JPH04322380A - Check device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To detect the states of a part and the whole of a check object character to perform flexible and accurate check by detecting a defect of the check object character based on comparison between a reference value and normalizing correlation values between divided areas of picture data of the check object character and divided areas of a master character. CONSTITUTION:In a check device where the check object character of characters, graphics, symbols, etc., is checked based on picture data obtained by picking up the image of the check object character by CCD cameras 11a, 11b,...11e, a defect of the check object character is detected based on comparison between the reference value and normalizing correlation values between divided areas of picture data of the check object character and divided areas of the master character.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】0001

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＣＣＤ（チャー
ジ・カップルド・デバイス）カメラにより文字、図形及
び記号等の被検査対象を撮像して得た画像情報より、被
検査対象の欠陥を検査する検査装置等に適用して好適な
検査装置に関する。[Industrial Application Field] The present invention inspects defects in an object to be inspected using image information obtained by imaging the object to be inspected, such as characters, figures, and symbols, using a CCD (charge coupled device) camera, for example. The present invention relates to an inspection device suitable for application to inspection devices and the like.

【０００２】0002

【従来の技術】従来、文字、図形及び記号等の被検査対
象をＣＣＤ（チャージ・カップルド・デバイス）カメラ
で撮像し、これによって得た画像情報に基いて被検査対
象の欠陥を検査する検査装置は周知である。文字、図形
及び記号等を検査する場合にはこれら文字、図形及び記
号を１つずつＣＣＤカメラで撮像するわけではなく、文
字列、図形列及び記号列、または領域等所定範囲を複数
のＣＣＤカメラに割り当てるようにしている。このよう
にして撮像した画像情報を検査するときに問題となるの
は、取り込んだ画像情報から被検査対象としての文字、
図形及び記号（以下説明が雑多となるので単に文字と記
述する）を取り出す場合である。１つの文字や（または
文字列）を取り出す場合には、その取り出す範囲内にお
ける文字の位置が、これらと比較するためのマスター文
字の所定範囲内における位置と一致、即ち、被検査対象
である撮像した文字（検査文字と記述する）をマスター
文字と重ねる際に一番形の一致する座標を検出しなけれ
ばならない。この位置合わせの方法として、例えば重心
を求める方法がある。しかしながら、この方法では、例
えば検査文字の一部が欠けていたりすると重心がずれる
ので、これを考慮しておかないと正確な位置合わせを行
うことができない。従って、このような検査文字の“欠
け”や文字のピントが合わない状態のまま画像情報とし
て取り込まれてしまう、いわゆる“ぼけ”の状態におい
ても、正確な位置合わせを行えるようにした方法が用い
られている。この方法は正規化相関と称され、検査文字
とマスター文字との濃度分布の類似性を検出する方法で
ある。例えば図１２に示すように英文字“ｎ”を検査す
る場合においては、破線で示す取り出しの範囲（ｗｘ）
×（ｗｙ）（単位は画素）の全ての画素をマスター文字
の範囲の全ての画素と演算し、この演算結果によって位
置合わせを行うようにしていた。そして、このように位
置合わせを行った後に、例えば２値化したマスター文字
と検査文字の面積差を求め、この結果によって検査文字
の“欠け”等の欠陥を検出するようにしていた。[Background Art] Conventionally, an inspection is performed in which an object to be inspected such as characters, figures, symbols, etc. is imaged with a CCD (charge coupled device) camera, and defects in the object to be inspected are inspected based on the image information obtained thereby. The device is well known. When inspecting characters, figures, symbols, etc., these letters, figures, and symbols are not imaged one by one with a CCD camera, but a predetermined range such as a character string, a figure string, a symbol string, or an area is inspected using multiple CCD cameras. I am trying to assign it to When inspecting image information captured in this way, the problem is that characters as the object to be inspected are extracted from the captured image information.
This is a case of extracting figures and symbols (hereinafter simply referred to as characters as the explanation will be complicated). When extracting one character or (or character string), the position of the character within the range to be extracted matches the position of the master character for comparison within a predetermined range, that is, the image of the object to be inspected. When superimposing a character (described as a test character) on a master character, the coordinates that best match the shape must be detected. As a method for this alignment, for example, there is a method of determining the center of gravity. However, in this method, if a part of the test character is missing, for example, the center of gravity will shift, so unless this is taken into consideration, accurate positioning cannot be performed. Therefore, a method is used that allows accurate positioning even in the case of so-called "blurred" conditions, where the inspected characters are "missed" or the characters are captured as image information without being in focus. It is being This method is called normalized correlation, and is a method for detecting the similarity in density distribution between the test character and the master character. For example, when inspecting the alphabetic character “n” as shown in FIG. 12, the extraction range (wx) shown by the broken line
All pixels of ×(wy) (unit: pixel) are calculated with all pixels in the range of the master character, and alignment is performed based on the result of this calculation. After alignment is performed in this manner, the difference in area between the binarized master character and the test character is determined, and defects such as "chip" in the test character are detected based on this result.

【０００３】0003

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に２値化したマスター文字と検査文字の面積差を求め、
この結果によって検査文字の“欠け”等の欠陥を検出す
るようにした場合は、単に検査文字の欠陥の有無だけの
検出を行うだけとなると共に、照明の変化や２値化しき
い値の変動、更にはパッド印刷等文字の印刷タイプ等の
影響により、同じ検査文字でもマスター文字との面積差
にばらつきが生じる。従って、柔軟、且つ、正確な検査
を行うことができない不都合がある。[Problem to be solved by the invention] By the way, as described above, the difference in area between the binarized master character and the test character is calculated.
If this result is used to detect defects such as "chips" in the inspection characters, it will simply detect the presence or absence of defects in the inspection characters, as well as changes in illumination, binarization threshold fluctuations, etc. Furthermore, due to the influence of the printing type of characters such as pad printing, even the same test character has a variation in area difference from the master character. Therefore, there is a disadvantage that flexible and accurate inspection cannot be performed.

【０００４】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
、被検査対象の一部及び全体の状態を検出することがで
きるようにして、柔軟、且つ、正確な検査を行うことの
できる検査装置を提案しようとするものである。[0004] The present invention has been made in view of the above points, and provides an inspection device capable of performing flexible and accurate inspection by being able to detect the condition of a part and the whole of an object to be inspected. This is what we are trying to propose.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明検査装置は例えば
図１〜図１１に示す如く、文字、図形及び記号等の被検
査対象ｚを撮像して得た画像情報に基いて、この被検査
対象ｚを検査するようにした検査装置において、被検査
対象ｚの画像情報を分割した領域ごとの濃淡情報と、基
準情報ｍの濃淡情報との類似度を検出して得た値と基準
値との比較に基いて、被検査対象ｚの欠陥を検出するよ
うにしたものである。[Means for Solving the Problems] As shown in FIGS. 1 to 11, for example, the inspection apparatus of the present invention detects an object to be inspected based on image information obtained by imaging an object to be inspected z such as characters, figures, and symbols. In an inspection device configured to inspect object z, a value obtained by detecting the degree of similarity between gray scale information for each area obtained by dividing image information of target target z and gray scale information of reference information m, and a reference value. Based on the comparison, defects in the object to be inspected z are detected.

【０００６】[0006]

【作用】上述せる本発明によれば、被検査対象ｚの画像
情報を分割した領域ごとの濃淡情報と、基準情報ｍの濃
淡情報との類似度を検出して得た値と基準値との比較に
基いて被検査対象ｚの欠陥を検出するようにしたので、
被検査対象の一部及び全体の状態を検出することができ
るようにして、柔軟、且つ、正確な検査を行うことがで
きる。[Operation] According to the present invention described above, the value obtained by detecting the degree of similarity between the grayscale information of each region obtained by dividing the image information of the object to be inspected z and the grayscale information of the reference information m and the reference value. Since defects in inspection target z are detected based on comparison,
By being able to detect the condition of a part and the whole of the object to be inspected, flexible and accurate inspection can be performed.

【０００７】[0007]

【実施例】以下に、図１を参照して本発明検査装置の一
実施例について詳細に説明する。この図１において、１
はＣＰＵ回路で、このＣＰＵ回路１はプロセッサ３の操
作による各種コマンドデータやパラメータデータ等をバ
ス（コントロール、アドレス及びデータバスから成る）
２を介して各回路の制御等を行うと共に、後述する各回
路よりのデータ等の処理を行う。また、このプロセッサ
３により装置の立ち上げも行う。４はフロッピーディス
クドライブコントローラで、このフロッピーディスクド
ライブコントローラ４はＣＰＵ回路１の制御により、フ
ロッピーディスクドライブ５をコントロールし、このフ
ロッピーディスク６より種々のデータを読みだしたりす
る。この種々のデータとしては、被検査対象を検査する
ための例えば被検査対象ごとのプログラムデータや後述
するマスター文字のプロファイル、即ち、所定領域内の
文字を水平または垂直方向で画素数を検出した結果のデ
ータがある。これらのデータの内、前者のプログラムデ
ータはＣＰＵ回路１のメモリ（図示は省略する）にバス
２を介して供給され、後者の結果のデータは夫々対応す
る画像処理回路１０ａ、１０ｂ、・・・１０ｅに供給さ
れる。７はインターフェイス回路で、このインターフェ
イス回路７はＣＰＵ回路１よりバス２を介して供給され
る欠陥情報データをライン制御部及びシーケンサ部に供
給すると共に、トラックボール８の操作によるコントロ
ールデータを、バス２を介して、ＣＰＵ回路１に供給し
、これによって被検査対象の選択を行ったり、スレッシ
ュホールドレベル等の各種パラメータを選択したりする
ことができるようにする。またこのライン制御部及びシ
ーケンサ部９は、図２において説明する検査ライン１７
による被検査対象物１８の搬送等の制御等を行うと共に
、欠陥情報データにより欠陥の生じた被検査対象物を排
除したり、バス２を介して画像処理回路１０ａ、１０ｂ
、・・・１０ｅに画像の取り込みコマンドを供給したり
する。これら画像処理回路１０ａ、１０ｂ、・・・１０
ｅは各々のＣＣＤカメラ１１ａ、１１ｂ、・・・１１ｅ
よりの映像信号を処理する。また、これら画像処理回路
１０ａ、１０ｂ、・・・１０ｅよりの画像データは操作
盤１２によって選択され、この操作盤１２を介してモニ
タ１３または１４に供給され、これらモニタ１３や１４
の管面に画像として映出される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the inspection apparatus of the present invention will be described in detail below with reference to FIG. In this Figure 1, 1
is a CPU circuit, and this CPU circuit 1 transfers various command data, parameter data, etc. operated by the processor 3 to a bus (consisting of control, address, and data buses).
2, it controls each circuit, and also processes data etc. from each circuit, which will be described later. The processor 3 also starts up the device. A floppy disk drive controller 4 controls a floppy disk drive 5 under the control of the CPU circuit 1, and reads various data from the floppy disk 6. These various data include, for example, program data for each target to be inspected, profiles of master characters to be described later, and results of detecting the number of pixels in horizontal or vertical directions of characters within a predetermined area. There is data on. Of these data, the former program data is supplied to the memory of the CPU circuit 1 (not shown) via the bus 2, and the latter resultant data is supplied to the corresponding image processing circuits 10a, 10b, . . . 10e. 7 is an interface circuit, and this interface circuit 7 supplies defect information data supplied from the CPU circuit 1 via the bus 2 to the line control section and the sequencer section, and also transmits control data by operation of the trackball 8 to the bus 2. The signal is supplied to the CPU circuit 1 via the CPU circuit 1, thereby making it possible to select an object to be inspected and select various parameters such as a threshold level. In addition, this line control section and sequencer section 9 are connected to the inspection line 17 described in FIG.
In addition to controlling the conveyance of the object to be inspected 18 through the bus 2, it also controls the transportation of the object to be inspected 18 through the bus 2, eliminates the object to be inspected with defects based on the defect information data, and controls the image processing circuits 10a and 10b via the bus 2.
, . . . supplies an image capture command to 10e. These image processing circuits 10a, 10b,...10
e represents each CCD camera 11a, 11b, . . . 11e
Processes more video signals. Further, image data from these image processing circuits 10a, 10b, .
is projected as an image on the screen.

【０００８】図２に、上述のＣＣＤカメラ１１ａ、１１
ｂ、・・・１１ｅで、検査ライン１７で搬送される被検
査対象物（例えば図３に示すビデオカセットの検査領域
等）１８を撮像して検査を行う場合について示す。この
図２に示すように、検査ライン１７及びＣＣＤカメラ１
１ａ、１１ｂ、・・・１１ｅ間に光を拡散する拡散板（
例えば白色のアクリル板）１６を配する。そして、この
拡散板１６を介して照明器具（例えば蛍光灯）よりの照
明光を、検査ライン１７上に載置された被検査対象物１
８に照射するようにし、更にこの拡散板１６に孔１６ａ
を設け、被検査対象物１８をこの孔１６ａを通じてＣＣ
Ｄカメラ１１ａ、１１ｂ、・・・１１ｅで夫々撮像する
ようにする。このようにすると、照明光を被検査対象物
１８に直接照射した場合には、図４Ａに示すように、例
えば図３に示す被検査対象物１８の検査領域の文字の周
囲が凹凸により照明光が乱反射し、この乱反射により、
撮像した画像は文字の周囲にノイズの乗った画像となる
のに比べ、拡散板１６を介して照明光を被検査対象物１
８に照射した場合は、図４Ｂに示すように、撮像した画
像における文字の周囲にはノイズが乗ることはほとんど
ない。このようにして、検査ライン１７上の被検査対象
物１８がＣＣＤカメラ１１ａ、１１ｂ、・・・１１ｅに
より順次撮像され、これらＣＣＤカメラ１１ａ、１１ｂ
、・・・１１ｅよりの映像信号が画像処理回路１０ａ、
１０ｂ、・・・１０ｅ（図１参照）に夫々供給される。FIG. 2 shows the above-mentioned CCD cameras 11a and 11.
In b, . . . 11e, a case is shown in which an image of an object to be inspected (for example, an inspection area of a video cassette shown in FIG. 3, etc.) 18 conveyed on the inspection line 17 is imaged and inspected. As shown in FIG. 2, the inspection line 17 and the CCD camera 1
A diffusion plate (
For example, a white acrylic plate) 16 is arranged. Illumination light from a lighting device (for example, a fluorescent lamp) is applied to the object to be inspected placed on the inspection line 17 through the diffusion plate 16.
8, and furthermore, holes 16a are provided in this diffuser plate 16.
is provided, and the object to be inspected 18 is passed through the CC through this hole 16a.
The D cameras 11a, 11b, . . . 11e are arranged to take images, respectively. In this way, when the illumination light is directly irradiated to the object to be inspected 18, as shown in FIG. 4A, for example, the periphery of the letters in the inspection area of the object to be inspected 18 shown in FIG. is reflected diffusely, and due to this diffused reflection,
Compared to the captured image with noise around the characters, the illumination light is transmitted to the object to be inspected 1 through the diffuser plate 16.
8, as shown in FIG. 4B, there is almost no noise around the characters in the captured image. In this way, the object to be inspected 18 on the inspection line 17 is sequentially imaged by the CCD cameras 11a, 11b, ... 11e, and the CCD cameras 11a, 11b
, . . . 11e is sent to the image processing circuit 10a,
10b, . . . 10e (see FIG. 1).

【０００９】画像処理回路１０ａ、１０ｂ、・・・１０
ｅに夫々取り込まれた映像信号（以下画像データと記述
する）は図１にて説明したＣＰＵ回路１の制御により文
字の検査のために種々の画像処理を行う。以下この種々
の画像処理について図５〜図１１を参照して説明する。 先ず、図５から説明する。この図５においては、取り込
んだ画像データ（例えば２５６階調）より文字列を抽出
する様子を示している。即ち、取り込んだ画像データ全
体より被検査対象文字ｚの列を抽出するために、いわゆ
る水平方向のプロファイル、即ち、水平方向の画素の数
を検出を行い、この図５の右端に示す如き圧縮情報とし
ての検査結果ｈを得る。そしてこれによって取り込んだ
画像データ中の文字列の位置が得られる。次に、図６に
示すように、画像データより抽出した文字列より更に文
字を切り出すようにする。つまり、抽出した文字列全体
より被検査対象文字ｚの個々の位置（ｘ軸）を検出する
ために、いわゆる垂直方向プロファイル、即ち、垂直方
向の画素の数を検出を行い、この図６の上端及び下方に
夫々示す如き圧縮情報としての検査結果ｖを得る。そし
てこれによって取り込んだ画像データ中の個々の被検査
対象文字ｚのｘ方向の位置を検出する。　　次に、図７
Ａに示すように、切り出した被検査対象文字ｚの領域を
、後に検査するための領域（ウインドウ）にする検出、
即ち、被検査対象文字ｚに応じた、いわゆるウインドウ
検出を行う。例えばこの図７に示すように、被検査対象
文字ｚである“ａ”に対してウインドウ検出をおこなう
場合は、図７Ｂに示すように、この“ａ”に対して水平
方向のプロファイル、即ち、水平方向の画素の数の検出
を行った検査結果ｈを求め、これによって座標（Ｘ、Ｙ
）を得る。そしてこの座標（Ｘ、Ｙ）に応じた範囲をウ
インドウ領域ｗとするようにする。Image processing circuits 10a, 10b, . . . 10
The video signals (hereinafter referred to as image data) respectively taken in by e are subjected to various image processing for character inspection under the control of the CPU circuit 1 explained with reference to FIG. These various image processes will be explained below with reference to FIGS. 5 to 11. First, explanation will be given starting from FIG. FIG. 5 shows how a character string is extracted from captured image data (for example, 256 gradations). That is, in order to extract the string of characters z to be inspected from the entire captured image data, the so-called horizontal profile, that is, the number of pixels in the horizontal direction is detected, and the compressed information as shown at the right end of FIG. Obtain the test result h. Then, the position of the character string in the captured image data can be obtained. Next, as shown in FIG. 6, further characters are cut out from the character string extracted from the image data. In other words, in order to detect the individual position (x-axis) of the character z to be inspected from the entire extracted character string, the so-called vertical profile, that is, the number of pixels in the vertical direction is detected, and the upper end of FIG. and test results v as compressed information as shown below, respectively, are obtained. Then, the position of each character z to be inspected in the captured image data in the x direction is detected. Next, Figure 7
As shown in A, detection of making the cut out area of the target character z to be inspected into an area (window) for later inspection;
That is, so-called window detection is performed according to the character z to be inspected. For example, as shown in FIG. 7, when performing window detection for "a" which is the character z to be inspected, as shown in FIG. 7B, the profile in the horizontal direction for "a", that is, Obtain the inspection result h of detecting the number of pixels in the horizontal direction, and use this to determine the coordinates (X, Y
). Then, the range corresponding to these coordinates (X, Y) is set as the window area w.

【００１０】次に、図８Ａに示すように、ウインドウ領
域ｗ内の被検査対象文字ｚの位置を決定するため、被検
査対象文字ｚの水平方向及び垂直方向のプロファイルに
よる正規化相関を取る。この正規化相関処理は濃度分布
の類似性を検出するもので、、図８Ｃに示すように、ウ
インドウ領域ｗをずらし、このずらした位置において夫
々この正規化相関処理を行う。この図８Ｃにおける各格
子はウインドウ領域ｗをずらした位置を示している。そ
してウインドウ領域ｗをずらす毎に得られる検査結果ｈ
及びｖと、図８Ｂに示すマスター文字ｍの水平及び垂直
方向のプロファイルとの正規化相関値を求める。図８Ｃ
に示す各格子内の数値は、この正規化相関処理の結果で
あり、大きな数値になればなる程ウインドウ領域ｗ内の
被検査対象文字ｚの位置とウインドウ領域ｗ内のマスタ
ー文字ｍの位置が一致することを示す。この図８Ｃにお
いては一番大きな数値は“９０”である。従ってウイン
ドウ領域ｗをこの“９０”の数値の部分に対応するよう
にずらせば、ウインドウ領域ｗ内の被検査対象文字ｚの
位置とウインドウ領域ｗ内のマスター文字ｍの位置が略
一致する。また、このこの図８Ｃに示す、切り出し位置
と“８近傍”の相関値について図９及び図１０を参照し
て説明する。図９に示すように、切り出し位置を“５”
の位置とした場合に、“１”から“４”の位置及び“６
”から“９”の位置における被検査対象文字及びマスタ
ー文字の水平及び垂直方向のプロファイルによる正規化
相関値を求め、これの増加する方向を検出する。そして
、更に、図１０に示すように、各方向Ｐ１、Ｐ２、・・
・Ｐ９に関連した“９”以上の数値で示された位置にお
ける正規化相関を求め、ここで、この正規化相関値が最
も大となる位置を最良の切り出し位置とする如くする。Next, as shown in FIG. 8A, in order to determine the position of the character z to be inspected within the window area w, a normalized correlation is obtained based on the horizontal and vertical profiles of the character z to be inspected. This normalized correlation process detects the similarity of density distributions, and as shown in FIG. 8C, the window area w is shifted and the normalized correlation process is performed at each of the shifted positions. Each grid in FIG. 8C indicates a position shifted from the window area w. And the inspection result h obtained each time the window area w is shifted
and v, and the horizontal and vertical profiles of the master character m shown in FIG. 8B. Figure 8C
The numerical values in each grid shown in are the results of this normalized correlation process. Indicates a match. In this FIG. 8C, the largest value is "90". Therefore, if the window area w is shifted to correspond to the numerical value "90", the position of the character z to be inspected within the window area w and the position of the master character m within the window area w will substantially match. Further, the correlation value between the cutout position and the "8 neighborhood" shown in FIG. 8C will be explained with reference to FIGS. 9 and 10. As shown in Figure 9, set the cutout position to "5".
, the positions “1” to “4” and “6”
The normalized correlation values based on the horizontal and vertical profiles of the target character to be inspected and the master character at the positions from ``9'' to ``9'' are determined, and the direction in which these values increase is detected.Furthermore, as shown in FIG. Each direction P1, P2,...
- Find the normalized correlation at the position indicated by a value of "9" or more related to P9, and set the position where this normalized correlation value is the largest as the best extraction position.

【００１１】さて、上述のようにマスター文字ｍとの位
置合わせが行われた被検査対象文字ｚ（図１１Ａ）は、
図１１Ｂに示すように例えば“Ｓ”においては領域ｅ１
〜ｅ５に分割される。そしてこれら領域ｅ１〜ｅ５ごと
に例えば２５６階調での正規化相関が取られ、この結果
得られた値が予め画像処理回路１０ａ、１０ｂ、・・・
１０ｅのいずれかのメモリに記憶されている各領域ｅ１
〜ｅ５に対応する基準値より小さい場合には、このとき
の被検査対象文字ｚは“欠陥有り”と判定される。この
ように一つの被検査対象文字ｚをいくつかの領域に分割
し、この分割した領域ごとに基準値と比較すると、例え
ば、一つの領域だけが基準値より小さい場合には、被検
査対象文字ｚのいわゆる“欠け”であると判断したり、
また、分割した領域が全て各々に対応する基準値より小
さい場合は、被検査対象文字ｚが全体的に細くなってい
ると判断することができる。またこの被検査対象文字ｚ
の分割基準としては、被検査対象文字ｚの状態を正規化
相関値に反映できるように、例えば極力背景部分を含ま
ないようにするということを基準としている。そして更
に、分割基準として、被検査対象文字ｚの或領域に“欠
け”があった場合は、その“欠け”の程度によっては正
規化相関値に反映されない場合が生ずるので、分割領域
の境界部分を他の分割領域とオーバーラップするように
している。このように、本例においては被検査対象文字
ｚの水平及び垂直方向の正規化相関を求めることにより
、少ない情報量でＣＣＤカメラ１１ａ、１１ｂ、・・・
１１ｅの位置合わせを行い、更に、同様にして被検査対
象文字ｚを切り出す際に、切り出す被検査対象文字ｚに
応じたウインドウ領域ｗをずらしたいくつかの位置での
正規化相関を取り、これらいくつかの位置で増加する方
向を決定し、更にこの方向に関連した位置について夫々
正規化相関を取り、この結果に応じて被検査対象文字ｚ
の切り出し位置を決定する位置合わせを行うようにした
ので、被検査対象文字ｚとマスター文字ｍの位置合わせ
を正確、且つ、高速に行うことができると共に、１つの
被検査対象文字ｚを検査する時間を短くし、これによっ
て検査工程全体の時間を短縮することができる。また、
本例においてはこのようにして位置合わせを行った後に
、被検査対象文字ｚをこの被検査対象文字ｚに応じた領
域に分割し、この分割した領域ごとの正規化相関を取り
、夫々の領域に対応した基準値との大小比較を行い、こ
の結果によって被検査対象文字ｚの欠陥の有無を判定す
るようにしたので、照明光の変化やいわゆる“ぼけ”等
の影響をほとんど受けることなく、また、被検査対象文
字ｚがいわゆるパッド印刷されたものであっても、被検
査対象の一部及び全体の状態を検出することができるよ
うにして、柔軟、且つ、正確な検査を行うことができる
。Now, the character to be inspected z (FIG. 11A), which has been aligned with the master character m as described above, is
As shown in FIG. 11B, for example, in "S", area e1
~e5. For each of these regions e1 to e5, a normalized correlation at, for example, 256 gradations is taken, and the resulting values are preliminarily stored in the image processing circuits 10a, 10b, . . .
Each area e1 stored in any memory of 10e
If it is smaller than the reference value corresponding to ~e5, the character z to be inspected at this time is determined to be "defective". If one target character z is divided into several areas in this way and each divided area is compared with the reference value, for example, if only one area is smaller than the standard value, the target character It is determined that it is a so-called “missing” of z,
Furthermore, if all of the divided regions are smaller than the corresponding reference values, it can be determined that the character z to be inspected is thinner as a whole. Also, this character to be inspected z
The division criterion is, for example, to avoid including the background part as much as possible so that the state of the character z to be inspected can be reflected in the normalized correlation value. Furthermore, as a division criterion, if there is a "chip" in a certain area of the character z to be inspected, depending on the degree of the "chip", it may not be reflected in the normalized correlation value, so is made to overlap with other divided areas. In this way, in this example, by determining the normalized correlation of the character z to be inspected in the horizontal and vertical directions, the CCD cameras 11a, 11b, . . . can be used with a small amount of information.
11e, and when cutting out the character z to be inspected in the same way, normalized correlations are taken at several positions where the window area w is shifted according to the character z to be inspected to be cut out, and these Determine the direction of increase at several positions, then take the normalized correlation for each position related to this direction, and depending on this result, determine the character z to be tested.
Since alignment is performed to determine the cutting position of the target character z, it is possible to accurately and quickly align the character z to be inspected and the master character m, and also to inspect one character z to be inspected. This can reduce the time required for the entire inspection process. Also,
In this example, after alignment is performed in this way, the target character z to be inspected is divided into regions corresponding to the target character z to be inspected, the normalized correlation for each divided region is taken, and each region is The size is compared with the corresponding standard value, and the presence or absence of a defect in the character z to be inspected is determined based on this result, so it is almost unaffected by changes in illumination light or so-called "blurring", etc. In addition, even if the character z to be inspected is a so-called pad-printed character, it is possible to detect the condition of a part and the whole of the object to be inspected, making it possible to perform flexible and accurate inspection. can.

【００１２】尚、本発明は上述の実施例に限ることなく
本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が
取り得ることは勿論である。It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and that various other configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

【００１３】[0013]

【発明の効果】上述せる本発明によれば、被検査対象の
画像情報を分割した領域ごとの濃淡情報と、基準情報の
濃淡情報との類似度を検出して得た値と基準値との比較
に基いて被検査対象の欠陥を検出するようにしたので、
被検査対象の一部及び全体の状態を検出することができ
るようにして、柔軟、且つ、正確な検査を行うことがで
きる利益がある。Effects of the Invention According to the present invention described above, the value obtained by detecting the degree of similarity between the shading information of each region obtained by dividing the image information of the object to be inspected and the shading information of the reference information and the standard value can be adjusted. Since defects in the inspected object are detected based on comparison,
The present invention has the advantage of being able to detect parts and entire states of an object to be inspected, thereby allowing flexible and accurate inspection.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図１】本発明検査装置の一実施例を示す構成図である
。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of an inspection apparatus of the present invention.

【図２】本発明検査装置の一実施例の要部を示す構成図
である。FIG. 2 is a configuration diagram showing main parts of an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図３】本発明検査装置の一実施例の説明に供する被検
査対象物の例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of an object to be inspected for explaining an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図４】本発明検査装置の一実施例の説明に供する照明
光による画像の違いを示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing differences in images depending on illumination light, which is used to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図５】本発明検査装置の一実施例の説明に供する水平
プロファイルによる文字列の抽出を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing extraction of a character string using a horizontal profile to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図６】本発明検査装置の一実施例の説明に供する垂直
プロファイルによる文字の切り出しを示す説明図である
。FIG. 6 is an explanatory diagram showing character cutout using a vertical profile to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図７】本発明検査装置の一実施例の説明に供する水平
プロファイルによる文字のウインドウ検出を示す説明図
である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing character window detection using a horizontal profile to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図８】本発明検査装置の一実施例の説明に供するマス
ターとの水平・垂直プロファイルによる位置合わせ（正
規化相関）を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing alignment (normalized correlation) with a master using horizontal and vertical profiles to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図９】本発明検査装置の一実施例の説明に供する位置
合わせの補足を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing supplementary positioning for explaining one embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図１０】本発明検査装置の一実施例の説明に供する各
方向における次候補点（＞９）を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing next candidate points (>9) in each direction for explaining one embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図１１】本発明検査装置の一実施例の説明に供するマ
スターとの分割領域における検査（正規化相関）を示す
説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an inspection (normalized correlation) in a divided area with a master to explain an embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

【図１２】従来の文字検査を示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing conventional character inspection.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１　　ＣＰＵ回路 ２　　バス ３　　プロセッサ ４　　フロッピーディスクドライブコントローラ５　　
フロッピーディスクドライブ ６　　フロッピーディスク ７　　インターフェース回路 ８　　トラックボール ９　　ライン制御部及びシーケンサ部 １０ａ　　画像処理回路 １０ｂ　　画像処理回路 １０ｃ　　画像処理回路 １０ｄ　　画像処理回路 １０ｅ　　画像処理回路 １１ａ　　ＣＣＤカメラ １１ｂ　　ＣＣＤカメラ １１ｃ　　ＣＣＤカメラ １１ｄ　　ＣＣＤカメラ １１ｅ　　ＣＣＤカメラ １２　　操作盤 １３　　モニタ １４　　モニタ1 CPU circuit 2 Bus 3 Processor 4 Floppy disk drive controller 5
Floppy disk drive 6 Floppy disk 7 Interface circuit 8 Trackball 9 Line control section and sequencer section 10a Image processing circuit 10b Image processing circuit 10c Image processing circuit 10d Image processing circuit 10e Image processing circuit 11a CCD camera 11b CCD camera 11c CCD camera 11d CCD Camera 11e CCD camera 12 Operation panel 13 Monitor 14 Monitor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】　　文字、図形及び記号等の被検査対象を
撮像して得た画像情報に基いて、該被検査対象を検査す
るようにした検査装置において、上記被検査対象の画像
情報を分割した領域ごとの濃淡情報と、基準情報の濃淡
情報との類似度を検出して得た値と基準値との比較に基
いて、上記被検査対象の欠陥を検出するようにしたこと
を特徴とする検査装置。Claim 1: In an inspection device that inspects an object to be inspected based on image information obtained by imaging the object to be inspected, such as characters, figures, and symbols, the image information of the object to be inspected is divided. Defects in the object to be inspected are detected based on a comparison between a reference value and a value obtained by detecting the degree of similarity between the grayscale information for each area and the grayscale information of the reference information. Inspection equipment.