JPH04329289A - Ceramic heater - Google Patents
Ceramic heaterInfo
- Publication number
- JPH04329289A JPH04329289A JP3100151A JP10015191A JPH04329289A JP H04329289 A JPH04329289 A JP H04329289A JP 3100151 A JP3100151 A JP 3100151A JP 10015191 A JP10015191 A JP 10015191A JP H04329289 A JPH04329289 A JP H04329289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- pattern
- heat generating
- heater
- ceramic heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 27
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 12
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】本発明は、センサ等に取り付けら
れるセラミックスヒータに関し、詳しくは、例えば内燃
機関の排ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサの加熱
用セラミックスヒータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic heater attached to a sensor or the like, and more particularly to a ceramic heater for heating an oxygen sensor that detects the oxygen concentration in exhaust gas of an internal combustion engine, for example.
【０００２】0002
【従来の技術】従来、例えば酸素センサは、内燃機関の
排気管に装着されて排ガス中の酸素濃度を検出するため
に使用されており、特に低温時に酸素センサを良好に機
能させるために、センサの素子部を加熱するセラミック
スヒータが用いられている。[Prior Art] Conventionally, oxygen sensors, for example, have been installed in the exhaust pipe of internal combustion engines and used to detect the oxygen concentration in exhaust gas. A ceramic heater is used to heat the element part of the device.
【０００３】このセラミックスヒータとしては、センサ
の形状に合わせて例えば板状や円筒形のヒータが使用さ
れている。このうち、円筒形のセラミックスヒータは、
例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）からなる円筒形のセラミ
ックス基材の表面に、発熱パターンが形成されたグリー
ンシートを積層し、一体焼成して形成されている。[0003] As the ceramic heater, for example, a plate-shaped or cylindrical heater is used depending on the shape of the sensor. Among these, cylindrical ceramic heaters are
For example, it is formed by laminating a green sheet on which a heat generating pattern is formed on the surface of a cylindrical ceramic base material made of alumina (Al2O3) and firing the same.
【０００４】0004
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の様なセ
ラミックスヒータを、高温に長期間晒される酸素センサ
の加熱用として使用した場合には、下記の問題が発生す
ることがあった。However, when such a ceramic heater as described above is used to heat an oxygen sensor that is exposed to high temperatures for a long period of time, the following problems may occur.
【０００５】つまり、酸素センサが高温に長期間晒され
ると、使用しているうちに発熱パターンが劣化してその
抵抗が増大することがあり、それによって、発熱パター
ンが断線したり、或は保護層にクラックが発生すること
があった。更に、最悪の場合には保護層が崩壊してしま
い、それによって、ヒータ寿命が低下することがあった
。この場合、外観的には陰極に近い発熱パターン付近が
黒ずみ、いわゆる黒色化現象を生じている。[0005] In other words, if an oxygen sensor is exposed to high temperatures for a long period of time, the heating pattern may deteriorate and its resistance may increase during use, which may cause the heating pattern to break or the protection to be Cracks could occur in the layer. Furthermore, in the worst case, the protective layer may collapse, thereby reducing the lifespan of the heater. In this case, the area around the heating pattern near the cathode appears to be darkened, resulting in a so-called blackening phenomenon.
【０００６】このため、ヒータの使用条件を検知し、必
要な時だけ通電することによって、ヒータの耐久寿命を
維持することが行なわれているが、その場合には、検知
手段や通電制御手段が別途必要となって装置が複雑化す
るという問題があり、また、検知手段等の故障によって
、新たな寿命低下の原因を生じることがあるので、根本
的な解決策とはなり得ないという問題があった。[0006] For this reason, the durable life of the heater is maintained by detecting the operating conditions of the heater and energizing it only when necessary. There is the problem that a separate device is required, which complicates the device.Furthermore, failure of the detection means, etc. may cause a new cause of reduced lifespan, so this problem cannot be a fundamental solution. there were.
【０００７】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れ、検知手段等の別途の手段を必要とすることなく、高
温の環境においてもヒータの寿命が長いセラミックスヒ
ータを提供することを目的とする。The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a ceramic heater that does not require additional means such as a detection means and has a long heater life even in a high-temperature environment. .
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明は、第１セラミックス層と、該第１セラミック
ス層の表面に積層された第２セラミックス層と、前記第
１及び第２セラミックス層の境界面に配置された発熱部
及び導通部からなる発熱パターンと、を備えたセラミッ
クスヒータにおいて、前記発熱パターンの発熱部の一部
に、該発熱部の線抵抗値より低い線抵抗値を有する低発
熱部を設けたことを特徴とするセラミックスヒータを要
旨とする。[Means for Solving the Problems] The present invention to achieve this object includes: a first ceramic layer; a second ceramic layer laminated on the surface of the first ceramic layer; In a ceramic heater comprising a heat generating pattern consisting of a heat generating part and a conductive part arranged at a boundary surface of layers, a part of the heat generating part of the heat generating pattern has a wire resistance value lower than a wire resistance value of the heat generating part. The gist of the present invention is a ceramic heater characterized by being provided with a low heat generation portion.
【０００９】尚、本発明のセラミックスヒータに、前記
以外の構成として、例えばセンサ素子や絶縁層等が形成
されていてもよい。前記第１及び第２セラミックス層を
形成する材料としては、Ａｌ２Ｏ３が好適であるが、特
に熱伝導特性に優れた高温強度材料とするために、Ａｌ
２Ｏ３は平均結晶粒径１０μｍ以下、相対理論密度９４
％以上であることが好ましい。[0009] The ceramic heater of the present invention may also be provided with a sensor element, an insulating layer, etc. as a structure other than the above. Al2O3 is suitable as the material for forming the first and second ceramic layers, but in order to make it a high-temperature strength material with particularly excellent thermal conductivity,
2O3 has an average grain size of 10 μm or less and a relative theoretical density of 94
% or more.
【００１０】また、前記第１セラミックス層としては、
加熱すべきセンサ形状に応じて、筒状，棒状，板状等種
々の形状に形成されたセラミックス基材、或はそのセラ
ミックス基材の表面を覆う様にグリーンシートを焼成し
て形成されたものを採用することができる。また、第２
セラミックス層としては、グリーンシートを焼成して形
成されたものを採用することができる。[0010] Furthermore, as the first ceramic layer,
Ceramic base materials formed into various shapes such as cylindrical, rod-shaped, plate-like, etc., depending on the shape of the sensor to be heated, or those formed by firing a green sheet to cover the surface of the ceramic base material. can be adopted. Also, the second
As the ceramic layer, one formed by firing a green sheet can be used.
【００１１】前記セラミックス基材は、Ａｌ２Ｏ３以外
にも、ムライトやスピネル等のアルミナ類似のセラミッ
クスなど、高温高強度セラミックスを使用しても良い。
また、グリーンシートから形成されるセラミックス層は
、発熱パターンを高温環境下において保護し、しかもセ
ラミックス基材と発熱パターンの接合性を向上させるも
のであり、少なくとも発熱パターンを包含する様に位置
させると良い。[0011] In addition to Al2O3, the ceramic base material may be a high-temperature, high-strength ceramic such as an alumina-like ceramic such as mullite or spinel. In addition, the ceramic layer formed from the green sheet protects the heating pattern in a high-temperature environment and improves the bonding property between the ceramic base material and the heating pattern. good.
【００１２】発熱パターンの材料としては、主にタング
ステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）を用い、更にこれら
の成分に、白金（Ｐｔ）やロジウム（Ｒｈ）等の高融点
金属成分を混合して用いるとよい。また、抵抗特性の向
上のために、ＰｔやＲｈを単独に用いてもよい。尚、悪
影響を与えない限りにおいて、セラミックス層と同材よ
りなる酸化物等が若干存在していてもよい。[0012] As the material for the heating pattern, tungsten (W) and molybdenum (Mo) are mainly used, and high melting point metal components such as platinum (Pt) and rhodium (Rh) are mixed with these components. Good. Furthermore, Pt or Rh may be used alone in order to improve resistance characteristics. Incidentally, a small amount of oxide or the like made of the same material as the ceramic layer may be present as long as it does not have an adverse effect.
【００１３】前記発熱パターンは、高抵抗性を有する発
熱部と、発熱部に通電を行うためのリード部及び端子部
からなる導通部とから構成されている。特に発熱部には
、発熱部の線抵抗値より例えば１／５倍程度低い線抵抗
値の低発熱部が形成されている。例えば２０℃で発熱部
の線抵抗値が０．１〜０．２Ω／ｍｍの場合には、低発
熱部の線抵抗値は０．０２〜０．０４Ω／ｍｍに設定さ
れている。この低発熱部の線抵抗値を減少させるために
、例えば低発熱部は発熱部より約５倍ほど幅が広くされ
ている。[0013] The heat generating pattern is composed of a heat generating part having high resistance and a conductive part consisting of a lead part and a terminal part for supplying electricity to the heat generating part. In particular, the heat generating portion is formed with a low heat generating portion having a linear resistance value that is, for example, about 1/5 times lower than the wire resistance value of the heat generating portion. For example, when the wire resistance value of the heat generating portion is 0.1 to 0.2 Ω/mm at 20° C., the wire resistance value of the low heat generating portion is set to 0.02 to 0.04 Ω/mm. In order to reduce the linear resistance value of this low heat generation part, the width of the low heat generation part is made about five times wider than the heat generation part, for example.
【００１４】前記セラミックスヒータの製造方法の概要
は、次の通りである。原料として、例えば主成分Ａｌ２
Ｏ３からなる粉末を湿式混合してなるものを用意する。
尚、稠密な高温高強度とするために、使用する原料粉末
としては、純度９０％以上の高純度粉末を用い、その粒
径は２μｍ以下にすると良い。The outline of the method for manufacturing the ceramic heater is as follows. As a raw material, for example, the main component Al2
A powder made of O3 is prepared by wet mixing. In order to obtain dense high-temperature and high-strength properties, it is preferable that the raw material powder used be a high-purity powder with a purity of 90% or more, and its particle size should be 2 μm or less.
【００１５】但し、焼成促進成分であるＳｉＯ２，Ｍｇ
Ｏ，ＣａＯ，Ｂ２Ｏ３は、焼成過程において酸化物、ひ
いては所定の網目構造となりえるもの、例えば水酸化物
、塩（例えば炭酸塩等）として配合していもよい。[0015] However, SiO2 and Mg, which are calcination accelerating components,
O, CaO, and B2O3 may be blended in the form of oxides, which can form a predetermined network structure during the firing process, such as hydroxides and salts (eg, carbonates).
【００１６】配合粉末の成形は、加圧成形（例えば静水
圧成形やドクターブレード成形）、或は押出成形など種
々の方法で行うことができる。尚、この成形に当り、所
定の溶剤および結合剤等を適時配合することは勿論であ
る。[0016] The blended powder can be molded by various methods such as pressure molding (eg, isostatic pressing or doctor blade molding) or extrusion molding. Incidentally, during this molding, it is of course necessary to appropriately mix a prescribed solvent, binder, etc.
【００１７】発熱パターンの形成は、メッキ、気相析出
法（例えばスパッタリングや蒸着等）の種々の手段を採
用できる。特に、金属ペーストによって発熱パターンを
形成する場合には、成形されたグリーンシートに例えば
スクリーン印刷によって所定パターンを形成し、このパ
ターン印刷面側をグリーンシートで被覆し、その上に所
定パターンを形成した後、更にグリーンシートで被覆し
てセラミックス基材との接合に供するとよい。これは、
金属パターンを直接に基材に接合すると、相互密着性が
不十分となり、気孔発生に基づく発熱パターン成分の酸
化原因（断線原因）を発生するおそれがあるからである
。The heating pattern can be formed by various methods such as plating and vapor deposition (eg, sputtering, vapor deposition, etc.). In particular, when forming a heat generating pattern using a metal paste, a predetermined pattern is formed on a molded green sheet by, for example, screen printing, the pattern printed side is covered with a green sheet, and a predetermined pattern is formed on it. After that, it may be further covered with a green sheet and used for bonding with a ceramic base material. this is,
This is because if the metal pattern is directly bonded to the base material, mutual adhesion will be insufficient, and there is a risk that oxidation of the heat-generating pattern components (cause of wire breakage) may occur due to generation of pores.
【００１８】焼成は、セラミックス基材および各セラミ
ックス層の相互密着性を高めるために、同時焼成するこ
とが好ましい。焼成方法としては、型加圧（ＨＰ，ＨＩ
Ｐ）焼結，雰囲気加圧焼結，反応焼結など種々のものを
採用でき、その焼結温度は１４５０〜１６００℃の範囲
から選択するとよい。雰囲気は不活性ガス（例えばＡｒ
，Ｎ２），酸化性雰囲気（例えば大気中），還元雰囲気
（例えばＨ２ガス）のいずれであってもよい。It is preferable that the firing be performed simultaneously in order to improve the mutual adhesion between the ceramic base material and each ceramic layer. The firing method is mold pressurization (HP, HI
P) Various methods such as sintering, atmosphere pressure sintering, and reaction sintering can be employed, and the sintering temperature is preferably selected from the range of 1450 to 1600°C. The atmosphere is an inert gas (e.g. Ar
, N2), an oxidizing atmosphere (for example, in the atmosphere), or a reducing atmosphere (for example, H2 gas).
【００１９】こうして得られたセラミックスヒータは、
その発熱パターンの端子部をメタライズ処理し、電源か
らのリードをろう付けにて接続される。本発明のセラミ
ックスヒータは、特に高温下で長時間使用される内燃機
関の空燃比制御用の酸素センサを加熱するためのヒータ
ーとして好適である。この場合セラミックスヒータは、
試験管型固体電解質酸素センサ素子の内部に挿入しても
良いし、酸素センサ素子に付設しても良い。The ceramic heater thus obtained has the following characteristics:
The terminals of the heating pattern are metallized, and the leads from the power source are connected by brazing. The ceramic heater of the present invention is particularly suitable as a heater for heating an oxygen sensor for air-fuel ratio control of an internal combustion engine that is used for a long time at high temperatures. In this case, the ceramic heater is
It may be inserted into the test tube type solid electrolyte oxygen sensor element, or may be attached to the oxygen sensor element.
【００２０】[0020]
【作用】本発明者らは、高温下で使用されるときのセン
サ劣化要因を分析し、それに基づいて本発明を完成した
ものである。以下その分析及び考察等について詳細に説
明する。[Operation] The present inventors have analyzed the factors that cause sensor deterioration when used under high temperatures, and have completed the present invention based on this analysis. The analysis and consideration will be explained in detail below.
【００２１】ヒータの断線現象のメカニズムは、既に特
願昭６３−４８７２１号にて開示された如く、下記の通
りである。従来のヒータにおける断線後の外観状態につ
いてのＥＰＭＡ（元素分析）の結果を、模式的に図５（
Ａ）及びそのＢ−Ｂ断面図である図５（Ｂ）に示す。
その結果から、次の事実（イ），（ロ）が判明した。
（イ） 発熱パターンＰ１のうち、陰極側の発熱部Ｐ
２の周辺が局部的に白色（Ａｌ２Ｏ３の通常色）から黒
色に変化していること。
（ロ） 発熱パタ−ンＰ１のうち、陽極側の発熱部Ｐ
２の周辺が局部的にクラックを生じていること。The mechanism of the heater disconnection phenomenon, as already disclosed in Japanese Patent Application No. 63-48721, is as follows. Figure 5 (
A) and its BB cross-sectional view is shown in FIG. 5(B). The results revealed the following facts (a) and (b). (b) Heat generating part P on the cathode side of the heat generating pattern P1
The area around No. 2 has locally changed from white (the normal color of Al2O3) to black. (b) Of the heating pattern P1, the heating part P on the anode side
Local cracks have occurred around No. 2.
【００２２】又、ヒータを１０００℃の大気雰囲気中に
おき、直流１７Ｖで連続印加することにより通電し、発
熱部の抵抗値の変化を調べた結果から、次の事実（ハ）
が判明した。
（ハ） 一番陽極側に近い発熱部Ｐ２である第１パタ
ーン部位Ｐ３（図５（Ａ））の抵抗が、図６に示す様に
、その他のパターン部位等に比して著しく増大している
こと。尚、この図６は、発熱パターンＰ１の全抵抗，第
１パターン部位Ｐ３の抵抗，その他のパターン部位の抵
抗の経時変化を示している。[0022] In addition, the following fact (c) was found from the results of placing the heater in an air atmosphere at 1000°C, energizing it by continuously applying 17 V DC, and examining the change in resistance value of the heat generating part.
There was found. (c) As shown in FIG. 6, the resistance of the first pattern portion P3 (FIG. 5(A)), which is the heat generating portion P2 closest to the anode side, is significantly increased compared to other pattern portions, etc. To be there. Note that FIG. 6 shows changes over time in the total resistance of the heat generating pattern P1, the resistance of the first pattern portion P3, and the resistance of other pattern portions.
【００２３】前記事実を解明するために行った理論的考
察は、次の通りである。
（イ）の考察
アルミナヒータを構成するアルミナ基材は主成分として
Ａｌ２Ｏ３と共に焼結促進成分として種々の金属酸化物
が含有されて焼結されているので、焼結体においてはＡ
ｌ２Ｏ３粒界のガラス相としてこれらの金属酸化物が存
在する。Theoretical considerations made to elucidate the above facts are as follows. Consideration of (a) Since the alumina base material constituting the alumina heater is sintered with Al2O3 as the main component and various metal oxides as sintering accelerator components, the sintered body contains A
These metal oxides exist as a glass phase at the l2O3 grain boundaries.
【００２４】こうしたアルミナヒータを高温下にて直流
通電すると、ガラス相中に存在するマグネシウム（Ｍｇ
）やカルシウム（Ｃａ）原子が陽イオンとなって陰極側
に移動する。一方、該成分の近傍に存在する酸素（Ｏ）
原子が電気的中性を維持するために、酸素イオンとなり
陽極側に移動する。そのため、Ｍｇ、Ｃａ成分が単体又
は酸化物等として陰極側端子付近に堆積し、その部位の
黒色化をもたらす。即ち、直流電流の印加により、Ａｌ
２Ｏ３粒界のガラス相中のフラックス成分が電気分解を
受ける。When such an alumina heater is subjected to direct current at high temperature, magnesium (Mg
) and calcium (Ca) atoms become cations and move toward the cathode. On the other hand, oxygen (O) present near the component
In order to maintain electrical neutrality, the atoms become oxygen ions and move toward the anode. Therefore, Mg and Ca components are deposited in the vicinity of the cathode terminal as a single substance or as an oxide, resulting in blackening of the area. That is, by applying a direct current, Al
Flux components in the glass phase at the 2O3 grain boundaries undergo electrolysis.
【００２５】（ロ）の考察
また、陽極側に移動した酸素イオンにより、発熱パター
ンＰ１の材料、例えばタングステン（Ｗ）が酸化され、
その部位の抵抗値を増大させる。Consideration of (b) Furthermore, the material of the heating pattern P1, such as tungsten (W), is oxidized by the oxygen ions that have moved to the anode side.
Increases the resistance value of that area.
【００２６】（ハ）の考察
前記（ロ）の酸化反応によって、発熱パターンＰ１は体
積膨脹を起こし、発熱パターンＰ１に断線を生ずると共
に、保護層Ｐ４に応力が加わり、クラックを生ずる。
尚、酸化した発熱パターンＰ１材料は、その一部が拡散
により保護層Ｐ４、更には外界へ移動し、この意味でも
抵抗値を増大させる。Consideration of (c) Due to the oxidation reaction of (b) above, the heating pattern P1 expands in volume, causing disconnection in the heating pattern P1, and stress is applied to the protective layer P4, causing cracks. Note that a part of the oxidized heat generating pattern P1 material moves to the protective layer P4 and further to the outside world due to diffusion, and in this sense also increases the resistance value.
【００２７】従って、こうしたアルミナヒータが高温に
晒され続けると、保護層Ｐ４のクラックから侵入した外
気酸素により、爆発的に発熱パターンＰ１材料が酸化さ
れ、より一層の体積膨脹を起こし、保護層Ｐ４の剥離・
崩壊に至ると見なされる。Therefore, if such an alumina heater continues to be exposed to high temperatures, the material of the heating pattern P1 will be explosively oxidized by the outside air oxygen that has entered through the cracks in the protective layer P4, causing further volume expansion, and the protective layer P4 will Peeling of
considered to lead to collapse.
【００２８】つまり、発熱パターンＰ１の断線メカニズ
ムの根本原因は、Ｍｇ２＋、Ｃａ２＋の低電位側への移
動（マイグレーション）およびＯ２−の高電位側への移
動と考えられる。In other words, the root cause of the disconnection mechanism of the heating pattern P1 is thought to be migration of Mg2+ and Ca2+ to the lower potential side and migration of O2- to the higher potential side.
【００２９】そこで、本発明者らは前記メカニズムによ
るヒータの断線を防止するために、発熱パターンの発熱
部の一部に低発熱部を形成した。それによって、Ｍｇ２
＋，Ｃａ２＋の低電位側への移動による陰極側第１パタ
ーン部位へのＭｇ２＋，Ｃａ２＋の蓄積を防止でき、し
かもＯ２−の高電位側への移動による陽極側第１パター
ン部位での発熱パターン材料（Ｗ）の酸化を低減するこ
とが実現された。[0029] Therefore, in order to prevent the heater from being disconnected due to the above mechanism, the inventors formed a low heat generation part in a part of the heat generation part of the heat generation pattern. Thereby, Mg2
A heat-generating pattern material that can prevent the accumulation of Mg2+, Ca2+ in the first pattern part on the cathode side due to the movement of +, Ca2+ to the low potential side, and also prevents the accumulation of Mg2+, Ca2+ in the first pattern part on the anode side due to the movement of O2- to the high potential side. It has been achieved to reduce the oxidation of (W).
【００３０】つまり、本発明の低発熱部は、周囲の発熱
部より温度が低いので、Ｍｇ２＋，Ｃａ２＋の移動が困
難になり、その結果、陽極側から発熱パターンに沿って
陰極側へ移動するＭｇ２＋，Ｃａ２＋の障壁として働く
と考えられる。即ち、発熱部の中に設けられた低発熱部
は、イオンの移動をその両側に分断する効果を発揮し、
従来発熱パターンで一極集中的に発生していた前記劣化
を分散させるので、ヒータの断線を大幅に低減すること
になる。In other words, since the low heat generation part of the present invention has a lower temperature than the surrounding heat generation parts, it becomes difficult for Mg2+ and Ca2+ to move, and as a result, Mg2+ moves from the anode side to the cathode side along the heat generation pattern. , is considered to act as a barrier for Ca2+. In other words, the low heat generation part provided within the heat generation part has the effect of dividing the movement of ions into both sides,
Since the deterioration, which conventionally occurred in a concentrated manner in the heat generation pattern, is dispersed, the occurrence of heater disconnection can be significantly reduced.
【００３１】[0031]
【実施例】以下、本発明のセラミックスヒータ及びその
製造方法の実施例について説明する。[Embodiments] Hereinafter, embodiments of the ceramic heater of the present invention and its manufacturing method will be described.
【００３２】図１に示す様に、本実施例のセラミックス
ヒータ１は、円筒状のセラミックス基材２の表面に、２
層のセラミックス層３，４が形成されており、該第１セ
ラミックス層３と第２セラミックス層４との間の境界面
５には、発熱パターン７が形成されている。As shown in FIG. 1, the ceramic heater 1 of this embodiment has two layers on the surface of a cylindrical ceramic base material 2.
Ceramic layers 3 and 4 are formed, and a heat generating pattern 7 is formed at the interface 5 between the first ceramic layer 3 and the second ceramic layer 4.
【００３３】この発熱パターン７は、分解斜視図の図２
に示す様に、セラミックスヒータ１の先端側で何度も蛇
行する幅の細い発熱部８と、発熱部８の中央部にコの字
状に形成された低発熱部（劣化防止パターン）１０と、
セラミックスヒータ１の後端側に配置されて電源に接続
される陽極側端子９ａ及び陰極側端子９ｂ（端子部９と
総称する）と、発熱部８及び端子部９を接続するリード
部１１ａ，１１ｂとから構成されている。This heating pattern 7 is shown in FIG. 2 in an exploded perspective view.
As shown in the figure, there is a narrow heat generating part 8 that meanderes many times on the tip side of the ceramic heater 1, and a low heat generating part (deterioration prevention pattern) 10 formed in a U-shape in the center of the heat generating part 8. ,
An anode side terminal 9a and a cathode side terminal 9b (generally referred to as the terminal section 9) arranged on the rear end side of the ceramic heater 1 and connected to a power source, and lead sections 11a and 11b that connect the heat generating section 8 and the terminal section 9. It is composed of.
【００３４】前記低発熱部１０は、発熱部８の幅より約
５倍広く形成されており、線抵抗値は発熱部の約１／５
倍に設定されている。次に、前記構成のセラミックスヒ
ータ１の製造方法について、図２に基づいて説明する。
（ａ）原料粉末の混合
平均粒径１．５μｍ，純度９９．９％のＡｌ２Ｏ３粉末
と、焼結促進剤として平均粒径２μｍ，純度９８％のＳ
ｉＯ２粉末と、平均粒径２μｍ，純度９０％のＭｇＯ粉
末と、平均粒径２μｍ，純度９３％のＣａＯ粉末とを、
９７．２：２．５：０．１：０．１の割合で配合し、ボ
ールミルで２０〜６０時間湿式混合した後、脱水乾燥す
る。
（ｂ）基材の作成
前記（ａ）で製造した配合粉末に、メチルセルロース１
％，マクセロン（商品名）１５％，水１０％を添加し、
混練する。次に、押出成形法で円筒状に成形し、所定寸
法に切断後、１２００℃で仮焼して基材２とする。
（ｃ）第１，第２グリーンシート及び発熱パターンの作
成
前記（ａ）で製造した配合粉末に、ポリビニルブチラー
ル８％，ＤＢＰ４％，メチルエチルケトン，トルエン７
０％を添加し、ボールミルで混合してスラリー状とする
。減圧脱泡後、ドクターブレード法により、第２セラミ
ックス層４となる厚さ０．２〜０．４ｍｍの第２グリー
ンシート４ａを作成する。The low heat generation portion 10 is formed to be approximately five times wider than the width of the heat generation portion 8, and has a wire resistance value approximately 1/5 of the width of the heat generation portion.
It is set to double. Next, a method for manufacturing the ceramic heater 1 having the above configuration will be explained based on FIG. 2. (a) Mixture of raw material powder: Al2O3 powder with an average particle size of 1.5 μm and a purity of 99.9%, and S as a sintering accelerator with an average particle size of 2 μm and a purity of 98%.
iO2 powder, MgO powder with an average particle size of 2 μm and a purity of 90%, and CaO powder with an average particle size of 2 μm and a purity of 93%,
They are mixed in a ratio of 97.2:2.5:0.1:0.1, wet mixed in a ball mill for 20 to 60 hours, and then dehydrated and dried. (b) Creation of base material Add 1 methyl cellulose to the blended powder produced in (a) above.
%, Maxelon (trade name) 15%, water 10% were added,
Knead. Next, it is formed into a cylindrical shape by extrusion molding, cut to a predetermined size, and then calcined at 1200° C. to obtain the base material 2. (c) Creation of first and second green sheets and heating pattern The blended powder produced in (a) above contains 8% polyvinyl butyral, 4% DBP, methyl ethyl ketone, and 7% toluene.
Add 0% and mix in a ball mill to form a slurry. After degassing under reduced pressure, a second green sheet 4a having a thickness of 0.2 to 0.4 mm, which will become the second ceramic layer 4, is created by a doctor blade method.
【００３５】次に、この第２グリーンシート４ａの表面
に、予め調整されたＷペーストを、厚膜印刷法により１
０〜３０μｍにスクリーン印刷して、発熱パターン７と
なる印刷パターン７ａを形成する。Next, a pre-adjusted W paste is applied to the surface of the second green sheet 4a by a thick film printing method.
Screen printing is performed to a thickness of 0 to 30 μm to form a printed pattern 7a that will become the heat generating pattern 7.
【００３６】更に、この印刷表面に、第２グリーンシー
ト４ａと同様の方法にて成形した、第１セラミックス層
３となる厚さ０．０５〜０．１０ｍｍの第１グリーンシ
ート３ａを圧着し、積層シートを形成する。
（ｄ）基材，第１〜第２グリーンシート及び発熱パター
ンの一体化
前記（ａ）で製造した配合粉末に、ポリビニルブチラー
ル２５％，ＤＢＰ８％，ブチルカルビドール３０％を添
加して、ペースト状物を製造し、このペースト状物を、
前記（ｃ）で得られた積層シートの第１グリーンシート
３ａの表面に塗布する。Furthermore, a first green sheet 3a having a thickness of 0.05 to 0.10 mm, which will become the first ceramic layer 3, is press-bonded to the printed surface in the same manner as the second green sheet 4a. Form a laminated sheet. (d) Integration of base material, first to second green sheets, and heat generating pattern 25% polyvinyl butyral, 8% DBP, and 30% butyl carbidol were added to the blended powder produced in (a) above to form a paste. Manufacture a product and make this paste-like product,
It is applied to the surface of the first green sheet 3a of the laminated sheet obtained in (c) above.
【００３７】次に、この塗布面を基材２との接合に供す
る様にして、基材２の周囲に積層シートを巻き付け、加
圧密着させる。次に、２５０℃で樹脂抜きした後、水素
炉雰囲気中１５００〜１６００℃で焼成して、一体化さ
れたセラミックスヒータ１を形成する。その後、このセ
ラミックスヒータ１は、その端子部１０，１１の先端が
Ｎｉメッキされ、ろう材を用いてリード線引出用端子（
図示せず）と接合される。Next, the laminated sheet is wrapped around the base material 2 so that this coated surface is used for bonding with the base material 2, and the laminated sheet is pressed into close contact with the base material 2. Next, after removing the resin at 250°C, it is fired at 1500 to 1600°C in a hydrogen furnace atmosphere to form the integrated ceramic heater 1. Thereafter, the tips of the terminal parts 10 and 11 of the ceramic heater 1 are plated with Ni, and the terminals for drawing out the lead wires (
(not shown).
【００３８】次に、この様にして製造されたセラミック
スヒータ１の効果を確認するために行った実験例につい
て説明する。
（実験例１）本実施例のセラミックスヒータ１を用いて
、高温耐久試験を行った。Next, an example of an experiment conducted to confirm the effect of the ceramic heater 1 manufactured in this manner will be described. (Experimental Example 1) A high temperature durability test was conducted using the ceramic heater 1 of this example.
【００３９】実験は、１０００℃の加熱雰囲気下で、３
Ωの抵抗値を有する発熱パターン７に直流１７Ｖの通電
を行ない、その抵抗値の経時変化を測定した。また、比
較例として、従来の低発熱部のない発熱パターンを形成
したヒータ（図４（Ｂ））についても、同様に高温耐久
試験を行った。その結果を図３に示すが、縦軸は抵抗変
化率（％）であり、横軸は耐久時間（Ｈｒ）を示してい
る。尚、実験では、本実施例及び比較例として、各々５
個の試料について実験を行なった。[0039] The experiment was carried out in a heating atmosphere of 1000°C for 3
A direct current of 17 V was applied to the heat generating pattern 7 having a resistance value of Ω, and the change in resistance value over time was measured. Furthermore, as a comparative example, a high-temperature durability test was similarly conducted on a heater (FIG. 4(B)) in which a conventional heat-generating pattern without a low heat-generating portion was formed. The results are shown in FIG. 3, where the vertical axis shows the resistance change rate (%) and the horizontal axis shows the durability time (Hr). In addition, in the experiment, 5
Experiments were conducted on several samples.
【００４０】図３から明らかな様に、本実施例のセラミ
ックスヒータ１は、比較例のものに比べて、抵抗値の経
時変化が著しく少なく優れた高温耐久性能を有している
。それに対して、比較例のものは１００時間未満で断線
し、高温耐久性に劣るものであり、不適なものである。As is clear from FIG. 3, the ceramic heater 1 of this example exhibits significantly less change in resistance value over time and has excellent high-temperature durability performance than that of the comparative example. On the other hand, the comparative example broke in less than 100 hours and had poor high-temperature durability, making it unsuitable.
【００４１】（実験例２）次に、本実施例のセラミック
スセンサ１（図４（Ａ））及び前記比較例のセラミック
スセンサ（図４（Ｂ））の２００時間耐久後の状態を調
べた。つまり、センサの発熱部におけるＭｇやＣａの蓄
積状況やＷの酸化状態等を調べた。尚、他の条件は前記
実験例１と同様とした。(Experimental Example 2) Next, the state of the ceramic sensor 1 of this example (FIG. 4(A)) and the ceramic sensor of the comparative example (FIG. 4(B)) after 200 hours of durability was investigated. That is, the accumulation status of Mg and Ca, the oxidation status of W, etc. in the heat generating part of the sensor were investigated. Note that other conditions were the same as in Experimental Example 1 above.
【００４２】その結果、図４に示す様に、本実施例のセ
ラミックスセンサ１では、図の左側の発熱部８ｘの陰極
側と右側の発熱部８ｙの低発熱部１０側に、軽微なＭｇ
とＣａの蓄積が見られただけであったが、比較例のセラ
ミックスセンサでは、発熱部の陰極側に多量のＭｇ，Ｃ
ａの蓄積があり、しかも発熱部の陽極側にはＷの酸化が
見られるとともにその周囲に崩壊現象が見られた。As a result, as shown in FIG. 4, in the ceramic sensor 1 of this embodiment, a slight amount of Mg is present on the cathode side of the heat generating section 8x on the left side of the figure and on the low heat generating section 10 side of the right side heat generating section 8y.
However, in the ceramic sensor of the comparative example, a large amount of Mg and Ca was observed on the cathode side of the heat generating part.
There was an accumulation of a, and oxidation of W was observed on the anode side of the heat generating part, and a collapse phenomenon was observed around it.
【００４３】この様に、本実施例のセラミックスヒータ
１は、発熱部８の中央部に線抵抗値の小さな低発熱部１
０を設けてあるので、この低発熱部１０によって、Ｍｇ
２＋，Ｃａ２＋の低電位側への移動やＯ２−の高電位側
への移動が阻止される。その結果、発熱パターン７の劣
化による抵抗値の増加が防止できるので、セラミックス
ヒータ１の寿命を向上することができる。As described above, the ceramic heater 1 of this embodiment has a low heat generation section 1 with a small wire resistance value in the center of the heat generation section 8.
0, this low heat generation section 10 allows Mg
The movement of 2+ and Ca2+ to the low potential side and the movement of O2- to the high potential side are prevented. As a result, an increase in the resistance value due to deterioration of the heat generating pattern 7 can be prevented, so that the life of the ceramic heater 1 can be improved.
【００４４】従って、このセラミックスヒータ１を、例
えば高温に長期間晒される空燃比制御用の酸素センサに
適用した場合には、発熱パターン７が劣化しにくく、そ
の抵抗の増大を防ぐことができるので、発熱パターン７
が断線したり、或は保護層にクラックが発生することを
防止できる。その結果、酸素センサを高温で使用した場
合でも、長い期間に亘ってセラミックスヒータ１を好適
に使用できるという顕著な効果を奏する。Therefore, when this ceramic heater 1 is applied to, for example, an oxygen sensor for air-fuel ratio control that is exposed to high temperatures for a long period of time, the heating pattern 7 is unlikely to deteriorate and its resistance can be prevented from increasing. , fever pattern 7
This can prevent wire breakage or cracks in the protective layer. As a result, even when the oxygen sensor is used at high temperatures, the ceramic heater 1 can be suitably used for a long period of time, which is a remarkable effect.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上の如く本発明のセラミックスヒータ
は、発熱部の一部に低発熱部を設けてあるので、Ｍｇ２
＋，Ｃａ２＋，Ｏ２−の移動を阻止して、発熱パターン
の劣化を防ぐことができるものである。特に本発明のも
のは、高温下に晒される条件下においても抵抗値の変化
が少なく、安定な加熱特性を長時間維持でき、耐久性に
優れている。しかも検知手段等がいらずその構造が簡単
であり、製造も容易である。従って、各種のセンサの加
熱用ヒータとして好適に適用でき、極めて有用なもので
ある。Effects of the Invention As described above, the ceramic heater of the present invention has a low heat generation section in a part of the heat generation section, so that Mg2
+, Ca2+, and O2- can be prevented from moving, thereby preventing deterioration of the heat generation pattern. In particular, the material of the present invention shows little change in resistance value even under conditions of exposure to high temperatures, can maintain stable heating characteristics for a long period of time, and has excellent durability. Moreover, the structure is simple and manufacturing is easy, since there is no need for detecting means or the like. Therefore, it can be suitably applied as a heater for various types of sensors, and is extremely useful.
【図１】本発明の実施例のセラミックスヒータを一部破
断して示す斜視図である。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of a ceramic heater according to an embodiment of the present invention.
【図２】実施例のセラミックスヒータを分解して示す斜
視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the ceramic heater of the example.
【図３】実施例及び比較例のセラミックスヒータの耐久
試験の結果を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the results of durability tests of ceramic heaters of Examples and Comparative Examples.
【図４】実施例及び比較例のセラミックスヒータの耐久
後の状態を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the state of the ceramic heaters of Examples and Comparative Examples after durability.
【図５】従来のセラミックスヒータの問題点を示す説明
図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing problems with conventional ceramic heaters.
【図６】従来のセラミックスヒータの抵抗値の変化を示
すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a change in resistance value of a conventional ceramic heater.
１…セラミックスヒータ
２…セラミックス基材
３，４…セラミックス層
５…境界面７…発熱パターン
８…発熱部１０…低発熱部（劣化防止
パターン）1... Ceramic heater
2... Ceramic base material 3, 4... Ceramic layer
5... Boundary surface 7... Heat generation pattern
8... Heat generating part 10... Low heat generating part (deterioration prevention pattern)
Claims (1)
ックス層の表面に積層された第２セラミックス層と、前
記第１及び第２セラミックス層の境界面に配置された発
熱部及び導通部からなる発熱パターンと、を備えたセラ
ミックスヒータにおいて、前記発熱パターンの発熱部の
一部に、該発熱部の線抵抗値より低い線抵抗値を有する
低発熱部を設けたことを特徴とするセラミックスヒータ
。1. Consisting of a first ceramic layer, a second ceramic layer laminated on the surface of the first ceramic layer, and a heat generating part and a conductive part arranged at the interface between the first and second ceramic layers. 1. A ceramic heater comprising a heat generating pattern, characterized in that a part of the heat generating part of the heat generating pattern is provided with a low heat generating part having a wire resistance value lower than a wire resistance value of the heat generating part.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3100151A JP2971167B2 (en) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | Ceramic heater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3100151A JP2971167B2 (en) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | Ceramic heater |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329289A true JPH04329289A (en) | 1992-11-18 |
| JP2971167B2 JP2971167B2 (en) | 1999-11-02 |
Family
ID=14266322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3100151A Expired - Fee Related JP2971167B2 (en) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | Ceramic heater |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971167B2 (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0701979A1 (en) | 1994-08-18 | 1996-03-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Alumina-based sintered material for ceramic heater and ceramic heater |
| JP2001289814A (en) * | 2000-02-01 | 2001-10-19 | Denso Corp | Gas sensor |
| JPWO2006001373A1 (en) * | 2004-06-25 | 2008-04-17 | 京セラ株式会社 | Ceramic heater, method for producing the same, heating device, and hair iron |
| JP2008151558A (en) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Denso Corp | Ceramic heater and gas sensor element using the same |
| EP2577282A1 (en) * | 2010-06-04 | 2013-04-10 | Delphi Technologies, Inc. | Exhaust sensor heater circuit for non-calibrated replacement in existing applications |
| JP2017041420A (en) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 日本碍子株式会社 | Ceramic heater, sensor element, and gas sensor |
| JP2019175605A (en) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 京セラ株式会社 | heater |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6604884B2 (en) * | 2016-03-30 | 2019-11-13 | 日本特殊陶業株式会社 | Ceramic heater |
-
1991
- 1991-05-01 JP JP3100151A patent/JP2971167B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0701979A1 (en) | 1994-08-18 | 1996-03-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Alumina-based sintered material for ceramic heater and ceramic heater |
| US5753893A (en) * | 1994-08-18 | 1998-05-19 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Alumina-based sintered material for ceramic heater |
| JP2001289814A (en) * | 2000-02-01 | 2001-10-19 | Denso Corp | Gas sensor |
| JPWO2006001373A1 (en) * | 2004-06-25 | 2008-04-17 | 京セラ株式会社 | Ceramic heater, method for producing the same, heating device, and hair iron |
| JP4818922B2 (en) * | 2004-06-25 | 2011-11-16 | 京セラ株式会社 | Manufacturing method of ceramic heater |
| JP2008151558A (en) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Denso Corp | Ceramic heater and gas sensor element using the same |
| EP2577282A1 (en) * | 2010-06-04 | 2013-04-10 | Delphi Technologies, Inc. | Exhaust sensor heater circuit for non-calibrated replacement in existing applications |
| EP2577282A4 (en) * | 2010-06-04 | 2014-05-07 | Delphi Tech Inc | Exhaust sensor heater circuit for non-calibrated replacement in existing applications |
| JP2017041420A (en) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 日本碍子株式会社 | Ceramic heater, sensor element, and gas sensor |
| US10527578B2 (en) | 2015-08-21 | 2020-01-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic heater, sensor element, and gas sensor |
| US11768169B2 (en) | 2015-08-21 | 2023-09-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic heater, sensor element, and gas sensor |
| JP2019175605A (en) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 京セラ株式会社 | heater |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2971167B2 (en) | 1999-11-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3002270B1 (en) | Joined body | |
| EP2977364B1 (en) | Joined body, and production method therefor | |
| EP2921466A1 (en) | Composite body, honeycomb structural body, and method for manufacturing composite body | |
| JPH04329289A (en) | Ceramic heater | |
| JPH0445953B2 (en) | ||
| US10245810B2 (en) | Heat-resistant member and method for manufacturing the same | |
| KR100322981B1 (en) | Insulation layer system for circuit electrical insulation | |
| JP2002286680A (en) | Lamination type gas sensor element and its manufacturing method | |
| JP3038039B2 (en) | Ceramic heater and method of manufacturing the same | |
| JPH04329291A (en) | Ceramic hater and its manufacture | |
| JP2632347B2 (en) | Ceramic heater | |
| JP3016669B2 (en) | Ceramic heater | |
| JP3436769B2 (en) | Ceramic heater for oxygen sensor heating | |
| JPH067119B2 (en) | Air-fuel ratio sensor | |
| JPH04312785A (en) | Ceramic heater and its manufacture | |
| JP2004342622A (en) | Ceramic heater | |
| JPH08506906A (en) | Insulating layer system for electrical isolation of current circuits | |
| JP3125976B2 (en) | Ceramic heater | |
| JP3929882B2 (en) | Flat ceramic heater and detection element using the same | |
| JP3813685B2 (en) | Ceramic heater | |
| JP4700214B2 (en) | Oxygen sensor element and manufacturing method thereof | |
| JP3685623B2 (en) | Ceramic heater | |
| JP3462280B2 (en) | Alumina-based sintered material for ceramic heater and ceramic heater | |
| JPH11273839A (en) | Manufacture of ceramic heater | |
| JP2003075395A (en) | Oxygen sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |