JPH04295587A - 粗ネオン製造方法及び装置 - Google Patents

粗ネオン製造方法及び装置

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JPH04295587A
JPH04295587A JP4018166A JP1816692A JPH04295587A JP H04295587 A JPH04295587 A JP H04295587A JP 4018166 A JP4018166 A JP 4018166A JP 1816692 A JP1816692 A JP 1816692A JP H04295587 A JPH04295587 A JP H04295587A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、空気の極低温蒸留によ
るその構成成分への分離によるネオンの製造方法及び装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ネオンは、ランプ及び発光信号管、ネオ
ンサインへの充填気体として有用である。加えて、ネオ
ンは、ネオン光が他の光が透過しえない霧中を透過する
ことができるから、航空機標識においても使用されてい
る。
【0003】ネオンは空気中に微量存在する。ネオンは
空気の極低温蒸留により製造され、この場合極低温空気
分離プラントからのネオン含有流れは、ネオン塔及び極
低温吸着システムを含むネオン精製系統に通されて粗ネ
オンを生成し、生成された粗ネオンはその後ネオン精製
設備に通されて精製されたネオン製品を製造する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ネオンは空気中に約1
8ppmの濃度において存在する。この低濃度によりそ
してまたネオン塔及び極低温吸着システムがうまく作動
するには多量の冷凍力を必要とするから、粗ネオンを製
造するには、極低温空気分離プラントから比較的多量の
流れが取り込まれねばならない。空気分離プラントから
のこの多量の流れの取り出しは、プラントに著しい負担
をかけそしてその運転を空気の他の成分の製造(酸素や
窒素)に関して犠牲とする。
【0005】従って、従来の粗ネオン製造プロセス程に
は空気分離プラントに負担をかけることなく空気分離プ
ラントから粗ネオンを製造することのできるシステムへ
の要望が存在する。
【0006】本発明の課題は、従来からの粗ネオン製造
プロセスにより空気分離プラントに賦課された負担を軽
減しつつ極低温空気分離プラントを使用する粗ネオン製
造方法を開発することである。
【0007】本発明のまた別の課題は、従来からの粗ネ
オン製造プロセスにより空気分離プラントに賦課された
負担を軽減しつつ極低温空気分離プラントを使用する粗
ネオン製造装置を開発することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、(A)ネオン
を含有する供給空気を空気分離プラントに提供しそして
該空気分離プラントにおいて極低温精留により供給空気
における窒素濃度を超える窒素濃度と供給空気における
ネオン濃度を超えるネオン濃度とを有する第1ネオン含
有流体を生成する段階と、(B)前記空気分離プラント
からの第1ネオン含有流体をネオン塔に通入しそして該
ネオン塔において該第1ネオン含有流体の窒素濃度未満
の窒素濃度と該第1ネオン含有流体のネオン濃度を超え
るネオン濃度を有する第2ネオン含有流体を生成する段
階と、(C)前記第2ネオン含有流体を吸着床を通して
流しそして該吸着床において窒素を優先的に吸着して該
第2ネオン含有流体のネオン濃度を超えるネオン濃度を
有する粗ネオン生成物を生成する段階と、(D)吸着床
を段階(C)の吸着を実施した圧力未満の圧力において
脱着しそして脱着から生じたテールガスを前記空気分離
プラントに通入する段階とを包含する粗ネオン製造方法
を提供する。
【0009】本発明はまた、(A)空気分離プラントと
、(B)ネオン塔及び前記空気分離プラントから該ネオ
ン塔に流体を提供するための手段と、(C)吸着床及び
前記ネオン塔から該吸着床に流体を流すための手段及び
該吸着床から粗ネオン生成物を回収する手段と、(D)
前記吸着床を脱着してテールガスを生成せしめるための
手段及び該吸着床から前記空気分離プラントへテールガ
スを通入するための手段とを備える粗ネオン製造装置を
も提供する。
【0010】(用語の定義)本明細書において「塔」と
は、蒸留或いは精留塔乃至帯域、即ち例えば塔内に設け
られた一連の即ち垂直方向に離間されたトレイ或いはプ
レートにおいての蒸気及び液体相の接触により、液体及
び蒸気相を向流で接触して流体混合物の分離をもたらす
接触塔乃至接触帯域を意味する。蒸留塔の詳細について
は、「ケミカル・エンジニアズ・ハンドブック」、第5
版(マックグロウ−ヒル・ブック・カンパニー刊)、1
3節、「蒸留」13−3頁「連続蒸留プロセス」を参照
されたい。用語「複塔」とは、高圧塔及び低圧塔を有し
、高圧塔の上端部が低圧塔の下端部と熱交換関係にある
塔を云う。複塔の詳細は、「気体の分離」(オックスフ
ォード・ユニバーシティ・プレス刊)1949年VII
章「工業的空気分離」を参照されたい。
【0011】蒸気及び液体接触分離プロセスは、成分間
の蒸気圧の差を利用するプロセスである。高い蒸気圧(
即ち、一層揮発性、低沸騰性)成分は蒸気相に集中する
傾向を示し、他方低い蒸気圧(即ち、揮発性の少ない、
高沸騰性)成分は液体相に集中する傾向を示す。 「蒸留」は、単数乃至複数の成分を蒸気相中に分配せし
め、残りの低揮発性の成分を液体相中に残留せしめるの
に液体混合物の加熱を利用する分離プロセスである。 「部分凝縮」は、単数乃至複数の成分を蒸気相中に分配
せしめ、残りの低揮発性の成分を液体相中に分配せしめ
るのに蒸気混合物の冷却を利用する分離プロセスである
。「精留即ち連続蒸留」は、蒸気及び液体相の向流処理
により得られるような順次しての部分蒸発と凝縮とを組
み合わせる分離プロセスである。蒸気及び液体相の向流
接触は、断熱式でありそして相間の積分的な(連続的な
)或いは微分的な(段階的な)接触方式を含むことがで
きる。混合物を分離するのに精留原理を利用する分離プ
ロセス設備は、「精留塔」、「蒸留塔」或いは「分留塔
」と互換的に呼ばれることが多い。
【0012】「極低温精留システム」という用語は、約
120K以下の温度で蒸気−液体向流分離を実施するた
めの、少なくとも一つの塔を備える装置を意味するもの
である。
【0013】「空気分離プラント」とは、空気を供給物
としてその成分への分離をもたらす極低温精留システム
を意味するものである。
【0014】「ネオン塔」とは、ネオンと窒素とを含む
供給物を分離してネオン富化流体を生成する極低温精留
システムを意味するものである。
【0015】「テールガス」とは、吸着分離ユニットか
ら脱着されたネオン含有ガスを意味するものである。
【0016】
【作用】供給空気は、極低温空気分離ユニットにおいて
、高圧塔にまず供給されて、極低温精留により窒素富化
成分と酸素富化成分とに分離される。窒素富化成分は、
蒸気として主凝縮器中に通され、還流として高圧塔に戻
される。酸素富化成分は低圧塔に通入される。ネオンは
窒素より著しく低い沸点を有しているから、供給空気中
のネオンは蒸気が主凝縮器内で凝縮するにつれ、主凝縮
の上部における未凝縮蒸気は、水素やヘリウムのような
空気中の他の種低沸騰成分と共に、ネオンで次第に富化
されるようになる。第1ネオン含有流体が、主凝縮器か
ら取り出されそして空気分離プラントへの供給空気の流
量の0.1〜1.0%の範囲内の少量ネオン塔へ通入さ
れる。第1ネオン含有流体のネオン濃度は0.2〜2.
0%の範囲内にある。ネオン塔内で、第1ネオン含有流
体は、極低温精留により、ネオンに富む蒸気と窒素に富
む液体とに分離される。この蒸気は、上部還流凝縮器に
通入され、ここで凝縮されそしてネオン塔に還流として
戻される。蒸気の一部は、上部還流凝縮器において凝縮
せずそしてこの蒸気部分中には第1ネオン含有流体とし
てネオン塔に供給されたネオンが濃縮している。また、
水素やヘリウムのような空気の低沸騰成分もまたこの蒸
気中に濃縮している。第1ネオン含有流体の窒素濃度よ
り低い窒素濃度を有しそしてそのネオン濃度を超えるネ
オン濃度を有する第2ネオン含有流体が、上部凝縮器か
ら取り出される。第2ネオン含有流体の窒素濃度は一般
に、10〜30%の範囲にありそしてそのネオン濃度は
一般に50〜65%の範囲にある。第2ネオン含有流体
の残部は主にヘリウムと水素とから構成される。この後
、好ましくは触媒反応器により水素が除去される。 第2ネオン含有流体は、上記のように好ましくは水素を
除去した後、昇圧下で吸着床に通される。この昇高され
た圧力においては、窒素はネオンより優先的に床に吸着
され、実質上窒素を含まない粗ネオンの生成をもたらす
。粗ネオン製品は70〜80%範囲内のネオン濃度を有
しそして残部は実質上すべてヘリウムである。吸着床は
塔システムとほぼ同じ圧力で運転され、従って追加的な
圧縮設備が不要である。第2ネオン含有流体は、常温の
圧力スイング式吸着床の一つに通入される。粗ネオン生
成物が回収されると共に、吸着床を脱着しそして生成す
るテールガスを空気分離プラントに戻して再循環する。
【0017】本発明の吸着段階は、極低温吸着を回避し
ほぼ周囲温度において実施される。従って、本発明の所
要冷凍量は従来システムに比較して減少され、そのため
空気分離プラントからネオン塔への流れは従来の実施方
法におけるより著しく少なくしうる。これは、空気分離
プラントの全体的性能を改善しそして更に従来のシステ
ムを使用して可能であったよりもはるかに低水準の窒素
しか存在しない粗ネオン生成物の生成を可能ならしめる
。空気分離プラントへのテールガスの再循環により、そ
うでなければ失われることになるネオンが空気分離プラ
ントに戻して再循環され、そして最終的に粗ネオンとし
て回収され、粗ネオン生成物は、従来システムを使用し
て達成されうる水準を超える著しく改善された効率で産
出されうる。
【0018】
【実施例】図面を参照すると、圧縮され、水や二酸化炭
素のような高沸騰性不純物を除去されそして冷却された
供給空気1が、極低温空気分離プラント2に提供される
。プラントの温度の高い側の入口端部を通常の態様で構
成する供給空気圧縮機、予備精製器及び熱交換器を含む
設備は図面には示されていない。図面に例示した具体例
では、空気分離プラントは高圧塔3と低圧塔4とを主凝
縮器5において熱交換関係で備える複塔設備である。 供給空気1は、一般に4.9〜10.5kg/cm2(
70〜150psia)絶対圧の範囲内の圧力で作動す
る高圧塔3内にまず供給される。高圧塔3内で、供給空
気は極低温精留により窒素富化成分と酸素富化成分とに
分離される。
【0019】窒素富化成分は、蒸気6として、主凝縮器
5中に通され、ここで低圧塔(再沸騰塔)4の底液との
間接熱交換により凝縮される。精製する凝縮窒素富化成
分7は還流として高圧塔3に戻される。
【0020】酸素富化成分は、液体流れ8として、高圧
塔3内の圧力より低くそして一般に1.05〜1.75
kg/cm2(15〜25psig)の範囲内にある圧
力で作動する低圧塔4に通入される。加えて、流れ7の
一部50は、膨張されそして低圧塔4内に導入される。 低圧塔4内で、供給流れは窒素と酸素とに分離され、窒
素は流れ9として取り出され、他方酸素は流れ10とし
て取り出される。これら流れの一方或いは両方は、生成
物として回収されうる。
【0021】ネオンは窒素より著しく低い沸点を有して
いるから、供給空気中のネオンは、高圧塔の頂部におい
て濃縮しそして流れ6と共に主凝縮器5中で凝縮する。 流れ6における蒸気が主凝縮器5内で凝縮するにつれ、
主凝縮器5の上部において残留する未凝縮蒸気は、水素
やヘリウムのような空気中の他の種の低沸騰成分と共に
、ネオンで次第に富化されるようになる。第1ネオン含
有流体が、主凝縮器5から蒸気流れ11として取り出さ
れそして空気分離プラントへの供給空気の流量の0.1
〜1.0%の範囲内の低い流量でネオン塔12への供給
物として通入される。好ましくは、主凝縮器5は微分型
即ちディファレンシャル型の凝縮器である。第1ネオン
含有流体11は、供給空気のネオン濃度を超えるネオン
濃度を有しそして一般にこの第1ネオン含有流体のネオ
ン濃度は0.2〜2.0%の範囲内にある。
【0022】図面に例示した具体例では、第1ネオン含
有流体流れ11は、ネオン塔12内に直接通入される第
1部分13と、底部再沸器15に通される第2部分14
とに分割される。再沸器15において、第2部分14は
、ネオン塔底液との間接熱交換により冷却されて、それ
を沸騰せしめ、ネオン塔のための蒸気沸騰分を提供する
。生成する再沸器15からの流れ16は、第1部分流れ
13と合流されそして合流流れ17はネオン塔12に通
入される。空気分離プラントからネオン塔への供給物に
より提供される冷凍作用を補充するために、少量の液体
窒素をネオン塔に添加しうる。
【0023】ネオン塔12内で、第1ネオン含有流体は
、極低温精留により、ネオンに富む蒸気18と窒素に富
む液体とに分離される。蒸気18は、上部還流凝縮器1
9に通入され、ここで凝縮されそしてネオン塔12に還
流20として戻される。ネオン塔12の底部から液体2
1が取り出されそして膨張されて、還流凝縮器19の沸
騰側に通入されそして沸騰して蒸気18の上述した凝縮
をもたらす。生成する気体状窒素22はネオン塔12か
ら放出される。
【0024】蒸気18の一部は、上部還流凝縮器19に
おいて凝縮せずそしてこの蒸気部分中には第1ネオン含
有流体としてネオン塔12に供給されたネオンが濃縮し
ている。また、水素やヘリウムのような空気の低沸騰成
分もまたこの蒸気中に濃縮している。
【0025】第1ネオン含有流体の窒素濃度より低い窒
素濃度を有しそしてそのネオン濃度を超えるネオン濃度
を有する第2ネオン含有流体としての流れ23が、上部
凝縮器19から取り出される。第2ネオン含有流体23
の窒素濃度は一般に、10〜30%の範囲にありそして
そのネオン濃度は一般に50〜65%の範囲にある。第
2ネオン含有流体の残部は主にヘリウムと水素とから構
成される。
【0026】図面に例示した具体例は、第2ネオン含有
流体を吸着床に通す前にそこから水素を除去する好まし
い具体例である。この具体例において、第2ネオン含有
流体流れ23は、加熱器24を通して加熱されそして加
熱された流れ25は酸素27と共に触媒反応器26内に
提供される。一般に、触媒反応器26における触媒はパ
ラジウム触媒である。触媒反応器26内で、酸素と水素
とは発熱反応において反応して水を形成する。流れ28
が、触媒反応器26から取り出されそして冷却器29を
通して冷却されそして後分離器31に通され、ここで凝
縮水32が除去される。生成する、水素を除去した第2
ネオン含有流体33はその後吸着床に通される。
【0027】本発明において使用するに有用な吸着床は
、ネオンより窒素を優先的に吸着する吸着剤を収蔵して
いる。好ましくは、吸着剤はタイプ5Aのようなモレキ
ュラーシーブである。
【0028】第2ネオン含有流体は、上記のように好ま
しくは水素を除去した後、一般には4.2〜9.8kg
/cm2(60〜140psia)の範囲内にある昇圧
下で吸着床に通される。この昇圧下においては、窒素は
ネオンより優先的に床に吸着され、実質上窒素を含まな
い粗ネオンの生成をもたらす。もちろん、一部のネオン
は吸着床にやはり吸着される。粗ネオン生成物は70〜
80%範囲内のネオン濃度を有しそして残部は実質上す
べてヘリウムである。粗ネオン生成物中の窒素濃度は一
般に50ppm未満である。本発明の有利な点は、吸着
床が塔システムとほぼ同じ圧力で運転され、従って追加
的な圧縮設備が不要なことである。
【0029】好ましくは吸着床はまた活性炭をも収蔵し
、この場合モレキュラーシーブが吸着床の上半分を占め
そして活性炭が吸着床の下半分を占めるものとされる。 上述したように触媒による水素除去が実施されるとき、
吸着床に提供される第2ネオン含有流体は、追加的に酸
素及び水蒸気をも含んでいよう。この酸素は、水素が完
全に除去されることを保証するように触媒反応器に過剰
の酸素が供給されることから生じる。水蒸気は、触媒反
応器流出流れからの水蒸気の凝縮の不完全さから生じる
。活性炭は水蒸気を吸着しそして酸素を化学的に収着し
、その結果粗ネオン生成物は酸素及び水蒸気を実質上含
まなくなる。
【0030】加えて、酸素の一部は、モレキュラーシー
ブ吸着剤によっても吸着される。粗ネオン生成物中の酸
素濃度は一般に50ppm未満である。
【0031】生成する粗ネオン生成物はその後、回収さ
れそして99.99%以上のネオン純度を有する製品等
級ネオンの製造のためにネオン精製設備に送られる。
【0032】吸着床は上記の吸着が実施された圧力より
低い圧力で脱着される。一般に、脱着は0.21〜0.
98kg/cm2(3〜14psia)の範囲内の圧力
実施される。好ましくは、吸着中の圧力即ち吸着圧力対
脱着中の圧力即ち脱着圧力の比率は、7対20の範囲内
である。 低圧脱着は、床に接続されたラインにおける真空ポンプ
により実施されうる。
【0033】吸着床の脱着から生じるテールガスは、第
2ネオン含有流体中に存在した窒素の実質上すべてを含
んでいる。一般に、テールガス中の窒素濃度は40〜6
0%の範囲内にある。テールガスはまた、一般に30〜
50%の範囲内にある濃度にある僅かのネオンを含有し
そしてまた酸素、水蒸気及びヘリウムを含有しうる。テ
ールガスは吸着床から空気分離プラントに通される。
【0034】図面に例示した具体例は、少なくとも一つ
の吸着床が吸着操作を行なっている間、別の吸着床が脱
着操作を受け、以って一層一様な生成物流れを提供する
ようスイング式4吸着床を使用する特に好ましい具体例
である。
【0035】図面に戻って、第2ネオン含有流体33は
、4つの吸着床34、35、36及び37の一つに通入
される。この床が吸着操作下に置かれている間、残りの
3つの床は減圧、脱着及び再加圧をそれぞれ受けている
。これら床を通しての流れは図示していない適当な弁や
タイマーにより制御される。粗ネオン生成物は、流れ3
8として回収される。真空ポンプ40が適当な吸着床を
ライン39を通して脱着しそしてテールガス41を空気
分離プラントに戻して流す役目を為す。例示されるよう
に、テールガスは供給空気と組み合わせて空気分離プラ
ントに通入されうる。好ましくは、テールガスは、図示
していないが、最初に説明したプラントの温度の高い入
口端部分の最初に存在する供給空気圧縮機の取り込み側
に通入される。
【0036】
【発明の効果】本発明の吸着段階はほぼ周囲温度におい
て実施される。極低温吸着は回避され従って本発明の所
要冷凍量は従来システムに比較して減少される。空気分
離プラントからネオン塔への流れは従来の実施方法にお
けるより著しく少なくしうる。これは、空気分離プラン
トの全体的性能を改善しそして更に従来のシステムを使
用して可能であったよりもはるかに低水準の窒素しか存
在しない粗ネオン生成物の生成を可能ならしめる。
【0037】空気分離プラントへのテールガスの再循環
は、総合的なネオン回収率を著しく増大する役目を為す
。本発明の使用により、そうでなければ失われることに
なるネオンが空気分離プラントに戻して再循環され、そ
して最終的に粗ネオンとして回収される。こうして、本
発明により、粗ネオン生成物は、従来システムを使用し
て達成されうる水準を超える著しく改善された効率で産
出される。
【0038】以上、本発明をその好ましい実施例と関連
して詳しく説明したが、本発明の範囲内で多くの変更を
為しうることを銘記されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の粗ネオン製造システムの好ましい具体
例の概略流れ図である。
【符号の説明】
1  供給空気 2  極低温空気分離プラント 3  高圧塔 4  低圧塔 5  主凝縮器 6  窒素富化成分蒸気 7  凝縮窒素富化成分還流 8  酸素富化成分流れ 9  窒素流れ 10  酸素流れ 11  第1ネオン含有流体 12  ネオン塔 13  第1部分 14  第2部分 15  底部再沸器 16  再沸器生成流れ 17  合流流れ 18  ネオンに富む蒸気 19  上部還流凝縮器 20  還流 21  ネオン塔底部液体 22  気体状窒素 23  第2ネオン含有流体 24  加熱器 26  触媒反応器 27  酸素 29  冷却器 31  分離器 32  凝縮水 33  水素除去第2ネオン含有流体 34、35、35、37  吸着床 38  粗ネオン生成物 40  真空ポンプ 41  テールガス

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  粗ネオンを製造する方法であって、(
    A)ネオンを含有する供給空気を空気分離プラントに提
    供しそして該空気分離プラントにおいて極低温精留によ
    り供給空気における窒素濃度を超える窒素濃度と供給空
    気におけるネオン濃度を超えるネオン濃度とを有する第
    1ネオン含有流体を生成する段階と、(B)前記空気分
    離プラントからの第1ネオン含有流体をネオン塔に通入
    しそして該ネオン塔において該第1ネオン含有流体の窒
    素濃度未満の窒素濃度と該第1ネオン含有流体のネオン
    濃度を超えるネオン濃度を有する第2ネオン含有流体を
    生成する段階と、(C)前記第2ネオン含有流体を吸着
    床を通して流しそして該吸着床において窒素を優先的に
    吸着して該第2ネオン含有流体のネオン濃度を超えるネ
    オン濃度を有する粗ネオン生成物を生成する段階と、(
    D)吸着床を段階(C)の吸着を実施した圧力未満の圧
    力において脱着しそして脱着から生じたテールガスを前
    記空気分離プラントに通入する段階とを包含する粗ネオ
    ン製造方法。
  2. 【請求項2】  空気分離プラントからネオン塔への第
    1ネオン含有流体が空気分離プラントへの供給空気の流
    量の0.1〜1.0%の範囲内にある請求項1の方法。
  3. 【請求項3】  第1ネオン含有流体のネオンの濃度が
    0.2〜2.0%の範囲内にある請求項1の方法。
  4. 【請求項4】  第2ネオン含有流体のネオンの濃度が
    50〜65%の範囲内にある請求項1の方法。
  5. 【請求項5】  粗ネオン生成物中のネオン濃度が70
    〜80%の範囲内にある請求項1の方法。
  6. 【請求項6】  段階(C)の吸着段階を4.2〜9.
    8kg/cm2(60〜140psia)の範囲内の圧
    力で実施する請求項1の方法。
  7. 【請求項7】  段階(D)の脱着段階を0.21〜0
    .98kg/cm2(3〜14psia)の範囲内の圧
    力で実施する請求項1の方法。
  8. 【請求項8】  吸着圧力対脱着圧力比が7:20の範
    囲内にある請求項1の方法。
  9. 【請求項9】  第2ネオン含有流体が更に水素を含ん
    でおり、第2ネオン含有流体に酸素を提供しそして酸素
    と水素とを反応せしめて水蒸気を生成する段階を更に含
    む請求項1の方法。
  10. 【請求項10】  吸着床において水蒸気を更に吸着す
    る段階を含む請求項9の方法。
  11. 【請求項11】  粗ネオンを製造する装置であって、
    (A)空気分離プラントと、(B)ネオン塔及び前記空
    気分離プラントからネオン塔に流体を提供するための手
    段と、(C)吸着床及び前記ネオン塔から該吸着床に流
    体を流すための手段及び該吸着床から粗ネオン製品を回
    収する手段と、(D)前記吸着床を脱着してテールガス
    を生成せしめるための手段及び該吸着床から前記空気分
    離プラントへテールガスを通入するための手段とを備え
    る粗ネオン製造装置。
  12. 【請求項12】  空気分離プラントが主凝縮器を具備
    する複塔設備である請求項11の装置。
  13. 【請求項13】  空気分離プラントからネオン塔に流
    体を提供するための手段が主凝縮器から流体を通入する
    手段である請求項12の装置。
  14. 【請求項14】  吸着床がモレキュラーシーブを含む
    請求項11の装置。
  15. 【請求項15】  吸着床がモレキュラーシーブと活性
    炭とを含む請求項11の装置。
  16. 【請求項16】  ネオン塔と吸着床との間に配置され
    る触媒反応器を更に含む請求項11の装置。
  17. 【請求項17】  吸着床を脱着するための手段が真空
    ポンプを含む請求項11の装置。
  18. 【請求項18】  少なくとも一つの床が吸着操作下に
    ある間少なくとも一つの床が脱着操作下にあるよう順次
    接続された4つの吸着床を含む請求項11の装置。
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