JPH04309806A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
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- JPH04309806A JPH04309806A JP10201691A JP10201691A JPH04309806A JP H04309806 A JPH04309806 A JP H04309806A JP 10201691 A JP10201691 A JP 10201691A JP 10201691 A JP10201691 A JP 10201691A JP H04309806 A JPH04309806 A JP H04309806A
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- displacement
- phase
- circuits
- measuring device
- solar cell
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ディジタルノギス、デ
ィジタルマイクロメータ、ハイトゲージ等の小型計測器
に適用される変位センサを使用した変位測定装置に関し
、特に内部の電子回路を太陽電池によって駆動するソー
ラタイプの変位測定装置に関する。
ィジタルマイクロメータ、ハイトゲージ等の小型計測器
に適用される変位センサを使用した変位測定装置に関し
、特に内部の電子回路を太陽電池によって駆動するソー
ラタイプの変位測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】計測値を液晶表示装置等に表示するディ
ジタルノギス、ディジタルマイクロメータ、ハイトゲー
ジ等の小型変位測定装置は、静電容量式の変位センサ等
を使用した低消費電力タイプのものが一般的である。こ
のため、最近では電源に太陽電池を利用したソーラタイ
プの変位測定装置も開発されている。
ジタルノギス、ディジタルマイクロメータ、ハイトゲー
ジ等の小型変位測定装置は、静電容量式の変位センサ等
を使用した低消費電力タイプのものが一般的である。こ
のため、最近では電源に太陽電池を利用したソーラタイ
プの変位測定装置も開発されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ソーラタイプの変位測定装置では、変位センサからの出
力を計数することによって変位量を求めるインクリメン
タル方式を採用しているため、暗所において太陽電池の
電力が不足すると、現在までの計数値が消失してしまい
、再度計数値をリセットしたのちでないと計測を再開す
ることができないという問題がある。また、暗所におか
れた計測対象の測定が不可能であるという問題もある。 一方、このような電力不足に対処するため測定装置に二
次電池を内蔵したものもあるが、この種の小型計測装置
では、スペース上の制約から二次電池としてあまり大き
な容量のものを用いることができない。このため、短時
間の電力不足には対処可能であっても、暗所に比較的長
い時間放置しておくと、二次電池が放出してしまい、計
数値が消失するという問題点がある。更に、上述したイ
ンクリメンタル方式の変位センサを使用した場合、スラ
イダの摺動速度に追従可能なように計数用のシステムク
ロックの周波数をある程度高める必要がある。 このため、消費電力が大きくなってしまい、太陽電池の
負荷が増すという問題点もある。
ソーラタイプの変位測定装置では、変位センサからの出
力を計数することによって変位量を求めるインクリメン
タル方式を採用しているため、暗所において太陽電池の
電力が不足すると、現在までの計数値が消失してしまい
、再度計数値をリセットしたのちでないと計測を再開す
ることができないという問題がある。また、暗所におか
れた計測対象の測定が不可能であるという問題もある。 一方、このような電力不足に対処するため測定装置に二
次電池を内蔵したものもあるが、この種の小型計測装置
では、スペース上の制約から二次電池としてあまり大き
な容量のものを用いることができない。このため、短時
間の電力不足には対処可能であっても、暗所に比較的長
い時間放置しておくと、二次電池が放出してしまい、計
数値が消失するという問題点がある。更に、上述したイ
ンクリメンタル方式の変位センサを使用した場合、スラ
イダの摺動速度に追従可能なように計数用のシステムク
ロックの周波数をある程度高める必要がある。 このため、消費電力が大きくなってしまい、太陽電池の
負荷が増すという問題点もある。
【0004】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたもので、低消費電力で光の少ない環境下で
も測定可能であり、暗所に長時間放置したのちにおいて
も計数値をリセットすることなしに直ちに測定を再開す
ることができる変位測定装置を提供することを目的とす
る。
めになされたもので、低消費電力で光の少ない環境下で
も測定可能であり、暗所に長時間放置したのちにおいて
も計数値をリセットすることなしに直ちに測定を再開す
ることができる変位測定装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る変位測定装
置は、固定要素に対する可動要素の変位に応じた信号を
出力する変位センサと、この変位センサの出力に基づい
て前記変位の量を示すデータを生成出力する信号処理回
路と、これらを駆動するための太陽電池とを備えた変位
測定装置において、前記変位センサは、前記固定要素に
対する可動要素の絶対的な変位に応じた信号を出力する
ものであることを特徴とする。
置は、固定要素に対する可動要素の変位に応じた信号を
出力する変位センサと、この変位センサの出力に基づい
て前記変位の量を示すデータを生成出力する信号処理回
路と、これらを駆動するための太陽電池とを備えた変位
測定装置において、前記変位センサは、前記固定要素に
対する可動要素の絶対的な変位に応じた信号を出力する
ものであることを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明によれば太陽電池を使用したソーラタイ
プの変位測定装置において、変位センサとして絶対的な
変位の量を出力するいわゆるアブソリュートタイプのセ
ンサを使用しているので、太陽電池に所定量の光が当た
った時点で直ちにその絶対的な変位量を読取ることがで
きる。したがって、インクリメンタル方式のように計数
値を蓄えておく必要がなく、そのための二次電池も不要
であると共に、測定に先立って計数値をリセットする必
要もない。また、本発明によれば、変位センサがアブソ
リュートタイプであるから、クロック周波数が可動要素
の摺動速度に追従しなくても測定値に何ら影響を与えな
い。このため、クロック周波数を従来よりも低くして消
費電力の低減を図ることができるので、少ない光量下で
も計測が可能になる。
プの変位測定装置において、変位センサとして絶対的な
変位の量を出力するいわゆるアブソリュートタイプのセ
ンサを使用しているので、太陽電池に所定量の光が当た
った時点で直ちにその絶対的な変位量を読取ることがで
きる。したがって、インクリメンタル方式のように計数
値を蓄えておく必要がなく、そのための二次電池も不要
であると共に、測定に先立って計数値をリセットする必
要もない。また、本発明によれば、変位センサがアブソ
リュートタイプであるから、クロック周波数が可動要素
の摺動速度に追従しなくても測定値に何ら影響を与えな
い。このため、クロック周波数を従来よりも低くして消
費電力の低減を図ることができるので、少ない光量下で
も計測が可能になる。
【0007】
【実施例】以下、添付の図面を参照して本発明の実施例
について説明する。図1は本発明の一実施例に係る変位
測定装置の構成を示すブロック図である。この変位測定
装置は、ディジタルノギス、ディジタルマイクロメータ
、ディジタルハイトゲージ等の小型側長器に適用される
。即ち、ABSセンサ1は、静電容量式アブソリュート
タイプの変位センサである。このABSセンサ1は、例
えば図2に示すように構成されている。可動要素である
スライダ21は、固定要素であるメインスケール22に
対し僅かの間隙を介して対向配置され、測定軸X方向に
移動可能なものとなっている。スライダ21には、送信
電極23が所定ピッチPt0で配設されている。送信電
極23は、メインスケール22にピッチPr で配設さ
れた第1受信電極24a及び第2受信電極24bと容量
結合されている。受信電極24a,24bは、その配列
方向に沿って隣接するピッチPt1,Pt2の第1伝達
電極25a及び第2伝達電極25bに1対1で夫々接続
されている。伝達電極25a,25bは、夫々スケール
21側に設けられた第1検出電極26a,26b及び第
2検出電極27a,27bと容量結合されている。
について説明する。図1は本発明の一実施例に係る変位
測定装置の構成を示すブロック図である。この変位測定
装置は、ディジタルノギス、ディジタルマイクロメータ
、ディジタルハイトゲージ等の小型側長器に適用される
。即ち、ABSセンサ1は、静電容量式アブソリュート
タイプの変位センサである。このABSセンサ1は、例
えば図2に示すように構成されている。可動要素である
スライダ21は、固定要素であるメインスケール22に
対し僅かの間隙を介して対向配置され、測定軸X方向に
移動可能なものとなっている。スライダ21には、送信
電極23が所定ピッチPt0で配設されている。送信電
極23は、メインスケール22にピッチPr で配設さ
れた第1受信電極24a及び第2受信電極24bと容量
結合されている。受信電極24a,24bは、その配列
方向に沿って隣接するピッチPt1,Pt2の第1伝達
電極25a及び第2伝達電極25bに1対1で夫々接続
されている。伝達電極25a,25bは、夫々スケール
21側に設けられた第1検出電極26a,26b及び第
2検出電極27a,27bと容量結合されている。
【0008】送信電極23は、7つおきに共通接続され
て8つの電極群を構成している。これらの電極群には、
それぞれ位相が45°ずつずれた8相の周期信号が駆動
信号Sdとして供給されるようになっている。これらの
駆動信号Sdは、より具体的には、図3に示すように、
高周波パルスでチョップされた信号となっており、図1
の送信波形発生回路2から生成出力されるようになって
いる。送信電極23に駆動信号Sdが供給されることに
より生ずる電場パターンのピッチWt は、送信電極2
3のピッチPt0の8倍であり、このピッチWtは、受
信電極24a,24bのピッチPr のN(例えば3)
倍に設定されている。したがって、8つの連続する送信
電極23に対しては常に3乃至4つの受信電極24a,
24bが容量結合されることになる。受信電極24a,
24bは、三角形状(又はsin 波形状)の電極片を
相互に挟み合う形で配設してなるものである。各受信電
極24a,24bで受信される信号の位相は、送信電極
23と受信電極24a,24bとの容量結合面積によっ
て決定されるが、これはスライダ21とメインスケール
22との相対位置によって変化する。
て8つの電極群を構成している。これらの電極群には、
それぞれ位相が45°ずつずれた8相の周期信号が駆動
信号Sdとして供給されるようになっている。これらの
駆動信号Sdは、より具体的には、図3に示すように、
高周波パルスでチョップされた信号となっており、図1
の送信波形発生回路2から生成出力されるようになって
いる。送信電極23に駆動信号Sdが供給されることに
より生ずる電場パターンのピッチWt は、送信電極2
3のピッチPt0の8倍であり、このピッチWtは、受
信電極24a,24bのピッチPr のN(例えば3)
倍に設定されている。したがって、8つの連続する送信
電極23に対しては常に3乃至4つの受信電極24a,
24bが容量結合されることになる。受信電極24a,
24bは、三角形状(又はsin 波形状)の電極片を
相互に挟み合う形で配設してなるものである。各受信電
極24a,24bで受信される信号の位相は、送信電極
23と受信電極24a,24bとの容量結合面積によっ
て決定されるが、これはスライダ21とメインスケール
22との相対位置によって変化する。
【0009】受信電極24a,24bと伝達電極25a
,25bとが同一ピッチで形成されていれば、検出電極
26a,26b,27a,27bは、単にスケール21
のx方向位置がピッチPr だけ変化する毎に繰り返さ
れる周期信号を検出することになるが、このABSセン
サ1では、粗い変位量、中間の変位量及び細かい変位量
の3つのレベルの変位量を検出するため、伝達電極25
a,25bが、実際には受信電極24a,24bに対し
て夫々D1 ,D2 だけ偏位するようになっている。 偏位量D1 ,D2 は、夫々基準位置x0 からの測
定方向の距離xの関数で、下記数1のように表すことが
できる。
,25bとが同一ピッチで形成されていれば、検出電極
26a,26b,27a,27bは、単にスケール21
のx方向位置がピッチPr だけ変化する毎に繰り返さ
れる周期信号を検出することになるが、このABSセン
サ1では、粗い変位量、中間の変位量及び細かい変位量
の3つのレベルの変位量を検出するため、伝達電極25
a,25bが、実際には受信電極24a,24bに対し
て夫々D1 ,D2 だけ偏位するようになっている。 偏位量D1 ,D2 は、夫々基準位置x0 からの測
定方向の距離xの関数で、下記数1のように表すことが
できる。
【0010】
【数1】D1(x) =(Pr −Pt1)x/PrD
2(x) =(Pr −Pt2)x/Pr
2(x) =(Pr −Pt2)x/Pr
【0011】
伝達電極25a,25bをこのように受信電極24a,
24bに対して偏位させ、検出電極26a,26b,2
7a,27bをピッチWr1(=3Pt1),Wr2(
=3Pt2)の波形パターンとすることにより、検出電
極26,27からは、図4に示すように、偏位量D1(
x),D2(x) に応じた大きな周期に検出電極24
a,24b単位の小さな周期が重畳された検出信号B1
,B2 ,C1 ,C2を得ることができる。ここで
、検出信号B1,B2の大きな周期が小さな周期の数十
倍、検出信号C1 ,C2 の大きな周期が検出信号B
1 ,B2 の大きな周期の数十倍になるように電極パ
ターンを設定することにより、下記数2の演算で各レベ
ルの変位を得ることができる。
伝達電極25a,25bをこのように受信電極24a,
24bに対して偏位させ、検出電極26a,26b,2
7a,27bをピッチWr1(=3Pt1),Wr2(
=3Pt2)の波形パターンとすることにより、検出電
極26,27からは、図4に示すように、偏位量D1(
x),D2(x) に応じた大きな周期に検出電極24
a,24b単位の小さな周期が重畳された検出信号B1
,B2 ,C1 ,C2を得ることができる。ここで
、検出信号B1,B2の大きな周期が小さな周期の数十
倍、検出信号C1 ,C2 の大きな周期が検出信号B
1 ,B2 の大きな周期の数十倍になるように電極パ
ターンを設定することにより、下記数2の演算で各レベ
ルの変位を得ることができる。
【0012】
【数2】
C1 −C2
(粗スケール)B1 −B2
(中スケール)(B1 +B2
)−(C1 +C2 ) (密スケール)
(粗スケール)B1 −B2
(中スケール)(B1 +B2
)−(C1 +C2 ) (密スケール)
【001
3】これらの演算は、図1の粗スケール復調回路3、中
スケール復調回路4及び密スケール復調回路5で行なわ
れるようになっている。復調は、具体的には、図3に示
した送信波形のチョップ周波数でのサンプリング、ミキ
シング、低域ろ波、2値化等の処理を経て、エッジに位
相情報を担った矩形波の位相信号CMPを生成すること
により行なわれる。
3】これらの演算は、図1の粗スケール復調回路3、中
スケール復調回路4及び密スケール復調回路5で行なわ
れるようになっている。復調は、具体的には、図3に示
した送信波形のチョップ周波数でのサンプリング、ミキ
シング、低域ろ波、2値化等の処理を経て、エッジに位
相情報を担った矩形波の位相信号CMPを生成すること
により行なわれる。
【0014】各スケール復調回路3,4,5から出力さ
れる位相信号CMPCOA.、CMPMED.、CMP
FINEは、夫々粗位相検出回路6、中位相検出回路7
、密位相検出回路8に入力されている。これらの位相検
出回路6〜8は、図5に示すように、位相信号CMPの
立ち上がりタイミング(立ち下がりでもよい)でカウン
タ9のカウント値をラッチするようになっている。カウ
ンタ9は、0°の駆動信号Sdに同期した基準位相信号
CPOの1周期で0からNまでをカウントするので、各
位相検出回路6〜8には夫々位相信号CMPと基準位相
信号CPOとの位相差に相当するカウント値がラッチさ
れることになる。
れる位相信号CMPCOA.、CMPMED.、CMP
FINEは、夫々粗位相検出回路6、中位相検出回路7
、密位相検出回路8に入力されている。これらの位相検
出回路6〜8は、図5に示すように、位相信号CMPの
立ち上がりタイミング(立ち下がりでもよい)でカウン
タ9のカウント値をラッチするようになっている。カウ
ンタ9は、0°の駆動信号Sdに同期した基準位相信号
CPOの1周期で0からNまでをカウントするので、各
位相検出回路6〜8には夫々位相信号CMPと基準位相
信号CPOとの位相差に相当するカウント値がラッチさ
れることになる。
【0015】これらの位相検出回路6〜8で夫々ラッチ
された計数値は、合成回路10で重み付けられて合成さ
れる。また、合成回路10には、オフセット記憶部11
に記憶されたオフセット値も供給されており、合成値の
オフセット量を調整するようになっている。このオフセ
ット記憶部11は、例えばEEPROM等の不揮発性メ
モリからなっている。合成回路10の出力は、演算回路
12において、例えば電極配列ピッチを実寸法値に変換
される。そして、得られた実寸法値は、LCD表示器1
3に表示されるようになっている。
された計数値は、合成回路10で重み付けられて合成さ
れる。また、合成回路10には、オフセット記憶部11
に記憶されたオフセット値も供給されており、合成値の
オフセット量を調整するようになっている。このオフセ
ット記憶部11は、例えばEEPROM等の不揮発性メ
モリからなっている。合成回路10の出力は、演算回路
12において、例えば電極配列ピッチを実寸法値に変換
される。そして、得られた実寸法値は、LCD表示器1
3に表示されるようになっている。
【0016】そして、これらの各回路には、ソーラセル
14で発生しレギュレータ15で安定化させた電源電圧
VDDが供給され、この電源供給によって装置が作動す
るようになっている。
14で発生しレギュレータ15で安定化させた電源電圧
VDDが供給され、この電源供給によって装置が作動す
るようになっている。
【0017】このように構成された変位測定装置によれ
ば、ソーラセル14で発生した電力によって各回路が駆
動されるので、光量が極端に少ないところでは各回路が
動作しない。しかしながら、この装置では、センサとし
てアブソリュートタイプのABSセンサ1を使用してい
るので、例えば測定対象にノギスのジョウを当て、ソー
ラセル部分を明るい場所に移動させることにより、必要
な寸法測定を行うことができる。また、この装置は、イ
ンクリメンタル方式とは異なるため、測定に先立って計
数値をリセットする必要もない。また、このようにアブ
ソリュートタイプであれば、計数値を保持しておく必要
もないので、二次電池は不要であり、使用するとしても
必要最小限度の小容量のものでよい。更に、この装置で
は、アブソリュートタイプの変位センサを使用している
ので、スライダの摺動速度にクロック周波数が追従する
必要がなく、消費電力を大幅に削減することができる。
ば、ソーラセル14で発生した電力によって各回路が駆
動されるので、光量が極端に少ないところでは各回路が
動作しない。しかしながら、この装置では、センサとし
てアブソリュートタイプのABSセンサ1を使用してい
るので、例えば測定対象にノギスのジョウを当て、ソー
ラセル部分を明るい場所に移動させることにより、必要
な寸法測定を行うことができる。また、この装置は、イ
ンクリメンタル方式とは異なるため、測定に先立って計
数値をリセットする必要もない。また、このようにアブ
ソリュートタイプであれば、計数値を保持しておく必要
もないので、二次電池は不要であり、使用するとしても
必要最小限度の小容量のものでよい。更に、この装置で
は、アブソリュートタイプの変位センサを使用している
ので、スライダの摺動速度にクロック周波数が追従する
必要がなく、消費電力を大幅に削減することができる。
【0018】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、変
位センサとして絶対的な変位の量を出力するいわゆるア
ブソリュートタイプのセンサを使用しているので、太陽
電池に所定量の光が当たった時点で直ちにその絶対的な
変位量を読取ることができる。したがって、インクリメ
ンタル方式のように計数値を蓄えておく必要がなく、そ
のための二次電池も不要であると共に、測定に先立って
計数値をリセットする必要もない。また、本発明によれ
ば、変位センサがアブソリュートタイプであるから、ク
ロック周波数が可動要素の摺動速度に追従しなくても測
定値に何ら影響を与えない。このため、クロック周波数
を従来よりも低くして消費電力の低減を図ることができ
るので、少ない光量下でも計測が可能になるという効果
を奏する。
位センサとして絶対的な変位の量を出力するいわゆるア
ブソリュートタイプのセンサを使用しているので、太陽
電池に所定量の光が当たった時点で直ちにその絶対的な
変位量を読取ることができる。したがって、インクリメ
ンタル方式のように計数値を蓄えておく必要がなく、そ
のための二次電池も不要であると共に、測定に先立って
計数値をリセットする必要もない。また、本発明によれ
ば、変位センサがアブソリュートタイプであるから、ク
ロック周波数が可動要素の摺動速度に追従しなくても測
定値に何ら影響を与えない。このため、クロック周波数
を従来よりも低くして消費電力の低減を図ることができ
るので、少ない光量下でも計測が可能になるという効果
を奏する。
【図1】 本発明の実施例に係る変位測定装置のブロ
ック図である。
ック図である。
【図2】 同変位測定装置におけるABSセンサの構
成を示す模式図である。
成を示す模式図である。
【図3】 同センサに供給される駆動信号の一例を示
す波形図である。
す波形図である。
【図4】 同センサから出力される検出信号と復調回
路での演算結果を示す波形図である。
路での演算結果を示す波形図である。
【図5】 同変位測定装置における各位相検出回路の
出力とカウンタ出力との関係を示すタイミングチャート
である。
出力とカウンタ出力との関係を示すタイミングチャート
である。
1…ABSセンサ、2…送信波形発生回路、3…粗スケ
ール復調回路、4…中スケール復調回路、5…密スケー
ル復調回路、6…粗位相検出回路、7…中位相復調回路
、8…密位相復調回路、9…カウンタ、10…合成回路
、11…オフセット記憶部、12…演算回路、13…L
CD表示器、14…ソーラセル、15…レギュレータ、
21…スライダ、22…メインスケール、23…送信電
極、24a…第1受信電極、24b…第2受信電極、2
5a…第1伝達電極、25b…第2伝達電極、26a,
26b…第1検出電極、27a,27b…第2検出電極
。
ール復調回路、4…中スケール復調回路、5…密スケー
ル復調回路、6…粗位相検出回路、7…中位相復調回路
、8…密位相復調回路、9…カウンタ、10…合成回路
、11…オフセット記憶部、12…演算回路、13…L
CD表示器、14…ソーラセル、15…レギュレータ、
21…スライダ、22…メインスケール、23…送信電
極、24a…第1受信電極、24b…第2受信電極、2
5a…第1伝達電極、25b…第2伝達電極、26a,
26b…第1検出電極、27a,27b…第2検出電極
。
Claims (1)
- 【請求項1】 固定要素に対する可動要素の変位に応
じた信号を出力する変位センサと、この変位センサの出
力に基づいて前記変位の量を示すデータを生成出力する
信号処理回路と、これらを駆動するための太陽電池とを
備えた変位測定装置において、前記変位センサは、前記
固定要素に対する可動要素の絶対的な変位に応じた信号
を出力するものであることを特徴とする変位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10201691A JPH04309806A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10201691A JPH04309806A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 変位測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04309806A true JPH04309806A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=14315962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10201691A Pending JPH04309806A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04309806A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59153109A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-01 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 変化量測定装置の誤動作監視装置 |
JPS59204708A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Fanuc Ltd | 絶対位置検出装置 |
JPS61213604A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-22 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型デジタルノギス |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP10201691A patent/JPH04309806A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59153109A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-01 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 変化量測定装置の誤動作監視装置 |
JPS59204708A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Fanuc Ltd | 絶対位置検出装置 |
JPS61213604A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-22 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型デジタルノギス |
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