JPH04355945A - Selecting method for semiconductor element - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable a device to be made compact and to operate continuously at a high speed. CONSTITUTION:Magazines 2 housed as vertically stacked are taken out from the bottom of a magazine feed cassette 3 one by one, a semiconductor element 1 is discharged from the magazine 2, and the empty magazines 2 are stocked at a prescribed position. The semiconductor elements 1 discharged from the magazine 2 are classified into N types according to measurement result and positioned corresponding to N magazines 2 located at the prescribed position. If the magazine 2 correspondent to the positioned element 1 is capable of housing the element 1, the positioned element 1 is housed in the magazine 2, and if the magazine 2 correspondent to the positioned element 1 is full of the elements 1, the element 1 is kept on standby. The magazine 2 full of the enveloped elements 1 is replaced with the empty magazine 2 stocked at the prescribed position and enveloped in a takeout cassette 3 on standby above the magazine 2. Therefore, the magazines 2 are housed in the cassette 3 as vertically stacked, and the cassette 3 is used only at both an initial feed position and a final takeout position as kept standing still in a device.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】0001

【産業上の利用分野】この発明はＩＣ、ＬＳＩ等のよう
な半導体素子の電気的性能を測定し、その結果を判断し
て多分類に選別する半導体素子の選別方法に係るもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for selecting semiconductor devices such as ICs, LSIs, etc., which measures the electrical performance of semiconductor devices, judges the results, and sorts them into multiple categories.

【０００２】0002

【従来の技術】従来、これらの装置は測定しようとする
半導体素子（以下単に素子とする）を収納する棒状のマ
ガジンを装置の供給側に取付け、これから素子を送り出
して測定、選別して、収納側に別に配置された多数本の
マガジンの中に分類に従って収納するもので、マガジン
の供給および選別後の素子によって満杯となったマガジ
ンの取出しは人手によって行っていた。ところが測定選
別の高速化に伴い一人の作業者の扱う選別装置の台数に
は限りがあるため、これを何とか自動化して高性能の装
置を開発する試みがなされてきた。[Prior Art] Conventionally, in these devices, a rod-shaped magazine for storing semiconductor devices to be measured (hereinafter simply referred to as devices) is attached to the supply side of the device, and the devices are sent out, measured, sorted, and stored. The devices are stored according to their classification in a large number of magazines arranged separately on the side, and the feeding of magazines and the removal of magazines filled with elements after sorting have been done manually. However, as the speed of measurement and sorting increases, the number of sorting devices that one worker can handle is limited, so attempts have been made to somehow automate this and develop high-performance devices.

【０００３】従来装置の一例としてマガジンを多数本収
容するカセットを考え、これをもって取扱うことによっ
て合理化しようとするものである。例えば特開昭５６−
６６７６７号であるが、これはマガジンを複数本並列に
カセット中に収容し、カセットごと装置に供給し、素子
放出の終わったカセットをそのまま分類収容部に移すも
ので、最終搬出もカセットによって取扱うことができる
。As an example of a conventional device, a cassette that accommodates a large number of magazines is considered, and an attempt is made to rationalize the handling by using this cassette. For example, JP-A-56-
No. 66767, in which a plurality of magazines are housed in a cassette in parallel, the cassettes are supplied to the device, and the cassettes that have finished emitting elements are transferred directly to the classification storage section, and the final transport is also handled by the cassette. Can be done.

【０００４】0004

【発明が解決しようとする課題】ところが、いま３分類
する場合を考えると３つのカセットを配置して、この中
のマガジンに選別された素子を送り込む必要がある。さ
らに分類本数Ｎが多くなるとカセットをＮ個配置して、
これに素子を送り込まねばならなくなり、平面的にカセ
ットを配置した場合には大きな面積をとり、従って装置
全体が大きくならざるを得ない。そこで装置を小さくす
るためにはカセット内に収容するマガジンの本数を減少
することが考えられるが、これではカセットの交換の頻
度が多くなり自動化の要請には充分応えることができな
い。また、上記に示された例ではカセットが装置の中を
移動するため必然的に装置が大きく、かつ強固に作らね
ばならず取扱い難い装置となる欠点があった。However, if we consider the case of three classifications, it is necessary to arrange three cassettes and feed the selected elements into the magazines therein. Furthermore, when the number of classified items N increases, N cassettes are arranged,
It is necessary to feed the elements into this, and if the cassettes are arranged in a two-dimensional manner, it will take up a large area, and the entire device will therefore have to become large. Therefore, in order to make the device smaller, it may be possible to reduce the number of magazines housed in the cassette, but this would increase the frequency of replacing the cassette and would not be able to fully meet the demands for automation. Furthermore, in the example shown above, since the cassette moves within the apparatus, the apparatus is inevitably large and must be made strong, which has the disadvantage of making the apparatus difficult to handle.

【０００５】本発明はこれらの点を改善し、半導体素子
の選別装置の全体を小さくかつ連続高速運転を可能とし
たものであって、そのため装置内を移動するのはマガジ
ンだけとし、カセットは最初の供給と最後の取出しに使
用する。そしてマガジンを縦積みの状態にカセット内に
収容することによって立体的にコンパクトに構成するこ
とができる半導体素子の選別方法を提供することを目的
とする。The present invention improves these points and makes the entire semiconductor device sorting device small and capable of continuous high-speed operation.For this purpose, only the magazine moves within the device, and the cassettes are initially Used for supply and final removal. Another object of the present invention is to provide a semiconductor device sorting method that can be three-dimensionally compact by accommodating magazines in a vertically stacked state in a cassette.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、供給用カセットに半導体素子を収納するマ
ガジンを縦積みに収容し、前記カセットの下方より前記
マガジンを１本づつ取出し、取出されたマガジンから素
子を放出し、放出後のマガジンに素子が残存しているこ
とを検知した場合そのマガジンを系外に排出し、素子の
放出後のマガジンが空であることを検知した場合そのマ
ガジンを一時ストックし、前記放出された素子を測定す
ると共に測定結果に基づいてＮ個の種類に分類し、該分
類された素子を、傾斜して並列配置されたＮ本のマガジ
ンに対応する位置に位置決めし、該位置決めされた素子
に対応する前記マガジンが素子を収納可能な場合、前記
位置決めされた素子をマガジン内に収納して素子をＮ個
の種類毎に選別し、前記位置決めされた素子に対応する
前記マガジンが収納された素子で満杯の場合、前記位置
決めされた素子を待機させ、収納された素子で満杯とな
ったマガジンを前記ストック中の空マガジンと交換する
と共に、交換された前記満杯マガジンをその直上に待機
する取出し用カセットに収容することを特徴とする。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention stores magazines for storing semiconductor elements in a supply cassette vertically, and takes out the magazines one by one from below the cassette. , the device is ejected from the removed magazine, and if it is detected that the device remains in the magazine after ejection, the magazine is ejected from the system, and the magazine is detected to be empty after the device has been ejected. In this case, the magazine is temporarily stocked, the ejected elements are measured and classified into N types based on the measurement results, and the classified elements are corresponded to N magazines arranged in parallel at an angle. If the magazine corresponding to the positioned element can store an element, the positioned element is stored in the magazine, the elements are sorted into N types, and the element is sorted into N types. If the magazine corresponding to the stored element is full of stored elements, the positioned element is placed on standby, the magazine filled with stored elements is replaced with an empty magazine in the stock, and the replaced The full magazine is housed in a take-out cassette waiting directly above the full magazine.

【０００７】[0007]

【作用】本発明によれば、マガジンを縦積みに収容した
供給用カセットの下方からマガジンを１本づつ取出して
、そのマガジンから半導体素子を放出する。そして素子
が放出されて空になったマガジンは所定位置にストック
される。また、マガジンから放出された素子は測定され
、その結果に基づいてＮ個の種類に分類される。分類さ
れた素子は、所定の位置のＮ本のマガジンに対応する位
置に位置決めされる。According to the present invention, magazines are taken out one by one from below a supply cassette in which magazines are stored vertically, and semiconductor elements are discharged from the magazines. The magazine, which has become empty after the elements have been ejected, is then stocked at a predetermined position. Furthermore, the elements released from the magazine are measured and classified into N types based on the results. The classified elements are positioned at positions corresponding to the N magazines at predetermined positions.

【０００８】そして、位置決めされた素子に対応するマ
ガジンが収納された素子で満杯の場合、位置決めされた
素子を待機させ、一方、位置決めされた素子に対応する
マガジンが素子を収納可能な場合、位置決めされた素子
はマガジン内に収納される。収納された素子で満杯とな
ったマガジンは、所定位置にストックされている空のマ
ガジンと交換されると共にマガジンの直上に待機する取
出し用カセットに収容される。[0008] If the magazine corresponding to the positioned element is full of stored elements, the positioned element is placed on standby; on the other hand, if the magazine corresponding to the positioned element can accommodate elements, the positioned element is placed on standby. The processed elements are stored in a magazine. A magazine full of stored elements is replaced with an empty magazine stocked at a predetermined position, and is stored in a take-out cassette waiting directly above the magazine.

【０００９】このように、マガジンを縦積みの状態にカ
セット内に収容することができ、更に、カセットは最初
の供給と最後の取出し位置で使用されるだけで装置内を
移動しない。[0009] In this way, the magazines can be accommodated in the cassette in a vertically stacked manner, and furthermore, the cassette is only used in the initial supply and final removal positions and does not move within the device.

【００１０】0010

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る半導体素
子の選別方法について詳説する。図１は本発明において
使用するカセットであって、素子１を多数個収納する棒
状のマガジン２はカセット３の下から上に押し込まれ、
かつ両側に設けられた爪４によって保持され、爪４を開
くことによって下から取出すことができるものを使用す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for selecting semiconductor devices according to the present invention will be explained in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a cassette used in the present invention, in which a rod-shaped magazine 2 that stores a large number of elements 1 is pushed upward from the bottom of the cassette 3.
It is held by claws 4 provided on both sides and can be taken out from below by opening the claws 4.

【００１１】次に図２、図３によって本発明に係る半導
体素子の選別方法に使用する選別装置の全体の構成を説
明する。これから選定選別される素子を満杯に収納した
マガジン２を縦積みに入れた上記のカセット３をＡのカ
セット供給位置にセットする。そしてその下はマガジン
取出位置Ｂであって、カセット３からマガジン２を１本
づつ取出して図の左方向に搬送する。送られたマガジン
はＣのマガジン傾斜位置において素子の送り出し口を下
にして傾斜されて、収納されている素子を１個づつ滑落
させる。そして素子を送り出し終わったマガジンは、こ
の位置で素子が残存しているか否かの検査を受ける。そ
して素子の残存が検出された場合には振動を与えるとか
空気噴射を行う等の処置によって素子送り出しの援助を
所定回数行う。次にマガジンは水平位置に戻されて、も
し先の素子送り出しの援助にもかかわらずマガジンに素
子が残存していた場合には、Ｄ位置においてそのマガジ
ンのみを系外に排出する。そして完全に空であると確認
されたマガジンだけが降下位置Ｅにおいて下降し、Ｆ位
置のマガジン待機位置に入ってストックされる。Next, the overall structure of a sorting apparatus used in the semiconductor element sorting method according to the present invention will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. The above-mentioned cassette 3 containing vertically stacked magazines 2 full of elements to be selected and sorted is set at the cassette supply position A. Below that is a magazine take-out position B, where the magazines 2 are taken out one by one from the cassette 3 and transported to the left in the figure. The fed magazine is tilted at the magazine tilted position C with the element delivery port facing down, and the stored elements are slid down one by one. After sending out the elements, the magazine is inspected at this position to see if any elements remain. If it is detected that an element remains, assistance in sending out the element is performed a predetermined number of times by applying vibrations or blowing air. Next, the magazine is returned to the horizontal position, and if elements remain in the magazine despite the previous element feeding assistance, only that magazine is ejected from the system at position D. Then, only the magazines that are confirmed to be completely empty are lowered at the lowering position E, enter the magazine standby position at the F position, and are stocked.

【００１２】一方Ｃのマガジン傾斜位置より送り出され
た素子は従来装置と同様に、１個送り機構を通って測定
位置Ｇに入り、電気的性能の測定・判定が行われ、その
素子の選別分類ａ、ｂ、ｃ、ｄ…が決定され記憶される
。素子はシュートを通りＨ位置において方向変換機構に
より図の右方向の傾斜シュートを通り、選別位置Ｉに入
る。ここでは搬送ベルト上に素子の保持装置を設け、こ
れによって素子を受け取る。そして、ベルトを指定され
ただけ移動させて素子を指定分類位置ａ、ｂ、ｃ、ｄ…
に対応する位置に位置決めし、各々の分類位置ａ、ｂ、
ｃ、ｄ…に放出する。すなわちａに分類されたとすれば
、保持装置はａの収容位置において停止して素子を放出
する。なお選別装置Ｉの次には素子の待機位置Ｊ、素子
分類収容位置Ｋを設けて、Ｎ本のマガジンとそれの導入
部の待機部とが傾斜した一平面上に等間隔に配列される
。ここで素子の待機位置Ｊにおいては、通常は素子が通
過するだけであるが、収容位置Ｋのマガジンの１本が満
杯となり、そのマガジンの交換が行われる間、素子の待
機機構は通路の末端を一時閉じて、送られてくる素子を
一時ストックして選別作業の続行に支障をきたさないよ
うにする。On the other hand, the elements sent out from the magazine tilted position C pass through the single-piece feeding mechanism and enter the measurement position G, where the electrical performance is measured and judged, and the elements are sorted and classified. a, b, c, d... are determined and stored. The element passes through the chute and at position H, passes through the inclined chute to the right in the figure by the direction changing mechanism and enters the sorting position I. Here, an element holding device is provided on the conveyor belt to receive the elements. Then, the belt is moved by the specified amount to move the elements to the specified classification positions a, b, c, d...
, and each classification position a, b,
c, d... That is, if the element is classified as a, the holding device stops at the housing position of a and releases the element. Further, next to the sorting device I, an element standby position J and an element classification storage position K are provided, and N magazines and a waiting part of their introduction part are arranged at equal intervals on one inclined plane. At the element standby position J, normally the elements just pass through, but one of the magazines at the storage position K becomes full, and while that magazine is replaced, the element standby mechanism is operated at the end of the path. is temporarily closed and the incoming elements are temporarily stocked so that they do not interfere with the continuation of the sorting work.

【００１３】図３において、前述のマガジン待機位置Ｆ
に入った空マガジンは、後述するマガジン交換機構によ
って素子分類収容位置Ｋにあるマガジンのうち満杯とな
ったものの位置に運ばれて交換され、満杯マガジンは交
換機構によって押し上げられ、マガジン収容位置Ｌにあ
るカセット３内に下から押し込まれる。すなわち、いま
Ｋ位置においてｄに分類された素子を収納するｄ分類マ
ガジンが満杯になったとすると、空マガジンは交換機構
によってｄマガジンの下に移され、その位置にセットさ
れ、満杯マガジンはその上Ｌに待機するｄマガジンを収
容するカセット３に下から押し込まれる。In FIG. 3, the above-mentioned magazine standby position F
The loaded empty magazine is carried by a magazine exchange mechanism (described later) to a full magazine in the element classification housing position K and replaced, and the full magazine is pushed up by the exchange mechanism and moved to the magazine housing position L. It is pushed into a certain cassette 3 from below. In other words, if the d classification magazine that stores elements classified as d is now full at position K, the empty magazine is moved under the d magazine by the exchange mechanism and set at that position, and the full magazine is placed above it. It is pushed from below into the cassette 3 that accommodates the d magazine waiting in the L position.

【００１４】以上の構成において、最初にマガジンの待
機位置Ｆに予備マガジンを入れ、素子分類収容位置Ｋに
マガジンをＮ本装着して、Ａ位置にカセット３を供給す
ると供給カセット中のマガジンは次々と送り出され、空
マガジンとなったものは満杯マガジンの後に補充されて
バランスよく連続無人運転が可能となり、カセットの供
給、搬出のみを行えばよい。なお素子の待機機構が設け
られているので、満杯マガジンの交換、カセット内への
収容に関係なく素子の検査、選別の操作が続行される。In the above configuration, first a spare magazine is placed in the magazine standby position F, N magazines are installed in the element classification storage position K, and when the cassette 3 is fed to the A position, the magazines in the supplied cassette are loaded one after another. Empty magazines are replenished after full magazines, enabling well-balanced continuous unmanned operation, and all that is required is supplying and unloading cassettes. Since an element standby mechanism is provided, the operation of inspecting and sorting elements can be continued regardless of whether a full magazine is replaced or stored in a cassette.

【００１５】以下に本発明に係る半導体素子の選別方法
に使用する選別装置の各位置に設けられた機構について
説明する。図４にカセットの両側面に設けられる爪の構
造の一例を示す。ここでは爪４の下方に傾斜面６を設け
、下からレバー７が傾斜面６を押し付けることによって
爪４はスプリング８を圧縮して時計方向に旋回し最下段
のマガジン２を下方に落とすように構成されている。 図５はカセット供給位置Ａ及びマガジン取出位置Ｂにお
けるマガジンの取出機構の一例を示すもので、マガジン
２を縦１列に収容しているカセット３は案内９によって
所定位置にセットされる。尚、このカセット３には両側
面下部に爪４が取付けられる。ここで図の下のマガジン
取出機構は左右対称であるので、左側について説明する
。レバー７は旋回して爪４の傾斜面６に入って、当たっ
て爪４を左の方に押し開きカセットの下方を開放する。 このときマガジン受け１２は上昇してマガジン２を下か
ら支えている。ついで第２の爪１０が下から２番目のマ
ガジンに入って、２番目以上のマガジンを支えて、受け
１２上には１本のマガジン２が置かれる。受け１２の下
にはチェーン１４が設けられ、チェーンには突出部１５
が設けられている。チェーン１４はチェーンホイール１
３にかけられて、指令によってホイールは回転する。受
け１２はマガジン２を受け取ると下降し、マガジン２は
突出部１５上に置かれ、チェーン１４によって紙面に直
角方向に搬送される。なおマガジンの取出し搬送はＣ位
置における傾斜マガジンが空になって、傾斜台が水平に
復帰した時点において行われる。The mechanisms provided at each position of the sorting device used in the semiconductor device sorting method according to the present invention will be explained below. FIG. 4 shows an example of the structure of the claws provided on both sides of the cassette. Here, an inclined surface 6 is provided below the claw 4, and when a lever 7 presses the inclined surface 6 from below, the claw 4 compresses a spring 8 and rotates clockwise to drop the lowest magazine 2 downward. It is configured. FIG. 5 shows an example of a magazine ejection mechanism at the cassette supply position A and the magazine ejection position B. The cassettes 3 containing the magazines 2 in a vertical row are set at a predetermined position by the guides 9. Note that claws 4 are attached to the lower portions of both sides of the cassette 3. Here, since the magazine ejecting mechanism at the bottom of the figure is symmetrical, the left side will be explained. The lever 7 pivots and enters the inclined surface 6 of the pawl 4 and abuts it to push the pawl 4 to the left and open the lower part of the cassette. At this time, the magazine receiver 12 rises to support the magazine 2 from below. Next, the second claw 10 enters the second magazine from the bottom and supports the second or more magazines, and one magazine 2 is placed on the receiver 12. A chain 14 is provided below the receiver 12, and the chain has a protrusion 15.
is provided. Chain 14 is chain wheel 1
3, the command causes the wheel to rotate. When the receiver 12 receives the magazine 2, it is lowered, the magazine 2 is placed on the protrusion 15, and the magazine 2 is conveyed by the chain 14 in a direction perpendicular to the plane of the paper. Note that the magazine is taken out and conveyed when the inclined magazine at position C becomes empty and the inclined table returns to the horizontal position.

【００１６】傾斜台に送り込まれたマガジンは出口を閉
鎖して傾斜され、測定位置Ｇへのシュートとの連結が完
了したところで出口を開き、従来の自動検査装置と同様
の測定部Ｇへの１個送り機構を経て素子が送り出される
。そして送り出しが完了したとき、マガジンに残留する
素子があるか否かを検査するが、これには光線をマガジ
ンに通す方法、フィーラーを挿入する方法等が用いられ
る。そしてもし残存素子があることが判明すれば素子の
送り出しを助けるためにマガジンの振動、加圧空気の噴
射を行い、更にその後に再び残存検出を行う。ここで残
存ありと判断されたマガジンは次の素子残存マガジン処
理位置Ｄにおいてトラップを開いて、そのマガジンのみ
を系外に排出する。これは本発明においては素子の供給
に使用されたマガジンがそのまま分類別素子収納用とし
て転用されるためである。The magazine fed into the tilt table is tilted with the outlet closed, and when the connection with the chute to the measuring position G is completed, the outlet is opened and the magazine is tilted to the measuring part G similar to the conventional automatic inspection device. The elements are sent out through an individual feeding mechanism. When the feeding is completed, it is inspected to see if there are any elements remaining in the magazine. For this purpose, a method of passing a light beam through the magazine, a method of inserting a feeler, etc. are used. If it is found that there are any remaining elements, the magazine is vibrated and pressurized air is injected to help send out the elements, and then the remaining elements are detected again. Here, for the magazine determined to be left, the trap is opened at the next element-remaining magazine processing position D, and only that magazine is discharged from the system. This is because, in the present invention, the magazine used for supplying elements is used as is for storing elements by classification.

【００１７】次に素子の選別に際しては、Ｊ位置に素子
の待機機構を設けるが、これはその下流末端にストッパ
ーを設けたシュートであって、その下のマガジンが満杯
になると、そのマガジンが空マガジンと交換される間、
その系列の待機機構のストッパーを作動させて、選別さ
れてくる素子を一時ストックし、マガジンの交換が完了
したときストッパーを開いて、待機機構Ｊに一時ストッ
クされた素子をマガジンに送り込む。Next, when sorting elements, an element waiting mechanism is provided at position J. This is a chute with a stopper at its downstream end, and when the magazine below becomes full, the magazine is empty. While being replaced with a magazine,
The stopper of the standby mechanism of that series is operated to temporarily stock the elements to be sorted, and when the magazine exchange is completed, the stopper is opened and the elements temporarily stocked in the standby mechanism J are sent into the magazine.

【００１８】次にマガジン交換機構について説明する。 図３において、分類収容のマガジンｄが満杯になったと
すると、マガジン交換機構はマガジン待機位置Ｆから空
マガジン１本を受け取って、Ｋ位置のマガジンｄの直下
にきて満杯のマガジンｄを旋回して押し上げると共に、
ここに新マガジンを装填し、更にマガジンｄを押し上げ
てカセットｄの中に下からこれを押し込み、マガジン交
換機構は復帰する。Next, the magazine exchange mechanism will be explained. In Fig. 3, when magazine d for classification storage is full, the magazine exchange mechanism receives one empty magazine from magazine standby position F, comes directly under magazine d at position K, and rotates the full magazine d. and push it up,
A new magazine is loaded here, and the magazine d is further pushed up and pushed into the cassette d from below, and the magazine exchange mechanism returns to normal.

【００１９】図６にマガジン交換機構の一例を示す。マ
ガジン交換機構２０はＫ位置の素子分類収容マガジン列
と同じ傾斜角度を有する二つのレール２３、２４上を移
動台２５によって指令に従って紙面と直角方向に移動す
る。そして移動台２５に設けられたエアシリンダ２６に
より、台２５に平行に、かつ直角方向に移動する中間板
２７を設け、この中間板２７の上にマガジン受け２８、
２９を取付ける。中間板２７の図の右側には支点３１を
設け、これに旋回板３２を取付け、その中間に長孔を設
けて、これに軸３３を入れる。軸３３を先端に有するロ
ッドはエアシリンダ３４によって移動し、旋回板３２を
支点３１を中心として時計方向に旋回させる。旋回板３
２の左端にはマガジン受け３５を上向きに設けると共に
、中間板２７の右端にマガジン受け３６を設けて、この
二つのマガジン受け３５、３６の上面で後述するように
満杯となった収容マガジン２１を旋回させて、カセット
３内に押し込むように構成されている。尚、Ｋ位置にあ
る収容マガジン２１には各個にマガジンクランパ２２が
設けられ、かつマガジンの移動の案内をするガイド板３
７及び３８を設ける。FIG. 6 shows an example of a magazine exchange mechanism. The magazine exchange mechanism 20 is moved on two rails 23 and 24 having the same inclination angle as the column of element classification storage magazines at the K position by a moving table 25 in a direction perpendicular to the plane of the paper according to a command. An intermediate plate 27 is provided which moves parallel to the table 25 and perpendicularly by an air cylinder 26 provided on the moving table 25, and on top of this intermediate plate 27, a magazine receiver 28,
Install 29. A fulcrum 31 is provided on the right side of the intermediate plate 27 in the figure, a pivot plate 32 is attached to this, and a long hole is provided in the middle, into which a shaft 33 is inserted. A rod having a shaft 33 at its tip is moved by an air cylinder 34 to rotate the rotating plate 32 clockwise about the fulcrum 31. Rotating plate 3
A magazine receiver 35 is provided facing upward on the left end of the intermediate plate 27, and a magazine receiver 36 is provided on the right end of the intermediate plate 27, so that the full storage magazine 21 can be placed on the upper surface of these two magazine receivers 35 and 36, as will be described later. It is configured to be rotated and pushed into the cassette 3. Incidentally, each storage magazine 21 at the K position is provided with a magazine clamper 22, and a guide plate 3 for guiding the movement of the magazine.
7 and 38 are provided.

【００２０】このような構造において素子分類収容位置
Ｋにセットされているマガジン２１が測定選別された素
子によって満杯となると、空マガジン３０をマガジン受
け２８、２９上に保持してマガジン待機位置Ｆで待機し
ているマガジン交換機構２０がレール２３、２４上を移
動してきて、図６に示すようにマガジン受け３５、３６
が満杯マガジン２１に接した状態で停止する。次いでマ
ガジンクランパ２２が満杯マガジン２１のクランプを解
除すると、同時にエアシリンダ３４が作動して旋回板３
２が支点３１を中心に時計方向に旋回し、マガジン受け
３５は一点鎖線で示す３５′の位置へ旋回移動して停止
する。この時満杯マガジン２１はマガジン受け３５、３
６上に支持されているためガイド板３７、３８に案内さ
れながら旋回移動して一点鎖線で示す２１′の位置で停
止する。次いでエアシリンダ２６が作動して中間板２７
を押し上げると３５′で示す位置に停止していたマガジ
ン受けは３５″の位置へ、支点は３１′の位置へ、マガ
ジン受け３６は３６′の位置へ押し上げられ、従って満
杯マガジン２１′はカセット３の両側面の２つの爪４を
押し広げて２１″に示すようにカセット３の下部から収
容される。In such a structure, when the magazine 21 set at the element classification storage position K becomes full with the measured and sorted elements, the empty magazine 30 is held on the magazine receivers 28 and 29 and moved to the magazine standby position F. The waiting magazine exchange mechanism 20 moves on the rails 23 and 24, and as shown in FIG.
stops in contact with the full magazine 21. Next, when the magazine clamper 22 releases the clamp on the full magazine 21, the air cylinder 34 is activated and the rotating plate 3
2 pivots clockwise around the fulcrum 31, and the magazine receiver 35 pivots to a position 35' shown by a dashed line and stops. At this time, the full magazine 21 is the magazine receiver 35, 3
6, it rotates while being guided by guide plates 37 and 38 and stops at a position 21' shown by a dashed line. Then, the air cylinder 26 is activated to release the intermediate plate 27.
When the magazine receiver 36 is pushed up, the magazine receiver 36, which had been stopped at the position 35', moves to the 35" position, the fulcrum moves to the 31' position, and the magazine receiver 36 moves up to the 36' position. Therefore, the full magazine 21' is moved to the cassette 3 The two claws 4 on both sides of the cassette 3 are pushed apart to accommodate the cassette 3 from the bottom as shown at 21''.

【００２１】一方、空マガジン３０は先のエアシリンダ
２６の作動により、同時に素子分類収容位置Ｋまで押し
上げられて停止し、マガジンクランパ２２によってクラ
ンプされて新たな測定選別された素子を収納できる状態
にセットされる。このようにして満杯マガジン２１はカ
セット３内に収容され、空マガジン３０が素子分類収容
位置Ｋにセットされた後、マガジン交換機構２０は下降
してレール２３、２４上を移動してマガジン待機位置Ｆ
に戻って新たな空マガジンを保持して待機する。尚、先
の説明において旋回板３２の二つの受け３５、３６は下
方復帰の際、Ｋ位置においてセットされたマガジンに接
触しないための逃げ機構が設けられている。On the other hand, the empty magazine 30 is simultaneously pushed up to the element classification storage position K by the previous operation of the air cylinder 26 and stopped, and is clamped by the magazine clamper 22 so that it can store newly measured and sorted elements. Set. In this way, the full magazine 21 is accommodated in the cassette 3, and after the empty magazine 30 is set at the element classification accommodation position K, the magazine exchange mechanism 20 descends and moves on the rails 23 and 24 to the magazine standby position. F
Return to the machine and wait with a new empty magazine. In the above description, the two receivers 35 and 36 of the rotating plate 32 are provided with an escape mechanism to prevent them from coming into contact with the magazine set at the K position when returning downward.

【００２２】尚、上記説明においては素子並びにマガジ
ンの搬送、移動機構、指令機構等公知のものは説明が複
雑となるので省略したが、本発明の素子、マガジンの流
れを確実に行う方法であれば、そのいずれをも採用する
ことができる。また上記説明においては供給カセットを
水平に入れ、これよりマガジンを１本取出して後傾斜さ
せて、素子を送り出すものについて述べたが、供給する
カセットを最初から傾斜させて装填し、これを傾斜状態
において素子の出口を閉鎖した状態でマガジン１本を取
り出し、素子送り出し位置において開口して送り出し、
次の工程に移すことも可能である。[0022] In the above explanation, known mechanisms such as conveyance, movement mechanisms, command mechanisms, etc. for elements and magazines have been omitted because they would complicate the explanation, but the method of ensuring the flow of elements and magazines of the present invention may be used. If so, any of them can be adopted. In addition, in the above explanation, the supply cassette is placed horizontally, one magazine is taken out from the magazine, and the magazine is tilted back to send out the elements. , take out one magazine with the element outlet closed, open it at the element delivery position, and send it out.
It is also possible to move on to the next step.

【００２３】[0023]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る半導体
素子の選別方法によれば、半導体素子の選別装置の全体
を小さくかつ連続高速運転を可能としたものであって、
そのため装置内を移動するのはマガジンだけとし、カセ
ットは最初の供給と最後の取出しに使用する。そしてマ
ガジンを縦積みの状態にカセット内に収容することによ
って立体的にコンパクトに構成することができる。As explained above, according to the semiconductor device sorting method according to the present invention, the entire semiconductor device sorting device can be made small and can be operated continuously at high speed.
Therefore, only the magazine moves within the device, and the cassette is used for initial supply and final removal. By accommodating the magazines vertically in the cassette, a three-dimensionally compact structure can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図１】図１は本発明が取扱う半導体素子、マガジン及
びカセットの説明図[Fig. 1] Fig. 1 is an explanatory diagram of semiconductor elements, magazines, and cassettes handled by the present invention.

【図２】図２は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置の構成を示す説明図[FIG. 2] FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of an apparatus for carrying out the semiconductor element sorting method of the present invention.

【図３】図３は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置の構成を示す説明図[FIG. 3] FIG. 3 is an explanatory diagram showing the configuration of an apparatus for carrying out the semiconductor element sorting method of the present invention.

【図４】図４は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置のカセット下部の断面図FIG. 4 is a cross-sectional view of the lower part of a cassette of an apparatus for carrying out the semiconductor device sorting method of the present invention.

【図５】図５は本発明の半導体素子の選別方法を実施す
る装置のマガジン取出し搬送機構の側面図[Fig. 5] Fig. 5 is a side view of a magazine ejecting and conveying mechanism of an apparatus implementing the semiconductor device sorting method of the present invention.

【図６】図６
は本発明の半導体素子の選別方法を実施する装置のマガ
ジン交換機構の側面図[Figure 6] Figure 6
is a side view of a magazine exchange mechanism of an apparatus for carrying out the semiconductor element sorting method of the present invention;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…半導体素子 ２…マガジン ３…カセット 1...Semiconductor element 2...Magazine 3...Cassette

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】　　供給用カセットに半導体素子を収納す
るマガジンを縦積みに収容し、前記カセットの下方より
前記マガジンを１本づつ取出し、取出されたマガジンか
ら素子を放出し、放出後のマガジンに素子が残存してい
ることを検知した場合そのマガジンを系外に排出し、素
子の放出後のマガジンが空であることを検知した場合そ
のマガジンを一時ストックし、前記放出された素子を測
定すると共に測定結果に基づいてＮ個の種類に分類し、
該分類された素子を、傾斜して並列配置されたＮ本のマ
ガジンに対応する位置に位置決めし、該位置決めされた
素子に対応する前記マガジンが素子を収納可能な場合、
前記位置決めされた素子をマガジン内に収納して素子を
Ｎ個の種類毎に選別し、前記位置決めされた素子に対応
する前記マガジンが収納された素子で満杯の場合、前記
位置決めされた素子を待機させ、収納された素子で満杯
となったマガジンを前記ストック中の空マガジンと交換
すると共に、交換された前記満杯マガジンをその直上に
待機する取出し用カセットに収容することを特徴とする
半導体素子の選別方法。Claim 1: A supply cassette stores magazines for storing semiconductor devices vertically, the magazines are taken out one by one from below the cassette, the devices are ejected from the taken out magazines, and the devices are placed in the magazines after being ejected. If it is detected that an element remains, the magazine is ejected from the system, and if it is detected that the magazine is empty after the element has been released, the magazine is temporarily stocked and the ejected element is measured. and classified into N types based on the measurement results,
When the classified elements are positioned at positions corresponding to N magazines arranged in parallel at an angle, and the magazines corresponding to the positioned elements are capable of storing elements,
The positioned elements are stored in a magazine, the elements are sorted into N types, and if the magazine corresponding to the positioned element is full of stored elements, the positioned element is placed on standby. and replacing the magazine full of stored devices with an empty magazine in the stock, and storing the replaced full magazine in a take-out cassette waiting directly above it. Sorting method.