JPH04308639A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH04308639A JPH04308639A JP3073479A JP7347991A JPH04308639A JP H04308639 A JPH04308639 A JP H04308639A JP 3073479 A JP3073479 A JP 3073479A JP 7347991 A JP7347991 A JP 7347991A JP H04308639 A JPH04308639 A JP H04308639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning
- scanning electron
- electron microscope
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型電子顕微鏡に関
し特にその試料室に観察領域を容易に探し出す手段をも
つ走査型電子顕微鏡に関する。
し特にその試料室に観察領域を容易に探し出す手段をも
つ走査型電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例における走査型電子顕
微鏡の概略を示す図である。従来、この種の走査型電子
顕微鏡は、図２に示すように、電子を発生する電子銃２
と、電子を試料面に対して走査する走査用機構７と、電
子銃２及び走査用機構７を内蔵する鏡筒１を、鏡筒１を
載置するとともに試料６を搭載する試料台４を収納する
試料室５と、試料６より発生する２次電子を捕捉する２
次電子検出器とを有している。
微鏡の概略を示す図である。従来、この種の走査型電子
顕微鏡は、図２に示すように、電子を発生する電子銃２
と、電子を試料面に対して走査する走査用機構７と、電
子銃２及び走査用機構７を内蔵する鏡筒１を、鏡筒１を
載置するとともに試料６を搭載する試料台４を収納する
試料室５と、試料６より発生する２次電子を捕捉する２
次電子検出器とを有している。
【０００３】このような走査型電子顕微鏡で試料を観察
する場合は、まず、電子を走査用機構７で試料面に走査
させ、このとき試料６より発生する２次電子検出器３で
捕捉し、この２次電子電流を走査用機構７の走査と同期
させて、ＣＲＴ上に表示して観察していた。
する場合は、まず、電子を走査用機構７で試料面に走査
させ、このとき試料６より発生する２次電子検出器３で
捕捉し、この２次電子電流を走査用機構７の走査と同期
させて、ＣＲＴ上に表示して観察していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た走査型電子顕微鏡は、高倍率であるとともに視野が狭
く、試料面に存在する欠陥を見つけ出すのに多くの時間
を浪費する問題がある。
た走査型電子顕微鏡は、高倍率であるとともに視野が狭
く、試料面に存在する欠陥を見つけ出すのに多くの時間
を浪費する問題がある。
【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消すべく
試料面上に観察すべき領域をより早く探策出来る走査型
電子顕微鏡を提供することである。
試料面上に観察すべき領域をより早く探策出来る走査型
電子顕微鏡を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の走査型電子顕微
鏡は、電子銃及び電子を走査する走査機構を内蔵する鏡
筒と、試料及び試料を搭載する試料台を吸納する試料室
を有する走査型電子顕微鏡において、前記鏡筒と前記試
料室との間に位置し、前記試料の面に対して斜めに外方
に伸びる円筒状アダプタと、このアダプタの端部に取付
けられるベローズと、このベローズの端部に気密に取付
けられるとともに前記アダプタ及びベローズ内に移動出
来る光学顕微鏡とを備えている。
鏡は、電子銃及び電子を走査する走査機構を内蔵する鏡
筒と、試料及び試料を搭載する試料台を吸納する試料室
を有する走査型電子顕微鏡において、前記鏡筒と前記試
料室との間に位置し、前記試料の面に対して斜めに外方
に伸びる円筒状アダプタと、このアダプタの端部に取付
けられるベローズと、このベローズの端部に気密に取付
けられるとともに前記アダプタ及びベローズ内に移動出
来る光学顕微鏡とを備えている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例における走査型電
子顕微鏡の概略を示す図である。この走査型電子顕微鏡
は、図１に示すように、試料室５と鏡筒１との間に試料
６の面に対して斜め方向に外側に伸びる円筒状アダプタ
９と、この円筒状アダプタ９の端部に取付けられるベロ
ーズ８と、このベローズ８の端部に気密に取付けられる
光学顕微鏡７とを設けたことである。また、この光学顕
微鏡７には、図面に示さないが、実際に使用するのに対
物レンズを試料面に近づけるために、鏡筒を２点削線で
示すように移動するための移動機構が円筒状アダプタ９
と光学顕微鏡７との間に設けられている。その他は従来
例と同じである。
子顕微鏡の概略を示す図である。この走査型電子顕微鏡
は、図１に示すように、試料室５と鏡筒１との間に試料
６の面に対して斜め方向に外側に伸びる円筒状アダプタ
９と、この円筒状アダプタ９の端部に取付けられるベロ
ーズ８と、このベローズ８の端部に気密に取付けられる
光学顕微鏡７とを設けたことである。また、この光学顕
微鏡７には、図面に示さないが、実際に使用するのに対
物レンズを試料面に近づけるために、鏡筒を２点削線で
示すように移動するための移動機構が円筒状アダプタ９
と光学顕微鏡７との間に設けられている。その他は従来
例と同じである。
【０００９】次に、この走査型電子顕微鏡を用いて、試
料面に欠陥を探策し、観察する場合についての走査手順
を説明する。まず、移動機構により光学顕微鏡７の対物
レンズを試料６に近づけるために、光学顕微鏡７を２点
斜線に示すように移動させる。次に、試料台４を移動し
、光学顕微鏡７で試料６の面上を観察し、欠陥を探策す
る。次に、欠陥部が見つけることが出来たら試料台４を
停止し、試料６を位置する。次に、電子銃２より電子を
発生し、欠陥のある領域を走査する。そして欠陥部をＣ
ＲＴに撮像して拡大された欠陥部を観察する。１０００
倍の金属顕微鏡で１５０μ×１５０μくらいのこのよう
に、欠陥のある領域を比較的低倍で視野の広い光学顕微
鏡で探策し、欠陥部のある領域を電子走査領域内に位置
決めすれば、観察すべき領域を探策するのに、従来の１
／１０以下の時間で済むという利点がある。なお、この
光学顕微鏡は、試料が数ｍｍ角の半導体チップの場合、
倍率が１０００位程度で視野が１５０μｍ×１５０μｍ
で最も探策し易く、時間もかからなかった。また、電子
線で走査するときは、光学顕微鏡７は、実線で示すよう
に、移動機構により、試料６より遠ざけるとともに試料
６から発生する２次電子に鏡筒が衝突しないようにする
。
料面に欠陥を探策し、観察する場合についての走査手順
を説明する。まず、移動機構により光学顕微鏡７の対物
レンズを試料６に近づけるために、光学顕微鏡７を２点
斜線に示すように移動させる。次に、試料台４を移動し
、光学顕微鏡７で試料６の面上を観察し、欠陥を探策す
る。次に、欠陥部が見つけることが出来たら試料台４を
停止し、試料６を位置する。次に、電子銃２より電子を
発生し、欠陥のある領域を走査する。そして欠陥部をＣ
ＲＴに撮像して拡大された欠陥部を観察する。１０００
倍の金属顕微鏡で１５０μ×１５０μくらいのこのよう
に、欠陥のある領域を比較的低倍で視野の広い光学顕微
鏡で探策し、欠陥部のある領域を電子走査領域内に位置
決めすれば、観察すべき領域を探策するのに、従来の１
／１０以下の時間で済むという利点がある。なお、この
光学顕微鏡は、試料が数ｍｍ角の半導体チップの場合、
倍率が１０００位程度で視野が１５０μｍ×１５０μｍ
で最も探策し易く、時間もかからなかった。また、電子
線で走査するときは、光学顕微鏡７は、実線で示すよう
に、移動機構により、試料６より遠ざけるとともに試料
６から発生する２次電子に鏡筒が衝突しないようにする
。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、試料室と
鏡筒との間にアダプタ室と、このアダプタ室の開口部側
にベローズを介して取付けられる比較的低倍率の光学顕
微鏡とを設けることによって、観察すべき領域を電子線
が走査される領域内にきわめて短時間で位置決め出来る
ので、観察すべき領域をより短時間で観察出来る走査型
電子顕微鏡が得られるという効果がある。
鏡筒との間にアダプタ室と、このアダプタ室の開口部側
にベローズを介して取付けられる比較的低倍率の光学顕
微鏡とを設けることによって、観察すべき領域を電子線
が走査される領域内にきわめて短時間で位置決め出来る
ので、観察すべき領域をより短時間で観察出来る走査型
電子顕微鏡が得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例における走査型電子顕微鏡の
概略を示す図である。
概略を示す図である。
【図２】従来の一例における走査型電子顕微鏡の概略を
示す図である。
示す図である。
１ 鏡筒
２ 電子銃
３ ２次電子検出器
４ 試料台
５ 試料室
６ 試料
７ 光学顕微鏡
８ ベローズ
９ 円筒状アダプタ
Claims (1)
- 【請求項１】 電子銃及び電子を走査する走査機構を
内蔵する鏡筒と、試料及び試料を搭載する試料台を吸納
する試料室を有する走査型電子顕微鏡において、前記鏡
筒と前記試料室との間に位置し、前記試料の面に対して
斜めに外方に伸びる円筒状アダプタと、このアダプタの
端部に取付けられるベローズと、このベローズの端部に
気密に取付けられるとともに前記アダプタ及びベローズ
内に移動出来る光学顕微鏡とを備えることを特徴とする
走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073479A JPH04308639A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073479A JPH04308639A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04308639A true JPH04308639A (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=13519459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3073479A Pending JPH04308639A (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04308639A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103308464A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 株式会社岛津制作所 | 显微镜 |
| KR20170038666A (ko) | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | 시료 위치 맞춤 방법 및 하전 입자 빔 장치 |
| CN106910665A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-06-30 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法 |
-
1991
- 1991-04-08 JP JP3073479A patent/JPH04308639A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103308464A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 株式会社岛津制作所 | 显微镜 |
| JP2013190554A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Shimadzu Corp | 顕微鏡 |
| KR20170038666A (ko) | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | 시료 위치 맞춤 방법 및 하전 입자 빔 장치 |
| US10186398B2 (en) | 2015-09-30 | 2019-01-22 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample positioning method and charged particle beam apparatus |
| CN106910665A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-06-30 | 聚束科技（北京）有限公司 | 一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法 |
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