JPH04323847A - Carrier method - Google Patents
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- Discharge By Other Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハの
キャリアを搬送する搬送方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of transporting a carrier for, for example, a semiconductor wafer.
【０００２】0002
【従来の技術】一般に複数のステーションの間で被搬送
物の受け渡しを行い、各ステーションで所定の処理を行
った後再び元のステーションに搬送する場合がある。2. Description of the Related Art Generally, objects to be transported are transferred between a plurality of stations, and after predetermined processing is performed at each station, the objects are transported back to the original station.
【０００３】例えば半導体ウエハの処理システムの中で
、ウエハ、キャリアの洗浄を例にとって述べると、例え
ばＣＶＤ処理されたウエハを収納した容器（キャリア）
が、ウエハの着脱ステーションに搬送され、ここでキャ
リアとウエハとは分離され、キャリアはそのままキャリ
ア洗浄ステーションに送られると共に、ウエハは洗浄用
キャリアに収納されて、ウエハ洗浄ステーションに送ら
れる。また洗浄されたキャリアとウエハは前記着脱ステ
ーションに搬送され、ここで合体されて次のウエハ処理
部に送り出される。For example, in a semiconductor wafer processing system, when cleaning wafers and carriers, for example, a container (carrier) containing CVD-treated wafers is used.
is transported to a wafer loading/unloading station, where the carrier and wafer are separated, and the carrier is directly sent to the carrier cleaning station, while the wafer is stored in a cleaning carrier and sent to the wafer cleaning station. Further, the cleaned carrier and wafer are transported to the loading/unloading station, where they are combined and sent to the next wafer processing section.
【０００４】このような洗浄用システム一つを取り上げ
てもキャリア（搬送用）と洗浄用キャリアとを夫々ステ
ーション間で搬送しなければならない。[0004] Even if one such cleaning system is used, a carrier (for transportation) and a cleaning carrier must be transported between stations.
【０００５】こうした搬送を行う場合、従来では例えば
移載ロボットによりベルトなどの移動路部材にキャリア
を移載し、当該移動路部材により他のステーションに搬
送するようにしていた。[0005] When carrying out such conveyance, conventionally, the carrier is transferred onto a moving path member such as a belt by a transfer robot, and the carrier is transported to another station by the moving path member.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで半導体ウエハ
に多数の処理が施されるようになり、しかも多量のウエ
ハを取り扱う場合においては、キャリアやウエハの受け
渡しをはじめ、各工程のスループットをできるだけ向上
させなければ、全体のスループットを高めることはでき
ない。そこで各ステーション間のキャリアの搬送に関し
てもこのような観点から見れば、単純なベルト搬送とい
った従来の手法では、例えば一方のステーションの処理
が予定より遅れて、キャリアの並びが途切れるといった
場合には、その途切れた分を吸収できないので、その分
だけ処理が遅れ高いスループットが得られない。[Problem to be Solved by the Invention] Nowadays, semiconductor wafers are subjected to a large number of processes, and when handling a large number of wafers, it is necessary to improve the throughput of each process, including the transfer of carriers and wafers, as much as possible. Otherwise, the overall throughput cannot be increased. Therefore, if we look at carrier transport between stations from this perspective, with the conventional method of simple belt transport, for example, if the processing at one station is behind schedule and the carrier line is interrupted, Since the interruption cannot be absorbed, processing is delayed by that amount and high throughput cannot be obtained.
【０００７】本発明はこのような背景のもとになされた
ものであり、その目的は、搬送の効率化を図ることので
きる搬送方法を提供することにある。The present invention has been made against this background, and its object is to provide a transportation method that can improve the efficiency of transportation.
【０００８】[0008]
【０００９】[0009]
【作用】通常時は下流側の被搬送物から１個ずつ搬送機
構により前送りされるが、例えば搬送路の上流側におい
て外部からの被搬送物の受けとりが遅れて被搬送物の列
が途切れた場合、受け取りが再開されると、その時の列
の最後部に例えば１個ずつ搬送され、この結果列の途切
れが解消される。[Operation] Normally, the conveyance mechanism forwards the conveyed objects one by one starting from the downstream side, but for example, on the upstream side of the conveyance path, there is a delay in receiving the conveyed objects from outside, causing the row of conveyed objects to be interrupted. In this case, when receiving is resumed, the items are transported one by one to the end of the current line, and as a result, the break in the line is resolved.
【００１０】0010
【実施例】本発明の実施例に係る搬送方法は例えばキャ
リアとウエハとを分離して洗浄するための洗浄システム
の中に組み込まれ、当該実施例を説明する前に洗浄シス
テムの全体について図１を参照しながら簡単に説明する
。[Embodiment] A transfer method according to an embodiment of the present invention is incorporated into, for example, a cleaning system for separating and cleaning a carrier and a wafer. A brief explanation will be given with reference to.
【００１１】１００は搬入ステージであり、例えばＣＶ
Ｄ処理されたウエハＷを収納した搬送用キャリアＣが外
部からここに運ばれる。搬入ステージ１００に置かれた
キャリアＣは、受け渡し部１０１に移載され、ここから
洗浄システムの中に流されていく。また１０２は搬出ス
テージであり、洗浄システムから送り出されたキャリア
Ｃが受け渡し部１０１を介してここに置かれる。これら
の間のキャリアＣの移載はインターフェイスロボットＩ
Ｆによって行われる。100 is a carry-in stage, for example, a CV
A transport carrier C containing wafers W subjected to D processing is transported here from the outside. The carrier C placed on the carry-in stage 100 is transferred to the delivery section 101, and is flown into the cleaning system from here. Further, 102 is an unloading stage, and the carrier C sent out from the cleaning system is placed here via the delivery section 101. The transfer of carrier C between these is carried out by interface robot I.
It is done by F.
【００１２】１０３はアームを備えた搬送エレベータで
あり、受け渡し部１０１を介して受けとったキャリアＣ
を、図示しないストッカに保管すると共に、当該ストッ
カに保管されているキャリアＣを、移載ロボット１０４
に間接的に受け渡す。この移載ロボット１０４は、その
キャリアＣを移動ステージ１０５に渡したり、あるいは
その逆の移載を行ったりする。Reference numeral 103 denotes a transport elevator equipped with an arm, which carries carriers C received via the delivery section 101.
is stored in a stocker (not shown), and the carrier C stored in the stocker is transferred to the transfer robot 104.
indirectly passed on to. This transfer robot 104 transfers the carrier C to the moving stage 105, or vice versa.
【００１３】前記移動ステージ１０５上においては、そ
の上方の把持アーム１０６と下方の図示しない突き上げ
手段の協働作用により、未洗浄のウエハが搬送用キャリ
アＣから洗浄用キャリアＤに移し替えられ、また洗浄済
みのウエハが洗浄用キャリアＤから搬送用キャリアＣに
移し替えられる。On the moving stage 105, the uncleaned wafer is transferred from the transport carrier C to the cleaning carrier D by the cooperative action of the upper gripping arm 106 and the lower pushing means (not shown). The cleaned wafer is transferred from the cleaning carrier D to the transportation carrier C.
【００１４】ここでウエハと分離された搬送用キャリア
Ｃは、後で詳述する搬送路Ｌ１、Ｌ２の一方によってキ
ャリア洗浄部に送られると共に、洗浄後他方の搬送路に
よって戻され、洗浄済みのウエハが収納される。The transport carrier C separated from the wafer is sent to the carrier cleaning section by one of the transport paths L1 and L2, which will be described in detail later, and after cleaning, is returned by the other transport path to clean the cleaned surface. The wafer is stored.
【００１５】１０７はアームを備えた洗浄用エレベータ
であり、前記移動ステージ１０５上の洗浄用キャリアＤ
を図示しないストッカに保管すると共に、当該ストッカ
に保管されている洗浄用キャリアＤを、洗浄処理部への
出力ポート１０８に受け渡す。 このようにして図１
のシステムでは、搬送用キャリアとウエハとが分離され
て夫々洗浄され、洗浄後再び合体して、移載ロボット１
０４や搬送用キャリア用エレベータ１０３を介してシス
テムの外に、例えば搬出ステージ１０２に送り出される
。107 is a cleaning elevator equipped with an arm, and the cleaning carrier D on the moving stage 105 is
is stored in a stocker (not shown), and the cleaning carrier D stored in the stocker is delivered to the output port 108 to the cleaning processing section. In this way, Figure 1
In this system, the transfer carrier and wafer are separated and cleaned, and after cleaning, they are combined again and transferred to the transfer robot 1.
04 and the conveyance carrier elevator 103 to the outside of the system, for example, to the unloading stage 102.
【００１６】次に上述のシステムに組み込まれた、本発
明の実施例である搬送方法について説明する。Next, a transport method according to an embodiment of the present invention, which is incorporated into the above-mentioned system, will be explained.
【００１７】この実施例では、図１に示すように移載ロ
ボット１０４の移載領域と図示しないキャリア洗浄部と
の間に、第１及び第２の搬送路Ｌ１、Ｌ２が並行に設置
されており、一方の搬送路Ｌ１は未洗浄の空の搬送用キ
ャリア（以下空の搬送用キャリアを単に「空キャリア」
という）専用ものもとされ、他方の搬送路Ｌ２は洗浄済
みの空キャリア専用のものとされる。In this embodiment, as shown in FIG. 1, first and second transport paths L1 and L2 are installed in parallel between the transfer area of the transfer robot 104 and a carrier cleaning section (not shown). One of the transport paths L1 is an unwashed empty transport carrier (hereinafter, an empty transport carrier is simply referred to as an "empty carrier").
The other transport path L2 is used exclusively for cleaned empty carriers.
【００１８】これら搬送路Ｌ１、Ｌ２については図２の
平面図で示すように３枚の長尺な板状体よりなる搬送路
部材２、３、４を互いに間隙を介して並行に配置し、搬
送路部材２、３の間隙Ｓ１を第１の搬送路Ｌ１、搬送路
部材３、４の間隙Ｓ２を第２の搬送路Ｌ２として夫々用
いている。なおこの搬送路部材２、３、４は床面より高
い位置にて図示しない保持部材により保持されている。Regarding these conveyance paths L1 and L2, as shown in the plan view of FIG. 2, conveyance path members 2, 3, and 4 made of three elongated plate-like bodies are arranged in parallel with each other with a gap therebetween. The gap S1 between the conveyance path members 2 and 3 is used as the first conveyance path L1, and the gap S2 between the conveyance path members 3 and 4 is used as the second conveyance path L2. Note that the conveyance path members 2, 3, and 4 are held by a holding member (not shown) at a position higher than the floor surface.
【００１９】前記搬送路Ｌ１、Ｌ２の構成要素は同一で
あるため、その一方について述べると、搬送路部材２、
３の対向する縁部には、夫々分割されたキャリア載置台
５、６が互いに対をなして上流側から下流側に向かって
例えば８組配置されており、これら載置台５、６の組は
、各々キャリア載置領域に相当するものである。各載置
領域においてはキャリアＣはその下面両側が夫々載置台
５、６に保持され、その脚部ＣＡは間隙Ｓ１内に嵌入さ
れた状態となる。Since the components of the conveyance paths L1 and L2 are the same, to describe one of them, the conveyance path member 2,
For example, eight pairs of divided carrier mounting tables 5 and 6 are arranged from the upstream side to the downstream side on the opposing edges of the carrier mounting tables 5 and 6. , each corresponds to a carrier mounting area. In each mounting area, both sides of the lower surface of the carrier C are held by the mounting tables 5 and 6, respectively, and the legs CA are fitted into the gap S1.
【００２０】前記搬送部材２、３の下方には、夫々図１
、図３に示すように、載置台５、６の各組に保持された
キャリアＣを持ち上げて搬送するための搬送機構である
搬送ロボット７が設けられており、このロボット７は、
例えば搬送路Ｌ１に沿ってプーリ８１、８２間に張架さ
れたエンドレスの駆動ベルト８に取り付けられている。
そして、一方のプーリ８１には、モータなどの駆動部８
３が連結されており、この駆動部８３には、制御部９が
接続されている。Below the conveying members 2 and 3, there are
As shown in FIG. 3, a transport robot 7 is provided which is a transport mechanism for lifting and transporting the carrier C held on each set of mounting tables 5 and 6.
For example, it is attached to an endless drive belt 8 stretched between pulleys 81 and 82 along the conveyance path L1. One pulley 81 has a drive unit 8 such as a motor.
3 are connected to each other, and the control section 9 is connected to the drive section 83.
【００２１】更にこの制御部９は、各載置領域（この例
では載置台５、６）におけるキャリアＣの有無を検出す
る検出部９１からの検出信号を取り込むようになってお
り、当該検出信号に基づいて駆動部８３に制御信号を出
力し、これによって搬送ロボットの走行制御を行う。前
記検出部９１としては、例えば各組の載置台５、６の一
方に、弾性体により常時載置面に突出しているピンを設
け、キャリアの自重で当該ピンが押し上げられた時に検
出信号を出力するものや、あるいは光学的センサなどを
用いることができる。前記搬送ロボット７は、頂部にキ
ャリア受け部７１を備えており、この受け部７１は、鉛
直軸のまわりに回動する回動軸７２の上端に固定されて
いる。この回動軸７２は支持部７３内に組み込まれたモ
ータ（図示せず）により回動され、さらにこの支持部７
３は例えばエアシリンダよりなる昇降機構７４により昇
降される。従ってキャリア受け部７１は、昇降動作及び
鉛直軸のまわりの回転動作を行うことができる。Furthermore, this control section 9 is configured to take in a detection signal from a detection section 91 that detects the presence or absence of the carrier C in each mounting area (in this example, the mounting tables 5 and 6). Based on this, a control signal is output to the drive unit 83, thereby controlling the movement of the transfer robot. As the detection unit 91, for example, a pin is provided on one of the mounting tables 5 and 6 of each set, and is made of an elastic body and always protrudes from the mounting surface, and outputs a detection signal when the pin is pushed up by the weight of the carrier. Alternatively, an optical sensor or the like can be used. The transfer robot 7 is equipped with a carrier receiving part 71 at the top, and this receiving part 71 is fixed to the upper end of a rotation shaft 72 that rotates around a vertical axis. This rotation shaft 72 is rotated by a motor (not shown) built into the support part 73, and furthermore, this rotation shaft 72 is
3 is raised and lowered by a lifting mechanism 74 made up of, for example, an air cylinder. Therefore, the carrier receiving portion 71 can perform an ascending and descending motion and a rotation motion around the vertical axis.
【００２２】前記キャリア受け部７１は、図２に示すよ
うに上面から見た輪隔が互いに対向する載置台５、６間
に適合しかつ挿通可能な形状とされており、内部に長方
形の切欠部７５が形成されている。この受け部７１が載
置台５、６間に保持されているキャリアＣの下方から上
昇すると、キャリアＣは、脚部ＣＡが前記切欠部７５内
に挿入された状態で受け部７１によって上方に持ち上げ
られることとなる。以上において第２の搬送路Ｌ２につ
いても全く同様の構成であり、その下方には同様の搬送
ロボット７（図１、図２参照）が設置されている。As shown in FIG. 2, the carrier receiving portion 71 has a shape that fits and can be inserted between the mounting tables 5 and 6 whose rings are opposed to each other when viewed from the top, and has a rectangular notch inside. A portion 75 is formed. When this receiving part 71 rises from below the carrier C held between the mounting tables 5 and 6, the carrier C is lifted upward by the receiving part 71 with the leg CA inserted into the notch 75. It will be. In the above, the second transport path L2 has exactly the same configuration, and a similar transport robot 7 (see FIGS. 1 and 2) is installed below it.
【００２３】次に上記装置を用いた搬送方法について述
べる。先ず図１に示す移載ロボット１０４により、２個
の未洗浄の空のキャリアＣが図４に示すように夫々第１
の搬送路Ｌ１の上流側のポジションＱ１、Ｑ２に同時に
移載される。なおここでいうポジションとは前記載置台
５、６で決まるキャリアの載置領域である。この時２個
の空のキャリアＣは、アーム長を短くするために、把手
のついている面に対して反対側の面を互いに対向させて
運ばれる。Next, a transport method using the above device will be described. First, the transfer robot 104 shown in FIG.
are simultaneously transferred to positions Q1 and Q2 on the upstream side of the transport path L1. Note that the position here refers to the carrier placement area determined by the placement tables 5 and 6 described above. At this time, in order to shorten the arm length, the two empty carriers C are carried with their sides opposite to the side on which the handle is attached facing each other.
【００２４】そしてポジションＱ２上のキャリアＣを、
前記搬送ロボット７により持ち上げて下流側のポジショ
ンＱ８に運び、降下させてここに載置する。次いでポジ
ションＱ１上のキャリアＣが同様にしてポジションＱ７
に搬送されるが、搬送路Ｌ１、Ｌ２では例えば把手を進
行方向側に向けて搬送するようにしているため、搬送ロ
ボット７の受け部７１を回動軸７２により１８０度回転
させ、これによってキャリアＣは所定の向きでポジショ
ンＱ７に載置される。[0024] Then, carrier C on position Q2 is
The transfer robot 7 lifts it up and carries it to position Q8 on the downstream side, lowers it, and places it there. Next, carrier C on position Q1 moves to position Q7 in the same way.
However, in the transport paths L1 and L2, for example, the carrier is transported with the handle facing toward the direction of movement. C is placed at position Q7 in a predetermined orientation.
【００２５】このような搬送が繰り返されて各ポジショ
ンＱ１〜Ｑ８にキャリアＣが載置されると、その後例え
ば下流側のキャリアＣから順次に１個づつ前送りされ、
そのタイミングに対応して移載ロボット１０４により上
流側のポジションＱ１、Ｑ２にキャリアＣが移載される
。[0025] When such conveyance is repeated and the carriers C are placed at each position Q1 to Q8, the carriers C are then forwarded one by one starting from the downstream side, for example.
Corresponding to this timing, the carrier C is transferred to the upstream positions Q1 and Q2 by the transfer robot 104.
【００２６】ここでキャリアＣを載せた搬送ロボット７
の停止位置の制御については、前記検出部９１からの検
出信号に基づき、現在空となっているポジションの中で
最も下流側に位置するポジションを制御部９にて判定し
、そのポジションを目標停止位置として搬送ロボット７
を走行制御する。つまりその時の列の最後尾（但し全部
が空の場合は先頭になる）となるポジションにキャリア
が運ばれる。[0026] Here, the transport robot 7 carrying the carrier C
Regarding the control of the stop position, the control unit 9 determines the most downstream position among the currently vacant positions based on the detection signal from the detection unit 91, and selects that position as the target stop position. Transport robot 7 as position
to control driving. In other words, the carrier is carried to the position at the end of the column at that time (or at the beginning if all the columns are empty).
【００２７】第１の搬送路Ｌ１を介して洗浄処理部に送
られたキャリアＣはそこで洗浄され、その後第２の搬送
路Ｌ２の上流側に載置される。そして第１の搬送路Ｌ１
の場合とは逆の流れで、洗浄済みのキャリアＣが同様に
搬送ロボット７により１個ずつ搬送され、第２の搬送路
Ｌ２の下流端の一つ手前のポジションに対しては、１８
０度回転されて載置される。しかる後移載ロボット１０
４により下流端の２個のキャリアＣが同時に移動ステー
ジ１０５に移載され、ここに洗浄済みのウエハが収納さ
れることになる。The carrier C sent to the cleaning processing section via the first transport path L1 is cleaned there, and then placed on the upstream side of the second transport path L2. And the first conveyance path L1
In a flow opposite to the case of , the cleaned carriers C are similarly transported one by one by the transport robot 7, and 18
It is rotated 0 degrees and placed. After that, transfer robot 10
4, the two carriers C at the downstream end are simultaneously transferred to the moving stage 105, and the cleaned wafers are stored there.
【００２８】ここで例えば第２の搬送路Ｌ２において、
洗浄処理部からの受け取りが遅れてキャリアＣの列が途
切れ、その途切れた分だけ、例えば４個分のスペースが
発生した場合、この状態は検出部９１で検出されるので
、洗浄処理部からの受け取りの再開によってその時の列
の最後部にキャリアＣが搬送され、順次受け取りが行わ
れることによってスペースが埋められていく。For example, in the second transport path L2,
If the row of carriers C is interrupted due to a delay in receiving it from the cleaning processing section, and a space for four carriers is created due to the interruption, this state is detected by the detection section 91, so that the line of carriers C is interrupted. When the reception is restarted, the carrier C is transported to the rear end of the line at that time, and the space is filled by sequential reception.
【００２９】以上のような実施例によれば後述の効果に
加えて次のような利点がある。即ち、搬送ロボット７は
鉛直軸のまわりに回転可能な受け部７１を備えていて、
キャリアの向きを変えることができるため、搬送路の入
出力側のステーション（移載ロボット１０４の作業領域
やキャリア洗浄処理部など）で取り扱うキャリアの向き
が搬送路上のキャリアの向きと異なる場合に、この搬送
ロボット７の機能を利用して入出力インターフェイスを
容易に取ることができる。According to the embodiment described above, in addition to the effects described later, there are the following advantages. That is, the transfer robot 7 is equipped with a receiving part 71 that is rotatable around a vertical axis,
Since the direction of the carrier can be changed, if the direction of the carrier handled at the input/output side station of the transport path (the work area of the transfer robot 104, the carrier cleaning processing section, etc.) is different from the direction of the carrier on the transport path, Using this function of the transfer robot 7, an input/output interface can be easily established.
【００３０】また未洗浄のキャリア及び洗浄済みのキャ
リアを共通の搬送路で搬送することなく２つの搬送路Ｌ
１、Ｌ２を設けて、夫々専用のものとしているため、ク
ロスコンタミネーションにより洗浄済みのキャリアが未
洗浄のキャリアで汚染されることがない。[0030] Also, instead of transporting unwashed carriers and washed carriers through a common transport path, two transport paths L are used.
1 and L2 are provided and each is dedicated, so that a cleaned carrier is not contaminated with an uncleaned carrier due to cross contamination.
【００３１】なお本発明では、搬送ロボットにより１個
ずつ被搬送物を搬送する代わりに、２個あるいは３個以
上の所定個数を搬送単位個数として、その個数ずつ搬送
するようにしてもよい。In the present invention, instead of transporting the objects one by one by the transport robot, a predetermined number of two or three or more objects may be used as the unit of transport, and the objects may be transported one by one.
【００３２】更に本発明は複数列に並んだ被搬送物を搬
送する場合にも適用でき、この場合には、本発明の搬送
方法が複数列組み合わされたものとなる。Furthermore, the present invention can be applied to the case of conveying objects arranged in a plurality of rows, and in this case, the conveyance method of the present invention is combined with a plurality of rows.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一列に並
ぶ多数の被搬送物を搬送するにあたって、所定の搬送単
位個数ずつ例えば１個ずつ搬送するようにし、各載置領
域における被搬送物の有無を検出して、その時の列の最
後部に載置するようにしている。従って上流側で搬送路
への受け渡しが遅れて列が途切れたとしても、受け渡し
の再開時には先詰めの状態で被搬送物が搬送されるので
、いわゆる歯抜け状態が起こらない。これに対しベルト
などを用いた場合には、途切れ分を埋めることはできな
いので、歯抜け状態となる。そして搬送路の下流側から
みれば搬送路上の被搬送物はバッフアに相当するもので
あるから、被搬送物の歯抜けによる無駄な待ち時間や、
無駄な動作をしなくて済むので、システム全体のスルー
プットの向上に役立つ。As described above, according to the present invention, when transporting a large number of objects lined up in a row, the objects are transported in predetermined transport units, for example, one by one, and the objects to be transported in each loading area are It detects the presence or absence of an object and places it at the end of the row at that time. Therefore, even if the transfer to the conveyance path is delayed on the upstream side and the line is interrupted, when the transfer is restarted, the objects to be conveyed will be conveyed in a state where they are packed at the front, so that so-called missing items will not occur. On the other hand, if a belt or the like is used, the gaps cannot be filled in, resulting in a blank state. When viewed from the downstream side of the conveyance path, the conveyed objects on the conveyance path correspond to buffers, so there is no wasted waiting time due to missing conveyed objects,
This eliminates the need for unnecessary operations, which helps improve the throughput of the entire system.
【図１】本発明を適用した洗浄システムの概略を示す概
略図[Fig. 1] A schematic diagram showing an outline of a cleaning system to which the present invention is applied.
【図２】本発明の実施例に用いた搬送装置の一例を示す
平面図[Fig. 2] A plan view showing an example of a conveyance device used in an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施例に用いた搬送装置の要部の一例
を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing an example of a main part of a conveyance device used in an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施例を説明するための説明図FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an embodiment of the present invention
２、３、４ 搬送路部材
５、６ 載置台
７ 搬送ロボット９
制御部
９１ 検出部
Ｌ１、Ｌ２ 搬送路2, 3, 4 Transport path members 5, 6 Mounting table 7 Transport robot 9
Control unit 91 Detection units L1, L2 Transport path
Claims (1)
送物を搬送する方法において、搬送路に沿って１個また
は２個以上の搬送単位個数の被搬送物の載置領域を多数
設定すると共に、被搬送物を前記搬送単位個数ずつ搬送
するための搬送機構を搬送路に沿って移動自在に設け、
各載置領域における被搬送物の有無を検出して、その検
出結果に基づいて、被搬送物を搬送単位個数ずつ、その
時の被搬送物の列の最後尾に位置するよう前記搬送機構
により搬送することを特徴とする搬送方法。Claim 1: In a method of transporting a large number of objects to be transported that are lined up in a line along a transport path, a large number of mounting areas of one or more transport units of objects are set along the transport path. At the same time, a conveyance mechanism for conveying the objects to be conveyed by the number of conveyance units is provided so as to be movable along the conveyance path,
The presence or absence of objects to be transported in each placement area is detected, and based on the detection results, the objects to be transported are transported by the number of transport units by the transport mechanism so as to be positioned at the end of the row of objects to be transported at that time. A transportation method characterized by:
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|---|---|---|---|
| JP12237091A JP3024005B2 (en) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | Transfer method and transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|
| JPH04323847A true JPH04323847A (en) | 1992-11-13 |
| JP3024005B2 JP3024005B2 (en) | 2000-03-21 |
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ID=14834178
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3024005B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000003894A (en) * | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | Cleaner and its method |
| WO2007132526A1 (en) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Rorze Corporation | Shuttle type conveying device, microplate feeding and collecting device, pickup device for microplate, cassette for microplate, and shelf for receiving microplate |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP12237091A patent/JP3024005B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000003894A (en) * | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | Cleaner and its method |
| WO2007132526A1 (en) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Rorze Corporation | Shuttle type conveying device, microplate feeding and collecting device, pickup device for microplate, cassette for microplate, and shelf for receiving microplate |
| US7954624B2 (en) | 2006-05-16 | 2011-06-07 | Rorze Corporation | Shuttle type conveying device, microplate feeding and collecting device, pickup device for microplate, cassette for microplate, and shelf for containing microplate |
| US8118153B2 (en) | 2006-05-16 | 2012-02-21 | Rorze Corporation | Shuttle-type conveying device, microplate feeding and collecting device, pickup device for microplate, cassette for microplate, and shelf for containing microplate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3024005B2 (en) | 2000-03-21 |
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