JPH04350167A - 高誘電体薄膜の製造方法 - Google Patents
高誘電体薄膜の製造方法Info
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-
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- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
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- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,半導体素子中に含まれ
るコンデンサの容量を増加させる目的で用いられる高誘
電体の酸化タンタル(Ta2O5) 膜の形成方法に関
する。
るコンデンサの容量を増加させる目的で用いられる高誘
電体の酸化タンタル(Ta2O5) 膜の形成方法に関
する。
【0002】近年の半導体素子においては,大容量,
高速化, 高密度化に伴い, コンデンサも微細化が図
られ, それに応じた高誘電体膜の開発が必要となって
いる。
高速化, 高密度化に伴い, コンデンサも微細化が図
られ, それに応じた高誘電体膜の開発が必要となって
いる。
【0003】
【従来の技術】半導体素子中に含まれるコンデンサの誘
電体膜としての Ta2O5膜の形成方法としては,
従来, プラズマCVD法,MOCVD法,スパッタ法
などが用いられてきたが,いずれの方法を用いても,T
a2O5 の膜質は要求性能を満たすものとはなってい
ない。
電体膜としての Ta2O5膜の形成方法としては,
従来, プラズマCVD法,MOCVD法,スパッタ法
などが用いられてきたが,いずれの方法を用いても,T
a2O5 の膜質は要求性能を満たすものとはなってい
ない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】即ち,プラズマCVD
法では,膜中の酸素欠損が多いためにリーク電流が多く
,MOCVD法では,酸素欠損が多い上に,表面平坦度
(モフォロジー)が悪いという問題がある。
法では,膜中の酸素欠損が多いためにリーク電流が多く
,MOCVD法では,酸素欠損が多い上に,表面平坦度
(モフォロジー)が悪いという問題がある。
【0005】また,スパッタ法では,ターゲットの変質
により膜質の再現性が悪く,しかもステップカヴァレー
ジも悪い。本発明は,以上の点を鑑み, 酸素欠損によ
るリーク電流が少なく,カヴァレージとモフォロジーが
良く,成膜の際に,下地に既に形成されているデバイス
特性を損なわない Ta2O5膜の形成方法を確立する
ことを目的として提供されるものである。
により膜質の再現性が悪く,しかもステップカヴァレー
ジも悪い。本発明は,以上の点を鑑み, 酸素欠損によ
るリーク電流が少なく,カヴァレージとモフォロジーが
良く,成膜の際に,下地に既に形成されているデバイス
特性を損なわない Ta2O5膜の形成方法を確立する
ことを目的として提供されるものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】図1は本発明に用いたE
CRプラズマCVD装置の模式構成図である。図におい
て,1はマイクロ波発生管,2は導波管,3はマグネッ
ト,4は窓,5はチャンバ,6はアパーチャ,7は基板
,8はヒータ,9は熱電対,10は圧力計, 11はゲ
ートバルブ, 12はターボ分子ポンプ, 13はドラ
イポンプ, 14は恒温槽, 15はバブラー, 16
は流量計, 17はバルブである。
CRプラズマCVD装置の模式構成図である。図におい
て,1はマイクロ波発生管,2は導波管,3はマグネッ
ト,4は窓,5はチャンバ,6はアパーチャ,7は基板
,8はヒータ,9は熱電対,10は圧力計, 11はゲ
ートバルブ, 12はターボ分子ポンプ, 13はドラ
イポンプ, 14は恒温槽, 15はバブラー, 16
は流量計, 17はバルブである。
【0007】ECRプラズマCVD法を用い, Ta2
O5成膜時の基板温度を400 〜850 ℃とするこ
とにより,膜中の酸素欠陥が少なく,カヴァレージとモ
フォロジーが良く,しかも,下地基板のデバイスの特性
を悪化させることなく, Ta2O5膜を形成すること
が可能となる。
O5成膜時の基板温度を400 〜850 ℃とするこ
とにより,膜中の酸素欠陥が少なく,カヴァレージとモ
フォロジーが良く,しかも,下地基板のデバイスの特性
を悪化させることなく, Ta2O5膜を形成すること
が可能となる。
【0008】即ち, 本発明の目的は, ECRプラズ
マCVD法を用いて, Ta2O5膜を基板上に形成す
ることにより,前記 Ta2O5膜の成膜に際し,成膜
基板の加熱温度が 400〜850 ℃であることによ
り,叉, 前記 Ta2O5膜のタンタル供給原料とし
てTa(OC2H5)5, 或いは TaCl5を用い
ることにより,更に, 前記 Ta2O5膜の成膜に際
し,酸素ガスをECRプラズマ発生室側より導入し,タ
ンタル供給原料を反応室側より導入することにより達成
される。
マCVD法を用いて, Ta2O5膜を基板上に形成す
ることにより,前記 Ta2O5膜の成膜に際し,成膜
基板の加熱温度が 400〜850 ℃であることによ
り,叉, 前記 Ta2O5膜のタンタル供給原料とし
てTa(OC2H5)5, 或いは TaCl5を用い
ることにより,更に, 前記 Ta2O5膜の成膜に際
し,酸素ガスをECRプラズマ発生室側より導入し,タ
ンタル供給原料を反応室側より導入することにより達成
される。
【0009】
【作用】ECRプラズマCVD法を用いると,非常に活
性な酸素ラジカルを効率良く発生させることができるの
で,得られた Ta2O5膜中の酸素欠陥が少なくなり
, 従って, リーク電流を減少させることができる。
性な酸素ラジカルを効率良く発生させることができるの
で,得られた Ta2O5膜中の酸素欠陥が少なくなり
, 従って, リーク電流を減少させることができる。
【0010】成膜時の基板温度が 400℃以下では,
膜の緻密性が乏しく, リーク電流が多い。また,
850 ℃以上では,モフォロジーが悪化する。
膜の緻密性が乏しく, リーク電流が多い。また,
850 ℃以上では,モフォロジーが悪化する。
【0011】
【実施例】図1は本発明に用いたECRプラズマCVD
装置の模式構成図,図2は一実施例の模式断面図である
。
装置の模式構成図,図2は一実施例の模式断面図である
。
【0012】図において,18はSi基板, 19は
Ta2O5膜, 20はW膜である。図1に示すECR
プラズマCVD装置を用いて,図2に示す Ta2O5
膜19を絶縁膜とするMOSダイオードを作製した。
Ta2O5膜, 20はW膜である。図1に示すECR
プラズマCVD装置を用いて,図2に示す Ta2O5
膜19を絶縁膜とするMOSダイオードを作製した。
【0013】先ず, Ta2O5膜の成長前に, 基板
として用いたP型10ΩcmのSi基板18の表面の自
然酸化膜を除去するために, Si基板18をヒータ8
により 600℃に加熱し, 水素(H2)ガスを導入
し, チャンバ5内の真空度5x10−3Torr,
マイクロ波発生管1より導波管2を経由し,アルミナ(
Al2O3) 製の窓4を通して,チャンバ5内にマイ
クロ波を出力500Wで導入し, ECRプラズマをS
i基板18上に照射する。
として用いたP型10ΩcmのSi基板18の表面の自
然酸化膜を除去するために, Si基板18をヒータ8
により 600℃に加熱し, 水素(H2)ガスを導入
し, チャンバ5内の真空度5x10−3Torr,
マイクロ波発生管1より導波管2を経由し,アルミナ(
Al2O3) 製の窓4を通して,チャンバ5内にマイ
クロ波を出力500Wで導入し, ECRプラズマをS
i基板18上に照射する。
【0014】その後,活性な酸素ラジカルが効率良く発
生できるように酸素(O2)ガスを流量100sccm
でECRプラズマ発生室側より導入し,また,タンタ
ル供給原料として,キャリア用H2ガス流量 100s
ccmをTa(OC2H5)5を入れたバブラー15に
通して, バブリング温度120 ℃で反応室側よりT
a(OC2H5)5を導入し,チャンバ5内の真空度5
x10−3Torr, 2.45GHz のマイクロ波
を出力500Wで発生したECRプラズマを600℃に
加熱されたSi基板18上に照射し, Ta2O5膜
19をSi基板18上に1,000 Åの厚さに成膜す
る。
生できるように酸素(O2)ガスを流量100sccm
でECRプラズマ発生室側より導入し,また,タンタ
ル供給原料として,キャリア用H2ガス流量 100s
ccmをTa(OC2H5)5を入れたバブラー15に
通して, バブリング温度120 ℃で反応室側よりT
a(OC2H5)5を導入し,チャンバ5内の真空度5
x10−3Torr, 2.45GHz のマイクロ波
を出力500Wで発生したECRプラズマを600℃に
加熱されたSi基板18上に照射し, Ta2O5膜
19をSi基板18上に1,000 Åの厚さに成膜す
る。
【0015】続いて, CVD法によりタングステン(
W)膜20を 4,000Åの厚さに積層し,パタニン
グして電極とする。作製したMOSダイオードの Ta
2O5膜19のリーク電流を, 従来技術で作製したT
a2O5膜と比較した。
W)膜20を 4,000Åの厚さに積層し,パタニン
グして電極とする。作製したMOSダイオードの Ta
2O5膜19のリーク電流を, 従来技術で作製したT
a2O5膜と比較した。
【0016】その結果,従来技術で作製した Ta2O
5膜では, 電界3MV/cmにて,リーク電流が1x
10−6A/cm2 以上であったものが, 本発明の
条件により作製した Ta2O5膜ではリーク電流が1
x10−6A/cm2 以下と大幅に改善された。
5膜では, 電界3MV/cmにて,リーク電流が1x
10−6A/cm2 以上であったものが, 本発明の
条件により作製した Ta2O5膜ではリーク電流が1
x10−6A/cm2 以下と大幅に改善された。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように, 本発明による
Ta2O5膜では,絶縁膜としてのリーク電流が大幅に
改善され,半導体素子のコンデンサの高誘電体膜として
寄与するところが大きい。
Ta2O5膜では,絶縁膜としてのリーク電流が大幅に
改善され,半導体素子のコンデンサの高誘電体膜として
寄与するところが大きい。
【図1】 本発明の一実施例に用いたECRプラズマ
CVD装置
CVD装置
【図2】 本発明の一実施例の模式断面図
1 マイクロ波発生管
2 導波管
3 マグネット
4 窓
5 チャンバ
6 アパーチャ
7 基板
8 ヒータ
9 熱電対
10 圧力計
11 ゲートバルブ
12 ターボ分子ポンプ
13 ドライポンプ
14 恒温槽
15 バブラー
16 流量計
17 バルブ
18 Si基板
19 Ta2O5 膜
20 W膜
Claims (4)
- 【請求項1】 電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学
気相成長(ECRプラズマCVD)法を用いて,酸化タ
ンタル(Ta2O5) 膜を基板上に形成することを特
徴とする高誘電体薄膜の製造方法。 - 【請求項2】 前記酸化タンタル膜の成膜に際し,成
膜基板の加熱温度が 400〜850 ℃であることを
特徴とする請求項1記載の高誘電体薄膜の製造方法。 - 【請求項3】 前記酸化タンタル膜のタンタル供給原
料としてエトキシタンタル(Ta(OC2H5)5),
或いは塩化タンタル(TaCl5) を用いることを特
徴とする請求項1記載の高誘電体薄膜の製造方法。 - 【請求項4】 前記酸化タンタル膜の成膜に際し,酸
素ガスをECRプラズマ発生室側より導入し,タンタル
供給原料を反応室側より導入することを特徴とする請求
項1記載の高誘電体薄膜の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3121529A JPH04350167A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 高誘電体薄膜の製造方法 |
US07/891,154 US5312783A (en) | 1991-05-28 | 1992-05-28 | Process for the preparation of a high dielectric thin film using ECR plasma CVD |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3121529A JPH04350167A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 高誘電体薄膜の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04350167A true JPH04350167A (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=14813492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3121529A Pending JPH04350167A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 高誘電体薄膜の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5312783A (ja) |
JP (1) | JPH04350167A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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