通常と同様の異符号の励振源の並びの他に同符号の励振
源の並びが混在している。従って、本実施例によれば、
０．５対単位の励振源（またはインパルス応答）の除去
が可能であることが分かる。As shown in the figure, the arrangement of the excitation sources formed in this example is as follows:
In addition to the usual arrangement of excitation sources with different signs, there is also an arrangement of excitation sources with the same sign. Therefore, according to this embodiment,
It can be seen that removal of the excitation source (or impulse response) by 0.5 pairs is possible.
なお、励振応答がない箇所、すなわち、励振源の抜けは
、上記実施例では、０．５対になっているが、これに限
定されない。０．５対単位であればよい。Note that, in the above embodiment, the number of pairs where there is no excitation response, that is, the number of missing excitation sources is 0.5, but the number is not limited to this. It may be in units of 0.5 pairs.
同符号の励振源が並ぶものとしては、例えば、従来より
、米国特許第３，７４８，６０３号明細書に示されてい
るようなスプリットアイソレート電極がある。しかし、
このような電極は、同極部がすだれ状電極全体にわたり
周期的に配置されているため、ｆ特性向上の効果は得ら
れない。An example of an arrangement in which excitation sources having the same sign is arranged is, for example, a conventional split isolated electrode as shown in US Pat. No. 3,748,603. but,
In such an electrode, since the same pole portions are periodically arranged over the entire interdigital electrode, the effect of improving the f characteristic cannot be obtained.
本実施例のように、実質的な励振源の抜けを０．５対巣
位とし、それにより他の箇所と同様の強度の同極の励振
源の並びを実現できることにより、非重み付電極の設計
自由度の向上を果たすことができる。As in this embodiment, by setting the actual dropout of the excitation source to 0.5 pairs of positions, and thereby realizing an arrangement of excitation sources of the same polarity and the same intensity as other locations, the non-weighted electrode The degree of freedom in design can be improved.
本実施例では、群遅延時間の周波数特性を平坦としたた
め、上記０．５対の励振源の抜けは、変換器（電極）の
中心に対して、左右対称としてある。In this embodiment, since the frequency characteristic of the group delay time is flat, the 0.5 pairs of excitation sources are left and right symmetrically with respect to the center of the transducer (electrode).
また、励振周波数特性を対称としたため、異極の励振源
のピッチを（１／２＋ｎ）λｏ（ｎ：整数、λｏ：中心
周波数での表面波波長）とし、同極の励振源のピッチを
ｍλｏ（ｍ：整数）としている。In addition, since the excitation frequency characteristics were made symmetrical, the pitch of different polar excitation sources was set to (1/2+n)λo (n: integer, λo: surface wave wavelength at the center frequency), and the pitch of same polar excitation sources was mλo. (m: integer).
第３図は第１実施例と従来のフィルタの周波数特性を示
している。FIG. 3 shows the frequency characteristics of the first embodiment and the conventional filter.
この測定に用いられた弾性表面波装置は、実際には、励
振源対数は、第１図で示したものより多い。本実施例の
フィルタと従来のフィルタとは、同一チップサイズ（伝
搬軸上の距離）で性能を比較している。実線１０が従来
、破線１１が第１実施例の特性である。設計自由度が高
いため約１０ｄＢほど帯域外抑圧度が向上している。な
お、本実施例では帯域外抑圧度の向上に本発明を用いた
が、フィルタ層特性等、他の性能向上も同様に行なうこ
とができる。The surface acoustic wave device used in this measurement actually has more excitation source pairs than shown in FIG. The performance of the filter of this embodiment and the conventional filter is compared using the same chip size (distance on the propagation axis). The solid line 10 is the characteristic of the conventional device, and the broken line 11 is the characteristic of the first embodiment. Due to the high degree of design freedom, the degree of out-of-band suppression is improved by approximately 10 dB. In this embodiment, the present invention is used to improve the degree of out-of-band suppression, but other performance improvements such as filter layer characteristics can be similarly performed.
第４図は本発明の第２実施例の一部を模式的に示したも
のである。なお、本実施例では、第１図と同一の構成要
素については同一符号を付している。FIG. 4 schematically shows a part of a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the same components as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
本実施例は、弾性表面波基板１上に、電気信号と弾性表
面波信号の変換を行なう第１、第２の変換器として、入
力電極１２および出力電極１３と、入出力の電磁的結合
を排除するための斜め電極４とが配置されている。また
、基板１の端面には、端面からの反射を抑圧するため、
吸音剤５が塗布されている。In this embodiment, an input electrode 12 and an output electrode 13 are provided on a surface acoustic wave substrate 1 as first and second transducers that convert an electric signal and a surface acoustic wave signal, and electromagnetic coupling between input and output is provided. A diagonal electrode 4 for exclusion is arranged. In addition, on the end face of the substrate 1, in order to suppress reflection from the end face,
A sound absorbing material 5 is applied.
入力すだれ状電極１２は、０．５対の励振源の抜けを有
する非重み付電極である。この入力電極２は、平行に配
置されるリボン状の電極指２ａ、２ｂからなる通常の励
振部６と、直角三角形の電極指２ｅ、２ｆからなる斜め
励振部７とを有する。The input interdigital electrode 12 is an unweighted electrode with a gap of 0.5 pairs of excitation sources. This input electrode 2 has a normal excitation section 6 consisting of ribbon-shaped electrode fingers 2a and 2b arranged in parallel, and an oblique excitation section 7 consisting of right-angled triangular electrode fingers 2e and 2f.
電極指２ｅ、２ｆは、上述した電極指３ｅ、３ｆと同様
に構成され、直角三角形の斜辺を対向させる。電極指２
ａ、２ｅは共通電極２ｃに接続され、電極指２ｂ、２ｆ
は共通電極２ｄに接続される。The electrode fingers 2e and 2f are configured in the same manner as the electrode fingers 3e and 3f described above, and the hypotenuses of the right triangle are opposed to each other. Electrode finger 2
a, 2e are connected to the common electrode 2c, electrode fingers 2b, 2f
is connected to the common electrode 2d.
本実施例によれば、入力すだれ状電極１２については、
非重み付電極の設計自由度が向上している。一方、出力
すだれ状電極１３は、開口重み付電極としている。これ
は、開口重み付電極の設計自由度は、開口を変化させる
ことができるため、開口一定の変換器より大きいことに
よる。従って、本実施例では、非重み付電極と開口重み
付電極を用いることにより、より詳細に周波数特性を制
御することができる。According to this embodiment, regarding the input interdigital electrode 12,
The degree of freedom in designing non-weighted electrodes is improved. On the other hand, the output interdigital electrode 13 is an aperture weighted electrode. This is because the design freedom of aperture weighted electrodes is greater than that of constant aperture transducers since the aperture can be varied. Therefore, in this embodiment, by using the non-weighted electrode and the aperture weighted electrode, the frequency characteristics can be controlled in more detail.
以上、本実施例を用いれば、さらに周波数特性の設計自
由度を上げることができる。As described above, by using this embodiment, the degree of freedom in designing frequency characteristics can be further increased.
次に、斜め励振部が異なる形態の実施例について説明す
る。Next, an example in which the diagonal excitation section is different will be described.
第５図は、第３実施例の一部を模式的に示したものであ
る。ここでは、１の変換器についての電極パターンのみ
示す。FIG. 5 schematically shows a part of the third embodiment. Here, only the electrode pattern for one transducer is shown.
本実施例は、出力すだれ状電極１４内に斜め励振部１５
が配置されている。励振源部は、電極間の中心と考えら
れ、図中に破線で示してある。また、開口端ともう一方
の開口端までの主伝搬軸方向での距離をΔ■として図に
示してある。この斜め励振源部の各点から主伝搬軸方向
へ伝搬する表面波ｅは、
と表されるから、（時間項省略、ｋ０：三伝搬軸方向の
波数、ｚ：伝搬距離）、同一受波開口部（主伝搬軸に垂
直、ある一定のｚ座標部）で受波される主伝搬軸方向の
波の積分値Ｅは、
（ｓ：斜め励振部に添っての線路）
で表わされるから、Ａを各点でほぼ一定として、となる
。Ｅをゼロとするには、（４）式のカッコ内がゼロであ
ればよいので、
の条件が求まる。（５）式より、λを斜め励振部の応答
を抑圧したい周波数での波長とすると、の式が得られる
。上記のλが、フィルタ中心周波数での波長λｏに近い
場合
が得られる。In this embodiment, an oblique excitation section 15 is provided within the output interdigital electrode 14.
is located. The excitation source is considered to be the center between the electrodes and is indicated by a dashed line in the figure. Further, the distance between one open end and the other open end in the main propagation axis direction is shown as Δ■ in the figure. Since the surface wave e propagating from each point of this oblique excitation source section in the main propagation axis direction is expressed as follows, (time term omitted, k0: wave number in the three propagation axis directions, z: propagation distance), the same received wave The integral value E of the wave in the direction of the main propagation axis received by the aperture (perpendicular to the main propagation axis, a certain z-coordinate part) is expressed as (s: line along the diagonal excitation part), so Assuming that A is approximately constant at each point, then. In order to set E to zero, it is sufficient that the value inside the parentheses in equation (4) is zero, so the following condition can be found. From equation (5), if λ is the wavelength at the frequency at which the response of the oblique excitation section is desired to be suppressed, the following equation is obtained. A case is obtained in which the above λ is close to the wavelength λo at the filter center frequency.
従って、Δ■が（７）式を満足すれば、斜め励振部から
主伝搬軸方向への応答を充分抑えることが可能となり、
より設計値へ近づけることが可能となる。Therefore, if Δ■ satisfies equation (7), it becomes possible to sufficiently suppress the response from the oblique excitation part in the direction of the main propagation axis.
It becomes possible to get the value closer to the design value.
本実施例では主伝搬軸方向へ伝搬する波のみを取り扱っ
たが、実際は斜めに伝搬する波の影響を受けるため、Δ
■を（７）式よりずらす場合も生じる。In this example, only waves propagating in the direction of the main propagation axis were treated, but in reality they are affected by waves propagating obliquely, so Δ
There may also be cases where (2) is shifted from equation (7).
以上、本実施例を用いれば、主伝搬軸方向での斜め励振
部からの応答を充分抑圧することが可能となるため、０
．５対の励振源部の抜けを実質的にゼロと置くことがで
きるため、より設計値に近づけることが可能となり、特
性も向上する。As described above, by using this embodiment, it is possible to sufficiently suppress the response from the oblique excitation section in the direction of the main propagation axis.
．． Since the omission of the five pairs of excitation source parts can be set to substantially zero, it is possible to get closer to the design value, and the characteristics are also improved.
第６図は第４実施例の一部を模式的に示した図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing a part of the fourth embodiment.
本実施例では、入力すだれ状電極１６内の斜め励振部１
７の位置に、斜めの浮き電極１８を配置した。第１〜第
３実施例では、斜め励振部の励振源は各々１本であった
が、本実施例では電極間に浮き電極を配置することによ
り、励振源の数を増している。これにより、斜め方向へ
の表面波の放射指向性が増すため主伝搬軸方向への放射
を一層抑圧することが可能となる。In this embodiment, the diagonal excitation part 1 in the input interdigital electrode 16 is
A diagonal floating electrode 18 was placed at position 7. In the first to third embodiments, each of the diagonal excitation sections had one excitation source, but in this embodiment, the number of excitation sources is increased by arranging floating electrodes between the electrodes. This increases the radiation directivity of the surface waves in the oblique direction, making it possible to further suppress radiation in the main propagation axis direction.
以上、本実施例を用いれば、主伝搬軸方向への斜め励振
部からの応答を一層抑圧することが可能となり、一層設
計値との一致度が向上する。As described above, by using this embodiment, it becomes possible to further suppress the response from the oblique excitation section in the direction of the main propagation axis, and the degree of agreement with the design value is further improved.
第７図は第５実施例の一部を模式的に示したものである
。FIG. 7 schematically shows a part of the fifth embodiment.
本実施例は、入力すだれ状電極１９内に斜め励振部２０
を配置している。斜め励振部２０は、開口方向に複数回
折り曲げられ、各辺ごとに開口方向が交互に替わる、複
数の放射軸を持つ構成となっている。斜め励振部２０で
の主放射方向Ｂ’と主伝搬軸方向Ａとのなす角をより大
きくとることができるため、主伝搬軸Ａ方向へ放射され
る表面波を一層抑圧することができる。In this embodiment, an oblique excitation section 20 is provided within the input interdigital electrode 19.
are placed. The diagonal excitation section 20 is bent multiple times in the opening direction, and has a plurality of radiation axes, with the opening direction alternately changing for each side. Since the angle between the main radiation direction B' and the main propagation axis direction A in the oblique excitation section 20 can be made larger, the surface waves radiated in the main propagation axis A direction can be further suppressed.
以上、本実施例を用いれば、一層設計値との一致度を向
上させることができる。As described above, by using this embodiment, it is possible to further improve the degree of agreement with the design values.
第８図は第６実施例の一部を模式的に示した図である。FIG. 8 is a diagram schematically showing a part of the sixth embodiment.
本実施例は、入力すだれ状電極２１内に、円弧状の励振
部２２を配置している。０．５対の励振源の抜け部を同
図のように円弧状にすることにより、放射の周波数特性
を（放射指向性がなめらかになるため）なめらかな関数
（極が少ない）とすることが可能となり、０．５対励振
源抜け部の特性を、中心周波数近傍でほぼ一定と考える
ことが可能となるため、その補正も容易となる。In this embodiment, an arcuate excitation section 22 is arranged within the input interdigital electrode 21 . By making the missing parts of the 0.5 pairs of excitation sources arc-shaped as shown in the figure, the frequency characteristics of the radiation can be made into a smooth function (fewer poles) (because the radiation directivity becomes smooth). This makes it possible to consider the characteristics of the 0.5-pair excitation source dropout portion to be substantially constant near the center frequency, making it easy to correct them.
以上本実施例を用いれば、０．５対励振源抜け部の補正
が容易となり、より正確な設計が可能となる。As described above, if this embodiment is used, it becomes easy to correct the 0.5 pair excitation source missing portion, and more accurate design becomes possible.
第９図は第７実施例の一部を模式的に示した図である。FIG. 9 is a diagram schematically showing a part of the seventh embodiment.
本実施例例は、入力すだれ状電極２３内に、０．５対の
実質的な非励振部２４を設けている。交差は、通常と同
様、主伝搬軸方向に垂直な方向でなされているが、電極
間の距離ｇは中心周波数での波長λｏを用いて、
としている。In this embodiment, 0.5 pairs of substantial parasitic portions 24 are provided within the input interdigital interdigital electrode 23. The intersection is made in the direction perpendicular to the main propagation axis direction as usual, but the distance g between the electrodes is set as follows using the wavelength λo at the center frequency.
すだれ状電極の放射特性Ｒは、メタライズ比（電極幅／
電極ピッチ）の関数を省略すると、と表わされることが
、ＩＥ３ Ｔｒａｎｓ、ＳＵ−２２、Ｐ３９５（１９７
５）１２、Ｈ．Ｅｎｇａｎらによって示されている。The radiation characteristic R of the interdigital electrode is determined by the metallization ratio (electrode width/
IE3 Trans, SU-22, P395 (197
5) 12, H. As shown by Engan et al.
Ｒ＝０とするには、
とすればよく、λを中心周波数近傍とすると、（８）式
となる。In order to set R=0, it is sufficient to use the following equation, and if λ is set near the center frequency, the formula (8) is obtained.
このように、ｇを（８）式のように定めると、主伝搬軸
方向の応答は、実質的にかなり小さくすることができる
。In this way, when g is defined as in equation (8), the response in the main propagation axis direction can be substantially reduced considerably.
以上、本発明を用いれば、斜めや曲線の電極を用いる必
要がないため、電極パターンの設計が容易となる。As described above, if the present invention is used, it is not necessary to use oblique or curved electrodes, and thus the electrode pattern can be easily designed.
上記各実施例では、弾性表面波基板１として、例えば、
１２８゜Ｙ軸カットのニオブ酸リチウム短結晶からなる
圧電性基板を用い、弾性表面波の伝搬方向をＸ軸として
いる。他の材料を用いてもよい。In each of the above embodiments, the surface acoustic wave substrate 1 includes, for example,
A piezoelectric substrate made of short crystals of lithium niobate with a 128° Y-axis cut is used, and the propagation direction of surface acoustic waves is set as the X-axis. Other materials may also be used.
第１０図は、弾性表面波装置の製造方法の一実施例の工
程の一部を模式的に示している。FIG. 10 schematically shows a part of the steps of an embodiment of a method for manufacturing a surface acoustic wave device.
本実施例の弾性表面波装置の製造は、まず、弾性表面波
基板１上に、すだれ状電極を形成し、この後、電極のト
リミングを行なう。In manufacturing the surface acoustic wave device of this embodiment, first, interdigital electrodes are formed on the surface acoustic wave substrate 1, and then the electrodes are trimmed.
本実施例の製造方法において、従来の製造方法と異なる
点は、電極のトリミング工程にあり、すだれ状電極の形
成自体は、従来のものと同じである。従って、ここでは
、トリミング工程について説明する。The manufacturing method of this embodiment differs from the conventional manufacturing method in the electrode trimming step, and the formation of the interdigital electrode itself is the same as the conventional method. Therefore, the trimming process will be explained here.
入力すだれ状電極２５の０．５対単位の励振源抜け部を
、レーザートリミングを行なう、すなわち、最初は、同
図（ａ）に示すように、通常の交差型電極２６のトリミ
ングを、周波数特性を見ながらレーザースポットを照射
して行なう。Laser trimming is performed on the excitation source missing portions of the input interdigital electrodes 25 in units of 0.5 pairs. That is, as shown in FIG. This is done by irradiating the laser spot while watching.
次に、トリミングスポット２８を、同図（ｂ）のように
蛇行させることにより、実質的な非励振部２７と励振部
２９を形成し、適当な周波数特性が得られた時点で、ト
リミングを終了する。Next, the trimming spot 28 is made to meander as shown in FIG. do.
以上、本実施例を用いれば、特性検査を行ないながらト
リミングを行なうことができるため、歩留まり向上に効
果がある。As described above, if this embodiment is used, trimming can be performed while testing characteristics, which is effective in improving yield.
上述した各実施例を含めて本発明の弾性表面波装置の典
型的な用途としては、例えば、フィルタ、発振器等が挙
げられる。以下、フィルタとして用いられる弾性表面波
装置の応用例について説明する。Typical applications of the surface acoustic wave device of the present invention including the above-mentioned embodiments include, for example, filters, oscillators, and the like. Application examples of the surface acoustic wave device used as a filter will be described below.
第１１図は、本発明の弾性表面波装置を使ったテレビジ
ョン受信機の一実施例の構成を示すブロック図である。FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a television receiver using the surface acoustic wave device of the present invention.
本実施例のテレビジョン受信機は、アンテナ３０、チュ
ーナブロック３１、フィルタとして機能する弾性表面波
装置３２および復調ブロック３３を有する。The television receiver of this embodiment includes an antenna 30, a tuner block 31, a surface acoustic wave device 32 functioning as a filter, and a demodulation block 33.
このような構成において、アンテナ３０から入力された
信号は、チューナブロック３１によって中間周波信号に
変換され、弾性表面波装置３２によって１チャネル分の
信号が抜き出され、復調ブロック３３により映像、音声
信号が再生され、それぞれ映像出力端子３４、音声出力
端子３５に出力される。In such a configuration, a signal input from the antenna 30 is converted into an intermediate frequency signal by the tuner block 31, a signal for one channel is extracted by the surface acoustic wave device 32, and a video and audio signal is converted by the demodulation block 33. is played back and output to the video output terminal 34 and audio output terminal 35, respectively.
弾性表面波装置３２は、本発明の技術を用い、帯域外抑
圧度を向上させており、隣接チャネルや他からの妨害を
防ぎ、良好な画像信号が得られている。The surface acoustic wave device 32 uses the technology of the present invention to improve the degree of out-of-band suppression, prevent interference from adjacent channels and others, and obtain a good image signal.
以上、本実施例によれば、隣接妨害等の特性を向上させ
ることが可能である。As described above, according to this embodiment, it is possible to improve characteristics such as adjacent interference.
第１２図は、本発明の弾性表面波装置を使った衛星放送
受信機の一実施例の構成を示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a satellite broadcasting receiver using the surface acoustic wave device of the present invention.
本実施例の衛生放送受信機は、パラボラアンテナ３６、
屋外ユニット３７および屋内ユニット３８を備えている
。屋内ユニット３８には、ダウンコンバータ部３９、フ
ィルとして機能する弾性表面波装置４０、および、復調
系４１を有する。The satellite broadcasting receiver of this embodiment includes a parabolic antenna 36,
It includes an outdoor unit 37 and an indoor unit 38. The indoor unit 38 includes a down converter section 39, a surface acoustic wave device 40 functioning as a filler, and a demodulation system 41.
このような構成において、パラボラアンテナ３６により
受信された信号は、屋外ユニット３７により約１ＧＨｚ
の１ｓｔＩＦ信号に変換され、屋内ユニット３８に送ら
れる。屋内ユニット３８では、ダウンコンバータ部３９
により、さらに４００ＭＨｚ帯の２ｎｄＩＦ信号に変換
され、弾性表面波装置４０により１チャネル分の信号を
抜き出され、復調系４１により映像、音声信号が再生さ
れ、それぞれ映像出力端子４２、音声出力端子４３に出
力される。In such a configuration, the signal received by the parabolic antenna 36 is transmitted by the outdoor unit 37 at approximately 1 GHz.
is converted into a 1st IF signal and sent to the indoor unit 38. In the indoor unit 38, the down converter section 39
The signal is further converted into a 2nd IF signal in the 400 MHz band, the surface acoustic wave device 40 extracts the signal for one channel, the demodulation system 41 reproduces the video and audio signals, and the video and audio signals are output to the video output terminal 42 and the audio output terminal 43, respectively. is output to.
弾性表面波装置４０は、本発明を用い肩特性を向上させ
ており、良好なＳ／Ｎ特性が得られている。The surface acoustic wave device 40 has improved shoulder characteristics using the present invention, and has obtained good S/N characteristics.
以上、本実施例を用いれば、通信装置のＳ／Ｎ特性を向
上させることが可能である。As described above, by using this embodiment, it is possible to improve the S/N characteristics of a communication device.
［発明の効果］
以上、本発明によれば、弾性表面波装置の設計自由度が
向上するため、同一チップサイズで良好な特性を実現で
き、素子の性能向上に効果がある。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the degree of freedom in designing the surface acoustic wave device is improved, so good characteristics can be achieved with the same chip size, and the performance of the device is improved.
また、本発明の弾性表面波装置を通信装置に用いれば、
セットの性能向上を低コストで実現することができる。Furthermore, if the surface acoustic wave device of the present invention is used in a communication device,
It is possible to improve the performance of the set at low cost.
第１図は本発明の弾性表面波装置の第１実施例の構成を
模式的に示す平面図、第２図はすだれ状電極と励振源位
置の関係を示す説明図、第３図は第１実施例と従来の弾
性表面波装置の周波数特性を示すグラフ、第４図は本発
明の第２実施例の構成の一部を模式的に示す平面図、第
５図から第８図は本発明の弾性表面波装置の第３から第
６実施例を構成する電極の一部を模式的に示す平面図、
第９図は本発明の弾性表面波装置の第７実施例を構成す
る電極の一部を模式的に示す平面図、第１０図は本発明
の弾性表面波装置の製造方法の一実施例におけるトリミ
ング工程を示す説明図、第１１図は本発明の弾性表面波
装置を用いたテレビジョン受信機の一実施例の構成を示
すブロック図、第１２図は本発明の弾性表面波装置を用
いた衛星放送受信機の一実施例の構成を示すブロック図
である。
２、１２、１４、１６、１９、２１、２３、２５…入力
すだれ状電極、３、１３…出力すだれ状電極、７、１５
、１７、２０…斜め励振部、２２…円弧状の励振部、２
４、２７…実質的な非励振部、３２、３４…弾性表面波
装置。
出願人 株式会社日立製作所
代理人 弁理士 富田和子FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of a first embodiment of the surface acoustic wave device of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the interdigital electrodes and the excitation source position, and FIG. A graph showing the frequency characteristics of the embodiment and the conventional surface acoustic wave device, FIG. 4 is a plan view schematically showing a part of the configuration of the second embodiment of the present invention, and FIGS. 5 to 8 are the diagrams of the present invention. A plan view schematically showing a part of the electrodes constituting the third to sixth embodiments of the surface acoustic wave device;
FIG. 9 is a plan view schematically showing a part of the electrode constituting the seventh embodiment of the surface acoustic wave device of the present invention, and FIG. An explanatory diagram showing the trimming process, FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a television receiver using the surface acoustic wave device of the present invention, and FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a television receiver using the surface acoustic wave device of the present invention. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a satellite broadcast receiver. 2, 12, 14, 16, 19, 21, 23, 25... Input interdigital electrode, 3, 13... Output interdigital electrode, 7, 15
, 17, 20... Oblique excitation part, 22... Arc-shaped excitation part, 2
4, 27...Substantial non-excitation part, 32, 34...Surface acoustic wave device. Applicant Hitachi, Ltd. Representative Patent Attorney Kazuko Tomita
Claims (17)
波 信号の変換を行なう変換器が少なくとも１個以上配置さ
れ、上記変換器のうち少なくとも１の変換器は、弾性表
面波の励振源を複数有すると共に、隣り合う励振源の極
性が弾性表面波の主伝搬軸上で、変換器の中心周波数近
傍において、実質的に同符号である箇所を有し、かつ、
その部分が非周期的に配置されることを特徴とする弾性
表面波装置。1. At least one transducer for converting an electric signal and a surface acoustic wave signal is disposed on a surface acoustic wave substrate, and at least one of the transducers is configured to excite a surface acoustic wave. has a plurality of sources, and has a portion where the polarities of adjacent excitation sources have substantially the same sign near the center frequency of the transducer on the main propagation axis of the surface acoustic wave, and
A surface acoustic wave device characterized in that its portions are arranged aperiodically.
が ほぼ一定である、請求項１記載の弾性表面波装置。2. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the non-periodically arranged excitation source has a substantially constant aperture.
方 向で、変換器の中心に対して対称に位置していることを
特徴とする請求項１または２記載の弾性表面波装置。3. The surface acoustic wave according to claim 1, wherein the excitation source locations having the same signs are located symmetrically with respect to the center of the transducer in the propagation direction of the surface wave. Device.
符 である箇所を有し、その箇所は、励振源ピッチが（１／
２＋ｎ）λｏ（ｎ：整数、λｏ：中心周波数における表
面波の波長）、同符号の箇所の励振源ピッチがｍλｏ（
ｍ：整数）で、λｏは変換器内で一定であることを特徴
とする請求項１、２または３記載の弾性表面波装置。4. The converter has a portion where adjacent excitation sources have opposite polarities, and the excitation source pitch at that portion is (1/1).
2+n)λo (n: integer, λo: wavelength of the surface wave at the center frequency), and the excitation source pitch at the point with the same sign is mλo(
4. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein λo is constant within the transducer.
を有し、その変換器は、開口重み付を有する変換器であ
ることを特徴とする請求項１、２または３記載の弾性表
面波装置。5. In addition to the one transducer, there is another transducer, and the transducer is a transducer having aperture weighting. The surface acoustic wave device described.
な る表面波励振開口部を有し、該励振開口部は、その表面
波の主放射軸を、弾性表面波の主伝搬軸に対して傾けて
配置されることを特徴とする請求項１、２、３、４また
は５記載の弾性表面波装置。6. A surface wave excitation aperture different from the excitation source is provided between the excitation sources of the same polarity, and the excitation aperture has a main radiation axis of the surface wave that is a main propagation axis of the surface acoustic wave. 6. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the surface acoustic wave device is arranged at an angle with respect to an axis.
、 開口端から開口端までを、弾性表面波の主伝搬軸方向で
見た距離Δ■をＮλｏ（Ｎ：整数）としたことを特徴と
する請求項６記載の弾性表面波装置。[Claim 7] The distance Δ■ between the opening ends of the openings tilted with respect to the main propagation axis, as seen in the direction of the main propagation axis of the surface acoustic wave, is set as Nλo (N: integer). The surface acoustic wave device according to claim 6, characterized in that:
電 極間に、浮き電極を配置したことを特徴とする請求項６
記載の弾性表面波装置。8. Claim 6, wherein a floating electrode is arranged between the electrodes of the opening tilted with respect to the main propagation axis.
The surface acoustic wave device described.
、 複数の放射軸を持つ、請求項６記載の弾性表面波装置。9. The surface acoustic wave device according to claim 6, wherein the aperture tilted with respect to the main propagation axis has a plurality of radiation axes.
は、 開口方向に対して数回折り曲げられた形状を有すること
を特徴とする請求項６記載の弾性表面波装置。10. The surface acoustic wave device according to claim 6, wherein the opening inclined with respect to the main propagation axis has a shape that is bent several times with respect to the opening direction.
、曲 線状に曲げられた形状を有することを特徴とする請求項
１記載の弾性表面波装置。11. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the surface wave aperture between the excitation sources of the same polarity has a curved shape.
電極 間の距離ｇを、Ｍ／２・λｏ（Ｍ：整数）としたことを
特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。12. The elastic surface according to claim 1, wherein the distance g between the electrodes of the surface wave aperture between the excitation sources of the same polarity is M/2·λo (M: integer). wave device.
面波 信号の変換を行なう変換器が少なくとも１個以上配置さ
れ、上記変換器のうち少なくとも１の変換器は、長手方
向が平行なリボン状の電極指の列を有し、該リボン状の
電極指列中に、開口方向が主伝搬軸から傾いている電極
指の対を含むことを特徴とする弾性表面波装置。13. At least one transducer for converting an electric signal and a surface acoustic wave signal is disposed on the surface acoustic wave substrate, and at least one of the transducers has a longitudinal direction parallel to the transducer. 1. A surface acoustic wave device comprising a row of ribbon-shaped electrode fingers, the ribbon-shaped electrode finger row including a pair of electrode fingers whose aperture direction is inclined from the main propagation axis.
るす だれ状電極で構成されることを特徴とする請求項１、２
、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２また
は１３記載の弾性表面波装置。14. The transducer according to claim 1, wherein the transducer is composed of interdigital electrodes operated by piezoelectric effect.
, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12 or 13.
と、 該リボン状の電極指列中に含まれて、開口方向が主伝搬
軸から傾いている電極指の対とを、弾性表面波基板上に
設け、上記開口方向が主伝搬軸から傾いている電極指の
対について、弾性表面波装置の周波数特性を観測しなが
ら、その表面波開口部をトリミングすることを特徴とす
る弾性表面波装置の製造方法。15. A row of ribbon-shaped electrode fingers whose longitudinal directions are parallel to each other, and a pair of electrode fingers included in the ribbon-shaped electrode finger row whose aperture direction is inclined from the main propagation axis. The surface acoustic wave aperture is trimmed while observing the frequency characteristics of the surface acoustic wave device with respect to a pair of electrode fingers provided on a surface wave substrate, the aperture direction of which is inclined from the main propagation axis. A method for manufacturing a surface wave device.
性表面波装置からなることを特徴とするフィルタ。16. A filter comprising the surface acoustic wave device according to claim 1.
を特徴とする通信装置。17. A communication device characterized by using the filter according to claim 16.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34048190A JPH04356809A (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Surface acoustic wave device and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34048190A JPH04356809A (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Surface acoustic wave device and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356809A true JPH04356809A (en) | 1992-12-10 |
Family
ID=18337378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34048190A Pending JPH04356809A (en) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | Surface acoustic wave device and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04356809A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2014192756A1 (en) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | Acoustic wave device |
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-
1990
- 1990-11-30 JP JP34048190A patent/JPH04356809A/en active Pending
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