JPH04330961A - 現像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
において一定温度で現像処理を行うための現像処理装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、集積回路の高集積化に伴って、半
導体装置には高度のパターン精度が要求されている。こ
のような高精度のパターン精度を実現するために、レジ
スト材料、露光装置、現像処理装置等にも新たな要求が
生じている。

【０００３】以下に従来の現像処理装置について説明す
る。図２に従来の現像処理装置の概略構成を模式的に示
す。図２に示す現像処理装置は、現像液を供給する薬液
タンク１、現像液を被処理物に吐出するノズル４、ノズ
ル４に現像液を供給する薬液供給ライン７、薬液供給ラ
イン７内の現像液を一定の温度にさせる媒体を貯蔵する
恒温槽２、及び恒温槽２内の媒体の温度を一定に保持す
るための媒体温度調節装置３を有しており、恒温槽２及
び媒体温度調節装置３によって温度調節手段１１が構成
される。薬液供給ライン７には現像液の流路を開閉する
供給ライン開閉バルブ６ａが設けられている。また、薬
液タンク１には該タンク１内を常圧に開放するための圧
力開放バルブ６ｄが設けられている。

【０００４】以上のような構成を有する現像処理装置の
動作について説明する。まず、圧力開放バルブ６ｄを閉
じ、現像液の入った薬液タンク１内に窒素ガスを圧入し
、薬液タンク１内の現像液を圧送する。圧送された現像
液は薬液供給ライン７によって恒温槽２内へ導かれ、恒
温槽２内を通過する間に所定の温度に達する。所定温度
に達した現像液は、供給ライン開閉バルブ６ａを介して
ノズル４により被処理物に吐出される。ノズル４の現像
液の吐出は、供給ライン開閉バルブ６ａの開閉により停
止し、再開することができる。

【０００５】図３に従来の現像処理装置の他の例をに示
す。図３に示す現像処理装置は図２の現像処理装置とは
異なり、温度調節装置３からの媒体を循環させる媒体ラ
イン８が薬液タンク１内に設けられ、恒温槽２は設けら
れていない。それ以外の構成は図２と同様であり、対応
する部分には同じ符号が付されている。

【０００６】図３の現像処理装置の動作について説明す
る。この現像処理装置においては、媒体温度調整装置３
によって一定温度に設定された媒体を循環させる媒体循
環ライン８により、現像液が所定の温度に保たれる。即
ち、薬液タンク１内の現像液の全体が所定温度に保持さ
れる。所定温度に保持されている薬液タンク１内の現像
液は、図２の場合と同様に、圧入された窒素ガスによっ
て圧送され、薬液供給ライン７を経てノズル４より被処
理物に吐出される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図２及び図３に示す従
来の構成によれば、ノズル４からの現像液の吐出が連続
的に行われている場合には、一定温度の現像液をノズル
４に供給することができる。しかし、供給ライン開閉バ
ルブ６ａを閉じて現像液の吐出を停止すると、図２の場
合には恒温槽２からノズル４までの間の薬液供給ライン
７内に、図３の場合には薬液タンク１からノズル４まで
の間の薬液供給ライン７内に、現像液が滞留することに
なる。現像液の温度と雰囲気の温度との間に差がある場
合、滞留している現像液は雰囲気の温度の影響を受け、
所定温度からずれてしまうことになる。次にノズル４か
らの現像液の吐出を再開すると、再開から一定時間内に
おいては、所定温度の現像液が供給されない。このため
、従来の現像処理装置では、現像液の温度と雰囲気の温
度との間に差がある場合には、滞留していた現像液は、
所定温度ではなくなっているために無駄にせざるを得な
いという問題点を有している。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、本発明の目的は、現像液の温度と雰囲気の温度との
間に差がある場合にも、薬液吐出手段に供給される現像
液の温度を常に一定に保つことができ、しかも現像液を
無駄なく使用することができる現像処理装置を提供する
ことである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の現像処理装置は、薬液吐出手段からの薬液
の吐出を停止する場合にも、温度調節手段によって所定
温度に設定された薬液の流通を停止させることなく、薬
液吐出手段の上流側つまり薬液供給路の下流端部から薬
液還流手段によって薬液タンクへ薬液を還流させる構成
とするものである。

【００１０】具体的に本発明が講じた手段は、薬液を収
納する薬液タンクと、薬液を被処理物に吐出する薬液吐
出手段と、前記薬液タンクから前記薬液吐出手段へ薬液
を供給する薬液供給路と、該薬液供給路を流通して前記
薬液吐出手段へ供給される薬液の温度を調節する温度調
節手段とを有する現像処理装置を前提とし、前記薬液吐
出手段が薬液の吐出を停止しているときに、前記薬液供
給路の下流端部の薬液を前記薬液タンクへ還流せしめる
薬液還流手段を備えた構成とするものである。

【００１１】

【作用】本発明の構成により、薬液吐出手段が薬液の吐
出を停止しているときに、薬液供給路の下流端部の薬液
を薬液タンクへ還流せしめる薬液還流手段を備えている
ため、薬液の吐出停止時においても薬液供給路の下流端
部での薬液の滞留はなくなり、薬液供給路の下流端部に
は所定温度の薬液が常に供給される。従って、次に薬液
吐出手段からの薬液の吐出が再開されると、直ちに所定
温度の薬液が供給される。

【００１２】また、薬液吐出手段が薬液の吐出を停止し
ている間に薬液供給ライン内を流通する薬液は、薬液還
流手段によって再び薬液タンクに戻されることにより再
使用される。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の現像処理装置の一実施例につ
いて、図１を参照しながら説明する。

【００１４】本実施例の現像処理装置は、薬液としての
現像液を収納する薬液タンク１と、現像液を被処理物に
吐出するノズル４と、現像液を薬液タンク１からノズル
４へ供給する薬液供給路としての薬液供給ライン７と、
薬液供給ライン７を流通する現像液の温度を調節する温
度調節手段１１とを備えており、この温度調節手段１１
は、媒体を貯蔵する恒温槽２と媒体の温度を調節する媒
体温度調節装置３から構成されている。薬液供給ライン
７の下流端には供給ライン開閉バルブ６ａが設けられて
おり、薬液供給ライン７における供給ライン開閉バルブ
６ａの上流側には、薬液供給ライン７下流端部の現像液
を回収タンク５へ回収せしめるための、回収路としての
回収ライン９の上流端が接続されている。回収ライン９
には該回収ライン９の流路を開閉する回収ライン開閉バ
ルブ６ｂが設けられている。

【００１５】回収タンク５と薬液タンク１との間には、
回収タンク５に回収した現像液を薬液タンク１へ還流せ
しめる還流ライン１２が設けられており、この還流ライ
ン１２には還流ライン１２を開閉する還流ライン開閉バ
ルブ６ｇが設けられている。回収タンク５及び薬液タン
ク１には、それぞれ回収タンク５及び薬液タンク１内の
圧力を常圧に開放する第１及び第２圧力開放バルブ６ｃ
及び６ｄが設けられている。また、薬液タンク１及び回
収タンク５には、上流側が窒素供給源に接続された１本
の窒素供給ラインから分岐している第１及び第２窒素供
給ライン１０ａ及び１０ｂの下流端がそれぞれ接続され
ており、第１及び第２窒素供給ラインにはそれぞれ第１
及び第２流路開閉バルブ６ｆ，６ｅが設けられている。

【００１６】以上説明したように、回収ライン開閉バル
ブ６ｂと、回収ライン９と、回収タンク５と、第１圧力
開放バルブ６ｃと、還流ライン１２と、還流ライン開閉
バルブ６ｇと、第２窒素供給ライン１０ｂとによって、
薬液還流手段が構成されている。

【００１７】以上のような構成を有する本実施例の現像
処理装置の動作について、以下に説明する。

【００１８】まず、現像液をノズル４から吐出する場合
には、供給ライン開閉バルブ６ａ及び第１圧力開放バル
ブ６ｃを開け、回収ライン開閉バルブ６ｂ、第２圧力開
放バルブ６ｄ、第２流路開閉バルブ６ｅ及び還流ライン
開閉バルブ６ｇを閉める。次に、第１流路開閉バルブ６
ｆを開け、薬液タンク１内に窒素ガスを圧入する。これ
により、薬液タンク１内の現像液は薬液供給ライン７内
をノズル４に向けて圧送される。薬液供給ライン７内を
圧送された現像液は、媒体温度調節装置３によって所定
の温度に設定されている恒温槽２を通過する間に所定の
温度に到達する。所定温度に到達した現像液は、さらに
薬液供給ライン７によってノズル４に供給され、被処理
物に吐出される。

【００１９】次に、現像液の吐出を停止する場合には、
供給ライン開閉バルブ６ａを閉じ、回収ライン開閉バル
ブ６ｂを開ける。これにより、薬液供給ライン７内を圧
送されてくる所定温度の現像液は、温度調節手段１１と
ノズル４との間に滞留することなく、ノズル４の上流側
つまり供給ライン７の下流端から回収ライン９を介して
回収タンク５に回収される。

【００２０】次に、再びノズル４からの現像液の吐出を
開始する場合には、流路開閉バルブ６ｂを閉じ、供給ラ
イン開閉バルブ６ａを開ける。これにより、ノズル４か
ら所定温度の現像液が再び吐出される。

【００２１】回収タンク５に回収された現像液は、回収
ライン開閉バルブ６ｂ、第１圧力開放バルブ６ｃ及び第
１流路開閉バルブ６ｆを閉めて、第２圧力開放バルブ６
ｄ、第２流路開閉バルブ６ｅ及び還流ライン開放バルブ
６ｇを開け、回収タンク５内の現像液を還流ライン１２
を介して薬液タンク１に圧送することにより、再使用す
ることができる。

【００２２】本実施例の現像処理装置によれば、ノズル
４による現像液の吐出を停止した場合にも、薬液供給ラ
イン７内で現像液は滞留せず、ノズル４の上流側つまり
薬液供給ライン７の下流端から回収ライン９を経て回収
タンク５に回収される。従って、ノズル４からの現像液
の吐出を吐出停止前と同じ状態で再開することができ、
現像液の設定温度と雰囲気の温度との差がある場合にも
、常に一定温度の現像液を吐出することができる。

【００２３】また、各ラインに設けられた開閉バルブ６
ａ〜６ｇの開閉を電気的に制御すれば、現像液のノズル
４からの吐出、回収タンク５への回収、回収タンク５か
ら薬液タンク１への還流を自動的に行うことができる。

【００２４】なお、本実施例においては、半導体装置の
製造装置の中でも特に現像処理装置について説明したが
、本発明をウェット式エッチング装置にも適用すること
もできる。また、半導体装置の製造装置の他にフォトマ
スク製造装置にも適用し得ることは言うまでもない。

【００２５】

【発明の効果】以上のように、本発明の現像処理装置は
、薬液吐出手段が薬液の吐出を停止しているときに、薬
液供給路の下流端部の薬液を薬液タンクへ還流せしめる
薬液還流手段を備えているので、薬液供給路の下流端部
に薬液は滞留せず、薬液吐出手段からの薬液の吐出が停
止されている間も、所定温度の薬液が薬液供給路を流通
している。薬液の吐出が再開されると直ちに一定温度の
薬液が薬液吐出手段へ供給される。

【００２６】また、本発明の現像処理装置においては、
薬液吐出手段からの薬液の吐出が停止されている間に薬
液供給路を流通している薬液は、薬液還流手段によって
焼き液タンクに還流されるので、薬液を無駄なく使用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の現像処理装置の一実施例の模式図であ
る。

【図２】従来の現像処理装置の模式図である。

【図３】従来の他の現像処理装置の模式図である。

【符号の説明】

１　　薬液タンク ２　　恒温槽 ３　　媒体温度調節装置 ４　　ノズル（薬液吐出手段） ５　　回収タンク ６ａ　　供給ライン開閉バルブ ６ｂ　　回収ライン開閉バルブ ６ｃ　　第１圧力開放バルブ ６ｄ　　第２圧力開放バルブ ６ｅ　　第２流路開閉バルブ ６ｆ　　第１流路開閉バルブ ６ｇ　　還流ライン開閉バルブ ７　　薬液供給ライン（薬液供給路） ９　　回収ライン（回収路） １０ａ　　第１窒素供給ライン １０ｂ　　第２窒素供給ライン １１　　温度調節手段 １２　　還流ライン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　薬液を収納する薬液タンクと、薬液を
   被処理物に吐出する薬液吐出手段と、前記薬液タンクか
   ら前記薬液吐出手段へ薬液を供給する薬液供給路と、該
   薬液供給路を流通して前記薬液吐出手段へ供給される薬
   液の温度を調節する温度調節手段とを有する現像処理装
   置であって、前記薬液吐出手段が薬液の吐出を停止して
   いるときに、前記薬液供給路の下流端部の薬液を前記薬
   液タンクへ還流せしめる薬液還流手段を備えたことを特
   徴とする現像処理装置。